JP2007114141A - レーザ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定可能な距離が長く、かつ、小型であって長寿命のレーザ測定装置を提供する。
【解決手段】VCSEL11と、これが発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器とを備えた光源部10とする。この外部共振器は、光ファイバーの両端付近に回折格子であるグレーティング14が配置されたファイバーグレーティング型の共振器である。これにより、レーザビームの線幅を細くでき、測定可能な距離を長くできるとともに、小型かつ長寿命にできる。
【選択図】図2
【解決手段】VCSEL11と、これが発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器とを備えた光源部10とする。この外部共振器は、光ファイバーの両端付近に回折格子であるグレーティング14が配置されたファイバーグレーティング型の共振器である。これにより、レーザビームの線幅を細くでき、測定可能な距離を長くできるとともに、小型かつ長寿命にできる。
【選択図】図2
Description
本発明は、レーザ光の干渉を利用して被測定物の移動量や振動等の物理量を測定するレーザ測定装置に関するものである。
従来、このようなレーザ測定装置では、被測定物に照射するレーザを出射する光源部としては、例えばHe−Ne(ヘリウム−ネオン)レーザが用いられていた。
これに対して、より小型で長寿命、かつ、低価格化を図るために、VCSEL(Vertical Cavity-Surface Emitting Laser:垂直キャビティ面発光レーザ)等のLD(Laser Diode:半導体レーザ)を用いることが提案されている(特許文献1)。
しかし、LDから出射されるレーザビームは、その線幅が非常に広く、これを測定装置に使用するには、可干渉距離が短くなってしまい、測定可能な距離が短くなってしまうという問題があった。
特開2000−65931号公報
これに対して、より小型で長寿命、かつ、低価格化を図るために、VCSEL(Vertical Cavity-Surface Emitting Laser:垂直キャビティ面発光レーザ)等のLD(Laser Diode:半導体レーザ)を用いることが提案されている(特許文献1)。
しかし、LDから出射されるレーザビームは、その線幅が非常に広く、これを測定装置に使用するには、可干渉距離が短くなってしまい、測定可能な距離が短くなってしまうという問題があった。
本発明の課題は、測定可能な距離が長く、かつ、小型であって長寿命のレーザ測定装置を提供することである。
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施例に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項1の発明は、レーザビームを出射する光源部(10,20)と、前記レーザビームを被測定物(T)に照射するとともに、前記被測定物からの反射ビームと前記被測定物に照射されていない参照ビームとを受光部(6)に導く光学系(1,2,3,4)と、を備えたレーザ測定装置において、前記光源部は、半導体レーザ素子(11)と、前記半導体レーザ素子が発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器(13,14,23)と、を有し、前記外部共振器は、光ファイバー(13,23)の両端付近に回折格子(14)が配置されたファイバーグレーティング型の共振器、又は、光ファイバー(13,23)の両端付近に反射面(14)が配置された共振器であること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項2の発明は、請求項1に記載のレーザ測定装置において、前記光源部(10,20)は、500〜700nmの波長のレーザビームを出射すること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項3の発明は、請求項1又は請求項2に記載のレーザ測定装置において、前記光源部(10,20)から出射されるレーザビームの線幅は、1MHz以下であること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のレーザ測定装置において、前記光ファイバー(13,23)の長さは、1〜20mであること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項5の発明は、請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のレーザ測定装置において、前記光ファイバー(23)の少なくとも一部を伸縮させる伸縮機構(25,26,27)を有すること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項1の発明は、レーザビームを出射する光源部(10,20)と、前記レーザビームを被測定物(T)に照射するとともに、前記被測定物からの反射ビームと前記被測定物に照射されていない参照ビームとを受光部(6)に導く光学系(1,2,3,4)と、を備えたレーザ測定装置において、前記光源部は、半導体レーザ素子(11)と、前記半導体レーザ素子が