JP2020025018A - プローブ装置、プローブの検査方法、及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
プローブテストは、例えば多数のプローブが設けられたプローブカードを用いて行われ、プローブカードに対して被検査基板を押し当て、検査対象のICの電極パッドをプローブと接触させ、検査用の電気信号を入出力することにより行われる。
例えば特許文献1には、単官能(メタ)アクリレートにプローブを接触させて針跡を転写させる技術が記載されている。
この点、引用文献1には、(メタ)アクリレート樹脂にプローブを接触させて得られた針跡の画像などの記載はなく、転写に好適な材料を採用した技術であるかは不明である。
前記被検査基板に替えて前記プローブを接触させることにより、当該プローブの針跡を転写するための針跡転写部材が設けられた転写台と、
前記針跡転写部材をプローブに接触させる接触位置と、この接触位置から離間した離間位置との間で、前記転写台またはプローブカードの少なくとも一方側の配置位置を移動させる移動機構と、を備え、
前記針跡転写部材は、ポリイミド樹脂を含むことを特徴とする。
図1に示すように、プローブ装置は、装置本体を構成する筐体1を備えている。この筐体1の底部の基台11上には、Y方向(図1と交差する方向)に伸びるYレール211に沿って移動自在に構成されたYステージ21と、X方向(図1に向かって左右方向)に伸びるXレール221に沿って移動自在に構成されたXステージ22と、が下段側からこの順番で設けられている。
上述のYステージ21、Xステージ22、Z移動部23は、ウエハの移動機構を構成し、ウエハチャック2をX、Y、Z、θの各方向に移動させることができる。
プローブカード3はPCB(Printed circuit board)として構成され、その上面側には、不図示の電極群が形成されている。また、ヘッドプレート12の上方に配置されたテストヘッド4とプローブカード3との間には、テストヘッド4側の端子と既述の電極群との間の電気的導通を取るための中間リング41が介設されている。
またテストヘッド4は、筐体1の横に設けられた図示しないヒンジ機構により、水平な回転軸の回りを回転自在に構成されている。この構成により、テストヘッド4は、中間リング41を水平に保持して各ポゴピン411をプローブカード3の電極群に接触させた状態とする測定位置(図1)と、プローブカード3から中間リング41を離し、その底面を上向きにした状態で保持する退避位置(不図示)との間を回転移動することができる。
以下、図2〜4も参照しながら転写機構5の構成について説明する。
転写台52との接触面を加熱面とし、転写台52上に載置された針跡転写シート51を予め設定された温度まで加熱する場合には転写台52は加熱部として機能する。また、転写台52との接触面を冷却面とし、転写台52上に載置された針跡転写シート51を予め設定された温度まで冷却する場合には転写台52は冷却部として機能する。
針跡転写シート51の加熱温度や冷却温度については、針跡転写シート51を構成する材料の説明と併せて後述する。
転写台52は、ウエハチャック2に載置されたウエハの上面と、針跡転写シート51の上面とが同じ高さとなる高さ位置にて針跡転写シート51を保持する。
好適には、ICの電気的特性の測定を行う際のウエハの温度をTS[℃]としたとき、損失正接(以下、「tanδ」とも記す)の温度特性のピーク(極大)が位置するピーク温度TPがTS±10℃の範囲内に位置するものを選択することが好ましい。
tanδ=E’’/E’ …(1)
従ってこのポリイミド樹脂は、温度の低い領域では固く(貯蔵弾性率E’が高く)、プローブ31の接触による針跡は転写しにくいものの、一旦、針跡が形成された後は、圧痕が形成された状態を維持することができる。一方、温度が高い領域では、ポリイミド樹脂は柔らかく(貯蔵弾性率E’が低く)、プローブ31の接触によって針跡が付きやすいものの、針跡が形成されたとしても短時間で消滅しやすい。
