JP2007142452A - 部品供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェハ供給用プレート及びトレイ供給用プレートを混載して収納可能であるとともに、上記夫々のプレートより選択される上記プレートの種類に拘らず、上記選択されたプレートより上記部品を自動的に供給可能とさせることができる効率的な部品供給を行うことができる部品供給装置を提供する。
【解決手段】部品供給装置のプレート配置装置に配置されるプレートの種類に応じて、トレイ供給用プレートに対しては、プレート押圧体の下降位置の規制を行うことにより、その保持を確実に行い、一方、ウェハ供給用プレートに対しては、上記下降位置の規制を解除することにより、上記ウェハ供給用プレートを確実に保持しながら、ウェハへのエキスパンドを行って、上記プレートの種類に応じて、適切な保持動作やエキスパンド動作を選択的にかつ自動的に行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板に実装される部品のうちの複数のウェハ供給部品が配置されたウェハを載置するウェハ供給用プレートと、複数のトレイ供給部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートとより、上記夫々のウェハ供給部品及び上記夫々のトレイ供給部品を部品実装可能に部品実装装置における実装部に供給する部品供給装置に関する。

従来、このような部品供給装置においては、基板に実装される部品のうちの複数のウェハ供給部品が配置されたウェハが載置されたウェハ供給用プレート、又は、複数のトレイ供給部品が配置された部品供給トレイが載置されたトレイ供給用プレートのうちのいずれか一方が選択的に収納されて、上記ウェハ供給用プレート又は上記トレイ供給用プレートが取り出されて、上記夫々のウェハ供給部品又は上記トレイ供給部品の部品実装装置の実装部等への供給が行なわれている（例えば、特許文献１参照）。

また、このような部品供給装置において、上記ウェハ供給用プレート上に載置された上記ウェハより上記夫々のウェハ供給部品を供給可能な状態とさせるためには、ダイシングが施された上記ウェハをエキスパンドさせることが必要である。そのため、上記部品供給装置には、このエキスパンドを行う装置が備えられている。さらに、当該エキスパンドが施された上記ウェハより供給される上記ウェハ供給部品を、その下面より突き上げて取り出し可能な状態とさせることも必要である。そのため、上記部品供給装置には、この突き上げ動作を行う突き上げ装置も備えられている。

一方、上記部品供給装置において、上記部品供給用プレート上に載置された上記部品供給トレイより上記夫々のトレイ供給部品を供給可能な状態とさせるためには、上記ウェハに対するようなエキスパンドや突き上げ等の動作を行う必要はない。

従って、上記部品供給装置において上記ウェハ供給用プレートが収納されている場合と、上記トレイ供給用プレートが収納されている場合とで、夫々の部品を供給可能させる動作が異なることとなる。

現在、部品実装においては、１枚の基板に様々な種類の部品が実装されることにより生産されるマルチチップ実装基板の生産が主流となってきており、このようなマルチチップ実装基板に実装される上記様々な種類の部品の中には、上記ウェハ供給部品や上記トレイ供給部品も多く含まれる。また、その一方で、このようなマルチチップ実装基板の生産における生産性の向上も強く望まれている。

特開２０００−９１３８５号公報

しかしながら、従来の部品供給装置においては、このような上記夫々のウェハ供給部品の供給動作と、上記夫々のトレイ供給部品の供給動作との動作の相違に自動的に対応するすべがなく、上記部品が上記ウェハ供給用プレートから供給されるのか、又は、上記トレイ供給用プレートから供給されるのかというような上記部品の供給形態によって、上記エキスパンドを行う装置や上記突き上げ装置等を作動させない若しくは当該作動により影響を受けないようにしたり、夫々の装置等の構成部品を作業者が取り替えたりすることで対応していたため、部品供給における生産効率が著しく低下しているという問題がある。

また、部品実装の現場では、上記ウェハ供給部品又は上記トレイ供給部品のいずれが先に基板に実装されるのかということが、上記基板の種類等によっても異なり、そのために、上記部品の供給形態に応じて、上記部品供給装置における上記構成部品の取り替えの作業や、上記部品供給装置に収納される夫々の上記プレートを上記ウェハ供給用プレートと上記トレイ供給用プレートとの間で交換するという交換作業が行われることとなり、このような作業が作業者にとって非常に手間となって、その作業効率を著しく低下させるという問題点もある。

さらに、上記ウェハや上記部品供給トレイの形状の相違により、上記ウェハ供給用プレートにおける上記夫々のウェハ供給部品の供給高さ位置と、上記トレイ供給用プレートにおける上記夫々のトレイ供給部品の供給高さ位置とが同じ高さ位置とはなっていない。従って、上記夫々の部品が供給可能とされた状態にて、いずれの上記プレートにおいても上記夫々の供給高さ位置を同じとさせて当該部品の供給を行う必要があり、上記部品供給装置において上記夫々のプレートを支持する支持部分の高さ位置を、上記部品の供給形態により調整する作業（例えば、上記支持部分の部品の交換等）が必要であり、さらに作業効率を低下させているという問題もある。

また、その他、上記部品供給装置におけるメンテナンスにおいても後述するような種々の問題があり、上記部品供給装置のメンテナンス性が良好なものではなく、効率的な部品供給を行うことができないという問題もある。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、基板に実装される部品のうちの複数のウェハ供給部品が配置されたウェハを載置するウェハ供給用プレートと、複数のトレイ供給部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートとより、上記夫々のウェハ供給部品及び上記夫々のトレイ供給部品を部品実装可能に部品実装装置における実装部に供給する部品供給装置において、上記ウェハ供給用プレート及び上記トレイ供給用プレートを混載して収納可能であるとともに、上記夫々のプレートより選択される上記プレートが上記ウェハ供給用プレート又は上記トレイ供給用プレートのいずれであるかに拘らず、上記選択されたプレートより上記部品を自動的に供給可能とさせることができ、さらにメンテナンス性も良好とすることができる効率的な部品供給を行うことができる部品供給装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、基板に実装される部品のうちの複数のウェハ供給部品が配置されたウェハを載置するウェハ供給用プレートと、複数のトレイ供給部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートとより、上記夫々のウェハ供給部品及び上記夫々のトレイ供給部品を部品実装可能に供給する部品供給装置において、
複数の上記ウェハ供給用プレート及び複数の上記トレイ供給用プレートを積層させて収納する収納体を備えるプレート収納部と、
上記ウェハ供給用プレートによる上記夫々のウェハ供給部品の供給高さと、上記トレイ供給用プレートによる上記夫々のトレイ供給部品の供給高さとが略同じとなるように、上記夫々のプレートのうちのいずれかの上記プレートを選択的に配置させて保持し、上記ウェハより上記夫々のウェハ供給部品を、又は、上記部品供給トレイより上記トレイ供給部品を供給可能な状態とさせるプレート配置装置と、
上記プレートを解除可能に保持してその表面沿いの方向へ移動させて、上記プレートを上記収納体から取り出して上記プレート配置装置に受け渡すとともに、上記プレート配置装置より上記プレートを受け取って上記収納体に収納させるプレート移動装置とを備え、
上記収納体は、上記夫々のプレートの互いに対向する夫々の端部を個別に支持し、かつ、上記夫々のプレートの取出における上記プレートの表面沿いの方向への移動を案内する互いに対向して配置された複数の組の支持ガイド部を備え、上記収納体は、上記各々の支持ガイド部との接触部分に滑面部が形成された上記夫々のプレートを収納することを特徴とする部品供給装置を提供する。

本発明の第２態様によれば、上記夫々のプレートの上記移動の方向と略直交する方向における上記夫々の組の支持ガイド部への上記夫々のプレートの挿入位置と、上記夫々の組の支持ガイド部による支持位置との間の位置ズレを補正可能に、上記夫々の組の支持ガイド部の挿入端部に、上記移動の方向に対して傾斜された傾斜面が形成されている、第１態様に記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第３態様によれば、上記夫々のプレートと上記夫々の支持ガイド部との互いの接触表面における夫々の硬度が、上記夫々のプレートよりも上記夫々の支持ガイド部が低くなるように、上記夫々の接触表面が形成される、第１態様又は第２態様に記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第４態様によれば、上記夫々のプレートと上記夫々の支持ガイド部との互いの接触表面における夫々の硬度が、上記夫々の支持ガイド部よりも上記夫々のプレートが低くなるように、上記夫々の接触表面が形成される、第１態様又は第２態様に記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第５態様によれば、上記夫々の支持ガイド部は、上記夫々のプレートの端部を支持しながら、当該端部の表面に沿って回転可能なローラ部を備える、第１態様又は第２態様に記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第６態様によれば、上記収納体は、上記夫々の支持ガイド部の組の間に配置され、上記夫々のプレートと係合されることで、上記夫々のプレートの水平方向の支持姿勢を案内する複数の姿勢ガイド部をさらに備える、第１態様から第５態様のいずれか１つに記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第７態様によれば、上記収納体は、開閉可能な上記夫々のプレートの交換用の扉部を有し、上記夫々の姿勢ガイド部は当該扉部の内側に備えられている、第６態様に記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第８態様によれば、上記収納体は、上記扉部の開閉を検出する開閉検出センサを備える、第７態様に記載の部品供給装置を提供する。

本発明の第９態様によれば、上記プレート収納部は、上記収納体を支持する基台を備え、
上記収納体は、上記基台への支持面に当該支持を固定する複数の固定部を有し、少なくとも１つの上記固定部が、導電性材料で形成され、接地端子部としての機能を有する、第１態様から第８態様のいずれか１つに記載の部品供給装置を提供する。

本発明によれば、配置供給されるプレートがウェハ供給用プレートなのか、又は、トレイ供給用プレートなのかに拘らず、上記夫々のプレートに配置された部品の供給高さを略同じとした状態で上記夫々の部品の供給を可能とすることができる。よって、上記夫々のプレートを混載しながら、上記プレートの種類に応じて、選択的にかつ自動的に適切な状態で部品の供給を可能とすることができ、部品供給を効率的に行うことができる。

また、上記夫々のプレートにおける上記各々の支持ガイド部との接触部分が、上記滑面部を有していることにより、上記接触部分に生じる摩擦力を低減することができ、当該接触磨耗により切粉等が発生することを防止することができる。このような切粉の発生は、部品供給装置におけるメンテナンス性を低下させるとともに、夫々の部品の基板等に対する実装面を汚染する等の機能的問題をも発生する場合があるため、このような問題の発生頻度を著しく低減することができる。上記ウェハ供給用プレートと、その重量が比較的重く、上記切粉の発生を引き起こす恐れのある上記トレイ供給用プレートとを、混載して供給するような場合であっても、部品供給装置におけるメンテナンス性の向上を図ることができ、効率的な部品供給を実現することができる。

また、夫々の組の支持ガイド部の挿入端部に、上記移動の方向に対する傾斜部が形成されていることにより、上記夫々のプレートの挿入位置と、上記夫々の支持ガイド部による支持位置との間の位置ズレを補正することができ、上記プレート収納部への確実かつ安定した上記夫々のプレートの収納を実現することができる。また、このような上記傾斜部の形成は、上記夫々の支持ガイド部に沿った上記プレートの挿入移動を滑らかなものとすることができ、上記切粉の発生量を低減することにも寄与し得る。

また、上記夫々のプレートを上記夫々の支持ガイド部との互いの接触表面における硬度が、上記夫々のプレートよりも上記夫々の支持ガイド部を低くするように、上記夫々の支持ガイド部が形成されることにより、互いの接触による切粉の発生量を低減することができる。

また、逆に、上記夫々の硬度が、上記夫々の支持ガイド部よりも上記夫々のプレートを低くするように、上記夫々のプレートが形成されることでも同様な効果を得ることができるとともに、汎用性が要求される上記収納体の形成材料を標準仕様のままとすることができる。

また、上記夫々の支持ガイド部が、上記夫々のプレートの端部を支持しながら、当該端部の表面に沿って回転可能なローラ部を備えることにより、上記プレートの挿入移動をより円滑にすることができる。

また、上記収納体が、上記夫々の支持ガイド部の組の間に配置され、上記夫々のプレートと係合されることで、上記夫々のプレートの水平方向の支持姿勢を案内する複数の姿勢ガイド部をさらに備えることで、上記収納体への上記プレートの収納姿勢を正常な状態に保持することができ、上記収納体に対する上記夫々のプレートの収納及び取り出しを円滑に行なうことができる。

また、このような上記夫々の姿勢ガイド部が、上記収納体の扉部の内側に備えられていることにより、上記扉の閉止を行なうことで、上記夫々のプレートと上記姿勢ガイド部とを係合させることができ、上記水平方向の姿勢を正常な状態とすることができる。

また、上記扉部の開閉を検出する開閉検出センサをさらに備えることにより、当該開閉検出センサにより上記扉の閉止が検出された場合にのみ、上記夫々のプレートが正常な姿勢で収納されたものと判断することができ、上記プレートの収納姿勢を効率的に管理することができる。

また、上記収納体が、上記基台への支持面に当該支持を固定する複数の固定部を有し、少なくとも１つの上記固定部が、導電性材料で形成されて接地端子部としての機能を有することにより、上記収納体の帯電量を低減させることができ、部品供給を円滑かつ効率的に行なうことができる。

本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。

以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる部品供給装置の一例である部品供給装置４を備え、この部品供給装置４から供給された部品を基板に実装する部品実装装置の一例である電子部品実装装置１０１の斜視図を図１に示す。部品供給装置４についての詳細な構造や動作の説明を行うに先だって、このような部品供給装置４を備える電子部品実装装置１０１の全体的な構成及び動作についての説明を、図１を用いて行う。

（電子部品実装装置について）
図１に示すように、電子部品実装装置１０１は、部品の一例であるチップ部品やベアＩＣチップ等の電子部品２を基板に実装する実装動作を行う装置であり、大別して、複数の電子部品２を供給可能に収容する部品供給装置４と、この部品供給装置４から供給される各電子部品２を基板に実装する実装動作を行う実装部５とを備えている。

