JP2007125508A - ドライアイス洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク2を洗浄室1内に投入した状態で、洗浄室1内を真空ポンプ12により真空引きし、注入ノズル11から炭酸ガスを注入し、洗浄室1内を炭酸ガスに置換する。洗浄ノズル3から液化炭酸ガスを噴出させ、粉末状のドライアイスによりワーク2の洗浄を行なう。洗浄後、洗浄室1内の炭酸ガスを回収装置13により回収し、フィルタ14を通して再液化装置15により液化し、再液化用ボンベ16に貯蔵する。再液化用ボンベ16に貯蔵した液化炭酸ガスを、置換用ガス及び洗浄用に再利用する。
【選択図】図1
Description
そこで、ドライアイスにより洗浄する際に、結露の発生を防止するために、次のような方法が考えられる。すなわち、洗浄室(チャンバー)内にワークを投入した後、洗浄室内に水分を含まない不活性ガス(例えば窒素ガス)を注入することにより低露点化を図り(露点が−40℃以下となるようにする)、この雰囲気中で、ドライアイスによる洗浄を行なう方法、あるいは、洗浄室内にワークを投入した後、まず洗浄室内を真空ポンプにより真空引きして水分を含む空気をできるだけ取り除き、この後、水分を含まない不活性ガスを注入することにより低露点化を図り、この雰囲気中で、ドライアイスによる洗浄を行なう方法である。
しかしながら、どちらの方法でも、洗浄後の炭酸ガスや置換用の不活性ガスは、大気中に排出されてしまうという問題がある。
まず、図1において、洗浄室1は、密閉が可能な構成となっている。この洗浄室1には、図示はしないが、洗浄対象のワーク2を出し入れするための出入口が設けられていると共に、その出入口を開閉する扉が設けられている。なお、ワーク2としては、例えば液晶パネルに用いる基板である。洗浄室1内には洗浄ノズル3が配設されていて、この洗浄ノズル3には、液化炭酸ガス加圧装置4がホース5を介して接続されている。ここで、液化炭酸ガス加圧装置4により加圧された液化炭酸ガスが洗浄ノズル3に供給され、その洗浄ノズル3から液化炭酸ガスが霧状に噴出されると、粉末状のドライアイスに変化する。その粉末状のドライアイスをワーク2にぶつけることにより、ワーク2を洗浄する構成となっている。この場合、洗浄ノズル3と液化炭酸ガス加圧装置4により洗浄手段6を構成している。
[ガス置換処理]
まず、最初にワーク2を洗浄する場合には、洗浄室1の出入口からワーク2を洗浄室1内に投入し、その出入口を閉鎖した状態で、真空ポンプ12により洗浄室1内を真空引きする(約10Paまで減圧する)。これにより、洗浄室1内の水分を含む空気が取り除かれる。この後、第1及び第2の切替弁7,8を制御して、液化炭酸ガスボンベ9の液化炭酸ガスを気化装置10へ供給する状態とする。気化装置10において気化した炭酸ガスを注入ノズル11から洗浄室1内に注入することによって、洗浄室1内を炭酸ガスに置換する。これにより、洗浄室1は露点が−40℃以下となる低露点環境となる。この後、この状態を保持しておく。洗浄室1内は炭酸ガスの注入により、大気圧とほぼ同じ圧力まで高くなる。
次に、第1の切替弁7を、液化炭酸ガスボンベ9の液化炭酸ガスを液化炭酸ガス加圧装置4側へ供給するように切り替える。この状態で、液化炭酸ガス加圧装置4にて加圧された液化炭酸ガスを洗浄ノズル3から霧状に噴出させると、粉末状のドライアイスに変化する。その粉末状のドライアイスをワーク2にぶつけることによってワーク2を洗浄する。洗浄後のドライアイスは昇華して炭酸ガスとなる。
ワーク2の洗浄が終了したら、回収装置13を駆動させて、洗浄室1内の炭酸ガスを回収する。回収された炭酸ガスは、フィルタ14により浄化された後、再液化装置15において液化され、再液化用ボンベ16において貯蔵される。
洗浄室1内の炭酸ガスの回収が終了したら、洗浄室1の出入口を開放して、洗浄後のワーク2を洗浄室1から外へ搬出すると共に、次のワーク2を洗浄室1内に投入する。
この後、上記したようにガス置換処理、洗浄処理、ガス回収処理、ワーク入れ替え処理を順に行う。
そして、再液化用ボンベ16において貯蔵された液化炭酸ガスの量が所定量に達したら、再液化用ボンベ16の液化炭酸ガスをガス置換処理及び洗浄処理に再利用する。具体的には、ガス置換処理を行う場合には、第1及び第2の切替弁7,8を制御して、再液化用ボンベ16の液化炭酸ガスが気化装置10へ供給されるようにすることで、再液化用ボンベ16の液化炭酸ガスをガス置換処理に利用する。また、洗浄処理を行う場合には、第1及び第2の切替弁7,8を制御して、再液化用ボンベ16の液化炭酸ガスが液化炭酸ガス加圧装置4へ供給されるようにすることで、再液化用ボンベ16の液化炭酸ガスを洗浄処理に利用する。このような場合の炭酸ガスの流れを図2に示す。なお、使用する炭酸ガスが、再液化用ボンベ16に貯蔵された量だけでは不足する場合は、液化炭酸ガスボンベ9に貯蔵された液化炭酸ガスも適宜利用する。
まず、洗浄室1内の空気を炭酸ガスに置換した状態で、洗浄ノズル3から出るドライアイスによりワーク2を洗浄することで、洗浄時の結露の発生や凍結を防止することができる。しかもこの場合、洗浄室1内を炭酸ガスに置換する場合、まず真空ポンプ12により真空引きした後、炭酸ガスを注入するようにすることで、ガス置換処理を一層効率よく行うことができる。
Claims (1)
- ワークが投入される洗浄室と、
この洗浄室内に置換用の炭酸ガスを供給する置換用ガス供給手段と、
前記洗浄室内において前記ワークをドライアイスにより洗浄する洗浄手段と、
前記洗浄室内の炭酸ガスを回収するガス回収手段と、
このガス回収手段により回収された炭酸ガスを浄化した後液化するガス液化手段とを備え、
前記ガス液化手段により液化した液化炭酸ガスを前記置換用ガス供給手段及び前記洗浄手段の少なくとも一方に供給して再利用する構成としたことを特徴とするドライアイス洗浄装置。
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