JP2007143125A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006277941A JP4846509B2 (ja) | 2005-10-20 | 2006-10-11 | 圧電共振器及び圧電共振器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005305485 | 2005-10-20 | ||
JP2005305485 | 2005-10-20 | ||
JP2006277941A JP4846509B2 (ja) | 2005-10-20 | 2006-10-11 | 圧電共振器及び圧電共振器の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007143125A JP2007143125A (ja) | 2007-06-07 |
JP2007143125A5 true JP2007143125A5 (da) | 2010-09-02 |
JP4846509B2 JP4846509B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38205366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006277941A Expired - Fee Related JP4846509B2 (ja) | 2005-10-20 | 2006-10-11 | 圧電共振器及び圧電共振器の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4846509B2 (da) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4917481B2 (ja) * | 2007-06-13 | 2012-04-18 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ |
JP5054491B2 (ja) | 2007-11-21 | 2012-10-24 | パナソニック株式会社 | 圧電振動子およびその製造方法 |
WO2011142256A1 (ja) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 電気機械変換素子 |
US9935609B2 (en) * | 2014-05-17 | 2018-04-03 | Kyocera Corporation | Piezoelectric component |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3825736B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2006-09-27 | 株式会社東芝 | 薄膜圧電共振器および高周波フィルタ |
KR100485702B1 (ko) * | 2003-05-29 | 2005-04-28 | 삼성전자주식회사 | 지지대를 갖는 박막 벌크 음향 공진기 및 그 제조방법 |
JP2005210681A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-08-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振器、その製造方法、それを用いたフィルタ、共用器、および通信機器 |
JP4554337B2 (ja) * | 2003-11-20 | 2010-09-29 | パナソニック株式会社 | 圧電素子、および複合圧電素子、ならびにそれらを用いたフィルタ、共用器、通信機器 |
-
2006
- 2006-10-11 JP JP2006277941A patent/JP4846509B2/ja not_active Expired - Fee Related
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