図１に示す部品供給装置４においては、基板に実装される多数の電子部品２のうちのウェハ供給部品２ｗ（部品の一例である）が複数配置されたウェハをその上面に載置するウェハ供給用プレートと、上記多数の電子部品２のうちのトレイ供給部品２ｔ（部品の一例である）が格子上に配列されて収容配置された部品供給トレイをその上面に複数載置するトレイ供給用プレートとを混載して上記夫々のプレートを選択的に供給可能に収納しているプレート収納部の一例であるリフター装置１０が、部品供給装置４の図示Ｙ軸方向手前側に設置されている。なお、以降の説明において、上記ウェハ供給用プレート又は上記トレイ供給用プレートを限定して用いない場合には、上記夫々のプレートとして記載するものとし、また、ウェハ供給部品２ｗ又はトレイ供給部品２ｔを限定して用いない場合には、電子部品２として記載するものとする。なお、上記夫々のプレート等の構成の説明については、後述するものとする。また、ウェハ供給部品２ｗとしては、主にウェハがダイシングされることにより形成されるベアＩＣチップ等があり、また、トレイ供給部品２ｔとしては、上記ベアＩＣチップ及び上記ベアＩＣチップ以外のＩＣチップ（例えば、パッケージが施されたＩＣチップ等）やチップ部品等がある。

また、部品供給装置４には、リフター装置１０から選択的に供給される上記夫々のプレートを配置して、夫々より電子部品２を取り出し可能な状態とさせるプレート配置装置１２が備えられている。なお、リフター装置１０から上記ウェハ供給用プレートが供給されて、プレート配置装置１２に配置されるような場合には、プレート配置装置１２において、上記ウェハ供給用プレートに載置されているウェハに対してエキスパンド動作が施される。

さらに、部品供給装置４には、プレート配置装置１２上に選択的に配置された上記プレート上に載置されている上記ウェハあるいは上記部品供給トレイから電子部品２を個別に吸着保持して、実装部５に向けて図示Ｘ軸方向沿いに移動させるとともに、上記吸着保持した電子部品２を上下方向に反転させる反転ヘッド装置１４が備えられている。なお、このような反転ヘッド装置１４を部品供給装置４が備えている場合に代えて、部品供給装置４とは別の構成の装置として、部品供給装置４とともに、電子部品実装装置１０１に備えられているような場合であってもよい。

また、図１に示すように、実装部５には、電子部品２を吸着保持して基板に実装する実装ヘッド部２０が備えられている。また、互いに図示Ｘ軸方向沿いに配置された位置であって、反転ヘッド装置１４により保持された電子部品２が実装ヘッド部２０に受渡し可能な位置である部品供給位置と、基板に対する電子部品２の実装動作が行われる基板実装領域との間で、実装ヘッド部２０を支持しながら、図示Ｘ軸方向に沿って進退移動させる移動装置の一例であるＸ軸ロボット２２が、さらに実装部５に備えられている。

なお、実装ヘッド部２０は、ボイスコイルモータ等の移動手段にて昇降駆動可能であり、かつ、吸着保持した電子部品２を介して、押圧エネルギーや超音波振動エネルギーや熱エネルギー等の接合エネルギーを、電子部品２と基板の接合部に付与できるように構成された保持部（図示しない）を備えており、電子部品２を基板に対して加圧しながら上記接合エネルギーを付与することが可能となっている。また、Ｘ軸ロボット２２は、例えば、ボールねじ軸部とこのボールねじ軸部に螺合されたナット部とを用いた移動機構（図示しない）が備えられている。

また、図１に示すように、実装ヘッド部２０及びＸ軸ロボット２２の下方における実装部５の基台２４上には、基板を図示Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であって、かつ、実装ヘッド部２０に対する基板上における電子部品２が実装される位置の位置決めを行うＸＹテーブル２６が配設されている。このＸＹテーブル２６は、図示Ｘ軸方向とＹ軸方向との夫々に、例えばサーボモータにて移動駆動するとともに、リニアスケールを用いてフルクローズ制御にて位置決めすることが可能となっている。また、このＸＹテーブル２６の上面には、基板を解除可能に保持して固定する基板保持台２８が設置されている。なお、図１において、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、基板の表面沿いの方向であって、かつ、互いに直交する方向である。

また、図１に示すように、電子部品実装装置１０１には、基台２４の上面における図示Ｙ軸方向手前側の端部において、図示Ｘ軸方向左向きの方向である基板搬送方向Ｂに沿って基板を搬送し、基板保持台２８への基板の供給及び基板保持台２８からの基板の排出を行う基板搬送装置３０が備えられている。基板搬送装置３０は、電子部品実装装置１０１の図示Ｘ軸方向右側の端部からＸＹテーブル２６上の基板保持台２８にまで、基板を搬送して供給するローダ部の一例であるローダ３２と、基板保持台２８から電子部品実装装置１０１の図示Ｘ軸方向左側の端部にまで、基板を搬送して排出するアンローダ部の一例であるアンローダ３４とを備えている。なお、本実施形態においては、電子部品実装装置１０１におけるＸＹテーブル２６が、基板搬送装置３０が備える基板保持移動装置と兼用されている例となっている。また、ＸＹテーブル２６と基板支持台２８とが、基板の上記移動及び保持を行う基板保持移動装置の一例となっている。また、このように兼用されているような場合に代えて、電子部品実装装置１０１におけるＸＹテーブル２６とは別に、基板保持移動装置が基板搬送装置３０に備えられているような場合であってもよい。

なお、図１に示す電子部品実装装置１０１は、当該構成の説明の便宜を考慮して、基台２４の上面全体を覆っているケーシングカバーが取り外された状態の斜視図となっている。

次に、このような構成を有する電子部品実装装置１０１における電子部品２の基板への実装動作について説明する。

図１の電子部品実装装置１０１において、基台２４上におけるローダ３２及びアンローダ３４の間に位置するように、基板保持台２８がＸＹテーブル２６により移動される。それとともに、電子部品実装装置１０１にて夫々の電子部品２の実装が行われるべき基板が、例えば、電子部品実装装置１０１に隣接する他の装置等より基板搬送装置３０のローダ３２に供給されて、ローダ３２にて基板搬送方向Ｂに基板が搬送されて、この基板が基板保持台２８に供給されて保持される。その後、ＸＹテーブル２６が図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動されて、基板が上記基板実装領域に移動される。

一方、部品供給装置４にて、リフター装置１０に収納されている夫々のプレートより１枚のプレートが選択されて取り出され、プレート配置装置１２に配置される。その後、上記配置されたプレートより電子部品２が反転ヘッド装置１４により吸着保持されて取り出されるとともに、当該電子部品２が、反転されて上記部品供給位置にまで移動される。また、実装部５にて実装ヘッド部２０が、Ｘ軸ロボット２２により、上記部品供給位置にまで移動されて、反転ヘッド装置１４から実装ヘッド部２０に電子部品２が受け渡される。その後、上記受け渡された電子部品２を吸着保持した状態の実装ヘッド部２０が、Ｘ軸ロボット２２により、上記基板実装領域の上方へと移動される。

その後、実装ヘッド部２０により吸着保持されている電子部品２と、基板保持台２８により保持されている基板における電子部品３が実装されるべき位置との位置合わせが、ＸＹテーブル２６の移動により行われる。この位置合わせの後、実装ヘッド部２０の昇降動作等が行われて、電子部品２の基板への実装動作が行われる。複数の電子部品２の上記実装動作が行われるような場合にあっては、上記夫々の動作が繰り返して行うことにより、夫々の電子部品２の実装動作が行われる。

その後、夫々の電子部品２の上記実装動作が終了すると、夫々の電子部品２が実装された状態の基板が、基板保持台２８とともに、ＸＹテーブル２６により、ローダ３２とアンローダ３４との上記間の位置にまで移動されて、基板保持台２８より基板がアンローダ３４に受け渡され、アンローダ３４にて基板が基板搬送方向Ｂに沿って搬送されて、電子部品実装装置１０１より基板が排出される。上記排出された基板は、例えば、電子部品実装装置１０１に隣接して設置されている上記部品実装の次の処理等を行う他の装置に供給されたり、部品実装済みの基板として基板収納装置等に収納されたりする。

このようにして、電子部品実装装置１０１において、夫々の電子部品２の基板への実装動作が行われる。なお、夫々の電子部品２が実装された基板がアンローダ３４により排出された後、新たな別の基板がローダ３２により供給されることにより、順次供給される夫々の基板に対して夫々の電子部品２の実装が行われる。

（部品供給装置について）
次に、このような構成及び部品実装動作を行う電子部品実装装置１０１が備える部品供給装置４の詳細な構成について、特に、リフター装置１０及びプレート配置装置１２とこれらに関連する構成を中心に説明する。また、このような部品供給装置４におけるリフター装置１０及びプレート配置装置１２の半透過斜視図を図２に示す。

図２に示すように、部品供給装置４は、上述したリフター装置１０とプレート配置装置１２に加えて、さらに、リフター装置１０に収納されている夫々のプレートを保持して取り出し、プレート配置装置１２に配置させるように、上記プレートの移動を行うプレート移動装置４０を備えている。また、プレート移動装置４０は、プレート配置装置１２に配置されたプレートを保持して、再びリフター装置１０に収納するように、上記プレートの移動を行うことが可能となっている。

まず、リフター装置１０は、複数の上記ウェハ供給用プレート及び複数の上記トレイ供給用プレートを混載して、上下方向に積層的に収納する箱体状の形状を有する収納体の一例であるマガジンカセット５０と、このマガジンカセット５０を支持するとともに、マガジンカセット５０の昇降動作を行って、マガジンカセット５０に収納されている上記夫々のプレートのうちの１枚のプレートを、プレート移動装置４０により取り出し可能な昇降高さ位置に位置させる収納体昇降部の一例であるカセット昇降部５１と、カセット昇降部５１を取り付けられて、かつ、カセット昇降部５１によるマガジンカセット５０の昇降動作を案内可能な基台５２とを備えている。

ここで、マガジンカセット５０の拡大斜視図（半透過斜視図）を図３に示す。図３に示すように、マガジンカセット５０においては、図示Ｃ方向がプレート配置装置１２への上記夫々のプレートの取り出し方向（以降、プレート取出方向Ｃとする）となっている。また、マガジンカセット５０は、プレート取出方向Ｃと直交する方向において、互いに対向するように側壁部５０ａが夫々設けられており、夫々の側壁部５０ａの互いに対向する側面において、プレート取出方向に沿って複数の溝部５０ｂが形成されている。上記夫々のプレート（以降、プレート６とする）は、その互いに対向する両端部において、夫々の側壁部５０ａの溝部５０ｂと係合されることにより、マガジンカセット５０に保持されて収納されている。なお、夫々の側壁部５０ａにおいて夫々の溝部５０ｂは一定の間隔ピッチでもって形成されており、夫々の溝部５０ｂに係合されて保持された状態で、プレート６はその表面が略水平な状態とされている。さらに、夫々のプレート６は、夫々の溝部５０ｂの形成方向に沿って案内されながら、プレート取出方向沿いに進退移動（すなわち、スライド移動）可能な状態とされている。また、マガジンカセット５０においては、収納されている夫々のプレート６の取り出しが行われるため、上記取り出しの障害とならないように、プレート取出方向Ｃ側には側壁部が設けられておらず、常時開放された状態とされている。なお、図３においては、図示上方に収納されているプレート６がウェハ供給用プレート６ｗであり、図示下方に収納されているプレート６がトレイ供給用プレート６ｔである。

次に、ウェハ供給用プレート６ｗの斜視図を図４に、トレイ供給用プレート６ｔの斜視図を図５に示し、夫々のプレートの構造について説明する。

図４に示すように、ウェハ供給用プレート６ｗは、直線状の部分と曲線状の部分とが組み合わされた外周部分を有する大略円盤状の形状を有している。また、プレート取出方向Ｃを挟んで互いに対向される夫々の端部は、マガジンカセット５０の夫々の溝部５０ｂと係合されることが考慮されて、上記直線状の外周部分となっている。また、図４に示すように、ウェハ供給プレート６ｗは、伸縮性を有するシートであって、ダイシングが施されたウェハ７がその上面に貼着されて載置されたウェハシート８と、環状プレートであって、その環状の内側にウェハ７が位置されるように、ウェハシート８をその外周端部近傍において保持するウェハリング９とを備えている。このようにウェハ供給用プレート６ｗが形成されていることにより、ウェハシート８を放射状に延伸させることで、格子状に配置されている夫々のウェハ供給部品２ｗの配置位置も放射状に延伸させることができ、いわゆるエキスパンドを行うことが可能となっている。

