JP2007121188A - 振動素子および物質検出素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物質検出素子1Aは、振動子3A、振動子に設けられ、目的物質と相互作用させるための検出膜4A、および振動子と接合されており、振動子を支持する支持基板2を備えている。振動子が、支持基板2に接合されている基部3a、検出膜が設けられており、基部よりも薄い振動部3c、および基部と振動部との間に設けられており、基部よりも薄い中間部3bを備えている。振動部の厚さと中間部の厚さとが異なっている。目的物質と検出膜との相互作用に基づく振動子の振動状態の変化に基づいて目的物質を検出する。
【選択図】 図2
Description
さらに、本発明の課題は、振動子を支持基板に対して接合するタイプの振動子を利用した物質検出素子において、振動のQ値を向上させ、Q値のバラツキを低減できるようにすることでセンサ特性のばらつきを低減できるようにすることである。
振動子が、支持基板に接合されている基部、基部よりも薄い振動部、および基部と振動部との間に設けられており、基部よりも薄い中間部を備えており、振動部の厚さと中間部の厚さとが異なっていることを特徴とする。
振動子、振動子に設けられ、目的物質と相互作用させるための検出膜、および振動子と接合されており、振動子を支持する支持基板を備えており、
振動子が、支持基板に接合されている基部、検出膜が設けられており、基部よりも薄い振動部、および基部と振動部との間に設けられており、基部よりも薄い中間部を備えており、振動部の厚さと中間部の厚さとが異なっており、目的物質と検出膜との相互作用に基づく平板状振動子の振動状態の変化に基づいて目的物質を検出することを特徴とする。
水晶、LiNbO3、LiTaO3、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体(Li(Nb,Ta)O3)単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等からなる圧電単結晶を使用できる。振動子に用いる圧電単結晶と同一の基板を支持基板として使用すると熱膨張が一致して温度変化によって反りが生じにくい。また、シリコン、GaAsなどの半導体基板、パイレックス(登録商標)、BK7、合成石英、もしくは、強度の高い結晶化ガラスなどのガラス基板、サファイア、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、コージェライトなどのセラミック基板などを例示できる。
ポリカプロラクトン(PCL)、ポリ(1,4−ブチレンアジペート)(PBA)、ポリ(エチレンサクシネート)(PES)、ポリ(2,6−ジメチル−p−フェニレンオキシド)(PPO)、ポリ(エチレンアジペート)(PEA)、ポリ(エチレンアゼレート)(PEAz)、ポリ(2,2−ジメチル−1,3−プロピレンサクシネート)(PPS)、ポリ(トリメチレンアジペート)(PTA)、ポリ(1,4−シクロヘキサンジメチレンサクシネート)(PCS)、ポリ(トリメチレンサクシネート)(PTS)、
検出膜によって検出されるべき物質としては、以下を例示できる。
イソアミルアセテート、フェニルエチルアルコール、p-アニスアルデヒド、シトラール、ゲラニオール、フェニルエチルアルコール、α-テルピネオール等のにおい物質、ダイオキシンなどの環境ホルモン、たんぱく質、DNA、抗原抗体などの生体物質、グリコース、アルコール、尿素、尿酸、乳酸などの化学物質
下に示す各対は、目的物質と検出膜材質との組み合わせを示す対である。従って、各対から、一方を目的物質として選択すると、他方が検出膜の材質となる。
抗体−抗原、ホルモン−ホルモンレセプター、アビジン/ストレプトアビジン−ビオチン、酵素−酵素基質または酵素インヒビター、レクチン−カルボキシハイドレート、脂質−脂質結合タンパク質または膜会合タンパク質、レセプター−伝達物質、タンパク質−タンパク質、タンパク質−ポリヌクレオチド、DNA−DNA、DNA−RNA、RNA−RNA
リン酸緩衝液(PBS):リン酸2水素ナトリウム・2水(リン酸1ナトリウム)、リン酸水素2ナトリウム・12水(リン酸2ナトリウム)、蒸留水、塩化ナトリウム
(1) 振動周波数を測定し、目的物質と検出膜との相互作用による検出膜の質量変化に基づく振動周波数変化から、物質の存在を検出し、また物質の濃度を計測する。
(2) 振動のQ値を測定し、目的物質と検出膜との相互作用による検出膜の質量変化に基づくQ値の変化から、物質の存在を検出し、また物質の濃度を計測する。
(3) 振動子の振動変位を測定し、目的物質と検出膜との相互作用による検出膜の質量変化に基づく振動変位の変化から、目的物質の存在を検出し、また物質の濃度を計測する。この方法によれば、周波数の変化を測定する場合に比べて、単位質量変化当たりの感度を向上させることが可能である。しかも、ねじれ弾性率μ、厚さ方向弾性率Cyなどの温度特性等の環境変化は、振動子の全体にわたって生ずる。この際、本例においては、振動子の変位のバランス変化は、振動子の全体にわたって生ずるので、測定前後における振動変位の変化には影響しない。従って、質量変化のみを正確に測定することができる。
図2〜図4は、いわゆるATカット水晶振動子の厚みすべり振動や厚み縦振動を使用する実施形態に係るものである。図2は、素子1Aを概略的に示す断面図であり、図3は、素子1Aの斜視図であり、図4は、素子1Aの上面図である。最初に厚みすべり振動を採用した例を中心として説明し、厚み縦振動を採用した例については後述する。
Δf=−2Δmf2/A(μρ)1/2
Δf: 基本周波数の変化
