JP2007144450A - リフローはんだ付け用治具 - Google Patents

Abstract

【課題】部品や治具の損傷の回避を可能にしつつ、はんだ付け完了後における部品の位置精度の向上を図ることができる技術を提案する。
【解決手段】放熱板１に対して規定の位置に設置され、前記放熱板１に対しはんだ付けされる部品２・２・・・を位置決めするための位置決め開口部３・３・・・が設けられるリフローはんだ付け用治具１０であって、前記位置決め開口部３・３・・・周囲には、前記部品２・２・・・の端面（外側端面２ａ・２ａ）に接触するとともに、前記部品２・２・・・から受ける荷重によって弾性変形する弾性変形部４・４・・・が設けられる構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、アルミ等の放熱板に半導体装置等の部品をリフローはんだ付けするときに用いる治具に関する。

従来、アルミ等の放熱板に半導体装置等の部品をリフローはんだ付けするときに用いる治具に関する技術は周知となっており、この治具について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。

特許文献１に開示される技術では、放熱板を一定の位置に位置決めする第１治具と、部品を前記放熱板の一定の位置に位置決めする枠状の第２治具とを具備し、前記第２治具を移動可能に構成することとしている。
この構成で、加熱工程後の冷却工程において、前記放熱板が、その板幅・板厚方向に収縮したり、さらには、撓んだりしたときにも、前記第２治具の移動によって部品の第１治具（隔壁）に対するくい込みを防止し、前記部品や、前記治具の損傷が防止できるようになっている。
特開２００２−３６１４１０号公報

しかし、特許文献１の構成では、前記第２治具は、その自由な移動が許容されるため、前記部品の自由な移動も許容されてしまう。
このため、冷却時に放熱板が、その板幅・板厚方向に収縮したり、さらには、撓んだりした際に、部品が回転する等して、冷却完了時において、部品が規定の位置・角度で設置されないといった不具合が生じることになる。
このように、特許文献１では、部品や治具の損傷を回避できるが、部品の位置精度を高くする要求には応えられない。
また、第２治具の形状は、第１治具の形状や、部品の形状に対応させる必要があるため、この第２治具の形状の設計には制約があった。

そこで、本発明は、部品や治具の損傷の回避を可能にしつつ、はんだ付け完了後における部品の位置精度の向上を図ることができる技術を提案するものである。

本発明の解決しようとする課題は以上のごとくであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、請求項１に記載のごとく、
放熱板に対して規定の位置に設置され、
前記放熱板に対しはんだ付けされる部品を位置決めするための位置決め開口部が設けられる、リフローはんだ付け用治具であって、
前記位置決め開口部周囲には、
前記部品から受ける荷重によって弾性変形する弾性変形部が設けられる、
構成とするものである。

また、請求項２に記載のごとく、
前記弾性変形部は、
前記位置決め開口部の周囲に、前記リフローはんだ付け用治具の厚み方向に貫通して設けられる貫通穴と、
前記部品と、
の間に形成される部位で構成される、
こととするものである。

また、請求項３に記載のごとく、
前記弾性変形部は、
前記リフローはんだ付け用治具とは別体で、
前記リフローはんだ付け用治具に設けた支持部にて支持されるバネ部材で構成される、
こととするものである。

また、請求項４に記載のごとく、
前記弾性変形部は、はんだ付け後の冷却工程においても、弾性変形を呈するものとする。

また、請求項５に記載のごとく、
前記弾性変形部において、前記部品の端面に対して接触する突起部を、複数設けた構成ととする。

また、請求項６に記載のごとく、
前記弾性変形部は、環状の板バネで構成され、
その板バネの内周部が、
前記リフローはんだ付け用治具から上方に突設されるピン形状の支持部により、
それぞれ上下摺動自在に嵌装支持される、構成とするものである。

また、請求項７に記載のごとく、
隣り合う前記二つの板バネにて、一つの前記支持部が共用される構成とするものである。

また、請求項８に記載のごとく、
前記リフローはんだ付け用治具の線膨張率は、
前記放熱板の線膨張率と略同一とするものである。

以上の請求項１に記載の発明では、
加熱工程後の冷却工程において、放熱板が収縮し、部品が移動した場合でも、リフローはんだ付け用治具が部品から受ける荷重が前記弾性変形部の弾性変形によって吸収され、前記部品が位置決め開口部の端面にくい込むことが防止され、これにより、部品や治具の損傷を回避することができる。
また、弾性変形部の弾性係数の設計により、部品の移動を許容する範囲を設定することが可能であり、冷却後における部品の位置精度の向上を図ることができる。