一方、図５に示すように、トレイ供給用プレート６ｔは、上述したウェハ供給用プレート６ｗと同様な外径形状を有している。これにより、共通のマガジンカセット５０に、ウェハ供給用プレート６ｗとトレイ供給用プレート６ｔとを混載して収納することが可能となっている。また、図５に示すように、トレイ供給用プレート６ｔは、ウェハリング９と略同じ外周形状を有するとともに、略正方形状の内周孔部を有する環状プレートであるトレイリング５９と、このトレイリング５９の上記内周孔部分に取り付けられて形成され、複数の部品供給トレイ５７を着脱可能に載置するトレイ載置部５８とを備えている。トレイ載置部５８は、トレイリング５９の表面よりも一段低くなるように形成されており、部品供給トレイ５７が載置された場合に、その部品供給トレイ５７に収納されている夫々のトレイ供給部品２ｔの上面高さ位置が、トレイリング５９の表面高さ位置と略同じとなるように形成されている。このように形成されていることで、トレイ供給用プレート６ｔにおけるトレイ供給部品２ｔの高さ位置を、ウェハ供給用プレート６ｗにおけるウェハ供給部品２ｗの高さ位置と略同じ高さ位置とされている。なお、図５においては、略正方形状の平面形状を有する４つの部品供給トレイ５７が２列に配列されて、トレイ載置部５８に載置されている。なお、トレイ載置部５８がトレイリング５９と別に形成されて、トレイリング５９の内側に取り付けられるような場合に代えて、トレイ載置部５８がトレイリング５９と一体的に形成されるような場合であってもよい。また、図５に示すように、トレイ供給用プレート６ｔにおけるトレイリング５９のプレート取出方向Ｃ側の端部近傍位置が、プレート移動装置４０によるトレイ供給用プレート６ｔの保持位置となっており、また、この部分には、トレイ供給用プレート６ｔを識別するための識別孔５６が形成されている。なお、図４のウェハ供給用プレート６ｗにおいても、当該部分が上記保持位置となっているものの、上記識別のための識別孔５６は設けられていない。後述するように、識別孔５６の有無の相違により、トレイ供給用プレート６ｔとウェハ供給用プレート６ｗとを識別するためである。

さらに、図６に示すように、リフター装置１０におけるカセット昇降部５１は、その上面にマガジンカセット５０を配置させて保持するカセット支持台５１ａが備えられている。ここでリフター装置１０において取り扱われるマガジンカセット５０には、複数の種類のサイズのものがあり、例えば、６インチサイズのもの、８インチサイズのもの、又は、１２インチサイズのものがある。このような夫々のマガジンカセット５０のサイズの相違を検出するために、カセット支持台５１ａの上面には、夫々の平面的な大きさの相違を検出することでもって、配置されたマガジンカセット５０のサイズを検出可能な６インチカセット検出センサ５３ａ、８インチカセット検出センサ５３ｂ、及び１２インチカセット検出センサ５３ｃが夫々設置されている。

次に、プレート配置装置１２の半透過斜視図を図７に示す。図７に示すように、プレート配置装置１２は、配置されるプレート６をその外周部近傍における下面側より支持可能であって、かつ、その支持高さ位置が可変する複数の弾性支持部材の一例であるプレート支持部６０と、これらのプレート支持部６０により支持されたプレート６を、夫々のプレート支持部６０の上端との間で挟むように、その上記外周部近傍における上面側より押圧して、このプレート６の支持位置の保持を行うプレート押圧体６１と、このプレート押圧体６１の昇降動作を行う押圧体昇降部６２とを備えている。

また、図７に示すように、プレート押圧体６１は、半円状の切り欠き部分を有して、当該切り欠き部分が互いに同一平面状において対向するように配置された対称形状を有する一対の板状体となっている。また、このように上記半円状の切り欠き部分が形成されているため、夫々のプレート押圧体６１は、ウェハ供給用プレート６ｗのウェハリング９の上面のみに、その下面が当接されて押圧することが可能となっており、またトレイ供給用プレート６ｔのトレイリング５９の上面のみに、その下面が当接されて押圧することが可能となっている。また、プレート配置装置１２においては、例えば、４本のプレート支持部６０が設けられており、夫々のプレート支持部６０は、夫々のプレート押圧体６１のウェハリング９又はトレイリング５９を押圧する部分の下方に配置されている。これにより、夫々のプレート支持部６０により、ウェハリング９又はトレイリング５９を夫々の下面側において支持することが可能となっている。なお、夫々のプレート支持部６０は、その上部に配置されるウェハリング９又はトレイリング５９の外周に沿って、大略均等な間隔にて配置されていることが望ましい。また、図７に示すように、プレート配置装置１２は、夫々のプレート支持部６０が配置されている円周上近傍における図示Ｙ軸方向左側において、その上端側の先端部に、テーパ形状の傾斜端部を有し、当該傾斜端部においてプレート６の端部が当接される別の弾性支持部材の一例であるテーパ支持部６５を備えている。

さらに、プレート配置装置１２は、ウェハリング９が夫々のプレート支持部６０に支持された状態のウェハ供給用プレート６ｗにおいて、ウェハ７の外周とウェハリング９の内周との間におけるウェハシート８の下面に当接可能な環状の当接部分をその上端に備えるエキスパンド部材６３と、このエキスパンド部材６３をその上面において固定して支持する配置フレーム６４とを備えている。なお、プレート配置装置１２においては、２つの押圧体昇降部６２が、配置フレーム６４に取り付けられて備えられており、図７において、配置フレーム６４の図示Ｘ軸方向における夫々の側面に取り付けられている。また、夫々の押圧体昇降部６２より、夫々のプレート押圧体６１の昇降動作が一体的に行われることとなっている。

次に、このような構成のプレート配置装置１２にウェハ供給用プレート６ｗが配置された状態の当該配置部分の拡大断面図を図８に、トレイ供給用プレート６ｔが配置された状態の当該配置部分の拡大断面図を図９に示す。

まず、図８に示すように、環状形状を有するエキスパンド部材６３は、下部に外周方向に向けて形成されたフランジ部６３ｂを備えており、夫々のプレート支持部６０及びテーパ支持部６５は、このフランジ部６３ｂに昇降可能に取り付けられている。プレート支持部６０は、その上部先端にフラット状または緩やかな隆起状の形状を有する支持端部６０ａを備える軸状の支持ピン６０ｂと、フランジ部６３ｂに対してこの支持ピン６０ｂを常時上方に付勢するように、支持ピン６０ｂの外周に配置された付勢バネ６０ｃとを備えている。なお、この付勢バネ６０ｃによる支持ピン６０ｂの上方への付勢における上限位置は機械的に制限されている。また、図８においては、プレート支持部６０は、エキスパンド部材６３のフランジ部６３ｂに取付部材６６を介して取り付けられており、この取付部材６６に形成されているピン孔部６６ａの内周面に沿って、支持ピン６０ｂの昇降が案内可能となっている。従って、支持端部６０ａに下方に向けて外力が加えられることにより、付勢バネ６０ｃが縮められて支持ピン６０ｂが、ピン孔部６６ａの内周面に沿って下降され、上記外力が弱められる若しくは解除されることにより、縮められていた付勢バネ６０ｃが伸ばされて支持ピン６０ｂが、ピン孔部６６ａの内周面に沿って上昇されることになる。

また、テーパ支持部６５も、その上端部分の形状を除いては、夫々のプレート支持部６０と同様な考え方に基づく機構を備えており、図７、図８及び図５８に示すように、支持ピン６５ｂ、付勢バネ６５ｃ、取付部材６７、及びピン孔部６７ａを備えている。また、その上端部分は、テーパ状の形状を有する傾斜端部６５ａとなっており、この傾斜端部６５ａの傾斜面にウェハリング９の外周端部が当接されることにより、この角度抵抗を利用して、ウェハリング９の表面沿いの方向における支持位置を保持することが可能となっている。なお、図７、図８、及び図５８に示すように、テーパ支持部６５には、支持ピン６５ｂの昇降を案内するガイド部６５ｄが備えられている。また、図８に示すように、エキスパンド部材６３はその上部に環状の先端部６３ａが形成されており、この先端部６３ａがウェハ７の外周部とウェハリング９の内周部との間におけるウェハシート８の下面に当接可能となっている。

このような構成において、夫々のプレート押圧体６１の下面と夫々のプレート支持部６０との間で挟まれて支持された状態のウェハリング９を、押圧体昇降部６２による夫々のプレート押圧体６１の下降動作によって下降させることにより、エキスパンド部材６３の先端部６３ａをウェハシート８の下面に当接させながら、当該当接位置を支点として、ウェハリング９の下降とともに、ウェハシート８を放射状に延伸させることができる。これにより、ウェハシート８の上面に貼着されている夫々のウェハ供給部品２ｗの配置位置も放射状に延伸させられて、いわゆるウェハ７のエキスパンドを行うことができる。なお、図７にしめすように、配置フレーム６４の上面おける夫々のプレート押圧体６１の下方には、下降される夫々のプレート押圧体６１の下面と当接されることにより、その下降の下限位置を規制可能な複数のエキスパンド下限ストッパー６８が取り付けられており、このように下限位置が規制されることで、当該エキスパンドにおけるウェハシート８の延伸の範囲を規制可能としている。

次に、図９は上述のような構成を有するプレート配置装置１２に、トレイ供給用プレート６ｔが配置された状態を示している。図９に示すように、夫々のプレート押圧体６１と、夫々のプレート支持部６０の支持端部６０ａとの間で、トレイリング５９を挟むようにして、トレイ供給用プレート６ｔが支持されている。また、テーパ支持部６５の傾斜端部６５ａの傾斜面にトレイリング５９の外周端部が当接されていることにより、角度抵抗によってトレイリング５９のその表面沿いの方向の支持位置が保持されている。また、トレイリング５９よりも一段下がった高さ位置に位置されているトレイ載置部５８は環状のエキスパンド部材６３の内側に配置されている。さらに、このトレイ供給用プレート６ｔの保持状態において、エキスパンド部材６３の先端部６３ａと、その上方に位置されているトレイリング５９の下面との間には、互いに接触しないような隙間が確保されている。これにより、先端部６３ａがトレイリング５９に接触することにより、当該先端部６３ａが傷付けられることを防止することが可能となっている。また、このような上記隙間の確保は、夫々のプレート押圧体６１の下降位置が、他の部材により規制されることにより行なわれている。この規制方法について、図１０に示すプレート配置装置１２の部分拡大斜視図を用いて説明する。

図１０に示すように、プレート配置装置１２の配置フレーム６４の上面における図示手前の端部近傍には、夫々のプレート押圧体６１の上記下降位置を規制する規制部の一例である中間ストッパー駆動部６９が備えられている。この中間ストッパー駆動部６９は、配置フレーム６４の上面における図示左手前側端部近傍に配置された当接部の一例である中間ストッパー６９ａと、この中間ストッパー６９ａを当該端部に沿って移動させる当接部移動機構の一例であるストッパー移動部６９ｂとを備えている。なお、このストッパー移動部６９ｂは、例えば、圧縮空気の給排気でもって上下方向に駆動可能なシリンダとそのシリンダに取り付けられて、中間ストッパー６９ａに当該シリンダの駆動を機械的に伝達するリンク機構とにより構成されている。ここで、この中間ストッパー駆動部６９の動作を説明する模式説明図を図１１に示す。

図１１に示すように、プレート押圧体６１の下部に規制ピン６１ａが設けられている。この規制ピン６１ａはプレート押圧体６１の下降によって、その下端において中間ストッパー６９ａの上端と当接可能に配置されている。一方、ストッパー移動部６９ｂは、配置フレーム６４の上面に沿って、規制ピン６１ａの下方の位置であり、中間ストッパー６９ａが規制ピン６１ａと当接可能な当接位置と、規制ピン６１ａが下降されても、中間ストッパー６９ａが規制ピン６１ａとの当接を退避することができる退避位置との間で、中間ストッパー６９ａを進退移動させることが可能となっている。従って、中間ストッパー６９ａを上記退避位置に位置させた状態で、夫々のプレート押圧体６１を下降させることにより、図８に示すウェハ供給用プレート６ｗの状態を成し得、また、中間ストッパー６９ａを上記当接位置に位置させた状態で、夫々のプレート押圧体６１を下降させることにより、中間ストッパー６９ａと規制ピン６１ａとを当接させて、夫々のプレート押圧体６１の下降位置を規制して、図９に示すトレイ供給用プレート６ｔの状態を成し得る。すなわち、中間ストッパー６９ａと規制ピン６１ａとが当接された状態で、図９に示すように、トレイリング５９とエキスパンド部材６３の先端部６３ａとの間に上記隙間が確保されるようになっている。なお、プレート配置装置１２において、夫々のプレート押圧体６１の下降における下限位置を規制可能に、個別に中間ストッパー駆動部６９が夫々に設けられており、夫々の中間ストッパー駆動部６９は互いに同期されて駆動される。

ここで、押圧体昇降部６２における空気回路図を図１３に示す。図１３に示すように、押圧体昇降部６２は、圧縮空気の給排気によって駆動可能な複数のシリンダ部７１を備えており、昇降用圧縮空気供給部の一例である昇降用圧縮空気供給ライン７３より供給された空気が、電磁弁７７により選択的に上昇用レギュレータ７５又は下降用レギュレータ７６を通過されて、夫々のシリンダ部７１に供給されることにより、選択的に上昇又は下降動作を行うことが可能となっている。

一方、このような圧縮空気を用いた昇降機構においては、安全性を図るための非常停止をどのように行うかが問題となる。一般的には、非常停止の際には、昇降用圧縮空気供給ライン７３よりの圧縮空気の供給を停止させるとともに、夫々のシリンダ部７１内の圧縮空気を全て抜いてしまうという対策が採られている。このような対策を採ることで、夫々のプレート押圧体６１が下方に下がっているときに、急に上昇させることができないようにすることができるという利点がある。しかしながら、夫々のプレート押圧体６１が上方に位置されている場合には、このような対策を採ると、上記非常停止を行った結果、夫々のプレート押圧体６１が下方に移動してしまうことになる。これでは、夫々のプレート押圧体６１により、その下方に位置されているもの、例えば、作業者の手や、移動エラー等により途中まで搬送された状態のプレート６等を誤って挟んでしまうという問題が起り得、非常に危険なものとなってしまう。

