JP2007121163A - 試験装置、プログラム、及び記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体回路等を試験する試験装置において、電源電圧の瞬時低下等の電源異常からの復帰を容易にする。
【解決手段】 試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部とを備え、システム監視部は、主電源部の入力側の電源電圧を監視する電源監視部と、電源電圧の瞬時低下を検出した場合に試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部とを有する試験装置を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】 試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部とを備え、システム監視部は、主電源部の入力側の電源電圧を監視する電源監視部と、電源電圧の瞬時低下を検出した場合に試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部とを有する試験装置を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置、試験装置を機能させるプログラム、及びプログラムを格納した記録媒体に関する。
従来、半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置は、電力系統から与えられる電源電力により駆動する。しかし、電力系統から与えられる電源電力は、落雷等の原因により電圧が瞬時低下する場合がある。電源電圧が低下すると、被試験デバイスの試験を精度よく行なうことできず、また試験装置等の故障原因となる場合がある。
このため、従来の試験装置においては、電源電圧の瞬時低下を検出した場合、被試験デバイスの試験を中止し、また試験装置全体に対する電源電力供給を停止している。これにより、被試験デバイスの良否の誤判定を防ぎ、また試験装置等が故障することを防いでいる。
現在、関連する特許文献等は認識していないので、その記載を省略する。
しかし、従来の試験装置は、電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験装置全体の電源をオフにしてしまう。このため、電源電圧が回復して、被試験デバイスの試験を再開する場合、試験装置の立ち上げを行う必要がある。例えば、使用者が試験装置の電源スイッチをオンにし、試験装置の設定を行う必要がある。
また、多数の被試験デバイスを試験するべく、複数の試験装置を並列に動作させる場合がある。この場合、電源電圧の瞬時低下が発生すると、それぞれの試験装置について、使用者が立ち上げ処理を行う必要があるので、非常に時間がかかってしまう。
また、電源電圧の瞬時低下が発生した場合に、試験装置に電源電力を供給する補助電源を設けることも考えられる。しかし、当該補助電源により試験装置全体の電力供給をバックアップするには、大容量の補助電源が必要となる。
このため本発明は、上述した課題を解決することのできる試験装置、プログラム、及び記録媒体を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部とを備え、システム監視部は、主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部とを有する試験装置を提供する。
システム監視部は、被試験デバイスの試験を停止させた後、所定の期間内、例えば電源の正常出力が保証されている期間内に、電源電圧が回復しない場合に、試験ブロックへの電力供給を停止させる電源制御部を更に有してよい。システム監視部は、電源制御部が、電源電圧の瞬時低下により試験ブロックへの電力供給を停止させた旨を示す瞬低発生情報を格納する瞬低発生情報格納部を更に有してよい。
回復部は、主電源部における電源電圧が回復した場合に、瞬低発生情報格納部が瞬低発生情報を格納していることを条件として、主電源部から試験ブロックへ電源電力を供給させてよい。回復部は、主電源部から試験ブロックへ電源電力を供給させた場合に、試験ブロックを被試験デバイスの試験が可能な状態に設定してよい。
主電源部は、使用者によりスイッチがオン状態にされていることを条件として、電源電圧を出力し、通知部は、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、スイッチをオン状態に保持して、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させてよい。
電源制御部は、電源監視部が電源電圧の瞬時低下を検出してから所定の期間内に電源電圧が回復しない場合に、スイッチをオン状態に保持して、主電源部から試験ブロックへの電源電力の供給を停止させてよい。
システム監視部は、試験装置の温度を検出する温度検出部を更に有し、電源制御部は、温度検出部が検出した温度が、予め定められた範囲外となった場合に、スイッチをオフ状態に制御し、主電源部からの電源電力の供給を停止させてよい。
システム監視部は、試験装置から煙が発生しているか否かを検出する煙検出部を更に有し、電源制御部は、煙検出部が煙を検出した場合に、スイッチをオフ状態に制御し、主電源部からの電源電力の供給を停止させてよい。