また、請求項２に記載の発明では、
前記貫通穴と、前記部品の間に形成される部位を、板バネとして機能させることができる。

また、請求項３に記載の発明では、
バネ部材が損傷や劣化などして、その交換が必要となった場合には、当該バネ部材を交換することで対応することができ、メンテナンス性に優れた構成とすることができる。

また、請求項４に記載の発明では、
部品から弾性変形部に作用する荷重を弾性変形によって吸収し、弾性変形部、及び、部品の損傷を防止することができる。

また、請求項５に記載の発明では、
部品の端面が複数箇所で支持されることになり、部品の回転（角度変更）をより確実に規制することができる。

また、請求項６に記載の発明では、
板バネは、上方に引き抜くことによって、支持部から取り外すことができ、また、取付においては、上方から板バネを差し込むことで取付可能であることから、メンテナンス性に優れたものとすることができる。

また、請求項７に記載の発明では、二つの板バネで構成される全長を短く構成することができ、省スペース化を図ることができる。

また、請求項８に記載の発明では、
部品がバネ部材に与える荷重は僅かなものとなり、バネ部材を長期間使用することができる、即ち、バネ部材の寿命を長いものとすることができる。

本発明の実施形態について、以下の実施例により説明する。

図１は、実施例１のリフローはんだ付け用治具を放熱板に設置した状態について示す平面図、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図、図３は、リフローはんだ付けの一連の工程について説明する図、図４は、冷却時において放熱板の変形に伴い部品が移動する状況について説明する図である。

図１及び図２に示すごとく、本発明に係るリフローはんだ付け用治具（以下、単に「治具１０」とする）は、放熱板１に対して規定の位置に設置され、前記放熱板１に対してはんだ付けされる部品２・２・・・を位置決めするための位置決め開口部３が設けられるものであり、前記位置決め開口部３周囲には、前記部品２・２・・・の端面（外側端面２ａ・２ａ）に接触するとともに、前記部品２・２・・・から受ける荷重によって弾性変形する弾性変形部４・４・・・が設けられる構成としている。
また、前記位置決め開口部３は、治具１０に開口され、前記部品２・２・・・を収容する開口部とする。

以上の構成により、図４に示すごとく、加熱工程後の冷却工程において、放熱板１が収縮し、部品２が移動した場合でも、治具１０が部品２から受ける荷重Ｎが前記弾性変形部４の弾性変形によって吸収され、部品２が位置決め開口部３の端面にくい込むことが防止され、これにより、部品や治具の損傷を回避することができる。
また、弾性変形部４の弾性係数の設計により、部品２・２・・・の移動を許容する範囲を設定することが可能であり、冷却後における部品２・２・・・の位置精度の向上を図ることができる。

以下、詳細について説明する。
図１及び図２に示すごとく、前記放熱板１は、熱伝導性が良いアルミや銅等で形成される一枚の板状部材である。この放熱板１は、土台治具５の上に設置されている。また、この放熱板１は、冷却回路が内装される等して冷却されるようになっている。

また、図１及び図２に示すごとく、前記放熱板１の上には、前記治具１０が規定の位置に設置される。この治具１０は、はんだ付け温度（例えば、略２５０℃）まで加熱し、その後冷却したときでも、所定の応力範囲において弾性変形を呈する一枚の板状部材であり、例えば、ＳＵＳ６３１といったステンレス鋼で構成される。つまり、この治具１０は、はんだ付け温度まで加熱しても、なまされずに、バネ性（弾性変形する性質）を失なわない材質で構成される。

また、図１及び図２に示すごとく、前記治具１０には、上下方向（図２における紙面上下方向）に貫通する位置決め開口部３・３・・・が設けられている。図１に示すごとく、本実施例においては、合計六箇所に位置決め開口部３・３・・・が形成されている。
これらの位置決め開口部３・３・・・に、部品２・２・・・が配置されることにより、これら部品２・２・・・が放熱板１に対し、規定の位置に配置される、即ち、位置決めされるようになっている。この部品２・２・・・は、半導体装置等である。

