JP2007126714A - 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 - Google Patents
多層皮膜被覆部材及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007126714A JP2007126714A JP2005320235A JP2005320235A JP2007126714A JP 2007126714 A JP2007126714 A JP 2007126714A JP 2005320235 A JP2005320235 A JP 2005320235A JP 2005320235 A JP2005320235 A JP 2005320235A JP 2007126714 A JP2007126714 A JP 2007126714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hard coating
- coating
- hard
- coated
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】基材表面に組成が異なる硬質皮膜を2層以上被覆した多層皮膜被覆部材であって、該硬質皮膜は少なくとも硬質皮膜A及び硬質皮膜Bを有し、該硬質皮膜Aは、Si(BuCvNwOz)で示され、但し、u、v、w、zは各元素の原子%、u>0、v>0、w>0、z≧0、u+v+w+z=1、を満足する硬質皮膜、該硬質皮膜Bは、Al、Ti、Cr、Nb、Mo、W、Zr、V、Siから選択される2種以上とB、C、N、O、Sから選択される1種以上を有する硬質皮膜であることを特徴とする多層皮膜被覆部材である。
【選択図】 なし
Description
特許文献1は、基材の表面に窒化珪素、炭化珪素、炭窒化珪素、硼化珪素等の層を用い、高耐熱、耐酸化性積層体に利用する技術が開示されている。特許文献2は、窒化珪素(Si3N4)、炭化珪素(SiC)の層を硬質被覆部材に用いる技術が開示されている。特許文献3は、SiC粉末から形成されたターゲット材を使用して、アークイオンプレーティング法によって硬質皮膜を被覆する技術が開示されている。
本願発明の硬質皮膜を被覆した多層皮膜被覆部材の製造方法において、硬質皮膜は少なくとも炭化珪素及び窒化硼素を含有した複合ターゲットを用い、スパッタリング(以下、SPと記す。)法により被覆することが好ましい。硬質皮膜AはSP法により被覆し、硬質皮膜Bはアーク放電式イオンプレーティング(以下、AIPと記す。)法及び若しくはSP法により被覆することが有効である。
硬質皮膜Bは、実用環境下において硬質皮膜Aと伴に最も優れた密着性、耐摩耗性を発揮する。但し、硬質皮膜BがSiを含有する場合、原子比率で金属元素1.0に対して、0.5未満とし、硬質皮膜Aと区別する。硬質皮膜Aと硬質皮膜Bを有する硬質皮膜とすることにより、密着性、耐摩耗性の効果が発揮される。本願発明の硬質皮膜Aは、Si、B、C、Nを必須成分とする。B、C、Nは硬質皮膜の高硬度化、耐熱性改善、潤滑性改善に有効な成分である。他に、選択成分のOは特に潤滑性改善に影響を及ぼす成分である。Bの含有量のu値は、u+w+v+z=1、としたとき、0.1<u<0.6がより好ましい。Bを含まない場合は、硬度並びに耐熱性改善が十分ではなく、硬質皮膜が脆くなり過ぎてしまい、剥離が発生する傾向にあり切削性能の改善が認められない。SiとBを同時に添加することによって、高硬度と耐熱性を同時に改善することができる。これはSiが硼化物として存在する場合に特に顕著である。Cの含有量のv値は、u+w+v+z=1としたとき、0.05<u<0.35が好ましい。Cを含まない場合は、高硬度化が十分でなく本発明において必須とする。Nの含有量のw値は、u+w+v+z=1、としたとき、0.1<v<0.4が好ましい。Nを含まない場合は、高硬度化と耐熱性の改善効果に乏しくなる。硬質皮膜Aは、Oを含まなくともその効果が発揮されるものの、摩耗環境下における潤滑性を考慮した場合、Oを含有することが好ましい。そこでOの含有量のz値は、u+w+v+z=1、としたとき、0.005<z<0.25が好ましい。予め酸素を添加することにより摩耗環境化において酸素の拡散が減り、高温においても耐酸化性が改善される。Oの含有形態は、硬質皮膜の最表面から膜厚方向に500nm未満の領域の表層近傍が最も高濃度となるようにすることが、摩耗環境下における潤滑性の点から好ましい形態である。硬質皮膜Aは、特に優れた耐熱性及び耐摩耗性を発揮する硬質皮膜であるので、硬質皮膜の最表層に構成される場合が好ましい積層構造である。
(1)クリーニング
基材2は基材ホルダー13に保持した後、250℃から800℃で加熱する。その間、各ソースのシャッターは全て閉じている。基材のイオンクリーニングは、バイアス電源11によりパルスバイアス電圧を印加することにより行う。
(2)硬質皮膜Bの被覆
クリーニング後、DC被覆ソース10のシャッター19を開き、硬質皮膜Bを被覆する。硬質皮膜Bは、DC−SP法、又はDC−AIP法により成膜することができる。成膜時に印加するDCバイアス電圧値は、約10Vから400Vが好ましい。またバイポーラパルスバイアス電圧を使用することもできる。この時の周波数は、例えば0.1kHzから300kHzの範囲で、正のバイアス電圧は、特に3Vから100Vの範囲が好ましい。パルス/ポーズ比は、0.1から0.95の範囲とすることができる。
(3)結合層の被覆
硬質皮膜Bの成膜途中で、シャッター16は閉じた状態でRF被覆ソース7を稼動させる。その後、シャッター16を開き、所定の結合層に応じて、DC被覆ソース10がRF被覆ソース7と同時に稼動する。このとき組成傾斜層の成分を調整するために、マグネトロンの出力を適切に変更する。DC被覆ソース10のシャッター19を閉じることによって、DC被覆ソースが遮蔽される。好ましくは、この時RF電圧を基材ホルダー13に印加する。RF被覆ソース7にはSiターゲット又はSiCターゲットが装着され、SiCx結合層の成膜のために使用される。結合層の成膜の間、シャッター18は閉じた状態でRF被覆ソース9を稼動させる。結合層が所定の厚さに到達後、RF被覆ソース9のシャッター18が開く。傾斜混合層は結合層の組成に応じて、RF被覆ソース7とRF被覆ソース9が同時に稼動する。組成傾斜を調整するためにマグネトロン出力を適切に変更することができる。その後、RF被覆ソース7のシャッター16が閉じ、遮蔽される。
(4)硬質皮膜Aの被覆
硬質皮膜Aの内層であるSi(BCN)層は、RF被覆ソース7、9により成膜される。即ち、RF被覆ソース7、9には、SiC、BNのターゲット材が好ましい。Si(BCN)を被覆するRF被覆ソース7、9の操作手段によって、Si(BCN)層の傾斜混合層も成膜できる。硬質皮膜Aの外層である最表層は、たとえば酸素などのプロセスガスが吸気管14を通って減圧容器12に供給することによって、酸素を含有させることができる。硬質皮膜Aの外層である最表層はSi(BCNO)層とし、酸素の含有比率は、表層ほど増加することが好ましい。この層は摩耗保護層として機能する。
(評価条件)
工具:2枚刃ボールエンドミル(直径1mm)
切削方法:超高速仕上げ加工
被削材:FCD540
切り込み:軸方向、0.02mm、径方向、0.02mm
主軸回転数:40kmin−1
テーブル送り:8m/min
切削油:無し、ドライ切削
2:基材
3:硬質皮膜B
4:硬質皮膜Aの内層
5:硬質皮膜Aの外層
6:結合相
7:RF被覆ソース
8:アークソース
9:RF被覆ソース
10:DC被覆ソース
11:DCバイアス電源もしくはRFバイアス電源
12:減圧容器
13:基材ホルダー
14:ガス導入口もしくは排気管
15:被覆装置
16:シャッター
17:シャッター
18:シャッター
19:シャッター
Claims (8)
- 基材表面に組成が異なる硬質皮膜を2層以上被覆した多層皮膜被覆部材であって、該硬質皮膜は少なくとも硬質皮膜A及び硬質皮膜Bを有し、該硬質皮膜Aは、Si(BuCvNwOz)で示され、但し、u、v、w、zは各元素の原子%、u>0、v>0、w>0、z≧0、u+v+w+z=1、を満足する硬質皮膜、該硬質皮膜Bは、Al、Ti、Cr、Nb、Mo、W、Zr、V、Siから選択される2種以上とB、C、N、O、Sから選択される1種以上を有する硬質皮膜であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。