発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器(13,14,23)と、を有し、前記外部共振器は、光ファイバー(13,23)の両端付近に回折格子(14)が配置されたファイバーグレーティング型の共振器、又は、光ファイバー(13,23)の両端付近に反射面(14)が配置された共振器であること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項2の発明は、請求項1に記載のレーザ測定装置において、前記光源部(10,20)は、500〜700nmの波長のレーザビームを出射すること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項3の発明は、請求項1又は請求項2に記載のレーザ測定装置において、前記光源部(10,20)から出射されるレーザビームの線幅は、1MHz以下であること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のレーザ測定装置において、前記光ファイバー(13,23)の長さは、1〜20mであること、を特徴とするレーザ測定装置である。
請求項5の発明は、請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のレーザ測定装置において、前記光ファイバー(23)の少なくとも一部を伸縮させる伸縮機構(25,26,27)を有すること、を特徴とするレーザ測定装置である。
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)光源部は、半導体レーザ素子と、半導体レーザ素子が発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器と、を有し、外部共振器は、光ファイバーの両端付近に回折格子が配置されたファイバーグレーティング型の共振器、又は、光ファイバーの両端付近に反射面が配置された共振器であるので、測定可能な距離が長く、かつ、小型であって長寿命のレーザ測定装置とできる。
(2)光源部は、500〜700nmの波長のレーザビームを出射するので、レーザビームを目視によって確認可能であり、使いやすくできる。
(3)光源部から出射されるレーザビームの線幅は、1MHz以下であるので、可干渉距離が長くなり、測定可能な距離を長くできる。
(4)光ファイバーの長さは、1〜20mであるので、光源部から出射されるレーザビームの線幅を1MHz以下に調整しやすくなる。
(5)光ファイバーの少なくとも一部を伸縮させる伸縮機構を有するので、レーザビームの波長を調節できる。
(1)光源部は、半導体レーザ素子と、半導体レーザ素子が発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器と、を有し、外部共振器は、光ファイバーの両端付近に回折格子が配置されたファイバーグレーティング型の共振器、又は、光ファイバーの両端付近に反射面が配置された共振器であるので、測定可能な距離が長く、かつ、小型であって長寿命のレーザ測定装置とできる。
(2)光源部は、500〜700nmの波長のレーザビームを出射するので、レーザビームを目視によって確認可能であり、使いやすくできる。
(3)光源部から出射されるレーザビームの線幅は、1MHz以下であるので、可干渉距離が長くなり、測定可能な距離を長くできる。
(4)光ファイバーの長さは、1〜20mであるので、光源部から出射されるレーザビームの線幅を1MHz以下に調整しやすくなる。
(5)光ファイバーの少なくとも一部を伸縮させる伸縮機構を有するので、レーザビームの波長を調節できる。
測定可能な距離が長く、かつ、小型のレーザ測定装置とするという目的を、光源部に半導体レーザ素子と、これが発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器とを設けることにより実現した。
図1は、本発明によるレーザ測定装置の実施例1を示す図である。
実施例1のレーザ測定装置は、プリズム1,2,3、ミラー4、AOM5、受光素子6、光源部10等を備え、非測定物Tの微小な振動を測定する装置である。
プリズム1,2,3は、レーザビームの一部を透過し、一部を反射して偏向させるビームスプリッタである。
ミラー4は、レーザビームの進行方向を偏向させる。
AOM(Acousto-Optic Modulator)5は、レーザビームに一定の周波数シフトを与える音響光学変調器である。
受光素子6は、後述する反射ビーム及び参照ビームを受光する受光部である。
光源部10は、被測定物に照射するレーザビームを出射する部分である。光源部10の詳細については、後述する。
実施例1のレーザ測定装置は、プリズム1,2,3、ミラー4、AOM5、受光素子6、光源部10等を備え、非測定物Tの微小な振動を測定する装置である。
プリズム1,2,3は、レーザビームの一部を透過し、一部を反射して偏向させるビームスプリッタである。
ミラー4は、レーザビームの進行方向を偏向させる。
AOM(Acousto-Optic Modulator)5は、レーザビームに一定の周波数シフトを与える音響光学変調器である。
受光素子6は、後述する反射ビーム及び参照ビームを受光する受光部である。
光源部10は、被測定物に照射するレーザビームを出射する部分である。光源部10の詳細については、後述する。