また、図１及び図２に示すごとく、前記各位置決め開口部３・３・・・には、前記部品２・２・・・の内側端面（図２における上下方向の側面）に接触するように構成される弾性変形部４・４・・・（突起部４ａ・４ａ・・・）が設けられている。
この弾性変形部４・４・・・の突起部４ａ・４ａ・・・は、前記位置決め開口部３・３・・・の内側端面から、前記部品２・２・・・の外側端面に向って突設され、前記位置決め開口部３・３・・・に部品２・２・・・を挿入した状態においては、それぞれ部品２・２・・・の外側端面との間に僅かな隙間が形成されるようになっている。また、本実施例では、各突起部４ａ・４ａ・・・は、平面視において長方形に構成される部品２の四つの外側端面の中央部に対して突設されるようになっており、これにより、位置決め開口部３の中央に部品２が位置決めされるようになっている。

また、図３（位置決め工程）に示すごとく、前記突起部４ａ・４ａにおいて、前記位置決め開口部３の上部から下部へ向うにしたがって、その開口（位置決め開口部３の開口）を狭くするテーパー部４ｂ・４ｂが設けられ、これにより、位置決め開口部３に対する部品２の位置決めを容易に行うことができる。
以上のようにして、部品２・２・・・の放熱板１に対する位置決めを高精度、かつ、容易に行なえるようになっている。

また、図１に示すごとく、前記弾性変形部４・４・・・は、前記位置決め開口部３・３・・・の周囲に、前記治具１０の厚み方向に貫通して設けられる貫通穴１１・１１・・・と、前記部品２・２・・・の間に形成される部位で構成されるものである。
本実施例では、前記貫通部１１・１１・・・は、前記位置決め開口部３・３・・・の縦辺、及び、横辺と、それぞれ略同一寸法を有するスリット形状（細い長穴形状）としており、これにより、前記各弾性変形部４・４・・・は、全体として板バネとして機能するようになっている。また、この構成により、前記貫通穴１１・１１・・・の幅Ｗ１（図４参照）や、長さの設計により、前記弾性変形部４・４・・・の弾性係数を設定することができる。

また、このように板バネとして機能される弾性変形部４・４・・・は、前記治具１０と材質を同じくするものであり、はんだ付け温度下（例えば、略２５０℃）においてもバネ性を失わず、はんだ付け後の冷却工程においても所定の応力範囲で弾性変形を呈するものであるから、後述するように、加熱工程において、放熱板１が膨張し、治具１０との間に寸法差（膨張量の差）が生じ、その後、冷却工程において、部品２・２・・・から弾性変形部４・４・・・に荷重が作用する際には、当該荷重を弾性変形によって吸収し、弾性変形部４・４・・・、及び、部品２・２・・・の損傷を防止することができる。

また、図２及び図３に示すごとく、前記放熱板１において、前記部品２・２・・・が位置決めされる位置に、はんだ箔１２・１２が載置され、このはんだ箔１２・１２の上に部品２・２・・・がＮＣ制御の自動実装機等にて実装されるようになっている。

以上の構成において、リフローはんだ付けを実施する流れについて説明する。
図３に示すごとく、まず、位置決め工程においては、治具１０を放熱板１に対して規定の位置に設置し、治具１０の位置決め開口部３・３・・・に、部品２・２・・・を設置する。
この部品２は、前記位置決め開口部３の内側端面から突設される突起部４ａ・４ａと、部品２の外側端面との間に僅かな隙間をもって設置され、放熱板１の規定の位置に対して位置決めされる。
また、この位置決め開口部３への部品２の設置の際には、前記突起部４ａ・４ａに設けたテーパー部４ｂ・４ｂによって、位置決め開口部３に対する部品２の位置決めを容易に行うことができる。これにより、自動実装機による部品２の設置を、簡易かつ高精度に実施することができる。

次に、図３に示すごとく、加熱工程において、リフロー炉内ではんだが溶解する温度（略２５０℃）まで治具１０及び部品２・２・・・をセットした放熱板１の加熱が行われる。
この加熱の際に、放熱板１の寸法は、常温時における寸法Ｌ１から、加熱時の寸法Ｌ２へと膨張する。また、同様に、治具１０の寸法は、常温時における寸法Ｌ１から、加熱時の寸法Ｌ３へと膨張する。
ここで、前記放熱板１をアルミ（Ａｌ）（線膨張率：２３ｐｐｍ／Ｋ）、前記治具１０をＳＵＳ６３１（線膨張率：１６ｐｐｍ／Ｋ）にて構成する場合、放熱板１の膨張量の方が大きいため、加熱の過程において、両者の寸法Ｌ２・Ｌ３の間に寸法差が生じるが、加熱が完了する時点では、略同一寸法となる。