そのため、本実施形態においては、上方に位置されている状態の夫々のプレート押圧体６１を非常停止により下降させることなく、その位置を保持することができるという構成を採っている。具体的には、圧縮空気選択弁の一例であるメカロックバルブ７０を用いて、メカロックバルブ７０のスイッチ部７０ａが機械的に入ることにより上昇用レギュレータ７５を通しての夫々のシリンダ部７１への昇降用圧縮空気ライン７３よりの圧縮空気の供給を行なうようにしており、また、上記昇降用圧縮空気よりも低い圧力の別の圧縮空気を保持用圧縮空気ライン７２より保持用レギュレータ７４を通して夫々のシリンダ部７１に供給するようにしている。このような保持用の圧縮空気の圧力は、夫々のプレート押圧体６１の昇降位置を保持することができる圧力であって、かつ、上昇させることができないような圧力が用いられている。また、保持用レギュレータ７４が保持用圧縮空気供給部の一例となっている。

このようなメカロックバルブ７０は、図１０及び図１０の部分拡大斜視図である図１２に示すように、そのスイッチ部７０ａを下向きとして、配置フレーム６４に固定されており、また、プレート押圧体６１には、このスイッチ部７０ａを押圧可能な当接部分を有する当接バー７８が取り付けられている。また、プレート押圧体６１がその昇降範囲における上方に位置されている場合には、当接バー７８の上記当接部分がスイッチ部７０ａを押圧して、スイッチ部７０ａが入った状態とされ、一方、上記昇降範囲の下方に位置されている場合には、当接バー７８の上記当接部分がスイッチ部７０ａに当接されることなく、スイッチ部７０ａは入っていない状態とされている。このように構成されていることにより、プレート押圧体６１がその昇降範囲における上方（例えば、上限位置）に位置されている場合には、図１３において、保持用圧縮空気ライン７２から保持用レギュレータ７４及びメカロックバルブ７０を通して、夫々のシリンダ部７１に保持用の圧縮空気が供給され、一方、プレート押圧体６１がその昇降範囲における下方（例えば、上記上限位置以外の位置）に位置されている場合には、昇降用圧縮空気ライン７３から電磁弁７７により選択的に上昇用レギュレータ７５又は下降用レギュレータ７６を通して、昇降用の圧縮空気が供給される。

次に、プレート移動装置４０の斜視図を図１４に示す。図１４に示すように、プレート６を解除可能に保持する保持部の一例であるチャック部４１と、チャック部４１がその先端に取り付けられた平面的に略Ｌ字形状を有するアーム機構４２と、アーム機構４２を図示Ｙ軸方向に進退移動させる保持部移動部の一例である移動部４４とを備えている。移動部４４は、図示Ｙ軸方向に配置されたボールねじ軸部４４ａと、ボールねじ軸部４４ａに螺合されたナット部４４ｂと、ボールねじ軸部の一端に固定されて、ボールねじ軸部４４ａをその軸心回りに回転させることにより、ナット部４４ｂを図示Ｙ軸方向に進退移動させる移動モータ４４ｃとを備えている。また、アーム機構４２のチャック部が取り付けられていない側の端部はＬＭブロック４３ａに固定されており、ＬＭブロック４３ａは図示Ｙ軸方向に配置されたＬＭレール４３ｂに沿って、アーム機構４２の移動を案内可能とされているとともに、ＬＭブロック４３ａがナット部４４ｂに固定されて、ナット部４４ｂとともに移動されることにより、アーム機構４２の当該移動が可能となっている。

また、図１４に示すように、チャック部４１に隣接して、プレート６の端部の形状に基づいて、保持されるプレート６がウェハ供給用プレート６ｗなのか、又は、トレイ供給用プレート６ｔなのかを識別するプレート識別部の一例であるプレート識別センサ４１ｂがアーム機構４２に取り付けられている。このプレート識別センサ４１ｂは、図４におけるウェハリング９に形成されていなくて、図５におけるトレイリング５９に形成されている識別孔５６の有無を、透過型センサを用いて識別することでもって、上記プレート６の識別を行っている。また、チャック部４１を挟んでプレート識別センサ４１ｂと逆側には、チャック部４１がプレート６を保持しているかどうかを検出するプレート有無検出センサ４１ａがアーム機構４２に取り付けられている。このプレート有無検出センサ４１ａは透過型センサを用いて、ウェハリング９又はトレイリング５９の端部によりセンサの光の遮光が検出されるかどうかでもって、上記プレート６の有無を検出している。なお、プレート識別センサ４１ｂの識別結果に基づいて、プレート配置装置１２における中間ストッパー駆動部６９による中間ストッパー６９ａの移動位置が決定される。

また、図１４に示すように、アーム機構４２は、チャック部４１を図示Ｘ軸方向における揺れを機械的に収束させながら、そのＸ軸方向における位置のセンタリングを自動的に行うＸ軸方向センタリング部４２ａを備えている。なお、このようなセンタリング機構は、図示Ｘ軸方向に限定されるものではなく、図示Ｙ軸方向におけるセンタリングが行われるようなものであってもよい。さらに、アーム機構４２は、図示Ｙ軸方向奥側にアーム機構４２が他の構成部材に干渉（衝突）したことを検出可能な衝突検出センサ４２ｂを備えている。この衝突センサ４２ｂにより上記衝突が検出された場合には、移動部４４の移動を停止させて、当該衝突による装置の故障や保持している夫々の電子部品２の破損等の防止を図っている。

次に、トレイ供給プレート６ｔへの夫々の部品供給トレイ５７の載置方法について説明する。また、図１５にトレイ載置部５８の部分拡大斜視図を示し、図１６にトレイ載置部５８の断面の模式説明図を示す。

図１５に示すように、トレイ載置部５８には、プレート取出方向Ｃと直交する方向沿いに互いに平行に配置されて、部品供給トレイ５７の互いに対向する夫々の端部と当接されて、部品供給トレイ５７を挟むように、その配置位置を保持可能な２つの保持部材が取り付けられている。また、上記２つの保持部材のうちのプレート取出方向Ｃ側に配置されている上記保持部材は、その部品供給トレイ５７との当接側端部に、部品供給トレイ５７を付勢するように個別にスライド可能な２つのスライド部８０ａを備えたスライド側保持部材８０（可動側保持部材の一例である）となっており、他方の上記保持部材はその部品供給トレイ５７の当接側端部において、当該部品供給トレイ５７の配置位置を固定する固定側保持部材８１となっている。このように構成されていることにより、スライド側保持部材８０の夫々のスライド部８０ａをプレート取出方向Ｃにスライドさせるように、部品供給トレイ５７をトレイ載置部５８の上方から挿入して、スライド側保持部材８０と固定側保持部材８１とで挟んで、部品供給トレイ５７をトレイ載置部５８に載置することができる。なお、図１６に示すように、スライド側保持部材８０と固定側保持部材８１とにおける部品供給トレイ５７の端部との当接部分は、互いに向き合うように傾斜されており、このような傾斜によって、部品供給トレイ５７のトレイ載置部５８からの飛び出しを防止している。なお、図１５においては、トレイ載置部５８には、２列に配列されて合計４個の部品供給トレイ５７が載置されることから、固定側保持部材８１の上記部品供給トレイ５７との当接側端部と逆側の端部に、スライド側保持部材８０の夫々のスライド部８０ａを備えさせて、上記部品供給トレイ５７とプレート取出方向Ｃにおいて隣接されて配置される別の部品供給トレイ５７（図示しない）に対してのスライド側保持部材８０としての機能を併せ持つように構成されている。また、スライド側保持部材８０に夫々のスライド部８０ａが個別にスライド可能に備えられている場合に代えて、図１７に示すように、２つの当接部分を有するスライド部８０ｂが一体的に備えられているような場合であってもよい。また、スライド側保持部材８０において備えられている夫々のスライド部８０ａのスライド動作をロック可能なロック機構が備えられているような場合であってもよい。

また、このようなトレイ供給プレート６ｔには、微小な部品２が配置された部品供給トレイ５７が載置されるような場合もある。特に、このような微小な部品２は、部品供給トレイ５７に微小な振動が与えられるだけでも、部品供給トレイ５７から飛び出してしまう場合も考えられ、このような部品供給トレイ５７のトレイ供給プレート６ｔへの載置作業には注意が必要である。

特に、図１６に示すような部品供給トレイ５７の載置方法では、作業者が一方の手で部品供給トレイ５７を保持しながら、他方の手でスライド側保持部材８０をスイライドさせるというように、両手を用いた作業が必要となり、作業状態が不安定となって、部品供給トレイ５７に対して振動を与えてしまう恐れもある。

そのため、例えば、図５７に示すように、作業者が一方の手、あるいは両手で部品供給トレイ５７を保持しながら、部品供給トレイ５７の端部で、スイライド側保持部材８０をスライドさせて、部品供給トレイ５７を載置すれば、より安定した状態で当該載置作業を行なうことができる。

なお、作業者が他方の手でトレイ供給プレート６ｔを保持する必要がある場合も考えられるため、図３９に示すトレイ供給プレート２０６ｔのように、その中央部分近傍に、作業者の指が入る程度の複数の保持用穴２９３が形成されるようにすることもできる。このような場合にあっては、より確実な保持ができ、微小部品の飛び出しを確実に防止することができる。

（部品供給装置の動作について）
次に、このような構成を有する部品供給装置４におけるマガジンカセット５０より夫々のプレート６を取り出して、プレート配置装置１２に夫々の電子部品２を取り出し可能に配置させるまでの動作について説明する。

まず、図２において、リフター装置１０のカセット昇降部５１によりマガジンカセット５０を上昇又は下降させて、マガジンカセット５０より取り出されるべきプレート６を、プレート移動装置４０のチャック部４１の高さ位置に位置させる。それとともに、プレート配置装置１２において押圧体昇降部６２により夫々のプレート押圧体６１をその昇降の上限位置に上昇させて停止させる。なお、このとき、メカロックバルブ７０のスイッチ部７０ａが当接バー７８により押圧されて、スイッチ部７０ａが入った状態とされており、保持用の圧縮空気が押圧体昇降部６２の夫々のシリンダ部７１に供給されて、夫々のプレート押圧体６１の昇降位置が上記昇降の上限位置にて保持された状態となっている。

次に、プレート移動装置４０における移動部４４によりアーム機構４４が図２の図示Ｙ軸方向左向きに移動されて、チャック部４１がマガジンカセット５０内に移動される。その後、マガジンカセット５０より取り出されるべきプレート６の外周端部近傍が、チャック部４１に隣接して設置されているプレート有無識別検出センサ４１ａにより検出されると、当該外周部近傍がチャック部４１により保持される。それとともに、チャック部４１に隣接して設置されているプレート識別センサ４１ｂにより、当該保持されたプレート６が、ウェハ供給用プレート６ｗであるか、又は、トレイ供給用プレート６ｔであるかが識別される。その後、移動部４４によるアーム機構４２の図示Ｙ軸方向右向きの移動が開始されて、上記保持されたプレート６がマガジンカセット５０の夫々の溝部５０ｂに沿って移動されて取り出される。

その後、チャック部４１により保持されたプレート６が、プレート配置装置１２の夫々のプレート押圧体６１と夫々のプレート支持部６０との間を通過するように移動されて、夫々のプレート支持部６０によりプレート６が支持可能となる位置に位置されて停止される。その後、押圧体昇降部６２により夫々のプレート押圧体６１が下降されて、プレート６の外周部分の上面を下方に押し下げるとともに、上記外周部分の下面を夫々のプレート支持部６０の上端に当接させて、夫々のプレート押圧体６１と夫々のプレート支持部６０にて挟むようにしてプレート６が保持される。それとともに、チャック部４１によるプレートの保持が解除されて、移動部４４によりアーム機構４２が図２の図示Ｙ軸方向右側に移動されて、チャック部４１とプレート６との平面的な位置の干渉がなくなる位置にて停止される。

一方、プレート識別センサ４１ｂによるプレート６の種類の識別結果を受けて、中間ストッパー駆動部６９により中間ストッパー６９ａの移動位置が決定される。まず、当該プレート６が、ウェハ供給用プレート６ｗであるような場合にあっては、中間ストッパー６９ａが上記退避位置に移動されて、夫々の規制ピン６１ａと中間ストッパー６９ａの当接が退避された状態とされる。その後、夫々のプレート押圧体６１がさらに下降されて、夫々のプレート支持部６０が押し下げられて、エキスパンド部材６３の先端部６３ａを支点として、ウェハシート８の延伸が行われて、エキスパンドが行われる。なお、下降されている夫々のプレート押圧体６１は、夫々のエキスパンド下限ストッパー６８に当接されてその下降における下限位置が規制され、この状態で夫々のプレート押圧体６１の下降が停止される。このような状態において、ウェハ供給用プレート６ｗより、夫々のウェハ供給部品２ｗの取り出し供給が可能なり、ウェハシート８の下方より、夫々のウェハ供給部品２ｗを突き上げて、突き上げられたウェハ供給部品２ｗを反転ヘッド装置１４にて保持して取り出すことにより、夫々のウェハ供給部品２ｗの取り出しが行われる。

一方、当該プレート６が、トレイ供給用プレート６ｔであるような場合にあっては、中間ストッパー６９ａが上記当接位置に移動されて、夫々の規制ピン６１ａと中間ストッパー６９ａの当接が可能な状態とされる。その後、夫々のプレート押圧体６１がさらに下降されて、夫々のプレート支持部６０が押し下げられるが、夫々の規制ピン６１と夫々の中間ストッパー６９ａが当接されて、夫々のプレート押圧体６１の下降位置が規制された状態とされる。この状態において、図９に示すように、トレイリング５９の下面と、エキスパンド部材６３の先端部６３ａとの間に互いに当接しないような隙間が確保された状態とされる。また、このような状態とされると、夫々のプレート押圧体６１の下降が停止されて、トレイ供給用プレート６ｔより、夫々のトレイ供給部品２ｔが取り出し可能な状態となる。このような状態において、反転ヘッド装置１４により、トレイ載置部５８に載置された夫々の部品供給トレイ５７より夫々のトレイ供給部品２ｔの保持による取り出しが行われる。