- 請求項1記載の多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜Aは非晶質相を含有することを特徴とする多層皮膜被覆部材。
- 請求項1、請求項2の何れかに記載の多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜Aは0.1nm以上、20nm未満の結晶粒子を含有することを特徴とする多層皮膜被覆部材。
- 請求項2、請求項3の何れかに記載の硬質皮膜において、前記結晶粒子及び/又は非晶質相が、Si炭化物相、Si窒化物相、Si硼化物相、窒化硼素相、窒化炭素相の何れかを主成分とすることを特徴とする多層皮膜被覆部材。
- 請求項1から請求項4の何れかに記載の多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜AのSiの一部を、Al、Cr、Mo、W、V、Nb、Ta、Ti、Zr、Hf、Mn、Fe、Co、Ni、Li、Be、Mg、Sc、Y、La、Ce、Nd、Smから選択される少なくとも1種以上、原子比率で、Siが1.0に対して、0.5未満置換し、該硬質皮膜BのSi含有量は、原子比率で、金属元素に対して、0.5未満であることを特徴とする多層皮膜被覆部材。
- 請求項1から請求項5の何れかに記載の多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜は、硬質皮膜Aと硬質皮膜Bの混合層及び/又は積層構造を有することを特徴とする多層皮膜被覆部材。
- 請求項1から請求項6の何れかに記載の多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜は少なくとも炭化珪素及び窒化硼素を含有した複合ターゲットを用い、スパッタリング法により被覆することを特徴とする多層皮膜被覆部材の製造方法。
- 請求項1から請求項7の何れかに記載の多層皮膜被覆部材において、該硬質皮膜Aはスパッタリング法により被覆し、該硬質皮膜Bはアーク放電式イオンプレーティング法及び/又はスパッタリング法により被覆することを特徴とする多層皮膜被覆部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005320235A JP4380622B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005320235A JP4380622B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007126714A true JP2007126714A (ja) | 2007-05-24 |
JP4380622B2 JP4380622B2 (ja) | 2009-12-09 |
Family
ID=38149593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005320235A Active JP4380622B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4380622B2 (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009090396A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Mitsubishi Materials Corp | 重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具 |
EP2149620A1 (en) | 2008-07-31 | 2010-02-03 | Sulzer Metaplas GmbH | Multilayer film-coated member and method for producing it |
EP2149624A1 (en) | 2008-07-31 | 2010-02-03 | Sulzer Metaplas GmbH | Multilayer film-coated member and method for producing it |
JP2010031340A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 |
JP2010234452A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
WO2010145704A1 (en) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | Sulzer Metaplas Gmbh | Protective coating, a coated member having a protective coating as well as method for producing a protective coating |
JP2010284787A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆切削工具 |
WO2011062450A2 (ko) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | 한국생산기술연구원 | 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법, 이를 이용한 다성분 합금계 나노구조 박막 제조방법 |
US20120276371A1 (en) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Coated article and method for manufacturing same |
JP2013091823A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Hitachi Ltd | 摺動部品 |
US8470456B2 (en) * | 2007-06-25 | 2013-06-25 | Sulzer Metaplas Gmbh | Layer system for the formation of a surface layer on a surface of a substrate and also vaporization source for the manufacture of a layer system |
JP2013189674A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Lightech Kenkyusho:Kk | 硬質皮膜被覆部材およびその製造方法 |
US20140363648A1 (en) * | 2011-12-15 | 2014-12-11 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Multilayer hard film and method for producing same |
US20150368787A1 (en) * | 2013-03-25 | 2015-12-24 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Laminated coating film having superior wear resistance |
RU2595129C2 (ru) * | 2011-05-09 | 2016-08-20 | Кнорр-Бремзе Зюстеме Фюр Шиненфарцойге Гмбх | Колесо рельсового подвижного состава и способ его изготовления |
