KR100462894B1 - 웨이퍼 반송암 억세스 위치 보정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 반송암 억세스 위치보정장치에 관한 것으로서, 탑재대의 상면에 안착된 카세트의 내부로 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하는 반송암을 구비한 웨이퍼 반송장치에 있어서, 상기 웨이퍼카세트 내부 바닥부에는 상기 반송암의 억세스 위치를 조정하는 반송암위치조정지그가 착탈 가능하게 구비되는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 단순히 상기 반송암을 별도의 위치조정지그를 이용하여 위치조정을 함에 따라 보다 정확히 위치조정을 이룸과 아울러 그 위치조정을 단순히 위치조정지그의 외측으로 끼워서 형상 맞춤에 의해 행하도록 구성하여 위치조정작업 또한 간단하게 행할 수 있는 이점이 있다.

Description

웨이퍼 반송암 억세스 위치 보정장치{WAFER TRANSFER ARM ACCESS POSITION CALIBRATION APPARATUS}

본 발명은 웨이퍼 반송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 그상면에 안착시켜 소정의 위치로 이송시키는 웨이퍼 반송암의 억세스 위치 보정장치에 관한 것이다.

최근 반도체 제조 프로세스에 있어서, 반송기구를 구비하는 트랜스퍼 챔버를 중심으로 하여 그 주위에 스퍼터링, CVD(Chemical Vapor Deposition) 등의 증착공정이나 RIE(Reactive Ion Etching)등의 에칭 공정 등을 행하는 각종 프로세스 챔버나 피 공정체를 외부에서 출납하기 위한 로드·언로드 챔버가 게이트를 사이에 두고 접속된 소위 클러스터 도구화된 멀티챔버 방식의 낱장식 반도체 제조장치가 이용되고 있다.

이러한 반도체 제조장치에 있어서는 웨이퍼를 복수 수납하는 카세트를 로드·언로드 챔버내의 이동이 가능한 스테이지 등에 탑재한다.

그리고, 트랜스퍼 챔버내에 구비된 반송기구의 반송암에 의해 웨이퍼는 상기 카세트로부터 출력되고, 그 트랜스퍼 챔버내를 거쳐 지정된 프로세스 챔버 내로 반송된다.

상기 프로세스 챔버내에 반송된 웨이퍼에는 에칭공정이나 스퍼터링 공정 등의 소정 공정이 실시된다.

그리고, 소정의 공정처리를 마친 웨이퍼는 트랜스퍼챔버내를 거쳐 다시 카셋트에 수납된다.

상기 카셋트는 양측면에 각각 복수의 슬롯이 마련되고, 그들 슬롯에 복수의 웨이퍼가 수반되어 예컨대 25장의 웨이퍼를 병렬로 수용하도록 구성된다.

도 1은 상술한 종래의 카세트(1) 내부로 웨이퍼(W)가 반송암(3)에 의해 로딩.언로딩 되는 상태를 도시한 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이 탑재대(5)위에 복수매의 웨이퍼(W)를 수납하는 카세트(1)가 얹혀져 있고, 그 일측에 구동부(미도시)에 의해 소정의 방향으로 θ회전됨은 물론 수평 또는 수직이송이 가능하게 설치된 반송암(3)이 있다.

그런데, 상술한 바와 같은 반송암(3)은 빈번한 구동 동작 등에 의해 그 위치가 틀어져 상면에 로딩되는 웨이퍼(W)의 위치가 도 1에 도시된 바와 같은 화살표(①,②)방향으로 틀어져 카세트(1) 내부로 웨이퍼(W)를 로딩 또는 언로딩시키는 과정에 있어 웨이퍼(W)가 카세트(1)의 내부 중앙에 위치하지 못하고 좌우로 치우치거나, 카세트(1) 개구 방향 또는 그 반대 방향측으로 치우치게 된다.

따라서, 반송동작을 진행함에 있어 웨이퍼(W)가 반송암(3)으로부터 이탈되거나 카세트(1)등에 부딪혀 떨어져서 파손될 위험성이 높다.

그러나, 종래에는 상기 반송암(3)의 위치조정을 하기 위한 별도의 장치가 마련되어 있지 않아 작업자의 감각에 의존하여 수작업에 의하여 반송암(3) 위치 조정을 행하였다.

따라서, 반송암(3)을 카세트의 어느 정도까지 삽입되는지 정확한 치수가 정해진 것이 아니어서 작업자마다 오차가 발생하여 그 위치조정의 신뢰도가 낮을 뿐만 아니라 작업시간 또한 오래 걸리는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 반송암의 억세스 위치를 조정할 수 있는 별도의 보정장치를 마련하여 정확한 위치조정을 수행하도록 함과 아울러 그 위치 조정 작업성을 향상시키는 웨이퍼 반송암 억세스 위치 보정장치를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 탑재대의 상면에 안착된 웨이퍼 카세트의 내부로 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하는 반송암을 구비한 웨이퍼 반송장치에 있어서, 상기 웨이퍼카세트 내부 바닥부에는 상기 반송암의 억세스 위치를 조정하는 반송암위치조정수단이 착탈가능하게 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 반송암위치조정수단은 상기 카세트의 내부 바닥에 형성된 복수개의 핀에 삽입되는 핀삽입홀이 마련된 베이스블럭; 및 상기 베이스블럭의 상면에 마련되며 그 양단이 U자형으로 형성된 반송암의 형상과 대응된 형상을 갖도록 라운딩처리되어 상기 반송암의 내면이 그 외면과 접촉되어 위치조정이 가능하도록 된 위치조정블럭을 포함한다.