なお、上述のようにウェハ供給用プレート６ｗ又はトレイ供給用プレート６ｔより夫々の電子部品２の取り出しが行われた後、夫々のプレート６が上述の手順の逆を追って、プレート移動装置４０によりマガジンカセット５０に移動されて収納される。

次に、部品供給装置４におけるメンテナンス性を良好とさせる構成について説明する。

まず、リフター装置１０のマガジンカセット５０に収納されている夫々のプレート６のマガジンカセット５０からの飛び出し防止板について説明する。なお、図１に示す電子部品実装装置１０１においては、従来の構成の飛び出し防止板がリフター装置１０に取り付けられている状態を示している。

図１８に示すように、部品供給装置４は、移動可能なリフター装置１０と、それ以外の部分とに大別されており、上記それ以外に部分は、ケーシング８２により覆われている。また、ケーシング８２のリフター装置１０側には、跳ね上げ式に開閉可能な扉８３が設置されている。この扉８３の下方部分に飛び出し防止板８４（プレート規制部の一例でもある）が取り付けられている。ここで、図１９にこの扉８３付近の模式的な断面の説明図を示す。図１９に示すように、扉８３が閉止された状態で、飛び出し防止板８４が、マガジンカセット５０に収納されている取出されるべき１枚のプレート６を除いた夫々のプレート６が、マガジンカセット５０より飛び出さないように、マガジンカセット５０の図示左側前面に配置されている。また、飛び出し防止板８４の下方には、プレート取出口部８４ａが設けられており、このプレート取出口部８４ａに、上記取出されるべき１枚のプレート６が通過されて、プレート配置装置１２に配置可能とされている。

また、図２０及び図２１に示すように、扉８３の下方にさらに別の飛び出し防止板８６が設けられているような場合であってもよい。このような場合にあっては、別の飛び出し防止板８６の下方にプレート取出口部８６ａが設けられることになる。さらに、プレート取出口部８６ａの両端部に、プレート取出口部８６ａを通過するプレート６を検出可能な飛び出し検出部８５を設けることができる。このように、飛び出し検出部８５が設けられているような場合には、図２１に示すように、メンテナンス時等において、扉８３が開放されて飛び出し防止板８４が機能を果たすことができない場合であっても、マガジンカセット５０から飛び出したプレート６を検出することができる。

次に、リフター装置１０の部品供給装置４への装備及び装備解除を行う構成について説明する。

図２２に示すように、リフター装置１０は、マガジンカセット５０とともにカセット昇降部５１を支持する基台５２と、この基台５２の部品供給装置４への装備時における配置位置の保持が可能であって、上記保持を解除して、上記装備解除を行うことが可能な基台保持部の一例である基台保持フレーム９１とを備えている。なお、基台保持フレーム９１は、基台５２をその下部における前面部を除く３方向において接されるようにして、基台５２の保持を行うことが可能となっている。また、図２２に示すように、基台保持フレーム９１は、基台５２の図示Ｘ軸方向右側の下部側面と係合されることにより、基台５２の直線的な移動である直動や、回転させながらの移動である回動を案内する機構を備えている。以下に、この機構について説明する。

図２２に示すように、基台保持フレーム９１は、上記機構として、基台５２の上記装備解除を行う際、すなわち、部品供給装置４より基台５２を移動させる場合に、その基台５２の直動を案内可能な直動案内部の一例であって、その下部近傍におけるＹ軸方向に配置された直動案内レール９３と、この直動案内レール９３の図示Ｙ軸方向左側の端部に隣接されるように配置された基台５２の回動を案内可能な回動案内部の一例である回動案内レール９４とを備えている。また、基台５２におけるその上記機構と接される側の側面下方においては、直動案内レール９３に当接された状態でその直動が案内され、また、回動案内レール９４と係合された状態でその回動が案内される係合部の一例である第１の案内ローラ９２が取り付けられている。さらに、基台５２の上記側面には、図示Ｙ軸方向沿いに配設された２本のＬＭレール９６が固定されている。また、この２本のＬＭレール９６には、夫々にＬＭブロック９７が係合されて、夫々のＬＭレール９６に沿って移動可能とされている。また、この夫々のＬＭブロック９７は、基台支持フレーム９１に取り付けられた回動軸９８に固定されており、回動軸９８の軸心を回転中心として回動可能とされている。また、基台５２の底面には、４つの移動ローラ９９が設置されており、夫々の移動ローラ９９により基台５２が移動可能に支持されている。さらに、回動案内レール９４の外側には、基台５２の上記側面下部と当接可能であるとともに、基台５２の上記直動を案内する第２の案内ローラ９９が設置されている。

このような構成において、基台保持フレーム９１に保持されている状態の基台５２を、上記保持を解除して部品供給装置４から引き出す動作について説明する。また、このような一連の動作状態を平面的に重ねて表示したものを図２３に示す。

図２２及び図２３に示すように、基台５２が基台保持フレーム９１に保持されている状態においては、第１の案内ローラ９２は直動案内レール９３の奥側の端部近傍において当接された状態にあり、また、夫々のＬＭブロック９７は、夫々のＬＭレール９６の手前側の端部近傍に位置されている。なお、この状態においては、基台５２の後側の側面において、図示しない基台保持フレーム９１が備える保持機構によりその保持位置が固定された状態とされている。

基台５２の移動を開始するには、まず、上記保持機構による保持の解除を行う。その後、保持が解除された基台５２を、図２２のＹ軸方向左向きに引き出すように移動を開始させる。これにより、第１の案内ローラ９２が直動案内レール９４に当接されたまま、回転走行されるようにして案内されて、基台５２の直動が案内される。また、第２の案内ローラ９５も基台５２の側面に当接されたまま、回転走行されて基台５２の上記直動を案内する。また、夫々のＬＭレール９６が、夫々のＬＭブロック９７に案内されながら走行される。このとき、第１の案内レール９２と直動案内レール９３により基台５２の回動が規制されているため、回動軸９８は回動することができない。

その後、第１の案内ローラ９２が直動案内レール９３の手前側の端部を通過して、直動案内レール９３との当接が解除されると、それとともに、回動案内レール９４に第１の案内ローラ９２が係合される。これにより、規制されていた回動が可能な状態とされ、第１の案内ローラ９２が回動案内レール９４に案内されながら基台５２の回動が行われる。なお、このとき、ＬＭブロック９７は回動軸９８に固定されているため、その回転中心周りに回動される。このようにして基台５２の回動が行われて、図２３に示すように、基台５２が平面的に略９０度回動されながら、部品供給装置４より引き出された状態とさせることができる。

（実施形態による効果）
上記実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。

まず、部品供給装置４のプレート配置装置１２における夫々のプレート押圧体６１の下降位置を中間ストッパー駆動部６９により選択的に規制することができるため、プレート配置装置１２に配置されるプレート６の種類に応じて、上記下降位置の規制を行うことにより、トレイ供給用プレート６ｔの保持を確実に行うことができ、上記下降位置の規制を解除することにより、ウェハ供給用プレート６ｗを確実に保持しながら、ウェハシート８の延伸を行ってエキスパンドを行うことができる。従って、配置供給されるプレート６の種類に応じて、適切な保持動作やエキスパンド動作を選択的にかつ自動的に行うことができ、部品供給を効率的に行うことを可能とすることができる。

また、上記プレート６の種類の識別は、マガジンカセット５０に混載されている夫々のプレート６をプレート移動装置４０により取り出す際に、プレート６の端部を把持するチャック部４１に隣接して備えられているプレート識別センサ４１ｂを用いて行うことができる。具体的には、プレート６の端部に、トレイ供給用プレート６ｔの場合にのみ識別孔５６を設けて、当該識別孔５６の有無をプレート識別センサ４１ｂにより識別することにより、上記プレート６の種類の識別行うことができる。また、この識別結果に基づいて中間ストッパー駆動部６９による中間ストッパー６９ａの移動位置を決定することにより、夫々のプレート押圧体６１の下降位置の規制を選択的に行うことができる。

また、ウェハ供給用プレート６ｗのウェハシート８に当接されることによりエキスパンドを行うエキスパンド部材６３の先端部６３ａが、トレイ供給用プレート６ｔの下面に接触しないように、上記夫々のプレート押圧体６１の下降位置が規制されているため、エキスパンド部材６３の先端部を傷付けることを防止することができる。

また、プレート配置装置１２においては、その支持高さ位置が可変可能とされた複数のプレート支持部６０が備えられていることにより、夫々のプレート６の外周部近傍において夫々のプレート６を支持することができるとともに、夫々のプレート押圧体６１の昇降動作に合わせて、上記支持を行いながらその支持高さ位置を自由に可変することができ、上述の効果を達成することが可能となっている。

また、その先端に傾斜端部６５ａを有するテーパ支持部６５が備えられていることにより、この傾斜端部６５ａにプレート６の端部を当接させて、角度抵抗によりプレート６の表面沿いの方向の支持位置の保持を行うことができ、確実かつ正確な保持が可能となる。

また、トレイ供給用プレート６ｔのトレイ載置部５８において、プレート取出方向Ｃに直交する方向に、スライド側保持部材８０と、固定側保持部材８１とが設けられていることにより、部品供給トレイ５７をその載置位置の略上方より当該載置位置に載置させて、スライド側保持部材８０と固定側保持部材８１とで挟むようにして部品供給トレイ５７を保持させることができるため、部品供給トレイ５７の載置のために必要な空間を小さくすることができる。従って、トレイ供給用プレート６ｔのトレイ載置部５８に２列に合計４つの部品供給トレイ５７を載置させることができ、トレイ供給プレート６ｔにおける部品供給トレイ５７の面積収容率を向上させることができる。

また、従来の部品供給装置においてはマガジンカセットからの夫々のプレートの飛び出しを防止する飛び出し防止板が、リフター装置に取り付けられていたため、メンテナンスの際に、当該飛び出し防止板が邪魔となって、プレート配置装置等のメンテナンスを行うことが困難であるという問題があった。しかしながら、本実施形態においては、飛び出し防止板８４を扉８３に設ける構成としていることにより、扉８３を開閉させることで、飛び出し防止板８４を移動させることができ、メンテナンス性を向上させることができる。さらに、プレート取出口部８６ａの両端部に、プレート取出口部８６ａを通過するプレート６を検出可能な飛び出し検出部８５を設けているため、当該メンテナンス時等において、扉８３が開放されて飛び出し防止板８４が機能を果たすことができない場合であっても、マガジンカセット５０から飛び出したプレート６を検出することができ、安全性を高めながらメンテナンス性の向上を図ることができる。

また、部品供給装置４へのリフター装置１０の装備又は装備解除を行う際の移動を直動及び回動を組み合わせて行うことができる機構を備えさせているため、より狭い空間にリフター装置１０を確実に収めて装備させること、あるいは、当該空間からより簡単かつ円滑にリフター装置１０を引き出すことが可能となる。従って、このような部品供給装置４をよりコンパクトな空間に配置させるような場合であっても、リフター装置１０の出し入れを容易かつ円滑に行うことができ、メンテナンス性を向上させることができる。

（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる部品供給装置について、以下に説明する。なお、本第２実施形態の部品供給装置は、上記第１実施形態の部品供給装置４と、以下に示す部分的な構成が異なるもののその基本的な構成は共通しているため、以降の説明の理解を容易なものとすることを目的として、上記第１実施形態の部品供給装置４と同様な構成部分には、同じ参照番号を付している。

図２４に示す部品供給装置２０４において、リフター装置１０には、複数の上記ウェハ供給用プレート及び複数の上記トレイ供給用プレートを混載して収納するマガジンカセット２５０が備えられている。このマガジンカセット２５０は、上記第１実施形態と同様に、プレート取出方向Ｃと直交する方向において、互いに対向するように側壁部２５０ａが夫々設けられており、夫々の互いに対向する側面において、プレート取出方向Ｃに沿って、複数の溝部２５０ｂが形成されている。また、夫々のプレートは、その互いに対向する両端部において、夫々の側壁部２５０ａの互いに対向して配置された夫々の組の溝部２５０ｂの係合して支持されることにより、マガジンカセット２５０に保持されて収納されており、これら夫々の溝部２５０ｂが、支持ガイド部の一例となっている。なお、夫々の側壁部２５０ａにおいて夫々の溝部２５０ｂは一定の間隔ピッチでもって形成されており、夫々の溝部２５０ｂに係合されて保持された状態で、夫々のプレートはその表面が略水平な状態とされている。さらに、夫々のプレートは、上記互いに対向する組の溝部５０ｂの形成方向に沿って案内されながら、プレート取出方向Ｃ沿いに進退移動（すなわち、スライド移動）可能な状態とされている。

また、ここで、このマガジンカセット２５０の側壁部２５０ａの部分断面図を図２５に示す。図２５に示すように、側壁部２５０ａは、金属材料であるアルミニウム製のプレート２５０ｃに、熱可塑性樹脂であるジュラコン（登録商標、DURACON : POM:ポリオキシメチレン(Polyoxymethylene)）を用いて一体的に形成された夫々の溝部２５０ｂが固定された構造を有している。このジュラコンは、トレイリング５９やウェハリング９の形成材料であるステンレス材料（例えば、ＪＩＳ規格：SUS304）よりもその表面硬度が低く、軟らかい材料であるという特徴を有しているため、夫々の溝部２５０ｂとプレート６とが、互いに夫々の接触表面において接触されるような場合であっても、当該接触磨耗による切粉等の発生量を低減させることができる。また。熱可塑性樹脂材料が用いられていることにより、複数の凹凸部が連続するような構造の夫々の溝部２５０ｂを容易に形成することが可能となる。なお、このような夫々の溝部２５０ｂとトレイリング５９等の形成材料の組み合わせは、上記組み合わせに限定されるものではない。トレイリング５９の形成材料に対して、夫々の溝部２５０ｂの形成材料の硬度が低ければよく、このような条件のもとにおいてその他様々な組み合わせを採用することが可能である。

