JP2007149263A - 光情報記録再生装置及びそれに用いる素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の変調素子を有し光源から出射された光束の少なくとも一部を空間的に変調し情報光とするための空間光変調素子と、記録媒体から取り出された情報光を読み取る受光素子とを同一基板上に一体的に形成する。空間光変調素子は、例えば、光源からの光を反射する反射電極57と、反射電極57より光源側に空間を介して配置され、光源からの光に対して半透過性を示す半透過膜58とを有し、反射電極57と半透過膜58との間隔を制御することによって光源からの光の反射率が変化する反射型光干渉変調素子である。反射電極57としても一部の光を透過するものを使用し、反射電極57の下方に受光素子としてのフォトダイオード52を配置する。
【選択図】図5
Description
まず、上記光学系を用いて、ディスク状の記録媒体216に対して記録を行う場合について説明する。
次に、上記光学系を用いて、記録媒体216に記録されている情報の再生を行う場合について説明する。第1の光源201から出射された光束は、記録時と同様にSLM204を照明する。再生時は、SLM204の参照光205を変調する部分のみが「1」の情報を表示し、情報光206を変調する部分はすべて「0」の情報を表示する。したがって、参照光205の部分の画素で反射された光だけが、記録媒体216の方向へ反射され、情報光206は記録媒体216の方向へ反射されない。
堀米 秀嘉ほか、「離陸間近のホログラフィック媒体 2006年に200Gバイトを実現」、日経エレクトロニクス第891号、第105〜114頁、2005年1月17日
まず、本発明の第1の実施形態の光情報記録再生装置について説明する。この光情報記録再生装置は、コリニア方式のホログラフィックメモリシステムとして構成されたものであり、空間光変調素子と、再生光を検出するためのCMOSイメージセンサなどの受光素子とを同一の半導体チップ上に形成したものである。図1〜図3は、本実施形態の光情報記録再生装置の光学系を説明する図である。図1は、記録時における光源から空間光変調素子までの光学系を示し、図2は、記録時における空間光変調素子からホログラムディスク(記録媒体)までの光学系を示し、図3は、再生時の光学系を示している。
QWP105を透過した光束は、円偏光(例えば、右回りの円偏光)に変換され、第1のリレーレンズ106及び第2のリレーレンズ107を経由し、変調/受光素子108を照明する。変調/受光素子108のSLMで「1(白)」の情報を表わす画素によって反射された光は、高い反射率で記録媒体118の方向へ反射され、SLMの「0(黒)」の情報を表わす画素で反射された光は、干渉により記録媒体118の方向へはわずかしか反射されない。従来例と同様に、コリニア方式のSLMには、情報光110を変調する部分とそれを環状に取り巻く参照光109を変調する部分が設けられている。
一方、変調/受光素子108としてLCOS/COMSが用いられる場合、PBS104を通過した光束は、第1のリレーレンズ106及び第2のリレーレンズB107を経由し、変調/受光素子108を照明する。SLM上で「1(白)」の情報を表わす画素で反射された光はS偏光に変換され、「0(黒)」の情報を表わす画素で反射された光はP偏光の状態を保持する。従来例と同様に、コリニア方式のSLM上には、情報光110を変調する部分とそれを環状に取り巻く参照光109を変調する部分が設けられている。
上述した第1の実施形態では、シリコン半導体基板の表面において空間光変調素子(SLM)と受光素子(CMOSセンサ)とを縦方向に積層していたが、本発明はこれに限定されるものではない。変調/受光素子108において、画素ごとに、空間光変調素子と受光素子とを横置きに配置してもよい。図8は、このようにSLMと受光素子とが横置きに配置された変調/受光素子108を示している。
本発明において、空間光変調素子として用いられるものは、上述した反射型光干渉変調素子に限られるものではない。図10に示すものは、空間光変調素子として反射型液晶素子(LCOS)を用い、変調/受光素子において反射型液晶素子とCMOS(センサ)とを縦方向に配列したものである。
反射型光干渉変調素子の場合と同様に、空間光変調素子として反射型液晶素子(LCOS)を用いる場合においても、画素ごとの空間光変調素子と受光素子とをシリコン基板上において横置きの配置とすることができる。図11は、そのような横置きの配置とした変調/受光素子を示している。
上述した第2及び第4の実施形態では、変調/受光素子において、画素ごとに空間光変調素子(SLM)と受光素子(CMOS)とをシリコン基板上において横置きの配置としている。以下、空間光変調素子と受光素子との平面配置関係の例について説明する。
2 駆動線(走査線)
3 スイッチングトランジスタ
4 干渉構造部
5 保持容量
6 共通対向電極
7,30 垂直シフトレジスタ
8,31 水平シフトレジスタ
9,32 サンプリングスイッチ
10,33 水平信号線
21,52 フォトダイオード
22 転送スイッチ
23 リセットスイッチ
24 増幅トランジスタ
25 選択スイッチ
27 水平読出し線
28 水平リセット線
29 水平選択線
51 Si基板
52 フォトダイオード
53,63 ゲート電極
54,55 配線
56 遮光膜
57 反射電極
58 半透過膜
59 保護膜
60 層間絶縁膜
61 絶縁膜
62 空間
64 SLM素子領域
65 CMOSセンサ領域
66 画素電極
67 配向膜
68 液晶
69 ITO膜
70 ガラス板