本発明の第2の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、試験装置を、試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部として機能させ、システム監視部を、主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部として機能させるプログラムを提供する。
本発明の第3の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、試験装置を、試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部として機能させ、システム監視部を、主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部として機能させるプログラムを格納した記録媒体を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本発明の実施形態に係る試験装置100の構成の一例を示す図である。試験装置100は、半導体回路等の被試験デバイスを試験する装置であって、主電源部10、交流電源12、補助電源部20、試験ブロック30、及びシステムブロック40を備える。
交流電源12は、交流電力を主電源部10に供給する。例えば、交流電源12は、外部の電力系統から交流電力を受け取り、主電源部10に供給してよい。この場合、交流電源12は、外部の電力系統と、主電源部10との間で交流電力を伝送する伝送手段であってよい。また交流電源12は、交流電力を発電する発電装置であってもよい。主電源部10は、試験装置100に電源電力を供給する。例えば、主電源部10は、交流電源12から交流電力を受け取り、当該交流電力を直流電力に変換してよい。そして、主電源部10は、当該直流電力を、試験ブロック30及びシステムブロック40に分配してよい。
主電源部10は、第1電源16、及び第2電源14を有する。第1電源16は、システムブロック40に電源電力を供給する。また、第2電源14は、試験ブロック30に電源電力を供給する。第1電源16及び第2電源14は、交流電源12から与えられる交流電力を直流電力に変換し、試験ブロック30及びシステムブロック40に供給する。
補助電源部20は、主電源部10の入力側における電源電圧、即ち交流電源12が出力する電源電圧に異常が生じた場合に、システムブロック40に電源電力を供給する。補助電源部20は、通常時に外部の電力系統により充電される電池であってよく、また電源電力を生成する発電装置であってもよい。
試験ブロック30は、試験制御部32、試験部34、試験電圧検出部36、及び冷却検出部38を有する。試験部34は、電源電力を受け取り、被試験デバイスDUTと信号の授受を行い、被試験デバイスDUTを試験する。例えば試験ブロック30は、被試験デバイスDUTの機能試験、IDDQ試験等を行う装置であってよい。また、試験制御部32は、試験部34を制御する。例えば、試験制御部32は、与えられる試験プログラムに応じて、試験部34を制御してよい。
試験電圧検出部36は、例えば主電源部10から試験ブロック30に供給される電源電圧を検出する。試験電圧検出部36は、検出した電源電圧が、予め定められた基準値より小さいか否かを判定してよい。また、冷却検出部38は、例えば試験部34を冷却する冷却装置が正常に駆動しているか否かを検出する。
システムブロック40は、システム監視部50、温度検出部42、及び煙検出部44を有する。システム監視部50は、試験装置100の状態を監視する装置であって、主電源部10及び補助電源部20のいずれからも電源電力が供給可能に設けられる。例えば、通常においては、主電源部10がシステム監視部50に電源電力を供給してよい。また、主電源部10からの電源供給に異常が生じた場合には、補助電源部20がシステム監視部50に電源電力を供給してよい。これにより、システム監視部50は、例えば外部の電力系統からの電力供給が瞬時電圧低下又は瞬時停電した場合であっても、試験装置100の状態を監視することができる。
温度検出部42は、試験装置100の温度を検出する。温度検出部42は、検出した温度が、所定の温度範囲内であるか否かを判定してよい。また、煙検出部44は、試験装置100から煙が発生しているか否かを検出する。システム監視部50は、試験電圧検出部36、冷却検出部38、温度検出部42、及び煙検出部44が異常を検出した場合に、被試験デバイスDUTの試験を中断してよい。また、温度検出部42及び煙検出部44が異常を検出した場合には、システム監視部50は、主電源部10から試験装置100への電源電力の供給を停止させてよい。
また、システム監視部50は、主電源部10の入力側における電源電圧を監視する。また、システム監視部50は、主電源部10の出力側における電源電圧を監視してもよい。そして、主電源部10の入力側における電源電圧に異常が生じたか否かに応じて、試験ブロック30を制御する。例えば、主電源部10の入力側における電源電圧が瞬時低下した場合、システム監視部50は、試験部34による被試験デバイスDUTの試験を停止させる。電源電力の供給停止の前に、予め試験ブロック30の動作を停止させることにより、試験ブロック30及び被試験デバイスDUTの故障等を防ぐことができる。
そして、システム監視部50は、主電源部10の入力側における電源電圧の低下が、予め定められた所定の期間内に回復した場合、試験部34に被試験デバイスDUTの試験を再開させる。また、システム監視部50は、主電源部10の入力側における電源電圧の低下が、予め定められた所定の期間内に回復しない場合、試験ブロック30への電源電力の供給を停止させる。
