JP2007134229A - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計測対象の計測面を高速かつ自動的に選択する機構及び、電子波強度分布を高速に読み書きのできる画像計測機構を備え、当該画像計測機構に記録された複数の画像から、自由空間を伝搬する波の位相変化と強度変化の関係を表した一般式である強度輸送方程式に基づいて、電子波の位相分布を高速に計測表示する演算機構を備えることで実現する。
【選択図】図5
Description
[1]透過電子顕微鏡において、計測対象となる物体(試料)からの光学的伝播距離の異なる計測面を選択する計測面選択機構と、選択された計測面における電子波強度を計測する画像計測機構と、計測された電子波強度から強度輸送方程式に基づき、電子波の位相を求める位相演算機構を備えることを特徴とする。
5の
このような加速電圧の変化による結像レンズ57の焦点変化ではヒステリシスを無視できるので好都合である。しかし、数ミクロン以上の大きな焦点変化を必要とする場合には
、必要な加速電圧の変化が大きくなり、この方法は適用困難となる。
2 注目する計測面
3 注目する計測面の後の計測面
51 電子顕微鏡
52 制御コンピュータ
53 計測面選択機構
54 画像計測機構
55 位相演算機構
56 モニター
57 結像レンズ
58 試料
61 回転、倍率補正部
62 位置ずれ補正部
63 位相演算部
64 収差補正部
65 回転、倍率補正値
66 球面収差係数、デフォーカス、加速電圧、倍率等
71 微分計算部
72 フーリエ変換部
73 x-フィルタ
74 逆フーリエ変換部
75 除算部
76 フーリエ変換部
77 x-フィルタ
78 逆フーリエ変換部
79 加算部
80 位相
81 注目する計測面の前後の計測面での計測強度、計測距離
82 注目する計測面での計測強度
83 y-フィルタ
84 逆フーリエ変換部
85 除算部
86 フーリエ変換部
87 y-フィルタ
88 逆フーリエ変換部
Claims (6)
- 計測対象となる物体(試料)からの光学的伝播距離の異なる計測面を選択する計測面選択機構と、
電子波強度を計測する画像計測機構と、
計測された電子波強度から強度輸送方程式に基づき、電子波の位相を求める位相演算機構を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1記載の計測面選択機構において、
前記画像計測機構の記録面の位置を電子波の伝播方向に平行に移動させることにより、前記光学的伝播距離を変化させることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1記載の計測面選択機構において、
前記計測対象となる物体(試料)の位置を電子波の伝播方向に平行に移動させることにより、前記光学的伝播距離を変化させることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1記載の計測面選択機構において、
結像レンズ電流の強さを制御することにより、前記光学的伝播距離を変化させることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1記載の計測面選択機構において、
電子線の加速電圧を制御することにより、前記光学的伝播距離を変化させることを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 請求項1記載の位相演算機構において、
計測された電子波強度を、順方向および逆方向に利用して、電子波の位相を求めることを特徴とする透過電子顕微鏡。
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