f: 基本周波数
Δm: 質量変化
A: 電極面積
μ: 水晶のねじれ弾性率=1011dyn/cm2
ρ: 水晶の密度=2.65g/cm3
水晶、LiNbO3、LiTaO3、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体(Li(Nb,Ta)O3)単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等からなる圧電単結晶を使用できる。また、シリコン、GaAsなどの半導体基板、パイレックス(登録商標)、BK7、合成石英、もしくは、強度の高い結晶化ガラスなどのガラス基板、サファイア、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、コージェライトなどのセラミック基板、SiO2、酸化タンタル、DLC、樹脂材料などが挙げられる。
上の例では、電極に対して目的物質を吸着させたが、電極と別体の吸着膜を設けることができる。
図1(比較例) a:30μm b:3μm 振動部の厚さ1.2μm
図2: a:30μm b 5μm c: 1.2μm
d:3.5μm e:100μm
図5: a:30μm b 5μm c: 1.2μm
d:3.5μm e:100μm
図6: a:30μm b 5μm c: 1.2μm
d:3.5μm e:100μm
図7: a:30μm b 5μm c: 1.2μm
d:3.5μm e:100μm f:60μm
図8: a:30μm b 5μm c: 1.2μm
d:0.8μm e:100μm f:60μm
図9: a:30μm b 5μm c: 1.2μm
d:2.0μm e:100μm f:80μm g:50μm
図10:a:30μm b 5μm c: 1.2μm d:3.5μm e:100μm f:60μm m:10μm n:20μm
図11〜図14に示す素子1Hを製造した。振動子3HはATカット水晶板によって形成した。加工前の平板の厚さは0.1mmとし、加工後の振動子3Hの厚さは0.001mm、縦2mm、横2mmとした。各電極は、クロム/金膜(厚さ500オングストローム)を使用した。本例では電極上に別体の吸着膜を、マスクを用いたパターニングによるディッピングによって形成した。吸着膜の材質は抗ヒトIgG抗体(SIGMA社、I3382)である。支持基板2の材質はATカット水晶板であり、厚さは0.3mmであった。支持基板2と振動子3Hとの接着は、シリコーン接合剤によって行った。
Claims (15)
- 振動子、およびこの振動子と接合されており、前記振動子を支持する支持基板を備えている振動素子であって、
前記振動子が、前記支持基板に接合されている基部、前記基部よりも薄い振動部、および前記基部と前記振動部との間に設けられており、前記基部よりも薄い中間部を備えており、前記振動部の厚さと前記中間部の厚さとが異なっていることを特徴とする、振動素子。 - 前記振動子が厚みねじれ振動モードで振動することを特徴とする、請求項1記載の振動素子。
- 前記振動子が厚みすべり振動モードで振動することを特徴とする、請求項1記載の振動素子。
- 前記振動子が厚み縦振動モードで振動することを特徴とする、請求項1記載の振動素子。
- 前記振動子の一方の主面および他方の主面において前記振動部と前記中間部との間にそれぞれ段差が形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
- 前記振動子の一方の主面において前記振動部と前記中間部との間に段差が形成されておらず、前記振動子の他方の主面において前記振動部と前記中間部との間に段差が形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
- 前記振動部の厚さが前記中間部の厚さよりも小さいことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
- 前記振動部の厚さが前記中間部の厚さよりも大きいことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
- 前記振動部と前記中間部との間に、厚さが変化するテーパ部を備えていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
- 目的物質の検出に使用する物質検出素子であって、
請求項1〜9のいずれか一つの請求項に記載の振動素子、および前記振動部に設けられ、目的物質と相互作用させるための検出膜を備えており、
前記目的物質と前記検出膜との相互作用に基づく前記振動子の振動状態の変化に基づいて前記目的物質を検出することを特徴とする、物質検出素子。 - 前記振動子の第一の主面側に、前記検出膜とは別に設けられた、基本振動を励振するための電極を備えていることを特徴とする、請求項10記載の物質検出素子。
- 前記検出膜が前記目的物質の吸着能を有する吸着膜であることを特徴とする、請求項10または11記載の物質検出素子。
- 前記検出膜が、前記振動子に基本振動を励振するための電極として機能することを特徴とする、請求項10〜12のいずれか一つの請求項に記載の物質検出素子。
- 前記振動状態の変化が振動周波数の変化であることを特徴とする、請求項10〜13のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
- 前記振動状態の変化が振動変位であることを特徴とする、請求項10〜13のいずれか一つの請求項に記載の振動素子。
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