JP2007157821A - プローバ、及び、プローバのウェハステージ加熱、又は、冷却方法 - Google Patents
プローバ、及び、プローバのウェハステージ加熱、又は、冷却方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ウェハW固定用のウェハステージ18に接続されるバキューム機構47を、ウェハWを外して、プローバ10内の空気を吸引し、外部に放出することで加熱又は冷却する。これにより、特殊な冷却手段を有しないプローバ10であっても強制冷却を行うことを可能とし、冷却時間を短縮する。さらに、この方法は、冷却ユニット44を有するプローバに10に対して行うことでも、冷却時間を短縮する。
【選択図】図2
Description
18 ウェハステージ
19 プローブ位置検出カメラ
22 ヘッドステージ
23 ウェハアライメントカメラ
25 プローブカード
41 冷却管
42 ヒータ
43 電源
44 冷却ユニット
45 温度センサ
46 温度制御部
47 バキューム機構
48 吸引溝
49 バキュームライン
51 空気供給管
52 外部高温又は低温熱源
53 空気供給源
Claims (9)
- ウェハ上に形成された半導体装置の動作を、該半導体装置の電極パッドにプローブを接触させて異なる検査温度で電気的に検査するプローバであって、前記ウェハを固定するためのウェハステージを加熱、又は、冷却する方法において、
前記ウェハを前記ウェハステージに固定するためのバキューム機構により、ウェハステージ上の空気を吸引することでウェハステージを加熱、又は、冷却する方法。 - 前記ウェハステージ上に前記プローバの外部から空気を供給する請求項1に記載の方法。
- 前記供給空気は、外部の高温、又は、低温熱源により、加熱、又は、冷却した空気である請求項2に記載の方法。
- 前記プローバは、加熱機構、及び/又は、冷却機構を備え、該加熱機構、又は、該冷却機構により、さらに、前記ウェハステージを加熱又は冷却する請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- ウェハ上に形成された半導体装置の動作を、該半導体装置の電極パッドにプローブを接触させて異なる検査温度で電気的に検査するプローバにおいて、
前記ウェハを固定するウェハステージ固定用の溝から空気を吸引するバキューム機構と、
前記バキューム機構により前記ウェハステージ上の空気を吸引することで、該ウェハステージを加熱、又は、冷却する温度制御部と、を備えるプローバ。 - 前記ウェハステージ上に前記プローバの外部から空気を供給する空気供給管を備える請求項5に記載の装置。
- 前記供給空気は、外部の高温、又は、低温熱源により、加熱、又は、冷却した空気である請求項6に記載のプローバ。
- 前記プローバは、さらに、前記ウェハステージを加熱、又は、冷却するために、加熱機構、及び/又は、冷媒機構を備える請求項5〜7のいずれか1項に記載のプローバ。
- ウェハ上に形成された半導体装置の動作を、該半導体装置の電極パッドにプローブを接触させて異なる検査温度で電気的に検査するプローバに、前記ウェハを固定するウェハステージを加熱、又は、冷却するために、コンピュータに、
前記ウェハを前記ウェハステージに固定するためのバキューム機構により、ウェハステージ上の空気を吸引することでウェハステージを加熱、又は、冷却する手順を実行させるプログラム。
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