도 1은 종래의 웨이퍼 반송암의 위치 보정상태를 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 반송암 억세스 위치 보정 장치의 예를 도시한 도면,

도 3은 상기 도 2의 반송암위치보정지그가 설치되는 상태를 분리해서 도시한 분리사시도,

도 4는 상기 도 3의 A-A′를 따른 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

21 : 카세트 21a : 핀

25 : 반송암 30 : 반송암위치조정지그

31 : 베이스블럭 31a : 핀삽입홀

33 : 위치조정블럭

이하 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 웨이퍼 반송암 억세스 위치 보정장치의 구성 및 작용에 대해서 좀더 자세히 설명한다.

도 2에 도시된 바와 같이 그 내부에 복수매의 웨이퍼(W)를 적층 수납하는 카세트(21)가 탑재대(23)의 상면에 안착되어 있다.

상기 카세트(21)의 개구측에는 웨이퍼(W)를 집어서 상기 카세트(21)에 로딩·언로딩시키는 반송암(25)이 설치된다.

상기 반송암(25)은 도시되지 않은 구동부에 의해 소정의 방향의 θ회전됨은수평 방향 및 수직방향으로 이송가능하게 설치되어 그 위치를 변경시켜가면서 웨이퍼(W)를 이송시킨다.

상기 카세트(21)의 내부 바닥에는 상기 반송암(25)의 로딩.언로딩 위치를 정확하게 보정하는 반송암위치보정지그(30)가 마련된다.

상기 반송암위치보정지그(30)는 상기 반송암(25)의 위치를 보정할 때만 상기 카세트(21)에 설치되도록 구현된 것으로서, 그 구성은 상기 도면에 도시된 바와 같이 카세트(21)의 내부 바닥에 안착되는 베이스블럭(31)과, 상기 베이스블럭(31)의 상면에 마련되며 그 양단이 U자형으로 형성된 반송암(25)의 형상과 대응된 형상을 갖도록 라운딩처리되어 상기 반송암(25)의 내면이 그 외면과 접촉되어 위치조정을 하도록 된 위치조정블럭(33)으로 구성된다.

상기 베이스블럭(31)의 고정은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 베이스블럭(31)에 형성된 복수개의 핀삽입홀(31a)과, 상기 카세트(21)의 바닥에 돌출 형성된 핀(21a)에 의하도록 구성된다.

상기 위치조정블럭(33)은 상기 반송암(25)의 로딩 또는 언로딩위치를 지정하여 웨이퍼(W)가 틀어짐 없이 상기 카세트(21)의 내부에 정확하게 안착되도록 유도하는 위치에 고정됨은 물론이다.

다음은 상술한 바와 같이 구성된 반송암위치보정지그(30)에 의해 반송암(25)의 위치가 보정되는 상태에 대해서 설명한다.

먼저, 반송암(25)이 웨이퍼(W)를 이송하여 상기 카세트(21)내부에 로딩·언로딩되는 동작을 빈번히 수행함으로써 그 로딩·언로딩위치가 틀어지게 된다.

이를 보정하기 위하여 본 발명의 반송암위치보정지그(30)를 사용한다.

먼저, 카세트(21)의 내부 바닥에 돌출 형성된 핀(21a)에 베이스블럭(31)의 핀삽입홀(31a)을 끼워서 소정의 위치로 위치시킨다.

다음, U자형으로 형성된 반송암(25)의 웨이퍼 집게부를 상기 베이스블럭(31)의 상면에 형성된 위치조정블럭(33)의 외부에 접촉시켜 슬라딩시키면서, 상기 카세트(21)의 내부 방향으로 밀어 넣는다.

이때, 상기 위치조정블럭(33)은 그 형상이 상기 반송암(25)의 형상과 대응된 형상으로 이루어져 상기 반송암(25)을 위치조정블럭(33)의 외부에서 단순히 접촉시켜 슬라이딩시켜 형상맞춤을 이루어 상기 반송암(25)의 위치조정을 행한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 단순히 상기 반송암을 별도의 위치조정지그를 이용하여 위치조정을 함에 따라 보다 정확히 위치조정을 이룸과 아울러 그 위치조정을 단순히 위치조정지그의 외측으로 끼워서 형상 맞춤에 의해 행하도록 구성하여 위치조정작업 또한 간단하게 행할 수 있는 이점이 있다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (2)

1. 탑재대의 상면에 안착된 카세트의 내부로 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하는 반송암을 구비한 웨이퍼 반송장치에 있어서,

   상기 카세트 내부 바닥부에는 상기 반송암의 억세스 위치를 조정하는 반송암위치조정지그가 착탈가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송암 억세스위치 보정장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 반송암위치조정지그는 상기 카세트의 내부 바닥에 형성된 복수개의 핀에 삽입되는 핀삽입홀이 마련된 베이스블럭; 및

   상기 베이스블럭의 상면에 마련되며 그 양단이 상기 U자형으로 형성된 반송암의 형상과 대응된 형상을 갖도록 라운딩처리되어 상기 반송암의 내면이 그 외면과 접촉되어 위치조정이 가능하도록 된 위치조정블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송암 억세스 위치 보정장치.