次に、図３に示すごとく、リフロー炉から治具１０及び部品２・２・・・をセットした放熱板１を取り出して、放熱板１の冷却を開始する（冷却工程開始）。
この冷却工程が開始されると、はんだが凝固し始めるとともに、放熱板１、及び、治具１０の収縮が開始される。
ここで、前記放熱板１の線膨張率は、治具１０の線膨張率よりも大きいため、図４に示すごとく、放熱板１の収縮速度Ａ（単位時間あたりの収縮量）が、治具１０の収縮速度Ｂよりも速いこととなる。また、放熱板１は図示せぬ冷却回路によって直接的に冷却されるため、この点からも、前記収縮速度Ａは、前記収縮速度Ｂよりも速くなる。

そして、この収縮速度Ａ・Ｂの違いにより、図４に示すごとく、部品２は弾性変形部４側へと移動し、突起部４ａに押し当てられる。さらに、冷却が進むと、部品２は、荷重Ｎによって、前記突起部４ａを図において左方向へと押圧する。
この際、弾性変形部４は、撓み変形することで、前記荷重Ｎを吸収する。この弾性変形部４の撓み変形により、冷却工程開始時において、幅Ｗ１であった貫通穴１１は、冷却工程終了時には幅Ｗ２となるまで狭くなる。尚、この弾性変形部４の撓み変形は、前述のごとく、加熱後においても弾性変形部４がバネ性を失わない材質で構成されるため、許容されるものである。

また、この冷却工程においては、前記部品２の端面は、前記突起部４ａに接触し、該突起部４ａに支えられた状態となるため、部品２の不必要な移動や角度変更が防止されることとなり、はんだ付け完了後において、部品２を規定の位置・角度に設置することができるようになる。つまり、冷却後における部品の位置精度の向上を図ることができる。
尚、この位置精度の向上の観点から、図５に示すごとく、前記各弾性変形部４・４・・・において、前記部品２の外側端面２ａ・２ａ・・・に対して接触する突起部４ａ・４ａ・・・を、複数設けた構成とし、これにより、部品２の外側端面２ａ・２ａ・・・が複数箇所で支持されることになり、部品２の回転（角度変更）をより確実に規制することとしてもよい。また、これによれば、部品２の位置精度を向上することができる。

次に、図３に示すごとく、冷却工程が終了し（冷却工程終了）、はんだ付けが完了すると、治具１０が上方へ引き上げられ、治具１０が放熱板１から取外される（取外し工程）。
この治具１０の取外しに際しては、前記弾性変形部４に対する部品２のくい込みは発生していないため、治具１０の損傷や、部品２の損傷するといった不具合は発生しないこととなる。

本実施例２では、図６に示すごとく、実施例１における前記弾性変形部４・４・・・は、前記リフローはんだ付け用治具（治具６０）とは別体で、前記治具６０に設けた支持部６１・６１にて支持されるバネ部材（板バネ４０・４０・・・）で構成されることとしている。
このように、弾性変形部として機能するバネ部材（板バネ４０・４０・・・）を、治具６０と別体に構成することで、バネ部材が損傷や劣化などして、その交換が必要となった場合には、当該バネ部材を交換することで対応することができ、メンテナンス性に優れた構成とすることができる。

また、本実施例２では、図７に示すごとく、前記治具６０の線膨張率は、前記放熱板１の線膨張率と略同一とする。例えば、前記放熱板１をアルミ（Ａｌ）（線膨張率：２３ｐｐｍ／Ｋ）で構成する場合において、前記治具６０も、同じく、アルミ（Ａｌ）（線膨張率：２３ｐｐｍ／Ｋ）で構成するものである。

ここで、本実施例２においても、実施例１と同様、冷却工程においては、放熱板１の温度が先に下がるため、治具６０と放熱板１との間で温度差が生じ、図４に示されるように、収縮速度Ａ・Ｂに差が生じることになるが、本実施例２では、放熱板１と治具６０の線膨張率が略同一であるため、この収縮速度Ａ・Ｂの差は僅かであり、部品２がバネ部材（板バネ４０（弾性変形部４））に与える荷重Ｎは僅かなものとなる。
このことから、バネ部材（板バネ４０（弾性変形部４））に与えられる負荷（荷重Ｎ）は小さいものとなり、バネ部材を長期間使用することができる、即ち、バネ部材の寿命を長いものとすることができる。

以下、実施例２の特徴的な構成について、詳細についてさらに説明する。
図６、及び、図７に示すごとく、部品２から受ける荷重によって弾性変形する弾性変形部（バネ部材）は、細長い環状の板バネ４０・４０・・・で構成され、その板バネ４０・４０・・・の両端の内周部が、前記治具１０から上方に突設されるピン形状の支持部６１・６１により、それぞれ上下摺動自在に嵌装支持される構成となっている。

