JP2007133375A - 無偏光ビームスプリッタ - Google Patents
無偏光ビームスプリッタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007133375A JP2007133375A JP2006266190A JP2006266190A JP2007133375A JP 2007133375 A JP2007133375 A JP 2007133375A JP 2006266190 A JP2006266190 A JP 2006266190A JP 2006266190 A JP2006266190 A JP 2006266190A JP 2007133375 A JP2007133375 A JP 2007133375A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- polarizing beam
- beam splitter
- reflectance
- transmittance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/142—Coating structures, e.g. thin films multilayers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1356—Double or multiple prisms, i.e. having two or more prisms in cooperation
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1395—Beam splitters or combiners
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
【解決手段】第1のプリズムの斜面に、誘電体材料からなる1層以上の下地層、層厚13〜35nmのAu層、誘電体材料からなる1層以上の保護層を順次積層形成し、前記保護層の最外層と第2のプリズムの斜面を接着剤で接合する。そして波長640〜680nm及び波長760〜810nmにおける、P偏光及びS偏光の所定入射角度での平均反射率R(%)と平均透過率T(%)、Au層の層厚D(nm)が下記式(1)を満足するようにする。
25.2×X2+12.4×X+6.84<D<31.6×X2+12.6×X+10.4 ・・・(1)
ただし、X=R/(R+T)
【選択図】図2
Description
ただし、X=R/(R+T)
ここで、設計の自由度を大きくするとともに耐擦り性を向上させる観点から、前記保護層を、屈折率が1.8以上の高屈折率層、屈折率が1.5〜1.8(ただし1.5と1.8は含まず)の中間屈折率層、屈折率が1.5以下の低屈折率層が積層されてなる構成とするのが好ましい。また、耐擦り性と密着性の観点から、前記下地層および前記保護層におけるAu層と接する層を中間屈折率層にするのが好ましい。
28.4×X2+10.6×X+7.55<D<25.2×X2+17.1×X+8.99
真空蒸着装置(「BMC−800」シンクロン社製)を用いて、表1に示す下地層、Au層、保護層を第1の直角プリズムの斜面に形成した。蒸着条件は、真空度が1.2×10-3Paで、基板加熱は行わず、誘電体材料の加熱は電子ビーム法により、Auの加熱は抵抗加熱法により行った。そして、接着剤によって第2の直角プリズムの斜面と保護層の最外層とを接合して無偏光ビームスプリッタとした。図1に、作製した無偏光ビームスプリッタの概略構成図を示す。この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ50%となるように設計されたものである。作製した無偏光ビームスプリッタについて、Au層に対して光の入射角度と45°として、P偏光およびS偏光の反射率および透過率をそれぞれ測定した。測定結果を図2及び図3に示す。
実施例1と同様にして、表2に示す下地層、Au層、保護層を第1の直角プリズムの斜面に形成した後、第2の直角プリズムの斜面と接着剤で接合して無偏光ビームスプリッタを作製した。この作製した無偏光ビームスプリッタについて、実施例1と同様にして、P偏光およびS偏光の反射率および透過率をそれぞれ測定した。加えて、Au層に対する光の入射角度を45°±7°として、P偏光およびS偏光の反射率および透過率についてもそれぞれ測定した。測定結果を合わせて図4及び図5に示す。
「H4」:TiO2とLa2O3の混合物(メルクシ゛ャハ゜ン社製「サフ゛スタンスH4」、屈折率:1.80)
実施例1と同様にして、表3に示す下地層、Au層、保護層を第1の直角プリズムの斜面に形成した後、第2の直角プリズムの斜面と接着剤で接合して無偏光ビームスプリッタを作製した。この作製した無偏光ビームスプリッタについて、実施例1と同様にして、P偏光およびS偏光の反射率および透過率をそれぞれ測定した。測定結果を図6及び図7に示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約50%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表4及び表5に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図8〜図11に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約30%及び約70%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表6〜表8に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図12〜図17に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約40%及び約60%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表9に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図18及び図19に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約60%及び約40%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表10に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図20及び図21に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約70%及び約30%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表11〜表13に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図22及び図27に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約30%及び約70%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表14及び表15に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図28〜図31に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約50%及び約50%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表16に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図32及び図33に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
この無偏光ビームスプリッタは、波長640〜820nmの入射光の反射率および透過率がそれぞれ約70%及び約30%となるように設計されたもので、実施例1〜3に対し、表17及び表18に示すように、Au層の層厚と下地層、保護層とを変更したものである。図34〜図37に、P偏光及びS偏光の反射率および透過率の計算結果を示す。
2 第2の直角プリズム
3 下地層
4 Au層
5 保護層
6 接着層
Claims (5)
- 波長640〜820nmの光が入射する無偏光ビームスプリッタであって、第1のプリズムの斜面に、誘電体材料からなる1層以上の下地層、厚さ13〜35nmのAu層、誘電体材料からなる1層以上の保護層を順次積層形成し、前記保護層の最外層と第2のプリズムの斜面を接着剤で接合してなり、
