JP2007175415A - 光学センサ及びそのセンサ部 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光素子から出射した光を外部の生体組織に向かって出射し、生体組織からの散乱光を受光素子で受光して生体組織内の血流に関する値を測定する光学センサにおけるセンサ部において、前記発光素子と前記受光素子の各々を同一平面基板表面に形成した配線パターン上に配置し、前記発光素子と前記受光素子の各々を配線パターンと電気的に接続し、前記受光素子に不要散乱光を遮ることができる不透明材料で製作された遮光構造を配置する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の光学センサの第一の実施形態としての血流計の構成を示す図である。同図に示すように、本実施形態の血流計は、生体組織に光を当てることにより反射した散乱光を受光するセンサチップ1、受光した光を増幅する増幅器2、発光素子(LD)を駆動させ、散乱光を解析することにより血流を求める駆動/演算装置3、求めた血流等を表示する出力部4を有する。
センサチップ1は半導体基板上に集積化されて形成されている。また、駆動/演算装置3は、A/D変換器5、LDドライバ6、受信信号から血流を求めるための演算を行うデジタル信号プロセッサ(DSP)7、電源供給部8、インターフェース9を有し、小型液晶ディスプレイ等の出力部4に接続される。駆動/演算装置3は、全体をLSIとして構成することが可能であり、センサチップ及び増幅器とあわせて一体として構成でき、人体等に容易に装着できる形状に構成することが可能である。
次に本発明の第二の実施形態について図4および図5を用いて説明する。図4は第二の実施形態のセンサチップのフォトダイオード側の部分の上面図であり、図5はその鳥瞰図である。
[第三の実施形態]
次に本発明の第三の実施形態について図6および図7を用いて説明する。図6は第三の実施形態のセンサチップの半導体レーザ側の部分の上面図であり、図7はその鳥瞰図である。
[第四の実施形態]
次に本発明の第四の実施形態について図9および図10を用いて説明する。図9は第四の実施形態のセンサチップの上面図であり、図10は第四の実施の形態のセンサチップの鳥瞰図である。
[第五の実施形態]
次に本発明の第五の実施形態について図11および図12を用いて説明する。図11は第五の実施形態のセンサチップのフォトダイオード側の部分の上面図であり、図12はその鳥瞰図である。
[第六の実施形態]
次に本発明の第六の実施形態について図13および図14を用いて説明する。図13は第六の実施形態のセンサチップの半導体レーザ側の部分の上面図であり、図14はその鳥瞰図である。
2 増幅器
3 駆動/演算装置
4 出力部
5 A/D変換器
6 LDドライバ
7 デジタル信号プロセツサ(DSP)
8 電源供給部
9 インターフェース
11 基板
12〜15 電気配線パターン
17 フォトダイオード(面入射PD)
18 遮光枠
21 基板
22、23 電気配線パターン
28 遮光キャップ
29 穴
31 基板
34、35 電気配線パターン
36 半導体レーザ(端面発光LD)
30 90度折曲鏡
41 基板
42〜45 電気配線パターン
46 半導体レーザ(面発光LD)
47 フォトダイオード(面入射PD)
48 遮光枠
51 基板
52、53 電気配線パターン
58 遮光キャップ
59 穴
61 基板
63、65 電気配線パターン
66 半導体レーザ(端面発光LD)
60 90度折曲鏡
121 シリコン基板
122、124 電極
125 面入射PD
126 カバー基板
127 遮光膜
128 ミラー用金属膜
129 ワイヤ
161 面発光LD
162 屈折レンズ
221 シリコン基板
222 電極
223 端面発光LD
224 電極
225 面入射PD
226 カバー基板
227 遮光膜
228 ミラー用金属膜
229 ワイヤ
230 バイナリレンズ
231 遮光膜
232 ワイヤ
Claims (10)
- 発光素子から出射した光を外部の生体組織に向かって出射し、生体組織からの散乱光を受光素子で受光して生体組織内の血流に関する値を測定する光学センサにおけるセンサ部であって、
前記発光素子と前記受光素子の各々を同一平面基板表面に形成した配線パターン上に配置し、前記発光素子と前記受光素子の各々を配線パターンと電気的に接続し、前記受光素子に不要散乱光を遮ることができる不透明材料で製作された遮光構造を配置することを特徴とするセンサ部。 - 前記基板は非導電性材料で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ部。
- 前記基板は非導電性材料が表面に形成された半導体基板であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ部。
- 前記遮光構造は枠であることを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載のセンサ部。
- 前記遮光構造は上面に穴が開いているキャップ形状であることを特徴とする請求項1ないし3のうちいずれか1項に記載のセンサ部。
- 前記発光素子として面発光半導体レーザを用いることを特徴とする請求項1ないし5のうちいずれか1項に記載のセンサ部。
- 前記受光素子として面入射フォトダイオードを用いることを特徴とする請求項1ないし6のうちいずれか1項に記載のセンサ部。
- 前記発光素子として端面発光半導体レーザを用いることを特徴とする請求項1ないし5のうちいずれか1項に記載のセンサ部。
- 前記センサ部は前記端面発光半導体レーザから出射された光の進行方向を変えるための光折り曲げ鏡を備え、
当該光折り曲げ鏡は三角形プリズム、台形プリズム、又は五角形プリズムを用いて形成されていることを特徴とする請求項8に記載のセンサ部。 - 請求項1ないし9のうちいずれか1項に記載のセンサ部と、前記発光素子を駆動する回路と、前記センサ部から受信した信号を処理して前記血流に関する値を計算するデジタル信号プロセッサとを備えた集積回路とを有することを特徴とする光学センサ。
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