そして、以上の構成においては、図７に示すごとく、板バネ４０・４０・・・は、上方に引き抜くことによって、支持部６１・６１から取り外すことができ、また、取付においては、上方から板バネ４０・４０・・・を差し込むことで取付可能であることから、メンテナンス性に優れたものとすることができる。

また、前記板バネ４０・４０・・・の材質は、はんだ付け温度下（例えば、略２５０℃）においてもバネ性を失わず、はんだ付け後の冷却工程においても所定の応力範囲で弾性変形を呈するものであるから、冷却工程において、部品２・２・・・から板バネ４０・４０・・・に荷重Ｎ（図４参照）が作用する際には、当該荷重Ｎを弾性変形によって吸収し、板バネ４０・４０・・・（弾性変形部４・４・・・）、及び、部品２・２・・・の損傷を防止できる。この板バネ４０・４０・・・の材質には、例えば、ＳＵＳ６３１（線膨張率：１６ｐｐｍ／Ｋ）が採用される。

また、図６に示すごとく、環状の板バネ４０・４０・・・で構成することにより、一つの板バネ４０の両側に設けた突起部４０ａ・４０ａによって、隣り合う二つの部品２・２の外側端面をそれぞれ支えさせる構成とすることができ、弾性変形部の構成につき、省スペース化を図ることができる。つまり、各部品２・２・・・の外側端面に対して独立に板バネ４０・４０を設ける必要が無く、一つの板バネ４０で足りることとなるため、弾性変形部を構成する部位の省スペース化を図ることができる。
また、この省スペース化により、部品２・２・・・同士の間の幅をより狭くした構成が実現できるようになる。

また、仮に、コイルバネを用いた場合では、所望の反力を得るために、或る程度のバネ長を確保する必要があるため、前記部品２・２・・・同士の間の幅を広く確保しなければならないが、板バネ４０・４０・・・の場合では、コイルバネと比較して、前記部品２・２・・・同士の間の幅を狭く設定することが可能となる。
尚、板バネ４０・４０・・・については、環状に構成する他、平板状のバネに突起部を設けたものを、二枚用意し、前記各支持部６１・６１にて、バネ間に間隔を設けつつ平行となるように支持することで構成することとしてもよい。

また、図８に示すごとく、前記各板バネ４０において、前記部品２の外側端面２ａ・２ａ・・・に対して接触する突起部４０ａ・４０ａ・・・を、複数設けた構成とし、これにより、部品２の外側端面２ａ・２ａ・・・が複数箇所で支持されることになり、部品２の回転（角度変更）をより確実に規制することができるようになる。そして、これにより、部品２の位置精度を向上することができる。

また、図９（ａ）に示すように、板バネ４０Ａ・４０Ｂを、それぞれ、二つの支持部６１ａ・６１ｂ、支持部６１ｃ・６１ｄで支持する構成とする他、図９（ｂ）に示すように、隣り合う二つの板バネ４０Ａ・４０Ｂにて、一つの支持部６１ｃを共用し、これにより、合計３つの支持部６１ａ・６１ｃ・６１ｄで二つの板バネ４０Ａ・４０Ｂを支持する構成としてもよい。これにより、二つの板バネ４０Ａ・４０Ｂで構成される全長Ｌａを、全長Ｌｂのように短く構成することができ、省スペース化を図ることができるようになる。また、このようにして、突起部４０ａ・４０ａ・・・の配置を変更することもできる。また、この支持部６１ｃの共用化により、支持部６１ｃの本数（ピンの本数）を削減することができる。

また、図９（ｃ）に示すごとく、支持部６１ｃを二つの板バネ４０Ｃ・４０Ｂで共用することとし、板バネ４０Ｃについては、図９（ａ）に示される板バネ４０Ａと比較して長い構成とする。これにより、図９（ｃ）の板バネ４０Ｃにおいては、支持部６１ａ・６１ｃの間隔が、板バネ４０Ｂにおける支持部６１ｃ・６１ｄの間隔よりも広く構成されるため、板バネ４０Ｃの撓みが大きく形成される構成とすることができる。
そして、このように、板バネ４０Ａ・４０Ｂ・４０Ｃの長さを変更することや、さらに、板バネ４０Ａ・４０Ｂ・４０Ｃに対する支持部６１ａ・６１ｂ・・・の位置を変更することによって、板バネ４０Ａ・４０Ｂ・４０Ｃの変形の特性（撓み易さや、反力の大きさ）を設定することができる、つまり、弾性変形部４として機能する板バネの弾性係数を所望の値に設計することができる。