このような特性を有するポリイミド樹脂について、発明者らは既述のtanδの値に着目して温度制御を行い、針跡の転写、維持を行う手法を考案した。
そこで、tanδのピーク温度TPが、ICの電気的特性の測定を行う際のウエハの温度TSの±10℃の範囲内に入るポリイミド樹脂を採用することにより、プローブ31の使用時とほぼ同じ温度条件下で針跡を転写し、この針跡を維持することができる。
一方で、ICの電気的特性の測定は、零下から100℃以上までの幅広い温度範囲の中から選択された温度条件下で行われる可能性がある。このため、例えば15〜35℃の室温付近で電気的特性の測定を行う場合などには、プローブ31の使用時と針跡転写時との間の温度条件が大きく異なってしまい、プローブ31が熱膨張することなどにより、その位置を正確に把握することが困難となってしまう場合がある。
図4は、図3に示したものと同様のポリイミド樹脂について、可塑剤(本例ではホスファゼン誘導体)の添加量を0、10、20、30wt%と変化させた場合の貯蔵弾性率E’及びtanδの温度特性を示している。
図3は、図4における可塑剤の添加量が20wt%のポリイミド樹脂についての特性を示している。
可塑剤無添加時のtanδのピーク温度や、可塑剤の最大添加可能量によっても変化するが、ポリイミド樹脂は、ICの電気的特性の測定を行う際のウエハの温度TSが15〜35℃の範囲内にあるプローブ31の針跡の転写に好適な材料であるといえる。
転写台52に設けられているペルチェ素子521は、転写台52に載置された針跡転写シート51の温度が上記転写温度tとなるように加熱を行い、針跡を転写した後の針跡転写シート51の温度が上記維持温度t’となるように冷却を行う。
例えば撮像部6は、CCD(Charge-Coupled Device)カメラ61と、当該CCDカメラ61の本体部62と、筐体1内の対向する内壁面に沿って、横方向に並行に伸びるように配置された2本の走行レール63と、これら2本の走行レール63の間に架け渡された状態でCCDカメラ61を支持し、走行レール63を走行する不図示のスライダーに接続された支持棒64と、を備えている。
CCDカメラ61を撮像位置まで進入させ、当該CCDカメラ61の下方側に針跡転写シート51を位置させることにより、針跡転写シート51に転写された針跡の撮像が行われる。また、前記撮像位置にあるCCDカメラ61の下方側にウエハを位置させることにより、ICの電極パッドの撮像が行われる。
なお、テストヘッド4に設けられた既述のデータ記憶部や判定部も制御部7の一部を構成している。
初めに、移動機構(Yステージ21、Xステージ22)を用いて、プローブ31の下側に検出機構を移動させる。しかる後、伸縮軸231により不図示のプローブ検出機構を上昇させ、プローブ31の高さ位置を検出する。
転写温度tと維持温度t’との温度差を例えば10℃以内程度に抑えることにより、迅速な温度調整が可能となり、針跡転写シート51の表面に鮮明な針跡が転写された状態を維持することができる。なお、針跡転写シート51の冷却は、針跡転写シート51の降下を開始するまえから始めてもよい。
一方、プローブ31の欠損・損傷や位置ずれなどがある場合には、モニター画面にアラーム情報を出力するなどして、オペレータにこれらの事象の発生を知らせる。
一方、撮像を終えた後の針跡転写シート51については、転写温度よりも十分に高い温度、例えば70℃まで加熱することにより針跡転写シート51に転写されている針跡を消去する。しかる後、ペルチェ素子521、ファン53を用いて針跡転写シート51を例えば室温まで冷却した状態で待機する。
こうしてウエハ上の全てのICについて検査が終了すると、ウエハチャック2を初期位置に移動させ、外部の搬送アームにより検査後のウエハが搬出される一方で、次のウエハがウエハチャック2上に載置される。針跡転写シート51を用いたプローブ31の検査は、ウエハの搬入前毎に行ってもよいし、予め設定された枚数のウエハの検査実施毎に行ってもよい。
