JP2007143009A - 高周波検波回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は、小電力領域においても誤差が小さい新規の高周波検波回路を提供する。
【解決手段】 高周波発生装置の高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化する高周波検波回路であって、高周波出力電力検出信号を二乗する二乗回路2を備え、前記二乗回路の出力にフィルタ3を接続し、このフィルタにより二乗した高周波検出信号を直流化するように構成してあることを特徴とする高周波検波回路。
【選択図】図1
【解決手段】 高周波発生装置の高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化する高周波検波回路であって、高周波出力電力検出信号を二乗する二乗回路2を備え、前記二乗回路の出力にフィルタ3を接続し、このフィルタにより二乗した高周波検出信号を直流化するように構成してあることを特徴とする高周波検波回路。
【選択図】図1
Description
本発明は、プラズマプロセス用に使用される高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化する高周波検波回路に関するものである。
従来、図4に示すように、検波用のダイオード6を設け、このダイオード6のアノードを入力端子1に接続し、カソードを抵抗4とコンデンサ5を有するフィルタ3に接続して、高周波発生装置の高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化するようにしていた(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
特開平4−35510号公報
特開2004−23186公報
しかし、検波に使用するダイオード6は順方向電流Ifが小さい領域では電圧Vfの値が非線型に変化するため、例えば、図4図示に示すように、ダイオード6で検波した信号を掛算器7で二乗すると、小電力領域では誤差が大きくなるという課題がある。また、検波に使用するダイオード6の特性より、誤差を小さくするために複雑な演算を行う必要があるという課題もあった。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、小電力領域においても誤差が小さい新規の高周波検波回路を提供する。
上記課題を解決するために、本発明に係る高周波検波回路は、高周波発生装置の高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化する高周波検波回路であって、高周波出力電力検出信号を二乗する二乗回路を備え、二乗した高周波出力電力検出信号から検波出力を得るように構成してあることを特徴とする。
前記二乗回路の出力に抵抗とコンデンサを有するフィルタを接続し、このフィルタにより二乗した高周波検出信号を直流化するように構成してあることを特徴とする。
本発明によれば、高周波出力電力検出信号を二乗して検波することにより、小電力領域でも検波ダイオードを用いる場合に比べて誤差を小さくすることができる。また、高周波出力電力検出信号を二乗することで、高周波出力電力検出信号から得られた電圧値は高周波電力値に比例した値になるため、高周波電力値を電圧で直接読むことができる効果がある。
発明を実施するための最良の形態の回路図を図1に示す。図1図示の高周波検波回路は、高周波検波回路は入力端子1を備え、この入力端子1に掛算器2を接続してある。本発明では、同じ高周波検波回路の入力端子1から掛算器2の二つの入力端子に高周波出力電力検出信号が出力されるため、掛算器2で高周波出力電力検出信号を二乗することができる。本発明では、このように二乗した高周波出力電力検出信号から、検波出力を得るように構成してある。本実施例では掛算器2を用いて、高周波出力電力検出信号を二乗しているが、本発明は、高周波出力電力検出信号を二乗する二乗回路を備えてあればよく、例えば、オペアンプを用いたり、ディスクリート回路や集積回路を用いることも可能である。
また、掛算器2の出力に抵抗4とコンデンサ5を有するフィルタ3を接続し、このフィルタ3により、掛算器2で二乗した高周波出力電力検出信号を直流化するように構成してある。直流化した高周波出力電力検出信号は出力端子に出力される。
以上のように構成してある高周波検波回路についての作用を以下で具体的に説明する。なお、図2にこの高周波検波回路の動作波形図を示してある。先ず、高周波発生装置の高周波出力電力を入力端子1に入力し、入力端子1より掛算器へ高周波出力電力検出信号を出力する。本発明では、同じ高周波検波回路の入力端子1から掛算器2の二つの入力端子に高周波出力電力検出信号が出力されるため、掛算器2で高周波出力電力検出信号を二乗する。これにより、図3に示すように、高周波出力電力検出信号を二乗することで、全て正になり、ダイオードが不要になる。それと同時に下記式(1)の演算も行われるため、得られた電圧値は高周波電力値に比例した値となり、高周波電力値を電圧値で直接読むことができる。
E2=PR(E:検出電圧、P:電力、R:Eを得るための抵抗負荷)…(1)
E2=PR(E:検出電圧、P:電力、R:Eを得るための抵抗負荷)…(1)
また、掛算器2から出力される二乗した高周波出力電力検出信号をフィルタ3に通すことにより、掛算器2で二乗した高周波出力電力検出信号を直流化することができる。これにより、フィルタ3を用いることにより、小電力領域でも誤差を小さくすることができる。このように直流化した高周波出力電力検出信号は出力端子に出力される。
本発明に係る高周波検波回路は、高周波発生装置の高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化するものであり、通常高周波発生装置に組み込まれている。本発明高周波検波回路を組み込んだ高周波発生装置の一例を図3に示す。
この高周波発生装置は高周波発振源11と、この高周波発振源11の出力信号と高周波発生装置の出力からフィードバック制御された信号とを掛算する掛算器12と、この掛算器12より得られた信号を入力する高周波アンプ13と、この高周波アンプ13の電力を検出する高周波出力電力検出部14とを備えてある。
本実施例の高周波発生装置は、高周波出力電力検出部14から得られた高周波出力電力検出信号と、フィードバック制御をかけるフィードバック制御回路20を備えてある。