交流電源12が出力する電源電圧に瞬時低下等の異常が生じた場合、例えば数十〜数百ms程度の期間は、第1電源16及び第2電源14が出力する電源電圧は維持される。このため、当該期間の間に、主電源部10の入力側における電源電圧が回復した場合、主電源部10が出力する電源電圧の電圧値に異常は生じない。このため、当該期間内に電源電圧が回復した場合、システム監視部50は、被試験デバイスDUTの試験を再開させることができる。
また、当該期間内に電源電圧が回復しない場合、主電源部10が出力する電源電圧の電圧値に異常が生じるおそれがある。このため、システム監視部50は、当該期間内に電源電圧が回復しない場合、システム監視部50は、試験ブロック30への電源電力の供給を停止させ、デバイス破壊及び試験装置100の誤動作等の被害を防ぐ。
そして、システム監視部50は、試験ブロック30への電源電力の供給を停止させた後に、主電源部10の入力側における電源電圧の低下が回復した場合、主電源部10から試験ブロック30に電源電力を供給させる。また、システム監視部50は、主電源部10が出力する電源電圧の低下が回復した場合、試験ブロック30を、被試験デバイスDUTの試験が可能な状態まで復帰させる。
試験ブロック30への電源電力の供給を停止させた場合であっても、システムブロック40には、補助電源部20から電源電力が供給される。このため、当該補助電源部20から電力が供給できる間は、主電源部10の入力側の電源電圧を監視することができる。通常、電源電圧の瞬時低下が1秒以上続くことは稀であるので、補助電源部20は、システムブロック40に2秒程度継続して電力を供給できる容量を有していればよい。
従来の試験装置においては、電源電圧に異常が生じた場合、試験装置全体への電力供給を停止している。このため、電源電圧の瞬時低下等が生じた場合に、試験装置を試験可能な状態に復帰させるのに時間がかかってしまう。例えば、それぞれの試験装置を使用者が立ち上げる必要があった。
これに対し、本例における試験装置100は、電源電圧に異常が生じた場合であっても、試験ブロック30への電力供給を停止させ、システムブロック40への電力供給は停止させない。このため、システム監視部50が電源電圧の復帰を検出することができ、自動で試験ブロック30を試験可能な状態まで復帰させることができる。
図2は、システム監視部50の構成の一例を示す図である。システム監視部50は、電源監視部52、電源制御部54、通知部56、回復部58、及び瞬低発生情報格納部60を有する。電源監視部52は、主電源部10の入力側における電源電圧を監視する。例えば、電源監視部52は、主電源部10の入力側における電源電圧が、予め定められた基準値より小さくなった場合に、電源電圧の瞬時低下として検出する。また、電源監視部52は、主電源部10が出力する電源電圧を監視してもよい。
通知部56は、電源監視部52が、主電源部10における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロック30による被試験デバイスDUTの試験を中止させる。例えば、通知部56は、電源電圧の瞬時低下を検出した旨を、試験制御部32に通知して、試験を中止させてよい。
回復部58は、通知部56が被試験デバイスDUTの試験を中止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部52が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロック30に被試験デバイスDUTの試験を再開させる。例えば、回復部58は、電源電圧が回復した旨を、試験制御部32に通知して、試験を再開させてよい。このとき、回復部58は、試験ブロック30を試験可能な状態に設定することが好ましい。例えば、回復部58は、電源電圧が回復した旨を試験制御部32に通知して、試験プログラムを再動作させてよく、また試験部34のキャリブレーション等を行わせてよい。
電源制御部54は、通知部56が被試験デバイスDUTの試験を中止させた後、当該所定の期間内に、主電源部10における電源電圧が回復しない場合に、主電源部10から試験ブロック30への電力供給を停止させる。また、電源制御部54は、電源電圧の瞬時低下により、試験ブロック30への電力供給を停止させた旨を示す瞬低発生情報を、瞬低発生情報格納部60に格納する。これにより、試験ブロック30への電力供給停止が、電源電圧の瞬時低下による停止であることを識別することができる。
回復部58は、電源制御部54が、試験ブロック30への電力供給を停止させた後、主電源部10における電源電圧が回復した場合に、主電源部10から試験ブロック30への電力供給を再開させる。このとき、回復部58は、瞬低発生情報格納部60が瞬低発生情報を格納していることを条件として、主電源部10から試験ブロック30への電源電力供給を再開させることが好ましい。
このような制御により、例えば電源電圧の瞬時低下とは異なる要因により、試験ブロック30への電力供給を停止させている場合において、試験ブロック30へ誤って電力を供給することを防ぐことができる。例えば、発熱等の問題により、試験ブロック30を停止させている場合、回復部58が自動的に試験ブロック30への電力供給を再開することを防ぐことができる。
また、回復部58は、試験ブロック30への電力供給を再開させた場合、試験ブロック30を試験可能な状態に復帰させることが好ましい。例えば、回復部58は、電源電圧が回復した旨を試験制御部32に通知して、試験プログラムを再動作させてよく、また試験部34のキャリブレーション等を行わせてよい。