101,201 第1の光源(緑色レーザ)
102,202 コリメータ
103 マスク素子
104,207 偏光ビームスプリッタ(PBS)
105,212 1/4波長板(QWP)
106,107,111,113,208,210 リレーレンズ
108 変調/受光素子
109,205 参照光
110,206 情報光
112,115,122,203,209,213,223 ミラー
114,211 ダイクロイックビームスプリッタ(DBS)
116,214 対物レンズ
117,215 スピンドルモータ
118,216 記録媒体
119,220 第2の光源(赤色レーザ)
120,221 ビームスプリッタ(BS)
121,218,222 レンズ
123,224 光検出器
204 空間光変調素子(SLM)
217 開口
219 受光素子
Claims (16)
- 情報光と参照光との干渉によって生じる干渉縞を記録媒体に形成することにより情報を前記記録媒体に記録するともに、干渉縞が形成された記録媒体に前記参照光を照射して情報の再生を行う光情報記録再生装置において、
複数の変調素子を有し、前記光源から出射された光束の少なくとも一部を空間的に変調し前記情報光とするための空間光変調素子と、
前記参照光と前記情報光を前記記録媒体の所定の深さで干渉させるための光学系と、
前記光源から前記参照光を前記記録媒体の所定の深さに当てて、前記干渉縞から前記情報光を再生して再生された情報光を取り出す光学系と、
受光素子と、
前記取り出された情報光を前記受光素子へ導入する光学系と、
を有し、前記空間光変調素子と前記受光素子とが同一基板上に一体的に形成されていることを特徴とする光情報記録再生装置。 - 前記空間光変調素子が前記光源側に配置されるように前記空間光変調素子と前記受光素子が積層され、前記空間光変調素子における画素ピッチと前記受光素子における画素ピッチとが一致して前記空間光変調素子における画素と前記受光素子における対応する画素とが前記光源から入射する光の光軸に沿って配置され、前記空間光変調素子に入射した光の少なくとも一部が前記受光素子に向けて透過することを特徴とする、請求項1に記載の光情報記録再生装置。
- 前記空間光変調素子は、各画素において前記受光素子に対して一定の透過率を有するように変調の設定が可能である特徴とする請求項2に記載の光情報記録再生装置。
- 前記空間光変調素子と前記受光素子は、前記空間光変調素子における画素と前記受光素子における対応する画素とが、前記光源から入射する光の光軸に沿って重ならないように、相互に隣接して配置していることを特徴とする、請求項1に記載の光情報記録再生装置。
- 前記各変調素子は、変調信号に応じて反射光の強度が変化する素子であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光情報記録再生装置。
- 前記各変調素子は、前記光源からの光を反射する反射電極と、前記反射電極より前記光源側に空間を介して配置され、前記光源からの光に対して半透過性を示す半透過膜とを有し、前記反射電極と前記半透過膜との間隔を制御することによって前記光源からの光の反射率が変化する素子であることを特徴とする、請求項5に記載の光情報記録再生装置。
- 前記各変調素子は、反射型液晶素子であることを特徴とする請求項5に記載の光情報記録再生装置。
- 前記基板はシリコン半導体基板であることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光情報記録再生装置。
- 光源からの光を変調するとともに外部から入射する光を受光する素子において、
複数の変調素子を有し、前記光源から出射された光束の少なくとも一部を空間的に変調し前記情報光とするための空間光変調素子と、
前記外部から入射する光を受光する受光素子と、
を有し、前記空間光変調素子と前記受光素子とが同一基板上に一体的に形成されていることを特徴とする素子。 - 前記空間光変調素子が前記光源側に配置されるように前記空間光変調素子と前記受光素子が積層され、前記空間光変調素子における画素ピッチと前記受光素子における画素ピッチとが一致して前記空間光変調素子における画素と前記受光素子における対応する画素とが前記光源から入射する光の光軸に沿って配置され、前記空間光変調素子に入射した光の少なくとも一部が前記受光素子に向けて透過することを特徴とする、請求項9に記載の素子。
- 前記空間光変調素子は、各画素において前記受光素子に対して一定の透過率を有するように変調の設定が可能である特徴とする請求項10に記載の素子。
- 前記空間光変調素子と前記受光素子は、前記空間光変調素子における画素と前記受光素子における対応する画素とが、前記光源から入射する光の光軸に沿って重ならないように、相互に隣接して配置していることを特徴とする、請求項9に記載の素子。
- 前記各変調素子は、変調信号に応じて反射光の強度が変化する素子であることを特徴とする、請求項9乃至12のいずれか1項に記載の素子。
- 前記各変調素子は、前記光源からの光を反射する反射電極と、前記反射電極より前記光源側に空間を介して配置され、前記光源からの光に対して半透過性を示す半透過膜とを有し、前記反射電極と前記半透過膜との間隔を制御することによって前記光源からの光の反射率が変化する素子であることを特徴とする、請求項13に記載の素子。
- 前記各変調素子は、反射型液晶素子であることを特徴とする請求項13に記載の素子。
- 前記基板はシリコン半導体基板であることを特徴とする、請求項9乃至15のいずれか1項に記載の素子。
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