この実施例は、高周波出力電力検出部14から得られた高周波出力電力検出信号を前記実施形態に係る掛算器2と同様に役割をする掛算器15で二乗し、これを前記実施形態に係るフィルタ3と同様の役割をするローパスフィルタ16で平滑し、誤差増幅器17で基準電圧18と比較して高周波アンプ13の入力にフィードバック制御するように構成してある。
以上のように構成してある高周波発生装置についての作用を以下で具体的に説明する。この高周波発生装置は、通常、高周波出力電力検出部14から得られた高周波出力電力検出電圧を掛算器15で二乗する。
掛算器15で二乗された高周波出力電力検出信号をローパスフィルタ16で平滑する。これにより、図3に示すように、高周波出力電力検出信号を二乗することで、全て正になり、上記式(1)の演算も行われるため、得られた電圧値は高周波電力値に比例した値となり、高周波電力値を電圧値で直接読むことができる。
また、掛算器15から出力される二乗した高周波出力電力検出信号をローパスフィルタ16に通すことにより、掛算器15で二乗した高周波出力電力検出信号を直流化することができる。これにより、ローパスフィルタ16を用いることにより、小電力領域でも誤差を小さくすることができる。このように直流化した高周波検出信号は出力端子に出力される。
以上のように二乗した検波した高周波出力電力検出信号を、誤差増幅器17で基準電圧18と比較し、高周波アンプ13の入力にフィードバック制御する。以上より、高周波を直接掛算器で二乗して検波することにより、小電力領域でも検波ダイオードを用いる場合に比べて誤差を小さくすることができる。また、高周波出力電力検出信号を二乗することで、高周波出力電力検出信号から得られた電圧値は高周波電力値に比例した値になるため、高周波電力値を電圧で直接読むことができる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている内容が本発明の技術的範囲に属する。
本発明によれば、高周波出力電力検出信号を二乗して検波することにより、小電力領域でも検波ダイオードを用いる場合に比べて誤差を小さくすることができる。また、高周波出力電力検出信号を二乗することで、高周波出力電力検出信号から得られた電圧値は高周波電力値に比例した値になるため、高周波電力値を電圧で直接読むことができ、産業上利用性を有する。
1 入力端子
2,7 掛算器
3 フィルタ
4 コンデンサ
5 抵抗
6 ダイオード
10 高周波検波回路
11 高周波発振器
12,15 掛算器
13 高周波アンプ
14 高周波出力電力検出部
16 ローパスフィルタ
17 誤差増幅器
18 基準電圧
20 フィードバック制御回路
2,7 掛算器
3 フィルタ
4 コンデンサ
5 抵抗
6 ダイオード
10 高周波検波回路
11 高周波発振器
12,15 掛算器
13 高周波アンプ
14 高周波出力電力検出部
16 ローパスフィルタ
17 誤差増幅器
18 基準電圧
20 フィードバック制御回路
Claims (2)
- 高周波発生装置の高周波出力電力を検出し、この高周波出力電力を直流化する高周波検波回路であって、高周波出力電力検出信号を二乗する二乗回路を備え、二乗した高周波出力電力検出信号から検波出力を得るように構成してあることを特徴とする高周波検波回路。
- 前記二乗回路の出力に抵抗とコンデンサを有するフィルタを接続し、このフィルタにより二乗した高周波検出信号を直流化するように構成してあることを特徴とする請求項1記載の高周波検波回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005336846A JP2007143009A (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | 高周波検波回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005336846A JP2007143009A (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | 高周波検波回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007143009A true JP2007143009A (ja) | 2007-06-07 |
Family
ID=38205287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005336846A Pending JP2007143009A (ja) | 2005-11-22 | 2005-11-22 | 高周波検波回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007143009A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010238493A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Daihen Corp | 高周波電源装置及び高周波電源装置の高周波電力検出装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59104806A (ja) * | 1982-12-07 | 1984-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 包絡線検出器 |
JPH08162291A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ装置 |
JP2004247986A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Daihen Corp | 高周波電源装置 |
-
2005
- 2005-11-22 JP JP2005336846A patent/JP2007143009A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS59104806A (ja) * | 1982-12-07 | 1984-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 包絡線検出器 |
JPH08162291A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ装置 |
JP2004247986A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Daihen Corp | 高周波電源装置 |
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