図3は、試験装置100の動作の一例を示す状態遷移図である。試験装置100により試験を行う場合、まず使用者により主電源部10のブレーカがオン状態にされる(S402)。そして、使用者により試験装置100のシステムスイッチがオン状態にされる(S404)。主電源部10は、システムスイッチがオン状態であることを条件として、試験装置100に電源電力を供給する。この状態で、システムブロック40が駆動される。そして、システムブロック40は、試験装置100の状態をチェックし、異常がある場合には、システムスイッチをオフ状態とし、状態S402に遷移する。
状態S404において、使用者により試験装置100のキースイッチがオン状態にされた場合、状態S406に遷移する。状態S406において、システムブロック40は、試験ブロック30の状態をチェックし、異常がある場合には、キースイッチをオン状態に保持して状態S404に遷移する。また、異常がない場合には、試験ブロック30を試験可能な状態に設定し、被試験デバイスDUTの試験を行う。
状態S406において、電源電圧の瞬時低下が検出された場合、状態S408に遷移する。状態S406において、主電源部10の入力側における電源電圧の瞬時低下を検出した場合、主電源部10の出力側における電源電圧に異常が生じる前に、状態S408に遷移することが好ましい。状態S408において、システムブロック40は、試験ブロック30による試験を中止させる。そして、電源電圧の瞬時低下が所定の期間内に復帰した場合、状態S410に遷移する。
状態S410において、システムブロック40は、試験ブロック30を試験可能な状態に設定する回復処理を行い、状態S404に遷移する。このとき、システムスイッチ及びキースイッチはオン状態に保持されている。このため、状態S406に自動的に遷移する。このような動作により、被試験デバイスDUTの試験を再開することができる。
また、状態S408において、電源電圧の瞬時低下が所定の期間内に復帰しない場合、状態S412に遷移する。状態S410及び状態S412には、主電源部10の出力側における電源電圧に異常が生じる前に遷移することが好ましい。主電源部10の入力側の電源電圧に異常が生じてから、主電源部10の出力側の電源電圧に異常が生じるまでの期間は、主電源部10のスペック等により保証される。状態S406から状態S408への遷移、及び状態S408から状態S410若しくは状態S412への遷移は、予め定められる当該期間内に行われることが好ましい。状態S412において、システムブロック40は、試験ブロック30への電源電力供給を停止させる。そして、当該所定の期間経過後に、電源電圧が復帰した場合、状態S410に遷移し、試験ブロック30へ電源電力を供給し、回復処理を行う。このような動作により、瞬低発生時に自動的に被試験デバイスDUTの試験を再開することができる。
また、状態S412において、電源電圧が長期間復帰しない場合、状態S402に遷移する。当該期間は、補助電源20が、システムブロック40に電源電力を供給できる期間であってよい。当該期間は、補助電源20の容量により予め定められる。例えば、状態S412において、数100msから1秒程度、電源電圧が復帰しない場合、システムブロック40は、試験装置100を状態S402に遷移させてよい。この場合、システムスイッチがオフ状態に制御され、主電源部10から試験装置100への電源供給が停止する。このような制御により、電源電圧の瞬時低下より致命的な障害が発生した場合に、主電源部10による電力供給を完全に停止させることができる。また、状態S408における所定の期間は、状態S412における期間より短いことが好ましい。
また、状態S408においては、通知部56は、システムスイッチをオン状態に保持して、被試験デバイスDUTの試験を停止させる。このため、主電源部10から試験ブロック30への電力供給を再開する場合に、使用者によるシステムスイッチの操作が不要となる。
また、状態S408から状態S412に遷移する場合においても、電源制御部54は、システムスイッチをオン状態に保持して、主電源部10から試験ブロック30への電源電力の供給を停止させる。このため、状態S412から状態S410に遷移し、主電源部10から試験ブロック30への電力供給を再開する場合に、使用者によるシステムスイッチの操作が不要となる。
また、試験装置100がいずれの状態で動作している場合であっても、図1において説明した温度検出部42及び煙検出部44が異常を検出した場合、電源制御部54は、システムスイッチをオフ状態に制御し、試験装置100を状態S402に遷移させる。このような制御により、試験装置100が安全に動作できない状態となった場合に、主電源部10から試験装置100への電源電力の供給を完全に停止させることができる。状態S402に遷移した場合、試験装置100を再動作させるには、使用者によるシステムスイッチの操作が必要となる。
図4は、試験装置100を機能させるコンピュータ300の構成の一例を示す。本例において、コンピュータ300は、試験装置100を図1から図3において説明したように機能させるプログラムを格納する。コンピュータ300は、CPU700と、ROM702と、RAM704と、通信インターフェース706と、ハードディスクドライブ710と、FDドライブ712と、CD−ROMドライブ714とを備える。CPU700は、ROM702、RAM704、ハードディスクドライブ710、フレキシブルディスク720、及び/又はCD−ROM722に格納されたプログラムに基づいて動作する。
例えば、試験装置100を機能させるプログラムは、試験装置100を、図1から図3において説明した主電源部10、補助電源部20、試験ブロック30、及びシステムブロック40として機能させる。通信インターフェース706は、例えば試験装置100と通信し、試験装置100を制御する。また、コンピュータ300は、システム監視部50として機能してもよい。
