JP2007123270A - イオン発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発明に係るイオン発生装置10は、容器11と、陰極装置16と、陽極電極14と、を含む。容器は、電子進入口15を有する第一端部115と、第一端部の反対側の電子排出口13を有する第二端部113と、第一端部と第二端部との間に設置されてガス吸入口17を有する本体と、を備える。陰極装置は、電子進入口に対向して設置され、伝導基材と少なくとも一つのエミッタとを備える。陽極電極は容器の内部に設置され、環状又は筒状に形成される。
【選択図】図1
Description
図1及び図2を参照すると、本実施例に係るイオン発生装置10は、真空容器11と、陽極電極14と、陰極装置16と、を含む。前記陽極電極14は前記真空容器11の壁と電気的に絶縁されるように前記真空容器11内部に収容される。前記陰極装置16は前記真空容器11の外部に設置される。
図5を参照すると、本実施例に係るイオン発生装置10が実施例1と異なる点は、陰極電極26を有することである。本実施例に係る陰極電極26は伝導基材160と、少なくとも一つのエミッタ161と、平板型の二次電子放出源262と、を含む。前記エミッタ161は前記二次電子放出源262に対向して、前記伝導基材160の上方に設置される。前記二次電子放出源262の印加電圧は前記エミッタ161の印加電圧より大きいように設置される。実際には、前記エミッタ161からの電子は、前記二次電子放出源262に衝突してより多くの電子が発生する。前記電子は前記電子進入口15から前記真空容器11内に進入する。さらに、前記二次電子放出源262は銅又は白金からなる。
図6を参照すると、本実施例に係るイオン発生装置10が実施例2と異なる点は、陰極電極36の構成である。前記陰極電極36は二次電子放出源362を有する。前記二次電子放出源362には、前記伝導基材160の貫通孔165及び/又は前記真空容器11の前記電子進入口15に対向して複数の二次電子放出チップ363が形成される。前記二次電子放出チップ363は前記二次電子放出源362に突出して設置される。
11 真空容器
110 真空チェンバ
111 本体
113 第二端部
115 第一端部
12 開口レンズ
121,122,123 電極
1211,1221,1231 貫通孔
13 電子放出口
14 陽極電極
15 電子進入口
16,26,36 陰極電極
160 伝導基材
161 エミッタ
17 ガス吸入口
170 ガス
18 グリッド電極
180 グリッド開口
262,362 二次電子放出源
363 二次電子放出チップ
Claims (6)
- 電子進入口を有する第一端部と、該第一端部の反対側の電子排出口を有する第二端部と、前記第一端部と前記第二端部との間に設置されてガス吸入口を有する本体と、を備える容器と、
前記電子進入口に対向して設置され、伝導基材と少なくとも一つのエミッタとを備える陰極装置と、
前記容器の内部に設置され、環状又は筒状に形成される陽極電極と、
を含むことを特徴とするイオン発生装置。 - 前記陰極装置と前記電子進入口との間にグリッド電極が設置されることを特徴とする、請求項1に記載のイオン発生装置。
- 前記陰極電極は二次電子放出源を含み、
前記少なくとも一つのエミッタは前記二次電子放出源に対向して設置されることを特徴とする、請求項1に記載のイオン発生装置。 - 前記陽極電極の中心軸は前記電子進入口の中心軸から外れることを特徴とする、請求項1に記載のイオン発生装置。
- 前記容器の前記第二端部の手前に開口レンズが設置されることを特徴とする、請求項1に記載のイオン発生装置。
- 前記二次電子放出源には複数の二次電子放出チップが突出して設置されることを特徴とする、請求項1に記載のイオン発生装置。
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