また、図１０の（ａ）に示すごとく、前記突起部４０ａの突出寸法が大きいと、冷却工程において部品２が移動した場合に、すぐに、突起部４０ａに部品２の外側端面２ａが接触することになるため、板バネ４０のストローク量Ｌ１ａ（変化量）は、最大で、部品２の外側端面２ａから位置決め開口部３の内側端面３ａまでの距離に対応することとなる。また、このストローク量Ｌ１ａは、位置決め開口部３の内側端面３ａからの突起部４０ａの突出量に対応することになる。
そして、図１０の（ａ）の場合、ストローク量Ｌ１ａが大きいと、板バネ４０の変形が大きくなり、リフローはんだ付けの実施により過熱・冷却が繰り返される状況では、早期に寿命が尽きてしまう。
この点、図１０の（ｂ）に示すごとく、前記位置決め開口部３の内側端面３ａからの突起部４０ａの突出量（ストローク量Ｌ１ｂ）を短く構成し、板バネ４０の変形を小さい範囲内に収めることによれば、板バネ４０の長寿命化を図ることができる。

リフローはんだ付け用治具を放熱板に設置した状態について示す平面図。 図１のＡ−Ａ線断面図。 リフローはんだ付けの一連の工程について説明する図。 冷却時において放熱板の変形に伴い部品が移動する状況について説明する図。 弾性変形部に、部品の端面に対して接触する突起部を複数設けた構成について示す図。 実施例２のリフローはんだ付け用治具の構成について示す平面図。 同じく側面断面図。 実施例２の構成において、弾性変形部に、部品の端面に対して接触する突起部を複数設けた構成について示す図。 （ａ）は、隣り合う板バネの配置について示す図。（ｂ）は、支持部を隣り合う板バネで共用する構成について示す図。（ｃ）は、支持部の共用により、長い板バネを構成する場合について示す図。 （ａ）は、板バネの突起部の突出量を大きく構成した場合について示す図。（ｂ）は、同じく突出量を小さく構成した場合について示す図。

符号の説明

１ 放熱板
２ 部品
３ 位置決め開口部
４ 弾性変形部
４ａ 突起部
５ 土台治具
１０ リフローはんだ付け用治具
１１ 貫通穴
１２ はんだ箔

Claims (8)

1. 放熱板に対して規定の位置に設置され、
   前記放熱板に対しはんだ付けされる部品を位置決めするための位置決め開口部が設けられる、リフローはんだ付け用治具であって、
   前記位置決め開口部周囲には、
   前記部品から受ける荷重によって弾性変形する弾性変形部が設けられる、
   構成とする、リフローはんだ付け用治具。
2. 前記弾性変形部は、
   前記位置決め開口部の周囲に、前記リフローはんだ付け用治具の厚み方向に貫通して設けられる貫通穴と、
   前記部品と、
   の間に形成される部位で構成される、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のリフローはんだ付け用治具。
3. 前記弾性変形部は、
   前記リフローはんだ付け用治具とは別体で、
   前記リフローはんだ付け用治具に設けた支持部にて支持されるバネ部材で構成される、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のリフローはんだ付け用治具。
4. 前記弾性変形部は、はんだ付け後の冷却工程においても、弾性変形を呈するものとする、
   ことを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のリフローはんだ付け用治具。
5. 前記弾性変形部において、前記部品の端面に対して接触する突起部を、複数設けた構成ととする、
   ことを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のリフローはんだ付け用治具。
6. 前記弾性変形部は、環状の板バネで構成され、
   その板バネの内周部が、
   前記リフローはんだ付け用治具から上方に突設されるピン形状の支持部により、
   それぞれ上下摺動自在に嵌装支持される、
   ことを特徴とする、請求項３乃至請求項５のいずれか一項に記載のリフローはんだ付け用治具。
7. 隣り合う前記二つの板バネにて、一つの前記支持部が共用される構成とする、
   ことを特徴とする、請求項３乃至請求項６のいずれか一項に記載のリフローはんだ付け用治具。
8. 前記リフローはんだ付け用治具の線膨張率は、
   前記放熱板の線膨張率と略同一とする、
   ことを特徴とする、請求項３乃至請求項７のいずれか一項に記載のリフローはんだ付け用治具。

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