波長640〜680nm及び波長760〜810nmにおける、P偏光及びS偏光の所定入射角度での平均反射率R(%)と平均透過率T(%)、そしてAu層の層厚D(nm)が下記式(1)を満足することを特徴とする無偏光ビームスプリッタ。
25.2×X2+12.4×X+6.84<D<31.6×X2+12.6×X+10.4 ・・・(1)
ただし、X=R/(R+T) - 前記保護層が、屈折率が1.8以上の高屈折率層、屈折率が1.5〜1.8(ただし1.5と1.8は含まず)の中間屈折率層、屈折率が1.5以下の低屈折率層が積層されてなるものである請求項1記載の無偏光ビームスプリッタ。
- 前記下地層および前記保護層におけるAu層と接する層が、中間屈折率層である請求項2記載の無偏光ビームスプリッタ。
- 前記下地層が2層以上である請求項1〜3のいずれかに記載の無偏光ビームスプリッタ。
- 前記保護層の層厚の総和が400nm以上である請求項1〜4のいずれかに記載の無偏光ビームスプリッタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006266190A JP2007133375A (ja) | 2005-10-11 | 2006-09-29 | 無偏光ビームスプリッタ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005296068 | 2005-10-11 | ||
JP2006266190A JP2007133375A (ja) | 2005-10-11 | 2006-09-29 | 無偏光ビームスプリッタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007133375A true JP2007133375A (ja) | 2007-05-31 |
Family
ID=38155044
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006266190A Pending JP2007133375A (ja) | 2005-10-11 | 2006-09-29 | 無偏光ビームスプリッタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007133375A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011048875A1 (ja) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | シグマ光機株式会社 | プレート型の広帯域無偏光ビームスプリッター |
WO2020158150A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | 日本電気硝子株式会社 | プリズム、光デバイス、プリズムの製造方法及びパッケージデバイスの製造方法 |
JP2020126221A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-20 | 日本電気硝子株式会社 | プリズム、光デバイス、プリズムの製造方法及びパッケージデバイスの製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6111701A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-01-20 | Hoya Corp | 非偏光ビ−ムスプリツタ |
JPS638702A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Hoya Corp | 無偏光ビ−ムスプリツタ− |
JP2004192719A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Pioneer Electronic Corp | 収差補正用液晶素子及び光ピックアップ装置 |
-
2006
- 2006-09-29 JP JP2006266190A patent/JP2007133375A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6111701A (ja) * | 1984-06-27 | 1986-01-20 | Hoya Corp | 非偏光ビ−ムスプリツタ |
JPS638702A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Hoya Corp | 無偏光ビ−ムスプリツタ− |
JP2004192719A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Pioneer Electronic Corp | 収差補正用液晶素子及び光ピックアップ装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011048875A1 (ja) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | シグマ光機株式会社 | プレート型の広帯域無偏光ビームスプリッター |
WO2020158150A1 (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-06 | 日本電気硝子株式会社 | プリズム、光デバイス、プリズムの製造方法及びパッケージデバイスの製造方法 |
JP2020126221A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-20 | 日本電気硝子株式会社 | プリズム、光デバイス、プリズムの製造方法及びパッケージデバイスの製造方法 |
JP7427888B2 (ja) | 2019-01-31 | 2024-02-06 | 日本電気硝子株式会社 | プリズム、光デバイス、プリズムの製造方法及びパッケージデバイスの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7652823B2 (en) | Non-polarizing beam splitter | |
TWI690723B (zh) | 具有減少刮傷及指紋能見度的低對比防反射製品 | |
JP4793259B2 (ja) | 反射鏡 | |
JP2009086533A (ja) | 赤外用多層膜、赤外反射防止膜及び赤外レーザ用反射ミラー | |
JP2007279692A (ja) | 偏光分離素子とその製造方法 | |
JP2011017782A (ja) | 反射防止膜 | |
JP2007133375A (ja) | 無偏光ビームスプリッタ | |
JP2005274527A (ja) | 時計用カバーガラス | |
JP2008260978A (ja) | 反射膜の形成方法 | |
JP2005165249A (ja) | 反射防止膜及びこれを備える光学レンズ並びに光学レンズユニット | |
JP2023182732A (ja) | 耐久性向上のためナノラミネートを備えた光学コーティング | |
JPWO2008133136A1 (ja) | 反射鏡 | |
JP2004334012A (ja) | 反射防止膜及び光学フィルター | |
JP2007241018A (ja) | 全反射ミラー | |
US7826138B2 (en) | Dichroic mirror | |
JP2006337770A (ja) | 表面鏡 | |
JP2017032852A (ja) | 反射防止膜及び光学部品 | |
JP5589581B2 (ja) | 光学素子とその製造方法 | |
JP2006195029A (ja) | 光学多層膜素子 | |
JP2000347002A (ja) | 反射防止膜 | |
JP2001074903A (ja) | 反射防止膜及び光学素子 | |
JP2011141339A (ja) | 反射防止膜、及びこれを有する光学部材 | |
JP5045261B2 (ja) | 表面鏡 | |
JP2005148551A (ja) | 反射防止膜および対物レンズ | |
JP2007140201A (ja) | 反射体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110720 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110927 |