さらには、本例のプローブ装置を用いて電気的特性の測定を行うICは、ウエハ上に形成されたものに限定されず、ウエハから切り離してパッケージした後、専用の被検査基板に乗せたものであってもよいことは勿論である。
ポリイミド樹脂製の針跡転写シート51と、エポキシ樹脂製の針跡転写シート51とをプローブ31に接触させ、針跡の転写の相違を調べた。
A.実験条件
(実施例1)図3に示す特性を有するポリイミド樹脂(荒川化学工業株式会社製、PIAD(商品名))製の針跡転写シート51を用い、25℃の温度に調整した状態でカンチレバー型のプローブ31を接触させ、得られた針跡を撮像した。プローブ31の針先径は15μm、O.D.(オーバードライブ)量を10、20、30μmの3種類で実施した。なお、オーバードライブ量とは、プローブ先端がシートに触れた位置からシートへの突き上げ量を指す。
(実施例2)先端部の平面形状が四角形の垂直針からなるプローブ31を接触させた点を除いて実施例1と同様の実験を行った。プローブ31の針先径は5μm、O.D.量を20、30、40、50μmの4種類で実施した。
(実施例3)4つの先端部を持つクラウン形状のポゴピンからなるプローブ31を接触させた点を除いて実施例1と同様の実験を行った。プローブ31の針先径は80μm、O.D.量は40μmである。
(実施例4)ピン本体の途中に湾曲部を設けたコブラピンからなるプローブ31を接触させた点を除いて実施例1と同様の実験を行った。プローブ31の針先径は80μm、O.D.量は80μmである。
(比較例2)実施例2と同様のプローブ31(但し、O.D.量はは50、60、70μmの3条件)を用いた点を除いて、比較例1と同様の実験を行った。
(比較例3)実施例3と同様のプローブ31を用いた点を除いて、比較例1と同様の実験を行った。
(比較例4)実施例4と同様のプローブ31を用いた点を除いて、比較例1と同様の実験を行った。
実施例1、比較例1の撮像結果を図8(a)、(b)に示し、実施例2、比較例2の撮像結果を図9(a)、(b)に示す。また、実施例3、比較例3の撮像結果を図10(a)、(b)に示し、実施例4の撮像結果を図11に示す。
以上の実施例1〜4、比較例1〜4に係る針跡転写シート51への針跡の転写結果によれば、ポリイミド樹脂製の針跡転写シート51を用いてプローブ31の針跡を転写する手法は、画像データを用いたプローブ31の検査に好適な技術であるといえる。
21 Yステージ
3 プローブカード
31 プローブ
5 転写機構
51 針跡転写シート
52 転写台
521 ペルチェ素子
6 撮像部
61 CCDカメラ
7 制御部
Claims (18)
- 載置台上に載置された被検査基板に対し、プローブカードに設けられたプローブを接触させて電気的測定を行うプローブ装置において、
前記被検査基板に替えて前記プローブを接触させることにより、当該プローブの針跡を転写するための針跡転写部材が設けられた転写台と、
前記針跡転写部材をプローブに接触させる接触位置と、この接触位置から離間した離間位置との間で、前記転写台またはプローブカードの少なくとも一方側の配置位置を移動させる移動機構と、を備え、
前記針跡転写部材は、ポリイミド樹脂を含むことを特徴とするプローブ装置。 - 前記針跡転写部材に含まれるポリイミド樹脂は熱可塑性を有し、前記転写台は、前記プローブとの接触に伴ってポリイミド樹脂が変形することが可能な温度まで前記針跡転写部材を加熱する加熱部を備えることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 前記加熱部は、前記ポリイミド樹脂の損失正接(tanδ)がピークとなるピーク温度TPに対し、前記針跡転写部材の温度tがTP<t≦TP+5℃の範囲内の温度となるように当該針跡転写部材を加熱することを特徴とする請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記転写台は、前記プローブを接触させた後の針跡転写部材に針跡が転写された状態を維持することが可能な温度まで当該針跡転写部材を冷却する冷却部を備えることを特徴とする請求項2または3に記載のプローブ装置。