また、このような夫々の溝部２５０ｂのさらに詳細な構造を示す一の溝部２５０ｂの側面図を図２６Ａに示し、その正面図を図２６Ｂに示す。なお、夫々の溝部２５０ｂは一体的に形成されているものの、以下における溝部２５０ｂの構造の説明の理解を容易なものとするために、図２６Ａ及び図２６Ｂにおいては、その上記一の溝部２５０ｂを切り出して表示した図としている。

図２６Ａに示すように、溝部２５０ｂにおけるプレート取出方向Ｃ側の端部、すなわち、夫々のプレート６の挿入端部２５０ｄには、プレート取出方向Ｃに対して、僅かに傾斜された面である傾斜面（滑面部の一例である）が形成されている。また、図２６Ｂに示すように、この傾斜面は、プレート取出方向Ｃに対して、プレート６の大略表面に直交する方向である図示下向きに傾斜された下部側傾斜面２５０ｅと、プレート６の大略表面沿いの方向である図示左向きに傾斜された側部側傾斜面２５０ｆとにより構成されている。

このように夫々の溝部２５０ｂの挿入端部２５０ｄにおいて、下部側傾斜面２５０ｅ及び側部側傾斜面２５０ｆが形成されていることにより、図示プレート取出方向Ｃと逆向きに、プレート６を挿入するような場合であっても、プレート６の端部と、このプレート６を支持案内する夫々の溝部２５０ｂの挿入端部２５０ｄとの接触による摩擦を軽減することができ、滑らかなプレート６の挿入を実現することができる。また、このプレート６の挿入の際に、プレート取出方向Ｃと直交する方向において、夫々の溝部２５０ｂによるプレート６の支持位置と、夫々の溝部２５０ｂへのプレート６の挿入位置との間に位置ズレが生じているような場合であっても、下部側傾斜面２５０ｅと側部側傾斜面２５０ｆとによりプレート６を案内しながら挿入して、上記位置ズレを補正することができるという効果もある。

次に、図２７に、トレイ供給プレート６ｔの外観斜視図を示す。図２７に示すトレイ供給プレート６ｔのトレイリング５９のプレート取出方向Ｃ沿いの互いに対向する端部（直線的に形成された端部）と部分円弧状の端部との４箇所の連結部分（Ｒ）においては、その下面端部の角部分が削り取られて滑らかな曲線により構成される滑面部５９ａとされている。このような夫々の連結部分Ｒは、マガジンカセット２５０の夫々の組の溝部２５０ｂとの接触部分であるため、図２８に示すように、夫々の溝部２５０ｂに支持された状態で、プレート取出方向Ｃに沿って、トレイ供給プレート６ｔが進退移動されるような場合であっても、夫々の滑面部５９ａと溝部２５０ｂとの間の摩擦力を低減することができる。従って、マガジンカセット２５０に対する夫々のトレイ供給プレート６ｔの挿入又は取出しの際に、トレイ供給プレート６ｔと夫々の溝部２５０ｂとの接触磨耗による切粉等の発生量を低減することができる。なお、このようなトレイ供給プレート６ｔにおける滑面部５９ａの形成は、その重量が、ウェハ供給プレート６ｗに比して重いという特徴を有するトレイ供給プレート６ｔに適用することが有効であるが、ウェハ供給プレート６ｗに対しても夫々の滑面部を形成し、更なる切粉の発生量を低減させるような場合であってもよい。

また、マガジンカセット２５０の夫々の溝部２５０ｂにおいて、図２９に示すように、夫々のプレート６を支持するとともに、そのプレート取出方向Ｃ沿いの移動を案内する回転部材の一例である複数のローラ部２５０ｇが備えられているような場合であってもよい。このような夫々のローラ部２５０ｇが備えられていることにより、夫々のプレート６と溝部２５０ｂとの間の接触による摩擦力を著しく低減することができ、上記接触による切粉等の発生を抑制することができる。なお、図３０に示すように、このような夫々のローラ部２６１ａは、夫々のプレート６が挿入配置されるプレート配置装置２１２のプレート押圧体２６１の下面において、夫々のプレート６を支持するように備えられるような場合であってもよい。このような場合にあっては、マガジンカセット２５０だけでなく、プレート配置装置１２においても、夫々のプレート６の接触磨耗による切粉等の発生量を低減させることが可能となる。

ここで、マガジンカセット２５０の側壁部２５０ａにおいて、アルミニウム製のプレート２５０ｃに、熱可塑性樹脂であるジュラコンを用いて夫々の溝部２５０ｂが形成され、トレイリング５９やウェハリング９がステンレス材料により形成されているような場合に代えて、その他の材料により形成される場合について説明する。

上述のように、夫々の溝部２５０ｂを樹脂で形成することにより、夫々のプレート６との接触による切粉等の発生量を低減させることができるが、部品実装の現場においては、マガジンカセット２５０の汎用性を考慮して、マガジンカセット２５０をできるだけ標準仕様としたいという要望も多い。このような場合にあっては、逆に、マガジンカセット２５０における夫々の溝部２５０ｂの形成材料よりも、夫々のプレート６の形成材料を表面硬度を低くするように、上記夫々の形成材料の選定を行なうことで、上記効果と同様な効果を得ることができる。

具体的には、図４２のプレート、例えば、トレイ供給プレート３０６ｔの外観斜視図に示すように、トレイリング３５９のプレート取出方向Ｃ沿いの互いに対向する端部３５９ｂを、樹脂、例えばＰＥＥＫ樹脂にて形成する。また、図４２におけるプレート取出方向Ｃから見たマガジンカセットの夫々の溝部３５０ｂに支持された状態のトレイ供給プレート３０６ｔの側面図（一部断面含む）に示すように、夫々の溝部３５０ｂは、アルミニウムで形成されている。また、図４３に示すように、トレイリング３５９の本体部３５９ａは、例えば、アルミニウム板で形成されており、この本体部３５９ａにおける夫々の端部が折り曲げられて段部３５９ｃが形成され、夫々の段部３５９ｃにＰＥＥＫ樹脂にて形成された板が例えばネジ止めにて取り付けられることにより、夫々の端部３５９ｂが形成されている。

このようにトレイリング３５９の端部３５９ｂ及びマガジンカセットの夫々の溝部３５０ｂが構成されることにより、汎用性が求められるマガジンカセットを特殊な仕様とすることなく、互いの接触磨耗による切粉等の発生量を低減させることができる。なお、トレイリング３５９の端部３５９ｂの表面、あるいは、マガジンカセットの夫々の溝部３５０ｂの表面において、簡易的な表面処理を施すような場合であってもよい。

次に、本第２実施形態の部品供給装置２０４におけるトレイ供給プレート６ｔからのトレイ供給部品２ｔの飛び出し防止対策を実現する構成について説明する。

上記第１実施形態においては詳細については説明しなかったが、プレート配置装置２１２のプレート押圧体２６１の下面には、図３１の模式図に示すように、プレート配置装置２１２に供給されたプレート６を、その互いに対向する端部夫々において支持する支持部材の一例である支持部２６１ｂが備えられている。また、これら夫々の支持部２６１ｂは、プレート押圧体２６１の下面とで互いに対向する面が開放された凹部を構成しており、この凹部内においてプレート６の端部を挿入して支持することが可能となっている。また、図３１に示すように、上記凹部内にその端部が挿入して支持された状態のプレート６が、容易にスライド移動することができるように、上記夫々の凹部は、プレート６の厚みに対して十分に余裕を持つように形成されている。

このような構成のプレート配置装置２１２において、後述する本第２実施形態の構成を有していない場合の動作及びその問題点について図３１〜図３４を用いて説明する。

まず、プレート配置装置２１２に供給されたトレイ供給プレート６ｔは、プレート押圧体２６１の夫々の支持部２６１ｂにより支持された状態とされる。この状態においては、トレイ供給プレート６ｔの端部の上面と、夫々のプレート押圧体２６１の下面とは互いに接触されることなく、隙間が確保された状態にある。その後、押圧体昇降部６２により夫々のプレート押圧体２６１が下降されると、トレイ供給プレート６ｔの端部下面が夫々のプレート支持部６０に当接されることとなる。さらに下降されることで、図３２に示すように、トレイ供給プレート６ｔの端部が夫々のプレート押圧体２６１の下面と夫々のプレート支持部６０とで挟まれた状態で支持されることとなる。なお、このような状態においては、トレイ供給プレート６ｔの端部は夫々の支持部２６１ｂから浮き上げられた状態となっている。逆に、このような状態から、夫々のプレート押圧体２６１を上昇させるような場合にあっては、図３３に示すように、トレイ供給プレート６ｔの下面が夫々のプレート支持部６０より浮き上げられた状態とされるが、その際に、上記夫々の凹部内において、トレイ供給プレート６ｔが上下方向に振動することとなる。このような場合にあっては、図３３及び図３４に示すように、当該振動により部品供給トレイ５７よりトレイ供給部品２ｔが飛び出してしまうという問題が発生する場合がある。このような場合にあっては、円滑な部品供給が阻害されることとなる。

このようなトレイ供給部品２ｔの飛び出し防止対策を達成する本第２実施形態における構成を以下に説明する。

図３５に示すように、プレート配置装置２１２における夫々のプレート押圧体２６１には、夫々の支持部２６１ｂにより支持された状態又は夫々のプレート支持部６０により支持された状態のトレイ供給プレート６ｔを、その上面から常に下方に向けて押圧して、夫々の支持部２６１ｂ又はプレート支持部６０に付勢する付勢部材の一例である付勢部２６１ｃが備えられている。夫々の付勢部２６１ｃは、夫々のプレート押圧体２６１に２個ずつ備えられている。

ここで付勢部２６１ｃの拡大外観図を図３６に示す。図３６に示すように、付勢部２６１ｃは、トレイ供給プレート６ｔの上面に当接されるとともに、プレート取出方向Ｃに沿って回転可能な付勢ローラ部２６２と、この付勢ローラ部２６２をその一端に回転可能に備える棒状部材であって、その中間位置を支点としてプレート６と略直交する面内において回転可能に支持された回動部材２６３と、回動部材２６３をプレート押圧体２６１に固定するとともに、上記中間位置を支点として、付勢ローラ部２６２を常時下方に付勢されるように、回動部材２６３を回動付勢する固定部材２６４とを備えている。

図３７及び図３８に示すように、このような付勢部２６１ｃが備えられていることにより、夫々のプレート押圧体２６１の昇降の位置に拘らず、常に、トレイ供給プレート６ｔの端部下面を、夫々の支持部２６１ｂ又はプレート支持部６０に当接されるように押圧付勢することができるため、上記凹部内を振動により上下動するようなことを、確実に防止することができる。従って、プレート押圧体２６１の昇降に伴うトレイ供給プレート６ｔの上記上下動を確実に防止することができ、部品供給トレイ５７よりのトレイ供給部品２ｔの飛び出しの発生を確実に防止することができる。また、付勢ローラ部２６２を介して、トレイ供給プレート６ｔの上面を下方に向けて押圧するように付勢した状態で、付勢ローラ部２６２がトレイ供給プレート６ｔの表面に沿って回転可能とされており、さらに当該回転の方向が、プレート取出方向Ｃ沿いであることにより、プレート配置装置２１２へのトレイ供給プレート６ｔの供給配置動作、又はプレート配置装置２１２よりのトレイ供給プレート６ｔの取り出し動作の際に、夫々の付勢ローラ部２６２が上記夫々の動作を阻害しないようにされている。なお、上記においては、夫々のプレート６のうちの比較的その重量が重いという特徴を有するトレイ供給プレート６ｔについて説明したが、ウェハ供給プレート６ｗに対しても同様に適用することができる。なお、付勢部２６１ｃの設置数は、上記４個の場合のみに限られるものではなく、平面を安定して支持するために、３個以上設けることが好ましい。ただし、付勢部における付勢部分の形状が、例えば、棒状あるいはＵ字状等比較的大きな面積を有しているような場合にあっては、１個又は２個のみが設置される場合でもよい。

次に、ウェハ供給プレート６ｗよりも、その重量が比較的重いという特徴を有するトレイ供給プレート２０６ｔを、マガジンカセット２５０より確実に引き出すことができる構成について説明する。

まず、図３９にトレイ供給プレート２０６ｔの平面図を示し、また、このトレイ供給プレート２０６ｔを解除可能に保持するチャック部２４１の平面図を図４０に、図４０に示すチャック部２４１の先端部における断面図を図４１に示す。図３９に示すように、トレイ供給プレート２０６ｔにおけるトレイリング２５９の図示上側の端部には、上記第１実施形態のトレイ供給プレート６ｔとは異なり、細長い長孔部２９１（係合部の一例である）がさらに形成されている。また、図４０及び図４１に示すように、チャック部２４１の先端部には、この長孔部２９１と係合可能な突起部２４１ｃが形成されている。なお、チャック部２４１の両側には、上記第１実施形態と同様に、プレート有無検出センサ２４１ａとプレート識別センサ２４１ｂとが備えられている。

このようにトレイ供給プレート２０６ｔのチャック部２４１による保持位置において、長孔部２９１が形成され、かつ、この長孔部２９１がチャック部２４１の先端に形成された突起部２４１ｃと係合された状態で、チャック部２４１によりトレイ供給プレート２０６ｔを保持することが可能とされていることにより、その重量が比較的重いという特徴を有するトレイ供給プレート２０６ｔを確実に保持することが可能となる。

また、このようなチャック部２４１の突起部２４１ｃに併せて、ウェハ供給プレート６ｗにも長孔部２９１を形成することで、ウェハ供給プレート６ｗをも確実に保持することができる。また、このチャック部２４１の突起部は、ウェハ供給プレート６ｗの上面に当接する側にのみ形成されていることより、当該係合の際に、ウェハシート７を損傷させることもない。

