JP2007178713A - 撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、撮像素子に入射される光の波長を選択するため多層膜から成るフィルタ10を備えた撮像装置において、フィルタ10が、選択する光の中心波長をλ、多層膜の各層の厚さをd、各層の屈折率をnとした場合、d=λ/(4×n)を満たすよう設けられているものである。また、このフィルタ10の多層膜として、窒化シリコン膜(SixNy膜:例えば、Si3N4膜)と酸化シリコン(SiOx膜:例えば、SiO2膜)との組み合わせから成るものを用いている。
【選択図】図1
Description
d2=λC/(4×n2)
λ1=200nm
λEdge =29.657×Δn+388.54
λ1/2 =42.678×Δn+246.86
λ1=250nm
λEdge =37.054×Δn+485.37
λ1/2 =53.088×Δn+308.73
λEdge =(0.148×Δn+1.942)×λ1 …(1)
λ1/2 =(0.213×Δn+1.234)×λ1 …(2)
の式が求められる。
λ2=700nm
λEdge =−8.4997×Δn’+468.38
λ1/2 =−28.452×Δn’+563.21
λ2=900nm
λEdge =−9.8745×Δn’+600.13
λ1/2 =−38.326×Δn’+728.34
λEdge =(−0.0115×Δn’+0.668)×λ2 …(3)
λ1/2 =(−0.0415×Δn’+0.807)×λ2 …(4)
の式が求められる。
λ1=250nm
λEdge =329.03+1534.9×exp(−1.0374×m)
λ1/2 =317.55+281.56×exp(−0.946×m)
λEdge =(1.316+6.1396×e-1.0374×m)×λ1
λ1/2 =(1.2702+1.12624×e-0.946×m)×λ1
1/(1.316+6.1396×e-1.0374×2)×(1.316+6.1396×e-1.0374×m)×λ1
1/(1.2702+1.12624×e-0.946×2)×(1.2702+1.12624×e-0.946×m)×λ1
=(0.6363+2.94×e-1.0374×m)×(0.148×Δn+1.942)×λ1 …(5)
λ1/2 =1/(1.2702+1.12624×e-0.946×2)×(1.2702+1.12624×e-0.946×m)×(0.213×Δn+1.234)×λ1
=(0.882+0.782×e-0.946×m)×(0.213×Δn+1.234)×λ1 …(6)
上記(5)式、(6)式が求める式となる。
λ2=700nm
λEdge =574.89−380.94×exp(−0.600×m’)
λ1/2 =583.12−167.36×exp(−0.633×m’)
λEdge =(0.821−0.544×e-0.600×m')×λ2
λ1/2 =(0.833−0.239×e-0.600×m')×λ2
となる。
1/(0.833−0.239×e-0.600×2)×(0.833−0.239×e-0.600×m')×λ2
=(1.250−0.828×e-0.600×m')×(−0.0115×Δn’+0.668)×λ2 …(7)
λ1/2 =1/(0.833−0.239×e-0.600×2)×(0.833−0.239×e-0.600×m')×(−0.0415×Δn’+0.807)×λ2
=(1.095−0.314×e-0.600×m')×(−0.0415×Δn’+0.807)×λ2 …(8)
上記(7)式、(8)式が求める式となる。
λ3 =(0.882+0.782×e-0.946×m)×(0.213×Δn+1.234)×λ1
λ4 =(1.095−0.314×e-0.600×m')×(−0.0415×Δn’+0.807)×λ2
となる。
λ3=λ0=λ4
となる。
λ3=(0.6363+2.94×e-1.0374×m)×(0.148×Δn+1.942)×λ1
λ4=(1.250−0.828×e-0.600×m')×(−0.0115×Δn’+0.668)×λ2
となる。
Claims (10)
- 撮像素子に入射される光の波長を選択するため多層膜から成るフィルタを備えた撮像装置において、
前記フィルタは、選択する光の中心波長をλ、多層膜の各層の厚さをd、各層の屈折率をnとした場合、
d=λ/(4×n)
を満たす
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記フィルタを構成する多層膜は、窒化シリコン膜と酸化シリコン膜との組み合わせから成る
ことを特徴とする請求項1記載の撮像装置。 - 前記フィルタが赤に対する補色を選択する場合、窒化シリコン膜の厚さをd1、酸化シリコン膜の厚さをd2とすると
d1=81nm、d2=110nmで各々±10%の範囲に収まるよう構成されている
ことを特徴とする請求項2記載の撮像装置。 - 前記フィルタが緑に対する補色を選択する場合、窒化シリコン膜の厚さをd1、酸化シリコン膜の厚さをd2とすると
d1=67nm、d2=91nmで各々±10%の範囲に収まるよう構成されている
ことを特徴とする請求項2記載の撮像装置。 - 前記フィルタが青に対する補色を選択する場合、窒化シリコン膜の厚さをd1、酸化シリコン膜の厚さをd2とすると
d1=56nm、d2=76nmで各々±10%の範囲に収まるよう構成されている
ことを特徴とする請求項2記載の撮像装置。 - 撮像素子に入射される光のうち原色の波長を選択する原色フィルタを備えた撮像装置において、
前記原色フィルタは、2つ以上の周期をもつ複数組の多層膜によって構成される
