JP2007129212A - リソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円形のセンサが、センサの熱的軸の周りで均等に並んでいる3つの板ばねを備えた基板テーブルWTに設けられる。該板ばねは、相互に着脱自在な2つの部分内に設けられている。該板ばねは、弾力性を有するとともに、基板テーブルWTが熱膨張および熱収縮するとに対するセンサの或る運動を可能にするが、センサの中心が基板テーブルに対して移動しない。
【選択図】図2
Description
Claims (28)
- 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板テーブル上に少なくとも1つの架台を介して載せられた物体と
を備え、
前記架台は、前記物体と前記基板テーブルとの間に装着され且つ弾性材料を有し、前記基板テーブルに対する前記物体の或る相対運動を可能にする、リソグラフィ装置。 - 前記架台が第1架台部分と第2架台部分とからなり、前記第1および第2架台部分のうちの一方が前記物体に装着されており、前記第1および第2架台部分のうちの他方が前記基板テーブルに装着されている、請求項1記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1および第2架台部分が相互に取外し可能に装着されている、請求項2記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1架台部分が機械的弱部を持って形成され、前記第1架台部分の上方部材と前記第1架台部分の下方部材との間の第1軸の周りの曲げ回転を可能とし、前記上方部材が前記物体に装着され、前記下方部材が前記第2架台部分に装着されている、請求項2記載のリソグラフィ装置。
- 前記第2架台部分が機械的弱部を持って形成され、前記第2架台部分の上方部材と前記第2架台部分の下方部材との間の第2軸の周りの曲げ回転を可能とし、前記上方部材が前記第1架台部分に装着され、前記下方部材が前記基板テーブルに装着されている、請求項2記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1部分が、前記第1架台部分の上方部材と前記第1架台部分の下方部材との間で前記物体の上面の面内での直線運動を可能にするように構成され配置されており、前記物体の中心および前記架台の中心を通る面に平行な方向に、前記上方部材が前記物体に装着され、前記下方部材が前記第2架台部分に装着されている、請求項2記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1架台部分が、前記物体の上面に対して実質垂直な接触表面を有し、前記接触表面が前記第2架台部分の表面と点接触するように配置されている、請求項2記載のリソグラフィ装置。
- 前記少なくとも1つの架台が、前記物体の中心軸の周りで均等に位置された3つの架台を含み、前記接触表面のうち2つが実質同じ第1面内にあり、残りの接触表面は第1面に対して垂直な面内にある、請求項7記載のリソグラフィ装置。
- 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板テーブル上に架台により載せられた物体と
を備え、
前記架台は、前記物体に装着された第1架台部分と、前記基板テーブルに装着された第2架台部分とを有しており、前記第1および第2架台部分は、取付け取外し可能であり、また、第1軸に沿う直線運動と、相互に直交するとともに前記第1軸に直交する2つの軸を通る回転変形とのために変形可能である、リソグラフィ装置。 - 前記第1および第2架台部分は、20〜30℃の間で5×10−6℃−1未満の平均熱膨張係数を有する金属から製造される、請求項9記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1架台部分が機械的弱部を持って形成され、前記第1部分の上方部材と前記第1部分の下方部材との間の第2軸の周りの曲げ回転を可能にし、前記上方部材が前記第2架台部分から最も遠くに設置され、前記下方部材が前記第2架台部分の最も近くに設置されている、請求項9記載のリソグラフィ装置。
- 前記機械的弱部が前記第1架台部分の薄めの部分を含む、請求項9記載のリソグラフィ装置。
- 前記薄めの部分は前記第1軸に対して平行な方向に細長く、前記第2軸に対して垂直な軸の周りの回転を実質的に防止する、請求項12記載のリソグラフィ装置。
- 前記薄めの部分は前記第2軸に対して垂直な方向に細長く、前記上方および下方部分間で、前記第1軸に対して垂直な方向での前記直線運動を可能にする、請求項12記載のリソグラフィ装置。
- 前記第2部分の前記第1架台部分の近傍に設置された上方部材が、前記第1架台部分から離間している前記第2部分の下方部材に対して第1軸の周りで回転可能である、請求項9記載のリソグラフィ装置。
- 前記回転は、前記上方部材が一対の細長部材により前記下方部材に装着されていることにより可能であり、前記細長部材は前記上方部材に両側で装着されている、請求項15記載のリソグラフィ装置。
- 前記細長部材が、前記下方部材の最も近い端部から離れた或る部分にて前記上方部材に装着されている、請求項16記載のリソグラフィ装置。
- 前記細長部材が変形可能であり、これによって前記回転が可能である、請求項16記載のリソグラフィ装置。
- 前記細長部材は、前記軸に対して垂直な方向の寸法よりも大きい前記第1軸の方向の寸法を有し、前記軸に対して垂直な前記方向の前記細長部材の曲げを可能にするが、前記第1軸における前記細長部材の曲げは実質的に防止する、請求項16記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1架台部分が接触表面をさらに有し、前記第1および第2部分が装着されると、前記接触表面が前記第2架台の表面と点接触して前記第1および第2架台が相互に対して設置される、請求項9記載のリソグラフィ装置。
- 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板テーブル上に載せられた物体と
を備え、
前記物体が、前記物体の熱的中心の周りで等間隔に配置された3つの板ばねを介して載せられ、前記板ばねの、内外に向かう半径方向運動が可能であり、前記物体が熱膨張または熱収縮しても、前記物体の前記中心が前記基板テーブルに対して静止したままであることを確実にする、リソグラフィ装置。 - 前記板ばねが前記物体および前記基板テーブルに接着されている、請求項21記載のリソグラフィ装置。
- 前記板ばねの各々が架台の一部であり、前記架台は、相互に取付け取外し可能である第1および第2架台部分を含み、前記第1架台部分は前記物体に装着され、前記第2架台部分は前記基板テーブルに装着されている、請求項22記載のリソグラフィ装置。
- 前記板ばねが前記第1または第2架台部分の一部である、請求項23記載のリソグラフィ装置。
- 前記物体がセンサである、請求項21記載のリソグラフィ装置。
- 基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記基板テーブル上の凹部内に載せられたセンサと
を備え、
上から見て前記センサは円形であるとともに前記基板テーブルから離間している、リソグラフィ装置。 - 前記センサが円筒形である、請求項26記載のリソグラフィ装置。
- 前記センサが、前記センサの熱的中心の周りで等間隔に配置された3つの板ばねを介して載せられて、前記板ばねの、内外に向かう半径方向運動が可能であり、これによって、前記センサが熱膨張または熱収縮しても、前記センサの前記中心が前記基板テーブルに対して静止したままであることを確実にする、請求項26記載のリソグラフィ装置。
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