- 前記冷却部は、前記ポリイミド樹脂の損失正接(tanδ)がピークとなるピーク温度TPに対し、前記針跡転写部材の温度t’がTP−5℃≦t’<TPの範囲内の温度となるように当該針跡転写部材を冷却することを特徴とする請求項4に記載のプローブ装置。
- 前記ポリイミド樹脂は、前記プローブを用いて電気的測定を行う際の被検査基板の温度TSに対し、前記ポリイミド樹脂の損失正接(tanδ)がピークとなるピーク温度TPがTS±10℃の範囲内のものであることを特徴とする請求項2ないし5のいずれか一つに記載のプローブ装置。
- 前記被検査基板の温度TSが15〜35℃の範囲内の温度であることを特徴とする請求項6に記載のプローブ装置。
- 前記ポリイミド樹脂は、可塑剤を添加することにより、前記ピーク温度TPがTS±10℃の範囲内に調整されたものであることを特徴とする請求項6または7に記載のプローブ装置。
- 前記針跡転写部材に転写された針跡を撮像し、前記プローブの位置を検出するための撮像部を備えたことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載のプローブ装置。
- 被検査基板に対し、プローブカードに設けられたプローブを接触させて電気的測定を行うプローブ装置のプローブの検査方法において、
ポリイミド樹脂を含む針跡転写部材に前記プローブを接触させることにより、当該プローブの針跡を転写する工程を含むことを特徴とするプローブの検査方法。 - 前記針跡転写部材に含まれるポリイミド樹脂は熱可塑性を有し、前記針跡を転写する工程の前に、前記プローブとの接触に伴ってポリイミド樹脂が変形することが可能な温度まで前記針跡転写部材を加熱する工程を含むことを特徴とする請求項10に記載のプローブの検査方法。
- 前記前記針跡転写部材を加熱する工程では、前記ポリイミド樹脂の損失正接(tanδ)がピークとなるピーク温度TPに対し、前記針跡転写部材の温度tがTP<t≦TP+5℃の範囲内の温度となるように当該針跡転写部材を加熱することを特徴とする請求項11に記載のプローブの検査方法。
- 前記針跡を転写する工程の後に、前記針跡転写部材に針跡が転写された状態を維持することが可能な温度まで当該針跡転写部材を冷却する工程を含むことを特徴とする請求項11または12に記載のプローブの検査方法。
- 針跡転写部材を冷却する工程では、前記ポリイミド樹脂の損失正接(tanδ)がピークとなるピーク温度TPに対し、前記針跡転写部材の温度tがTP−5℃≦t<TPの範囲内の温度となるように当該針跡転写部材を冷却することを特徴とする請求項13に記載のプローブの検査方法。
- 前記ポリイミド樹脂は、前記プローブを用いて電気的測定を行う際の被検査基板の温度TSに対し、損失正接(tanδ)がピークとなるピーク温度TPがTS±10℃の範囲内のものを用いることを特徴とする請求項11ないし14のいずれか一つに記載のプローブの検査方法。
- 前記ポリイミド樹脂は、可塑剤を添加することにより、前記ピーク温度TPがTS±10℃の範囲内に調整されたものを用いることを特徴とする請求項15に記載のプローブの検査方法。
- 前記針跡転写部材に転写された針跡を撮像し、前記プローブの位置を検出する工程を含むことを特徴とする請求項10ないし16のいずれか一つに記載のプローブの検査方法。
- 載置台上に載置された被検査基板に対し、プローブカードに設けられたプローブを接触させて電気的測定を行うプローブ装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、前記プローブ装置にて請求項10ないし17のいずれか一つに記載のプローブの検査方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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