なお、図３７に示すように、トレイ供給プレート２０６ｔにおいて、複数の孔２９２を形成することで、トレイ供給プレート２０６ｔの軽量化を図ることもできる。

上記第２実施形態によれば、ウェハ供給プレート６ｗよりも、その重量が重いという特徴を有するトレイ供給プレート６ｔを、マガジンカセット２５０に挿入して収納させる場合、あるいはマガジンカセット２５０から取出すような場合であっても、夫々の溝部２５０ｂとプレート６とが接触移動されても、その摺動磨耗による切粉の発生量を著しく低減させることができる。

また、トレイ供給プレート６ｔは、ウェハ供給プレート６ｗと異なり、多数の種類の部品を１枚のトレイ供給プレート６ｔに混載して収納可能な構成とされているため、ある種類の部品の取出しが完了する度に、当該トレイ供給プレート６ｔをマガジンカセット２５０に収納し、その後、収納されたトレイ供給プレート６ｔから異なる部品を取り出す場合には、マガジンカセット２５０から再び取り出すというように、マガジンカセット２５０に対する出し入れの頻度が多いという特徴も備えている。このように出し入れの頻度が多いような場合であっても、上記切粉の発生抑制対策が施されているため、当該切粉発生による駆動トラブルの発生やメンテナンス性の低下等の併発を防止することができ、ウェハ供給プレート６ｗとトレイ供給プレート６ｔとが混載された部品供給装置において、メンテナンス性の向上を図り、効率的な部品供給を実現することができる。

また、夫々のプレート押圧体２６１の昇降動作に伴ってトレイ供給プレート６ｔに発生する振動を、夫々のプレート押圧体に２６１に付勢部２６１ｃを備えさせることで、確実に防止することができ、部品供給トレイ５７よりのトレイ供給部品２ｔの飛び出しを確実に防止することができ、ウェハ供給プレートとトレイ供給プレートとを混載して供給することの弊害を防止することができ、効率的な部品供給を実現することができる。

また、トレイ供給プレート２０６ｔに、チャック部２４１の突起部２４１ｃと係合可能な長孔部２９１を形成することにより、両者を互いに係合させながらチャック部２４１によりトレイ供給プレート２０６ｔの保持を行なうことができ、比較的その重量が重いという特徴を有するトレイ供給プレート２０６ｔを確実かつ安定して保持することができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる部品供給装置について、以下に説明する。本第３実施形態の部品供給装置は、上記第１実施形態の部品供給装置４と、以下に示す部分的な構成が異なるものの、その基本的な構成は共通しているため、以降の説明の理解を容易なものとすることを目的として、上記第１実施形態の部品供給装置４と同様な構成部分には、同じ参照番号を付している。

本第３実施形態の部品供給装置についての説明を行なうに先だって、上記第１実施形態の部品供給装置４にて、夫々のプレート６へのランダムアクセスを行なう場合に生じる可能性があるいくつかの問題点について説明する。

まず、図２の部品供給装置４の斜視図に示すように、マガジンカセット５０に収納されている夫々のプレート６を、プレート移動装置４０により保持しながら取出して移動させ、プレート配置装置１２に配置させる際において、例えば、プレート６が大略円盤状の形状を有していることにより、図４４の模式図に示すように、マガジンカセット５０内において、プレート６が、プレート取出方向Ｃに対して水平方向に傾斜した姿勢で収容されている場合があり、このような場合にあっては、プレート６の周部とマガジンカセット５０の溝部との接触（あるいは衝突）が発生し、プレート６のガタツキが発生する場合がある。特に、プレート６が、その上面に複数のトレイ供給部品２ｔを載置するようなトレイ供給プレート６ｔであるような場合にあっては、上記ガタツキの発生により、上記載置されている夫々のトレイ供給部品２ｔがトレイ供給プレート６ｔから飛び散る場合がある。

また、マガジンカセット５０に収容されている複数のプレート６へのランダムアクセスを部品実装に対して、より効果的なものとするため、マガジンカセット５０には、夫々の溝部５０ｂの間隔の狭ピッチ化を行ない、溝部５０ｂの形成数量の増大化を図って、より多数のプレート６の収納を可能としている。しかしながら、このような夫々の溝部５０ｂの間隔の狭ピッチ化は、作業者によるマガジンカセット５０への夫々のプレート６の収容の際に、図４５の模式説明図に示すように、互いに対向する溝部５０ｂへのプレート６の支持収容を困難なものとし、マガジンカセット５０において、プレート６を水平な支持姿勢で収容させることが困難（すなわち、斜め入れ状態）となる場合がある。このような場合にあっては、マガジンカセット５０よりの当該プレート６の取出し作業に障害が生じることとなる。

従って、本第３実施形態においては、このようなマガジンカセット５０への夫々のプレート６の収容姿勢に起因する諸問題点を解決し、マガジンカセット５０よりの夫々のプレート６の取出しを円滑に行なうことができ、ランダムアクセスをさらに効果的なものとする工夫について説明する。

本第３実施形態にかかる部品供給装置が備えるマガジンカセット４５０をプレート取出方向Ｃを正面側として、当該正面側より見たマガジンカセット４５０の模式説明図を図４６に示す。

図４６に示すように、マガジンカセット４５０における夫々の側壁部４５０ａの内側には、互いに対向して配置された多数の溝部４５０ｂが形成されており、互いに対向する夫々の組の溝部４５０ｂにプレート６の夫々の端部が支持されることで、略水平な姿勢を保ちながら当該プレート６を収容することが可能となっている。さらに、マガジンカセット４５０における図示奥側にも奥側壁部４５０ｃが設けられており、この奥側壁部４５０ｃには、プレート６の端部と係合されることにより、プレート６の水平姿勢と、プレート取出方向Ｃに対する水平方向の姿勢とを正常な姿勢に保つことを可能とする姿勢ガイド部４９０が備えられている。

さらに具体的に説明すると、上記第１実施形態においては詳細には説明しなかったが、図５に示すように、トレイ供給プレート６ｔにおけるプレート取出方向Ｃと逆側の端部（すなわち、トレイリング５９の端部）の下面には、姿勢ガイド部４９０と係合可能な姿勢ガイドブロック５９ａが形成されている。

ここで、このトレイ供給プレート６ｔに備えられた姿勢ガイドブロック５９ａと、マガジンカセット４５０の奥側壁部４５０ｃに備えられた姿勢ガイド部４９０との互いの係合状態の拡大平面図を図４７に示す。また、マガジンカセット４５０における図４６と同じ向きの詳細な正面図を図４８に示し、図４８のマガジンカセット４５０におけるＶ−Ｖ矢視断面図を図４９に示す。

図４８及び図４９に示すように、マガジンカセット４５０の奥側壁面４５０ｃの略中央付近には、夫々の溝部４５０ｂの形成間隔ピッチと同じ間隔ピッチにて、複数の姿勢ガイド部４９０が、上下方向に一列に配列されて備えられている。また、図４７に示すように、姿勢ガイド部４９０は、折り曲げられた状態の２つのピン状部材４９１が、互いに対向しかつ所定の間隔が保たれるように、例えば、奥側壁面４５０ｃにネジ止め等により取り付けられることにより形成されている。また、上記夫々のピン状部材４９１の上記所定の間隔は、奥側壁部４５０ｃの近傍において、トレイ供給プレート６ｔの姿勢ガイドブロック５９ａの形成幅と略同じ寸法とされており、奥側壁部４５０ｃから離れるに従って、上記間隔が広くなるように形成されている。

このようにマガジンカセット４５０において夫々の姿勢ガイド部４９０が備えられ、夫々のトレイ供給プレート６ｔに姿勢ガイドブロック５９ａが備えられていることにより、マガジンカセット４５０の互いに対向する組の溝部４５０ｂに、その互いに対向する端部が支持された状態のトレイ供給プレート６ｔを、さらに、図４７に示すように、姿勢ガイドブロック５９ａと姿勢ガイド部４９０とを係合させることで、トレイ供給プレート６ｔをプレート取出方向Ｃに対して水平方向に正常な姿勢に保つことができ、さらに、夫々の溝部４５０ｂによる支持姿勢を水平な姿勢に保つことができる。特に、姿勢ガイド部４９０における夫々のピン状部材４９１の間隔が、図４７に示すようにテーパ状に形成されていることにより、姿勢ガイドブロック５９ａと姿勢ガイド部４９０との係合を容易なものとすることができるとともに、プレート取出方向Ｃに対して水平方向に傾斜されたトレイ供給プレート６ｔの姿勢を、この係合過程において補正しながら係合することが可能となる。

このようにマガジンカセット４５０に収容された夫々のプレート６の支持姿勢が正常な状態に保たれていることにより、図５０の模式図に示すように、マガジンカセット４５０よりの夫々のプレート６の取出しを円滑に行なうことができ、トレイ供給プレート６ｔからの部品２の飛び出しが発生することも防止することができる。従って、マガジンカセット４５０に収容されている夫々のプレート６へのランダムアクセスを効率的に行なうことができ、効率的な部品供給を実現することができる。

なお、上記説明においては、プレート６がトレイ供給プレート６ｔである場合について代表して説明したが、ウェハ供給プレート６ｗについても同様な構成を採ることができる。

また、このようなウェハ供給プレート６ｗやトレイ供給プレート６ｔが収容されるマガジンカセット４５０においては、マガジンカセット４５０の帯電による夫々の部品２への影響が懸念されることが考えられる。例えば、その帯電量は、通常４００Ｖ〜６００Ｖ程度となる。また、図５６に示すように、マガジンカセット４５０の底部には、マガジンカセット４５０と基台５２とを連結（固定）するための連結ブロック４７１（固定部の一例である）が、例えば３個備えられている。このような帯電による部品への影響を防止するために、例えば、３個の連結ブロック４７１のうちの少なくとも１つの連結ブロック４７１を、導電性材料にて形成することで、接地端子部としての機能を備えさせてマガジンカセット４５０を接地することができ、その帯電量を数Ｖ程度、例えば２Ｖ程度にまで低減することができる。

上記説明においては、マガジンカセット４５０の奥側壁面４５０ｃに、姿勢ガイド部４９０が形成されるような場合について説明したが、本第３実施形態はこのような場合にのみ限定されるものではない。このような場合に代えて、上述の姿勢ガイド部４９０の装備による効果を得ながら、さらに作業性を改善することができるマガジンカセットについて、本第４実施形態の変形例として以下に説明する。

多数のプレート６を収容するマガジンカセットが用いられる部品供給装置や部品実装装置においては、マガジンカセット内に収容されている夫々のプレート６の交換や補給作業等を行なうことが必要となる。従って、効率的な部品実装や部品供給にあっては、このようなマガジンカセットに対するプレート６の交換作業における作業性を良好なものとすることが求められる。

しかしながら、図５１の模式図に示すようなマガジンカセット５００においては、マガジンカセット５００のプレート取出方向Ｃから見て、奥側壁面５００ｃがマガジンカセット５００の本体に固定されており、夫々のプレート６の交換等のためには、マガジンカセット５００をカセット昇降部５１により所定の場所に位置させて、基台５２よりマガジンカセット５００を取り外して、マガジンカセット５００におけるプレート取出方向Ｃ側の開口部より夫々のプレート６の交換作業等を行なう必要がある。また、このようなマガジンカセットは、その重量も総じて大きなものとなり、例えば、２０〜３０ｋｇ程度の重量となるため、このような作業者によるマガジンカセット５００の脱着作業は、作業効率の向上を阻害する要因となる。また、マガジンカセット５００を取り外すことは、部品供給装置の稼動を停止させることにもなり、このような観点からも、作業効率の向上が望まれている。本変形例は、このようなランダムアクセスにおける諸問題を解決して、さらなる作業効率の向上を実現することを目的としている。

まず、本変形例にかかるマガジンカセット５５０の模式的な斜視図を図５２に示し、さらに、このマガジンカセット５５０の断面図的な模式説明図を図５３に示す。

図５２及び図５３に示すように、マガジンカセット５５０においては、プレート取出方向Ｃに対して奥側壁面が、開閉可能な扉部の一例である開閉カバー部５５０ｃとなっている点において、上記第３実施形態のマガジンカセット４５０と異なる構成を有している。また、この開閉カバ−部５５０ｃの内側には、上記マガジンカセット４５０の奥側壁面４５０ｃと同様に、夫々のプレート６の支持姿勢を正常な姿勢に保つための姿勢ガイド部５９０が備えられている。

このように開閉カバ−部５５０ｃが設けられていることにより、マガジンカセット５５０を基台５２から取り外すことなく、開閉カバー部５５０ｃを開放させることで、夫々のプレート６の交換作業を行なうことが可能となる。従って、このような交換作業における作業性を著しく向上させることができる。また、開閉カバー部５５０ｃに夫々の姿勢ガイド部５９０が備えられていることにより、マガジンカセット５５０内に夫々のプレート６を収容した後、開閉カバー部５５０ｃを閉止することで、夫々のプレート６の姿勢ガイドブロックと開閉カバー部５５０ｃの姿勢ガイド部５９０とを係合させることができ、当該係合により夫々のプレート６の姿勢を正常に保つことができる。

また、マガジンカセット５５０内にプレート６が水平状態ではなく傾斜された姿勢で収容された場合には、姿勢ガイドブロックと姿勢ガイド部５９０とが互いに係合することができず、開閉カバー部５５０ｃを完全に閉止することができないこととなる。このような特徴を利用して、作業者がマガジンカセット５５０において、夫々のプレート６の交換作業を終えた後、開閉カバー部５５０ｃを閉止する際に、完全に閉止されたかどうかを確認することにより、夫々のプレート６が正常な姿勢で収容されたかどうかを判断することが可能となる。