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記複数組の多層膜において第1の多層膜を構成する膜の厚さをd1、d2、屈折率をn1、n2、第2の多層膜を構成する膜の厚さをd1’、d2’、屈折率をn1’、n2’、前記第1の多層膜で透過させたい光の中心波長をλ1、前記第2の多層膜で透過させたい光の中心波長をλ2、前記原色フィルタによって透過させたい光の中心波長をλ0とした場合、以下の関係1を満たしていることを特徴とする請求項6記載の撮像装置。
(関係1)
d1=λ1/(4×n1)
d2=λ1/(4×n2)
d1’=λ2/(4×n1’)
d2’=λ2/(4×n2’)
を満たすd1、d2、d1’、d2’、n1、n2、n1’、n2’において、
λ3<λ0<λ4である。
ここで、
λ3=(0.882+0.782×e-0.946×m)×(0.213×Δn+1.234)×λ1
λ4=(1.095−0.314×e-0.600×m')×(−0.0415×Δn’+0.807)×λ2
であり、さらに、mとm’とはそれぞれ多層膜の周期数である。
また、n2≧n1の場合、Δn=n2−n1
または、n2<n1の場合、Δn=n1−n2である。 - 前記複数組の多層膜において第1の多層膜を構成する膜の厚さをd1、d2、屈折率をn1、n2、第2の多層膜を構成する膜の厚さをd1’、d2’、屈折率をn1’、n2’、前記第1の多層膜で透過させたい光の中心波長をλ1、前記第2の多層膜で透過させたい光の中心波長をλ2、前記原色フィルタによって透過させたい光の中心波長をλ0とした場合、以下の関係2を満たしていることを特徴とする請求項6記載の撮像装置。
(関係2)
d1=λ1/(4×n1)
d2=λ1/(4×n2)
d1’=λ2/(4×n1’)
d2’=λ2/(4×n2’)
を満たすd1、d2、d1’、d2’、n1、n2、n1’、n2’において、
λ3=λ0=λ4である。
ここで、
λ3=(0.6363+2.94×e-1.0374×m)×(0.148×Δn+1.942)×λ1
λ4=(1.250−0.828×e-0.600×m')×(−0.0115×Δn’+0.668)×λ2
であり、さらに、mとm’とはそれぞれ多層膜の周期数である。
また、n2≧n1の場合、Δn=n2−n1
または、n2<n1の場合、Δn=n1−n2である。 - 基板の異なる深さに設けられている2つ以上の受光センサと、
前記2つ以上の受光センサに向けて入射する光の波長を選択する誘電体多層膜から成る干渉フィルタと
を備えることを特徴とする撮像装置。 - 前記干渉フィルタの誘電体多層膜は、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコンのうち選択された2つの組み合わせから成る
ことを特徴とする請求項9記載の撮像装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003078917A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2003332551A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-21 | Canon Inc | カラー撮像素子及びカラー受光素子 |
JP2004273952A (ja) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | Ccd型カラー固体撮像装置 |
WO2005069376A1 (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及びこれを用いたカメラ |
JP2006270021A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層型光電変換素子 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003078917A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2003332551A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-21 | Canon Inc | カラー撮像素子及びカラー受光素子 |
JP2004273952A (ja) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | Ccd型カラー固体撮像装置 |
WO2005069376A1 (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及びこれを用いたカメラ |
JP2006270021A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-10-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 積層型光電変換素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013054368A (ja) * | 2012-10-22 | 2013-03-21 | Panasonic Corp | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
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