JP2007126311A - カーボンファイバの製造方法および触媒基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本カーボンファイバの製造方法は、触媒基板4を熱CVD装置6にセットするセットステップと、熱CVD装置6にセットした触媒基板4上にカーボンファイバ28を成長させる成膜ステップと、触媒基板4からカーボンファイバ28を剥離回収する回収ステップとを含み、上記触媒基板4として、例えば非触媒金属からなる表面層4aと触媒金属からなる内部層4bとを備えた基板を用いることにより、触媒膜の新規成膜を実施することなく多数の製造サイクルを実施可能とした。
【選択図】図2
Description
セットステップでは、上記準備した触媒基板4を基板カートリッジ2に搭載するとともに、この触媒基板4を搭載した基板カートリッジ2を熱CVD装置6にセットする。基板カートリッジ2は、詳細な構成は図示していないが、複数の触媒基板4を互いに平行に間隔をあけて搭載することができるように枠材を一体に組み立ててユニット化されている。
以上の熱CVD装置6に基板カートリッジ2をセットした後、熱CVD装置6により触媒基板4上にカーボンファイバ28を成膜する。この成膜においては、メインチャンバ8ではその内部に搬入されている基板カートリッジ2に対してガス導入路からガスを供給する。
熱による分解反応により、Cl2を除去して触媒金属を析出させる方法、
水素や水等の第3成分と反応して揮散する物質(第4成分)の導入により、Cl2を除去して触媒金属を析出させる方法、
熱分解により水素や水等を生じる化合物の導入により、Cl2を除去して触媒金属を析出させる方法、
がある。
回収ステップでは熱CVD装置6内で基板カートリッジ2から各触媒基板10を取り外すことなく、各触媒基板10にエアや窒素ガスの吹付けることにより該触媒基板10上からカーボンファイバ28を剥離して回収する。この場合、基板カートリッジ2から触媒基板10を取り外して回収することができるし、基板カートリッジ2から触媒基板10を取り外すことなく回収することができる。
1回目の製造ではセットステップおよび成膜ステップを実施し、必要に応じて取り出しステップを実施し、最後に回収ステップを実施するという順で行い、
2回目以降の製造ではセットステップを実施する必要がなく、1回目の回収ステップの後は、成膜ステップに移行するとともに、取り出しステップを必要に応じて実施し、最後に回収ステップを実施する、
というステップを繰り返す製造サイクルにおいて、繰り返し用いることができる。そのため、実施の形態ではカーボンファイバ28を安価に量産することができる。
4 基板
4a 表面層
4b 内部層
6 熱CVD装置
28 カーボンファイバ
Claims (8)
- 少なくとも、触媒基板を熱CVD装置にセットするセットステップと、熱CVD装置により触媒基板上にカーボンファイバを成長させる成膜ステップと、触媒基板からカーボンファイバを剥離して回収する回収ステップとを含む製造サイクルを有するカーボンファイバの製造方法において、
上記製造サイクルの実施に際して準備する触媒基板に、非触媒金属または触媒金属と非触媒金属との合金を含む表面層を備え、その下層に上記表面層の触媒金属よりも高濃度の触媒金属を含む内部層を備え、かつ、上記ステップの実施により表面層の触媒金属が消耗されると、その表面層には濃度勾配により内部層から触媒金属が滲出することが可能な基板を用いることにより、
同じ触媒基板を上記製造サイクルの繰り返し実施において再利用可能とした、ことを特徴とするカーボンファイバの製造方法。 - 上記触媒基板が
(a)非触媒金属からなる表面層と、
触媒金属または触媒金属と非触媒金属との合金からなる内部層と
を備えた基板、
(b)触媒金属と非触媒金属との合金からなる表面層と、
この合金とは触媒金属と非触媒金属の組成比が同一または異なる非触媒金属と触媒金属との合金あるいは触媒金属からなる内部層と
を備えた基板、
のいずれかである、ことを特徴とする請求項1に記載のカーボンファイバの製造方法。 - 上記(a)の触媒基板を用いて、成膜ステップが、
熱処理により表面層に内部層からの触媒金属を濃度勾配により滲出させて触媒金属と非触媒金属との合金を形成するステップと、
表面層に炭素含有化合物を作用させて触媒金属と炭素との混合体からなる最表面層を生成するステップと、
最表面層に炭素含有化合物を作用させて触媒金属を成長核として炭素を析出させてカーボンファイバを成長させるステップと、
を含む請求項2に記載のカーボンファイバの製造方法。 - 上記(a)の触媒基板を用いて、成膜ステップが、
熱処理により表面層に内部層から触媒金属を濃度勾配により滲出させて触媒金属と非触媒金属との合金を生成するステップと、
表面層の合金に対して炭素含有化合物以外の第3成分を含むガス(第3成分ガス)を作用させて触媒金属と第3成分との混合体からなる最表面層を生成するステップと、
上記混合体中から第3成分を除去して触媒金属を析出させるステップと、
この析出した触媒金属に炭素含有化合物を作用させてカーボンファイバを成長させるステップと、
を含む請求項2に記載のカーボンファイバの製造方法。 - 上記(b)の触媒基板を用いて、成膜ステップが、
表面層の合金に対して炭素含有化合物を作用させて触媒金属と炭素との混合体からなる最表面層を生成するステップと、
最表面層に炭素含有化合物を作用させて触媒金属を成長核としてカーボンファイバを成長させるステップと、
を含む請求項2に記載のカーボンファイバの製造方法。 - 上記(b)の触媒基板を用いて、成膜ステップが、
表面層の合金に対して炭素含有化合物以外の成分を含むガス(第3成分ガス)を作用させて表面層上に触媒金属と第3成分との混合体からなる最表面層を生成するステップと、
最表面層に第3成分ガスを作用させて混合体中から触媒金属を析出させるステップと、
この析出した触媒金属に炭素含有化合物を作用させてカーボンファイバを成長させるステップと、
を含む請求項2に記載のカーボンファイバの製造方法。 - 上記(a)の触媒基板の表面層上にさらに触媒金属からなる層を設けた、ことを特徴とする請求項2に記載のカーボンファイバの製造方法。
- 請求項1ないし7のいずれかに記載のカーボンファイバの製造方法に用いる触媒基板。
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