なお、このように作業者が目視で開閉カバー部５５０ｃの開閉状態を確認するような場合に代えて、開閉カバー部５５０ｃに開閉状態を検出可能な開閉検出センサ５８０を備えさせるような場合であってもよい。例えば、図５２及び図５３に示すように、開閉カバー部５５０ｃに開閉検出センサ５８０の被検出部５８０ａを備えさせ、開閉カバー部５５０ｃが閉止した際に、この被検出部５８０ａを検出可能に、マガジンカセット５５０の本体側に検出部５８０ｂを備えさせるようにすることができる。

このように制御的に開閉を検出することで、作業者の視認ミス等を防止することができ、確実な検出を行なうことができるとともに、例えば、この開閉検出センサ５８０による開閉カバー部５５０ｃの閉止を検出して初めて、部品供給装置を稼動させるというインターロック回路を設けることもできる。

また、図５３に示すように、カセット昇降部５１によりマガジンカセット５５０が収納されている夫々のプレート６を交換可能な位置、例えば原点位置に位置された状態において、プレート移動装置４０によりマガジンカセット５５０との間でプレート６の出し入れが可能なプレート収容部５７０が、マガジンカセット５５０の下部に設けられている。このプレート収容部５７０には、例えば、１枚のプレート６のみが収容可能となっており、上記原点位置に位置された状態のマガジンカセット５５０に対して、夫々のプレート６の交換作業中であっても、プレート収容部５７０に収容されたプレート６を、プレート移動装置４０により取出して、部品２の供給を行なうこと、及び、部品２の供給が行われたプレート６をプレート収容部５７０に収容させることが可能となっている。

このようなプレート収容部５７０がマガジンカセット５５０に備えられていることにより、マガジンカセット５５０の収容されている夫々のプレート６の交換作業を行なっている間であっても、プレート収容部５７０に収容されたプレート６を用いて、部品供給を継続して行なうことができ、効率的な部品供給を行なうことができる。

また、図５４Ａ、図５４Ｂは、マガジンカセット５５０の本体部における開閉カバー部５５０ｃの開口端部における夫々の側壁部５５０ａの部分拡大図（左側、右側）であるが、これらに示すように、マガジンカセット５５０の内部に備えられている夫々の溝部５５０ｂにおける互いに対向する組ごとに、例えば段番号を表示することもできる。このような場合にあっては、マガジンカセット５５０内に作業者が夫々のプレート６を収容する場合に、左右の溝部５５０ｂの段数を間違うことを防止することができる。

上述のような夫々の構成を利用したマガジンカセット５５０内に収容されている夫々のプレート６の交換作業を、プレート交換作業工程（あるいは部品供給作業工程）として、図５５のフローチャートにその手順を示す。

図５５に示すように、ステップＳ１にて、プレート交換作業を開始する。この作業開始は、例えば交換作業モードとして、部品実装装置が備える制御装置等を操作することにより行なうことができる。次に、ステップＳ２にて、マガジンカセット５５０が、カセット昇降部５１により昇降されて、上記原点位置に位置される。

その後、ステップＳ３において、マガジンカセット５５０の開閉カバー部５５０ｃを開放して、夫々のプレート６の交換作業を行なう。このとき、プレート配置装置１２において、部品供給中のプレート６があるような場合であって、当該部品供給が完了した場合には、このプレート６は、プレート移動装置４０によりプレート収容部５７０に収容させることができる（ステップＳ４）。

夫々のプレート６の交換作業が完了すると、ステップＳ５において、夫々のプレート６が収容された段番号の確認を行なって、斜め姿勢にて収容されていないことを確認する。その後、開閉カバー部５５０ｃを閉止し、この閉止を確認することで、夫々のプレート６が正常な姿勢で収容されたことを確認することができる。なお、この閉止の確認は、上述したように開閉検出センサ５８０でもって行なうこともできる。これにより、プレート交換作業が完了する（ステップＳ７）。

このような手順にて上記プレート交換作業を行なうことにより、部品供給装置による部品供給作業を中断させることなく、上記夫々のプレートの交換を、円滑かつ効率的に行なうことができ、より効率的な部品供給を行なうことができる。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

本発明の第１実施形態にかかる電子部品実装装置の斜視図である。 図１の電子部品実装装置が備える部品供給装置の拡大半透過斜視図である。 上記部品供給装置のリフター装置におけるマガジンカセットの半透過斜視図である。 上記部品供給装置にて取り扱われるウェハ供給用プレートの斜視図である。 上記部品供給装置にて取り扱われるトレイ供給用プレートの斜視図である。 上記リフター装置におけるカセット昇降部の斜視図である。 上記部品供給装置のプレート配置装置の斜視図である。 上記プレート配置装置に上記ウェハ供給用プレートが配置された状態の断面図である。 上記プレート配置装置に上記トレイ供給用プレートが配置された状態の断面図である。 上記プレート配置装置の部分拡大斜視図である。 上記プレート配置装置における中間ストッパー駆動部の模式説明図である。 上記プレート配置装置におけるメカロックバルブの取り付け状態と示す斜視図である。 上記プレート配置装置における押圧体昇降部の空気回路である。 上記部品供給装置におけるプレート移動装置の斜視図である。 上記トレイ供給用プレートの部分拡大斜視図である。 上記トレイ供給用プレートの模式断面図である。 上記トレイ供給用プレートの部分拡大斜視図である。 上記部品供給装置の斜視図である。 上記部品供給部の飛び出し防止板の斜視図である。 上記飛び出し防止板が備えられた扉が閉止状態の上記部品供給装置の斜視図である。 上記飛び出し防止板が備えられた扉が開放状態の上記部品供給装置の斜視図である。 上記リフター装置における基台と基台支持フレームとの関係を示す斜視図である。 上記基台の引き出し動作の軌跡を示す模式平面図である。 本発明の第２実施形態にかかる部品供給装置の拡大半透過斜視図である。 図１の部品供給装置が備えるマガジンカセットの側壁部の断面図である。 マガジンカセットの溝部を示し、溝部の側面図である。 マガジンカセットの溝部を示し、図２６Ａの溝部の正面図である。 トレイ供給プレートの外観斜視図である。 図２７のトレイ供給プレートが溝部により支持された状態を示す模式断面図である。 上記第２実施形態の変形例にかかる溝部の形態を示す部分断面図であり、ローラ部を備える溝部の形態を示す図である。 プレート押圧体にローラ部が備えられた状態の部分断面図である。 プレート押圧体の夫々の支持部にトレイ供給プレートが支持された状態の模式断面図である。 プレート支持部によりトレイ供給プレートが支持された状態の模式断面図である。 プレート支持部によるトレイ供給プレートの支持が解除されて、部品飛び出しが発生している状態の模式断面図である。 プレート支持部によるトレイ供給プレートの支持が解除されて、部品飛び出しが発生している状態の模式断面図である。 プレート配置装置の外観斜視図である。 プレート押圧体が備える付勢部の外観斜視図である。 図３６の付勢部が装備されている場合におけるトレイ供給プレートの支持状態を示す模式断面図であり、トレイ供給プレートが夫々の支持部により支持されている状態を示す図である。 図３６の付勢部が装備されている場合におけるトレイ供給プレートの支持状態を示す模式断面図であり、トレイ供給プレートが夫々のプレート支持部により支持されている状態を示す図である。 長孔部を備えるトレイ供給プレートの平面図である。 突起部を備えるチャック部の平面図である。 図４０のチャック部の先端における断面図である。 上記第２実施形態の変形例にかかるトレイ供給プレートの斜視図である。 図４２のトレイ供給プレートの側面図である。 ランダムアクセスによるプレートの取出しを行なう場合において、発生する恐れがある問題点を説明するための模式説明図であり、プレート取出方向に対して水平方向にプレートが傾斜された状態で、当該プレートが取り出されている状態を示す図である。 マガジンカセットに斜めの姿勢でプレートが収容された状態を示す模式説明図である。 本発明の第３実施形態にかかるマガジンカセットの模式的な側面図である。 図４６のマガジンカセットが備える姿勢ガイド部の拡大平面図である。 図４６のマガジンカセットのプレート取出方向側から見た側面図である。 図４８のマガジンカセットのＶ−Ｖ線断面図である。 図４６のマガジンカセットに収納されたプレートが取出される状態を示す模式説明図である。 上記第３実施形態の変形例にかかるマガジンカセットの構成を説明するための比較対象のマガジンカセットの模式斜視図である。 上記第３実施形態の変形例にかかるマガジンカセットの模式斜視図である。 図５２のマガジンカセットの構成を示す断面図的な模式図である。 マガジンカセットの本体における開閉カバー部用の開口端部を示す図であり、左側端部を示す図である。 マガジンカセットの本体における開閉カバー部用の開口端部を示す図であり、右側端部を示す図である。 プレート交換作業工程の手順を示すフローチャートである。 マガジンカセットの底部を示す図である。 図１６のトレイ供給プレートへの部品供給トレイの取り付け作業の変形例を示す図である。 テーパ支持部の拡大側面図である。

符号の説明

２ 電子部品
２ｗ ウェハ供給部品
２ｔ トレイ供給部品
４ 部品供給装置
５ 実装部
６ プレート
６ｗ ウェハ供給用プレート
６ｔ トレイ供給用プレート
７ ウェハ
８ ウェハシート
９ ウェハリング
１０ リフター装置
１２ プレート配置装置
１４ 反転ヘッド装置
２０ 実装ヘッド部
２２ Ｘ軸ロボット
２４ 基台
２６ ＸＹテーブル
２８ 基板保持台
３０ 基板搬送装置
３２ ローダ
３４ アンローダ
４０ プレート移動装置
４１ チャック部
４１ｂ プレート識別センサ
４４ 移動部
５０ マガジンカセット
５１ カセット昇降部
５２ 基台
５６ 識別孔
５７ 部品供給トレイ
５８ トレイ載置部
５９ トレイリング
６０ プレート支持部
６１ プレート押圧体
６２ 押圧体昇降部
６３ エキスパンド部材
６４ 配置フレーム
６５ テーパ支持部
６９ 中間ストッパー駆動部
６９ａ 中間ストッパー
７０ メカロックバルブ
７２ 保持用圧縮空気ライン
７３ 昇降用圧縮空気ライン
８０ スライド側保持部材
８１ 固定側保持部材
８４ 飛び出し防止板
１０１ 電子部品実装装置
Ｃ プレート取出方向

Claims (9)

1. 基板に実装される部品のうちの複数のウェハ供給部品が配置されたウェハを載置するウェハ供給用プレートと、複数のトレイ供給部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートとより、上記夫々のウェハ供給部品及び上記夫々のトレイ供給部品を部品実装可能に供給する部品供給装置において、
   複数の上記ウェハ供給用プレート及び複数の上記トレイ供給用プレートを積層させて収納する収納体を備えるプレート収納部と、
   上記ウェハ供給用プレートによる上記夫々のウェハ供給部品の供給高さと、上記トレイ供給用プレートによる上記夫々のトレイ供給部品の供給高さとが略同じとなるように、上記夫々のプレートのうちのいずれかの上記プレートを選択的に配置させて保持し、上記ウェハより上記夫々のウェハ供給部品を、又は、上記部品供給トレイより上記トレイ供給部品を供給可能な状態とさせるプレート配置装置と、
   上記プレートを解除可能に保持してその表面沿いの方向へ移動させて、上記プレートを上記収納体から取り出して上記プレート配置装置に受け渡すとともに、上記プレート配置装置より上記プレートを受け取って上記収納体に収納させるプレート移動装置とを備え、
   上記収納体は、上記夫々のプレートの互いに対向する夫々の端部を個別に支持し、かつ、上記夫々のプレートの取出における上記プレートの表面沿いの方向への移動を案内する互いに対向して配置された複数の組の支持ガイド部を備え、上記収納体は、上記各々の支持ガイド部との接触部分に滑面部が形成された上記夫々のプレートを収納することを特徴とする部品供給装置。
2. 上記夫々のプレートの上記移動の方向と略直交する方向における上記夫々の組の支持ガイド部への上記夫々のプレートの挿入位置と、上記夫々の組の支持ガイド部による支持位置との間の位置ズレを補正可能に、上記夫々の組の支持ガイド部の挿入端部に、上記移動の方向に対して傾斜された傾斜面が形成されている、請求項１に記載の部品供給装置。
3. 上記夫々のプレートと上記夫々の支持ガイド部との互いの接触表面における夫々の硬度が、上記夫々のプレートよりも上記夫々の支持ガイド部が低くなるように、上記夫々の接触表面が形成される、請求項１又は２に記載の部品供給装置。
4. 上記夫々のプレートと上記夫々の支持ガイド部との互いの接触表面における夫々の硬度が、上記夫々の支持ガイド部よりも上記夫々のプレートが低くなるように、上記夫々の接触表面が形成される、請求項１又は２に記載の部品供給装置。
5. 上記夫々の支持ガイド部は、上記夫々のプレートの端部を支持しながら、当該端部の表面に沿って回転可能なローラ部を備える、請求項１又は２に記載の部品供給装置。
6. 上記収納体は、上記夫々の支持ガイド部の組の間に配置され、上記夫々のプレートと係合されることで、上記夫々のプレートの水平方向の支持姿勢を案内する複数の姿勢ガイド部をさらに備える、請求項１〜５のいずれか１つに記載の部品供給装置。
7. 上記収納体は、開閉可能な上記夫々のプレートの交換用の扉部を有し、上記夫々の姿勢ガイド部は当該扉部の内側に備えられている、請求項６に記載の部品供給装置。
8. 上記収納体は、上記扉部の開閉を検出する開閉検出センサを備える、請求項７に記載の部品供給装置。
9. 上記プレート収納部は、上記収納体を支持する基台を備え、
   上記収納体は、上記基台への支持面に当該支持を固定する複数の固定部を有し、少なくとも１つの上記固定部が、導電性材料で形成され、接地端子部としての機能を有する、請求項１〜８のいずれか１つに記載の部品供給装置。

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