WO2017038435A1 (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-09 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆部材 |
CN107002252A (zh) * | 2014-12-22 | 2017-08-01 | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 | 提供增强的抗月牙洼磨损性能的AlCrN基涂层 |
CN107313007A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-11-03 | 林育周 | 一种充电接头、电子设备及充电接头强化方法 |
CN107385398A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-11-24 | 珠海博明视觉科技有限公司 | 一种导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层及其制备工艺 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106756781B (zh) * | 2015-11-24 | 2019-03-01 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种仿生结构立方氮化硼涂层及其制备方法 |
-
2005
- 2005-11-04 JP JP2005320235A patent/JP4380622B2/ja active Active
Cited By (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8470456B2 (en) * | 2007-06-25 | 2013-06-25 | Sulzer Metaplas Gmbh | Layer system for the formation of a surface layer on a surface of a substrate and also vaporization source for the manufacture of a layer system |
JP2009090396A (ja) * | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Mitsubishi Materials Corp | 重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具 |
US8309234B2 (en) | 2008-07-31 | 2012-11-13 | Sulzer Metaplas Gmbh | Multilayer film-coated member and method for producing it |
EP2149620A1 (en) | 2008-07-31 | 2010-02-03 | Sulzer Metaplas GmbH | Multilayer film-coated member and method for producing it |
EP2149624A1 (en) | 2008-07-31 | 2010-02-03 | Sulzer Metaplas GmbH | Multilayer film-coated member and method for producing it |
JP2010031340A (ja) * | 2008-07-31 | 2010-02-12 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 |
US8309235B2 (en) | 2008-07-31 | 2012-11-13 | Sulzer Metaplas Gmbh | Multilayer film-coated member and method for producing it |
JP2010234452A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具 |
JP2010284787A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 硬質皮膜被覆切削工具 |
CN102459688A (zh) * | 2009-06-18 | 2012-05-16 | 苏舍梅塔普拉斯有限责任公司 | 保护性涂层、具有保护性涂层的涂覆构件以及生产保护性涂层的方法 |
JP2012530188A (ja) * | 2009-06-18 | 2012-11-29 | スルザー メタプラス ゲーエムベーハー | 保護コーティング、保護コーティングを有するコーティング部材、並びに保護コーティングを製造するための方法 |
WO2010145704A1 (en) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | Sulzer Metaplas Gmbh | Protective coating, a coated member having a protective coating as well as method for producing a protective coating |
US8911867B2 (en) | 2009-06-18 | 2014-12-16 | Oerlikon Metaplas Gmbh | Protective coating, a coated member having a protective coating as well as method for producing a protective coating |
RU2507302C2 (ru) * | 2009-06-18 | 2014-02-20 | Зульцер Метаплас Гмбх | Защитное покрытие, покрытый элемент, имеющий защитное покрытие, а также способ получения защитного покрытия |
CN102459688B (zh) * | 2009-06-18 | 2014-06-11 | 苏舍梅塔普拉斯有限责任公司 | 保护性涂层、具有保护性涂层的涂覆构件以及生产保护性涂层的方法 |
WO2011062450A3 (ko) * | 2009-11-19 | 2011-11-03 | 한국생산기술연구원 | 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법, 이를 이용한 다성분 합금계 나노구조 박막 제조방법 |
WO2011062450A2 (ko) * | 2009-11-19 | 2011-05-26 | 한국생산기술연구원 | 다성분 단일체의 스퍼터링 타겟 및 그 제조방법, 이를 이용한 다성분 합금계 나노구조 박막 제조방법 |
US20120276371A1 (en) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Coated article and method for manufacturing same |
US8784986B2 (en) * | 2011-04-28 | 2014-07-22 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Coated article and method for manufacturing same |
RU2595129C2 (ru) * | 2011-05-09 | 2016-08-20 | Кнорр-Бремзе Зюстеме Фюр Шиненфарцойге Гмбх | Колесо рельсового подвижного состава и способ его изготовления |
JP2013091823A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Hitachi Ltd | 摺動部品 |
