JP2007114232A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 光学系から照射される直線偏光によって、金属膜に形成された光学的開口にて近接場を発生する光学素子であって、
   上記金属膜には、上記光学的開口から上記直線偏光の偏光方向に凹部又は凸部が設けられていることを特徴とする光学素子。
2. 上記凹部又は凸部は、上記光学的開口の中心から上記直線偏光の偏光方向に設けられていることを特徴とする請求項１記載の光学素子。
3. 近接場を発生するための複数の光学的開口が金属膜に形成された光学素子であって、
   上記複数の光学的開口の内、第１の光学的開口の周囲には、凹部又は凸部が少なくとも１つ以上設けられており、
   上記複数の光学的開口の内、第２の光学的開口の周囲には、第１の光学的開口の周囲に設けられている凹部又は凸部よりも少ない凹部又は凸部が設けられているか、或いは、凹部又は凸部が設けられていないことを特徴とする光学素子。
4. 光学系から照射される直線偏光によって近接場を発生するための複数の光学的開口が金属膜に形成された光学素子であって、
   上記複数の光学的開口の内、第１の光学的開口の周囲には、凹部又は凸部が少なくとも１つ以上設けられ、該凹部又は凸部は、上記第１の光学的開口の中心から上記直線偏光の偏光方向に設けられており、
   上記複数の光学的開口の内、第２の光学的開口の周囲には、第１の光学的開口の周囲に設けられている凹部又は凸部よりも少ない凹部又は凸部が設けられ、該凹部又は凸部は、上記第２の光学的開口の中心から上記直線偏光の偏光方向に設けられていることを特徴とする光学素子。
5. 上記凹部又は凸部は、上記照射側の上記金属膜表面に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学素子。
6. 上記凹部又は凸部は、複数設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学素子。
7. 複数の上記凹部又は凸部は、上記光学的開口を挟んで設けられていることを特徴とする請求項６記載の光学素子。
8. 複数の上記凹部又は凸部は、上記金属膜の両面に、上記金属膜に対して対称の位置にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項６または７に記載の光学素子。
9. 複数の上記凹部又は凸部は、上記光学的開口から所定の間隔で設けられていることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の光学素子。
10. 上記間隔の長さは上記直線偏光の波長λの１／１０以上かつ１／２以下の長さであることを特徴とする請求項９記載の光学素子。
11. 上記金属膜は、銀、金、アルミニウム、白金、及び銅の何れか１つの金属、または該金属を含む合金からなることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光学素子。
12. 上記金属膜の表面に誘電体膜が設けられていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の光学素子。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の光学素子と、
    直線偏光を照射する光学系とを備えることを特徴とする近接場発生装置。
14. 請求項１３に記載の近接場発生装置を備え、被露光体の露光を行うことを特徴とする露光装置。