格納装置の一例としてのハードディスクドライブ710は、設定情報及びCPU700を動作させるプログラムを格納する。ROM702、RAM704、及び/又はハードディスクドライブ710は、試験装置100を図1から図3に関連して説明した試験装置100として機能させるためのプログラムを格納する。また、当該プログラムは、フレキシブルディスク720、CD−ROM722等に格納されていてもよい。
FDドライブ712はフレキシブルディスク720からプログラムを読み取りCPU700に提供する。CD−ROMドライブ714はCD−ROM722からプログラムを読み取りCPU700に提供する。
また、プログラムは記録媒体から直接RAMに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にRAMに読み出されて実行されても良い。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。
プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、CD−ROMの他にも、DVD、PD等の光学記録媒体、MD等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ICカード、ミニチュアーカードなどの半導体メモリ等を用いることができる。又、専用通信ネットワーク、インターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはRAM等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
以上から明らかなように、本発明によれば、半導体回路等を試験する試験装置において、電源電圧の瞬時低下等の電源異常からの復帰を容易にできる。
10・・・主電源部、12・・・主電源制御部、14・・・第2電源、16・・・第1電源、20・・・補助電源部、30・・・試験ブロック、32・・・試験制御部、34・・・試験部、36・・・試験電圧検出部、38・・・冷却検出部、40・・・システムブロック、42・・・温度検出部、44・・・煙検出部、50・・・システム監視部、52・・・電源監視部、54・・・電源制御部、56・・・通知部、58・・・回復部、60・・・瞬低発生情報格納部、100・・・試験装置、300・・・コンピュータ、700・・・CPU、702・・・ROM、704・・・RAM、706・・・通信インターフェース、710・・・ハードディスクドライブ、712・・・FDドライブ、714・・・CD−ROMドライブ、720・・・フレキシブルディスク、722・・・CD−ROM
Claims (12)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記試験装置の電源電力を供給する主電源部と、
前記主電源部における前記電源電力の供給に異常が生じた場合に、前記電源電力を供給する補助電源部と、
前記電源電力を受け取り、前記被試験デバイスと信号の授受を行い、前記被試験デバイスを試験する試験ブロックと、
前記主電源部及び前記補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部と
を備え、
前記システム監視部は、
前記主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、
前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、
前記被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる回復部と
を有する試験装置。 - 前記システム監視部は、前記被試験デバイスの試験を停止させた後、前記所定の期間内に、前記電源電圧が回復しない場合に、前記試験ブロックへの電力供給を停止させる電源制御部を更に有する
請求項1に記載の試験装置。 - 前記システム監視部は、前記電源制御部が、前記電源電圧の瞬時低下により前記試験ブロックへの電力供給を停止させた旨を示す瞬低発生情報を格納する瞬低発生情報格納部を更に有する
請求項2に記載の試験装置。 - 前記回復部は、前記主電源部における前記電源電圧が回復した場合に、前記瞬低発生情報格納部が前記瞬低発生情報を格納していることを条件として、前記主電源部から前記試験ブロックへ前記電源電力を供給させる
請求項3に記載の試験装置。 - 前記回復部は、前記主電源部から前記試験ブロックへ前記電源電力を供給させた場合に、前記試験ブロックを前記被試験デバイスの試験が可能な状態に設定する
請求項4に記載の試験装置。 - 前記主電源部は、使用者によりスイッチがオン状態にされていることを条件として、前記電源電圧を出力し、
前記通知部は、前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記スイッチをオン状態に保持して、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる
請求項4に記載の試験装置。 - 前記電源制御部は、前記電源監視部が前記電源電圧の前記瞬時低下を検出してから前記所定の期間内に前記電源電圧が回復しない場合に、前記スイッチをオン状態に保持して、前記主電源部から前記試験ブロックへの前記電源電力の供給を停止させる
請求項6に記載の試験装置。 - 前記システム監視部は、前記試験装置の温度を検出する温度検出部を更に有し、
前記電源制御部は、前記温度検出部が検出した温度が、予め定められた範囲外となった場合に、前記スイッチをオフ状態に制御し、前記主電源部からの前記電源電力の供給を停止させる