本実施例におけるレーザ測定装置は、一定の周波数(波長)をもつ光波を移動物体(被測定物)に照射すると、物体のもつ速度に応じて周波数が変化するドップラシフト現象を利用している。物体の移動速度とドップラシフトの間には比例関係が成立する。このためドップラシフトによる周波数変化分がわかれば物体のもつ移動速度が算出できる。ただし、振動を測定する場合には、測定の対象が正・負の速度ベクトルを持つ振動現象であるため、レーザ光源から射出されたレーザビームをそのまま使用しただけでは正・負の符号判定の点で問題が発生する。このため、本実施例では、AOM(音響光学変調器)と呼ばれる素子を利用した光ヘテロダイン方式を採用している。
本実施例では、AOM5により一定の周波数シフトを与えられたレーザビームが参照光として使用され、被測定物Tからの反射光と受光素子6上で光干渉を起こす。このとき、反射光は、被測定物Tの振動によるドップラシフトを受けているので、この干渉光のビート周波数は、AOM5によるシフト周波数を中心とするFM変調波となる。これを受光素子6で電気信号に変換しFM復調することにより、被測定物Tの振動速度に比例した電圧信号が得られ、正・負(+/−)の符号を持った速度信号として不図示の変換器から出力される。
図2は、実施例1における光源部10の構成を説明する図である。
光源部10は、VCSEL11、光学系12、光ファイバー13、グレーティング14等を有している。
VCSEL11は、垂直キャビティ面発光レーザであって、500〜700nmの可視光領域の波長のレーザビームを出射する。
光学系12は、VCSEL11が出射したレーザビームを集光して光ファイバー13へ導くレンズである。
光ファイバー13は、長さが20mであり、その両端付近にグレーティング14が配置され、ファブリペロー型の外部共振器を形成している。なお、光ファイバー13の長さは、1〜20mの範囲が望ましい。この外部共振器に入射したレーザビームは、グレーティング14の間で反射を繰り返した後に出射することにより、線幅が1MHz以下に狭窄化される。これは、ファイバーグレーティングの特定の周波数に、VCSEL11の発振するレーザビームの周波数が引き込まれる効果(=モードプディング)によるものである。
光源部10は、VCSEL11、光学系12、光ファイバー13、グレーティング14等を有している。
VCSEL11は、垂直キャビティ面発光レーザであって、500〜700nmの可視光領域の波長のレーザビームを出射する。
光学系12は、VCSEL11が出射したレーザビームを集光して光ファイバー13へ導くレンズである。
光ファイバー13は、長さが20mであり、その両端付近にグレーティング14が配置され、ファブリペロー型の外部共振器を形成している。なお、光ファイバー13の長さは、1〜20mの範囲が望ましい。この外部共振器に入射したレーザビームは、グレーティング14の間で反射を繰り返した後に出射することにより、線幅が1MHz以下に狭窄化される。これは、ファイバーグレーティングの特定の周波数に、VCSEL11の発振するレーザビームの周波数が引き込まれる効果(=モードプディング)によるものである。
なお、光ファイバー13とグレーティング14とを組み合わせた外部共振器の特性は、光速をC、光ファイバーの長さをL、出射されるレーザビームの線幅をΔω、グレーティングの反射率をR、共振器の性能の指標フィネスをFとしたときに、以下の式により決まる。
本実施例によれば、光ファイバー13とグレーティング14とを組み合わせたファブリペロー型の外部共振器を設けたので、LDを用いた場合であっても、線幅が細くなり、測定可能な距離が長く、かつ、小型であって長寿命なレーザ測定装置とできる。また、一般にLDは、安価であることから、レーザ測定装置をより安価にできる。
図3は、本発明によるレーザ測定装置の実施例2の光源部20の構成を説明する図である。
実施例2は、実施例1の光源部10を光源部20に置き換えた例である。したがって、光源部20についてのみ説明を行うものとする。
実施例2の光源部20は、VCSEL11、光学系12、グレーティング14、光ファイバー23、ファイバー支持台25,26、PZT27等を有している。
VCSEL11、光学系12、グレーティング14は、実施例1と同様な構成であるので、詳しい説明は省略する。
実施例2は、実施例1の光源部10を光源部20に置き換えた例である。したがって、光源部20についてのみ説明を行うものとする。
実施例2の光源部20は、VCSEL11、光学系12、グレーティング14、光ファイバー23、ファイバー支持台25,26、PZT27等を有している。
VCSEL11、光学系12、グレーティング14は、実施例1と同様な構成であるので、詳しい説明は省略する。
光ファイバー23は、長さが1mであり、実施例1の光ファイバー13と同様にその両端付近にグレーティング14が配置され、ファブリペロー型の外部共振器を形成している。また、光ファイバー23は、ファイバー支持台25,26にその両端を支持されている。
ファイバー支持台25,26は、不図示のガイド機構により移動可能な方向が光ファイバー23の長手方向となるようにガイドされている。
ファイバー支持台25,26は、不図示のガイド機構により移動可能な方向が光ファイバー23の長手方向となるようにガイドされている。
PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)27は、電圧を加えると伸縮する圧電体である。PZT27は、その両端にファイバー支持台25,26が固定されている。PZT27に電圧を加えることにより、ファイバー支持台25,26の間隔が変化し、それに伴い光ファイバー23の長さも伸縮する。
本実施例によれば、このような伸縮機構を設けたので、PZT27に加える電圧を制御することにより、光ファイバー23の長さを制御できる。実施例1において説明した式(1),(2)から分かるように、光ファイバー23の長さを変えることによって、光源部20から出射するレーザビームの線幅を任意に変更可能となる。
本実施例によれば、このような伸縮機構を設けたので、PZT27に加える電圧を制御することにより、光ファイバー23の長さを制御できる。実施例1において説明した式(1),(2)から分かるように、光ファイバー23の長さを変えることによって、光源部20から出射するレーザビームの線幅を任意に変更可能となる。
(変形例)
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
各実施例において、レーザ測定装置は、非測定物Tの微小な振動を測定する装置である例を示したが、これに限らず、例えば、変位を測定する装置であってもよい。
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
各実施例において、レーザ測定装置は、非測定物Tの微小な振動を測定する装置である例を示したが、これに限らず、例えば、変位を測定する装置であってもよい。
1,2,3 プリズム
4 ミラー
5 AOM
6 受光素子
10,20 光源部
11 VCSEL
12 光学系
13,23 光ファイバー
14 グレーティング
25,26 ファイバー支持台
27 PZT
4 ミラー
5 AOM
6 受光素子
10,20 光源部
11 VCSEL
12 光学系
13,23 光ファイバー
14 グレーティング
25,26 ファイバー支持台
27 PZT
Claims (5)
- レーザビームを出射する光源部と、
前記レーザビームを被測定物に照射するとともに、前記被測定物からの反射ビームと前記被測定物に照射されていない参照ビームとを受光部に導く光学系と、
を備えたレーザ測定装置において、
前記光源部は、半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子が発するレーザビームの線幅を狭窄化する外部共振器と、
を有し、
前記外部共振器は、光ファイバーの両端付近に回折格子が配置されたファイバーグレーティング型の共振器、又は、光ファイバーの両端付近に反射面が配置された共振器であること、
を特徴とするレーザ測定装置。 - 請求項1に記載のレーザ測定装置において、
前記光源部は、500〜700nmの波長のレーザビームを出射すること、
を特徴とするレーザ測定装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のレーザ測定装置において、
前記光源部から出射されるレーザビームの線幅は、1MHz以下であること、
を特徴とするレーザ測定装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載のレーザ測定装置において、
前記光ファイバーの長さは、1〜20mであること、
を特徴とするレーザ測定装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のレーザ測定装置において、
前記光ファイバーの少なくとも一部を伸縮させる伸縮機構を有すること、
を特徴とするレーザ測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005308243A JP2007114141A (ja) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | レーザ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005308243A JP2007114141A (ja) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | レーザ測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007114141A true JP2007114141A (ja) | 2007-05-10 |
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ID=38096460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005308243A Pending JP2007114141A (ja) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | レーザ測定装置 |
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-
2005
- 2005-10-24 JP JP2005308243A patent/JP2007114141A/ja active Pending
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