JP2007121316A - 走査型近視野顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光伝搬体プローブ1をその共振周波数で振動させて、ダイナミックモードのAFMによって走査制御する走査型近視野顕微鏡において、光伝搬体プローブ1をグランド電位とし、試料3に交流電圧を印加し、光伝搬体プローブ1の変位検出信号を周波数分離回路24を用いて周波数分離し、表面電位信号を得ると同時に、光伝搬体プローブ1先端の微小開口から近視野光を照射して試料3の光学特性を測定することにより、試料の表面形状、表面電位及び光学特性を同時に測定する。
【選択図】図1
Description
図1は、実施の形態1に係る走査型近視野顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
図2は、実施の形態2に係る走査型近視野顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
図3は、実施の形態3に係る走査型近視野顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
図6は、実施の形態4に係る走査型近視野顕微鏡の光伝搬体プローブ保持機構の概略構成を示す図である。図6において、実施の形態4に係る走査型近視野顕微鏡の光伝搬体プローブ保持機構は、基材121と、圧電素子2と、絶縁膜122と、電気的に接地された電極板123とを積層した構造であり、光伝搬体プローブ1は、電極板123に接触するように搭載される。
2 圧電素子
3 試料
4 試料台
5 変位計測用レーザー光源
6 光検出器
7 レーザー光源
8 レーザー光導入光学系
9 集光光学系
10 反射ミラー
11 光検出器
12 XYZ移動機構
13 変調装置
14 位相検波器
15 変調信号生成器
20 制御装置
21 交流電圧源
22 電位測定用交流電圧源
23 オフセット調整回路
24 周波数分離回路
101 光導波路
102 金属被覆
103 微小開口
104 基部
111 光ファイバー
112 金属被覆
121 基材
122 絶縁膜
123 電極板
130 光伝搬体
Claims (9)
- 端部に光を透過する透過口を有する光伝搬体からなり、透過口部を除く先端部に導電性の金属膜被覆を有する光伝搬体プローブを有し、前記光伝搬体プローブの先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面との間隔を、前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面との間に原子間力あるいはその他の相互作用に関わる力が作用する動作距離内に近づけた状態で、2次元的な走査手段によって前記試料表面を走査するとともに、制御手段によって前記表面の形状に沿って前記光伝搬体プローブを制御し、前記表面の微小領域に対して、光照射あるいは光検出を行い、試料形状と2次元光学情報を同時に測定する走査型近視野顕微鏡において、
前記光伝搬体プローブの先端と前記表面を相対的に垂直方向に振動させる振動手段と、
前記光伝搬体プローブの変位を検出する変位検出手段と、
前記変位検出手段が出力する検出信号に基づいて前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面の間隔を一定に保つための制御手段と、
前記光伝搬体プローブ先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面間に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
前記印加電圧に起因する前記光伝搬体プローブの振動を除去するように電圧を帰還する電圧帰還手段とを有することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。 - 端部に光を透過する透過口を有する光伝搬体からなり、透過口部を除く先端部に導電性の金属膜被覆を有する光伝搬体プローブを有し、前記光伝搬体プローブの先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面との間隔を、前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面との間に原子間力あるいはその他の相互作用に関わる力が作用する動作距離内に近づけた状態で、2次元的な走査手段によって前記試料表面を走査するとともに、制御手段によって前記表面の形状に沿って前記光伝搬体プローブを制御し、前記表面の微小領域に対して、光照射あるいは光検出を行い、試料形状と2次元光学情報を同時に測定する走査型近視野顕微鏡において、
前記光伝搬体プローブの変位を検出する変位検出手段と、
前記変位検出手段が出力する検出信号に基づいて前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面の間隔を一定に保つための制御手段と、
前記光伝搬体プローブ先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面間に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
前記印加電圧に起因する前記光伝搬体プローブの振動を除去するように電圧を帰還する電圧帰還手段とを有することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。 - 端部に光を透過する透過口を有する光伝搬体からなり、透過口部を除く先端部に導電性の金属膜被覆を有する光伝搬体プローブを有し、前記光伝搬体プローブの先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面との間隔を、前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面との間に原子間力あるいはその他の相互作用に関わる力が作用する動作距離内に近づけた状態で、2次元的な走査手段によって前記試料表面を走査するとともに、制御手段によって前記表面の形状に沿って前記光伝搬体プローブを制御し、前記表面の微小領域に対して、光照射あるいは光検出を行い、試料形状と2次元光学情報を同時に測定する走査型近視野顕微鏡において、
前記光伝搬体プローブの先端と前記表面を相対的に垂直方向に振動させる振動手段と、
前記光伝搬体プローブの変位を検出する変位検出手段と、
前記変位検出手段が出力する検出信号に基づいて前記光伝搬体プローブの先端部と前記表面の間隔を一定に保つための制御手段と、
前記光伝搬体プローブ先端部と測定すべき試料あるいは媒体表面間に交流電圧を印加する電圧印加手段と、
前記印加電圧に起因する前記光伝搬体プローブの振動を除去するように電圧を帰還する電圧帰還手段と、
前記表面の微小領域に対して、光照射あるいは光検出を行うための光源に光変調を行う変調手段と、
前記印加電圧に起因する前記光伝搬体プローブの振動検出信号を、前記変調手段の変調信号に対応して位相検波する位相検波手段とを有することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。 - 前記光伝搬体プローブは、基板状の基部と、
前記基板状の基部上に少なくとも1層以上の積層構造をなす光導波層を有し、
前記光導波層が前記基部より突き出て梁状のカンチレバーを形成していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の走査型近視野顕微鏡。 - 前記光伝搬体プローブは、弾性機能を有する部分と、
この弾性機能を有する部分を支持する基部からなり、
前記弾性的機能を有する部分がこの弾性機能部を支持する柱状の基部と一体に形成されるとともに少なくとも柱状部を有し、この柱状部の外形が前記柱状基部の外形より細く形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の走査型近視野顕微鏡。 - 前記光伝搬体は、薄膜光導波路であることを特徴とする請求項4記載の走査型近視野顕微鏡。
- 前記光伝搬体は光ファイバーであることを特徴とする請求項5記載の走査型近視野顕微鏡。
- 前記光伝搬体プローブを搭載する光伝搬体プローブ保持機構は、基材と、圧電素子と、絶縁膜と、電気的に接地された電極板と積層した構造であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の走査型近視野顕微鏡。
- 前記光伝搬体プローブは、前記透過口部を除く先端部に導電性の金属膜被覆を有し、前記金属膜は前記透過口部を囲むように配置され、前記光伝搬体は前記金属膜の端面より陥没していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の走査型近視野顕微鏡。
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