請求項7に記載の試験装置。 - 前記システム監視部は、前記試験装置から煙が発生しているか否かを検出する煙検出部を更に有し、
前記電源制御部は、前記煙検出部が煙を検出した場合に、前記スイッチをオフ状態に制御し、前記主電源部からの前記電源電力の供給を停止させる
請求項7に記載の試験装置。 - 前記主電源部は、与えられる交流電力を直流電力に変換して試験装置に供給し、
前記回復部は、前記主電源部に入力される前記交流電力の電圧値に異常が生じてから、前記主電源部が出力する前記直流電力の電圧値に異常が生じるまでの期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる請求項1に記載の試験装置。 - 被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、
前記試験装置を、
前記試験装置の電源電力を供給する主電源部と、
前記主電源部における前記電源電力の供給に異常が生じた場合に、前記電源電力を供給する補助電源部と、
前記電源電力を受け取り、前記被試験デバイスと信号の授受を行い、前記被試験デバイスを試験する試験ブロックと、
前記主電源部及び前記補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部と
して機能させ、
前記システム監視部を、
前記主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、
前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、
前記被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる回復部と
して機能させるプログラム。 - 被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、
前記試験装置を、
前記試験装置の電源電力を供給する主電源部と、
前記主電源部における前記電源電力の供給に異常が生じた場合に、前記電源電力を供給する補助電源部と、
前記電源電力を受け取り、前記被試験デバイスと信号の授受を行い、前記被試験デバイスを試験する試験ブロックと、
前記主電源部及び前記補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部と
して機能させ、
前記システム監視部を、
前記主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、
前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、
前記被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる回復部と
して機能させるプログラムを格納した記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005315298A JP2007121163A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 試験装置、プログラム、及び記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005315298A JP2007121163A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 試験装置、プログラム、及び記録媒体 |
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ID=38145164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005315298A Withdrawn JP2007121163A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | 試験装置、プログラム、及び記録媒体 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2007121163A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104422877A (zh) * | 2013-08-26 | 2015-03-18 | 远升科技股份有限公司 | 装配线系统、用于减少装配工作站的数量的方法和装置 |
US9699511B2 (en) | 2001-05-16 | 2017-07-04 | Saturn Licensing Llc | Information processing apparatus |
KR102102140B1 (ko) * | 2018-12-21 | 2020-06-02 | 주식회사 엑시콘 | 반도체 디바이스의 테스트 보드 및 방법 |
WO2024121939A1 (ja) * | 2022-12-06 | 2024-06-13 | 株式会社アドバンテスト | ピンエレクトロニクス装置、試験装置、および方法 |
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-
2005
- 2005-10-28 JP JP2005315298A patent/JP2007121163A/ja not_active Withdrawn
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