US20140363648A1 (en) * | 2011-12-15 | 2014-12-11 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Multilayer hard film and method for producing same |
US9340863B2 (en) * | 2011-12-15 | 2016-05-17 | Kobe Steel, Ltd. | Multilayer hard film and method for producing same |
JP2013189674A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Lightech Kenkyusho:Kk | 硬質皮膜被覆部材およびその製造方法 |
US9670575B2 (en) * | 2013-03-25 | 2017-06-06 | Kobe Steel, Ltd. | Laminated coating film having superior wear resistance |
US20150368787A1 (en) * | 2013-03-25 | 2015-12-24 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) | Laminated coating film having superior wear resistance |
CN107002252A (zh) * | 2014-12-22 | 2017-08-01 | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 | 提供增强的抗月牙洼磨损性能的AlCrN基涂层 |
CN107002252B (zh) * | 2014-12-22 | 2019-05-31 | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 | 提供增强的抗月牙洼磨损性能的AlCrN基涂层 |
US11035035B2 (en) | 2014-12-22 | 2021-06-15 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | AlCrN-based coating providing enhanced crater wear resistance |
WO2017038435A1 (ja) * | 2015-08-28 | 2017-03-09 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆部材 |
CN107313007A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-11-03 | 林育周 | 一种充电接头、电子设备及充电接头强化方法 |
CN107313007B (zh) * | 2017-05-23 | 2019-02-05 | 林育周 | 一种充电接头、电子设备及充电接头强化方法 |
CN107385398A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-11-24 | 珠海博明视觉科技有限公司 | 一种导轨用高硬度、耐磨抗蚀涂层及其制备工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4380622B2 (ja) | 2009-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4380622B2 (ja) | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 | |
JP3963354B2 (ja) | 被覆切削工具 | |
JP2012040615A (ja) | 硬質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP5234357B2 (ja) | 潤滑性に優れる耐摩耗性工具部材 | |
JP4645821B2 (ja) | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
JP2011189473A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5041222B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5088480B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
WO2020184352A1 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP4771198B2 (ja) | 高反応性被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2006334740A (ja) | 高反応性被削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
JP4756445B2 (ja) | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具 | |
JP2008105107A (ja) | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP6959578B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2010031340A (ja) | 多層皮膜被覆部材及びその製造方法 | |
JP5553013B2 (ja) | 硬質難削材の高速高送り切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐剥離性とすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2016165787A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5234515B2 (ja) | 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2014188637A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2010053448A (ja) | 多層皮膜被覆部材 | |
JP2014076500A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5975339B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5239950B2 (ja) | 溶着生の高い被削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2011189471A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2011167792A (ja) | 表面被覆切削工具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090602 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090909 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090914 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4380622 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121002 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131002 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |