JP2007110129A - 集積インダクター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 インダクターは、金属層パターンと、金属層パターンの上層として形成される再配置層パターンと、金属層パターンと再配置層パターンの間に形成され、金属層パターンと再配置層パターンに導電的に接続されるビア層パターンとを含む。
【選択図】 図1
Description
12、52 基板
14、54 最上部金属層
16、56 ビア層
18 再配置層
20、22、60、62 端子
24、64 ビア
26、66 下部金属層
Claims (20)
- 集積回路の中に形成されるインダクターであって、
金属層パターンと、
金属層パターンのより上の層に形成される再配置層パターンと、
金属層パターンと再配置層パターンの間に形成され、金属層パターンと再配置層パターンに導電的に接続されるビア層パターンとを含むことを特徴とするインダクター。 - 前記金属層パターンは最上部金属層であることを特徴とする請求項1記載のインダクター。
- 前記金属層パターンと再配置層パターンはコイルパターンであり、両者が実質的に重なり合っていることを特徴とする請求項1記載のインダクター。
- 前記ビア層パターンは、金属層パターンと再配置パターンの間に散布している複数の金属アイランドからなることを特徴とする請求項3記載のインダクター。
- 前記ビア層パターンはコイルパターンであり、ビア層パターンは金属層パターン及び再配置パターンと実質的に重なり合っていることを特徴とする請求項3記載のインダクター。
- 前記金属層パターンは銅を材料とすることを特徴とする請求項5記載のインダクター。
- 前記再配置層パターンとビア層パターンはアルミニウムを材料とすることを特徴とする請求項6記載のインダクター。
- 前記金属層パターン、再配置層パターン、ビア層パターンからなるインダクターは相当なインダクタンスを提供することを特徴とする請求項1記載のインダクター。
- 前記インダクターは0.13μmプロセスまたはそれより微細化が進んだプロセスで製作されることを特徴とする請求項1記載のインダクター。
- 前記金属層パターンの厚さはおよそ10kÅ以下であり、前記再配置層パターンの厚さはおよそ13kÅ以下であり、前記ビア層パターンの厚さはおよそ12kÅ以下であることを特徴とする請求項9記載のインダクター。
- 集積回路の中に形成されるインダクターであって、
基板と、
基板の上に形成される第一金属材料パターンと、
第一金属材料パターンのより上の層に形成され、第一金属材料パターンと導電的に接続される第二金属材料パターンとを含み、第一金属材料パターンと第二金属材料パターンからなるインダクターは相当なインダクタンスを提供し、そのうち第一金属材料パターンと第二金属材料パターンは別々の金属材料でつくられることを特徴とするインダクター。 - 前記第一金属材料パターンは銅でつくられることを特徴とする請求項11記載のインダクター。
- 前記第二金属材料パターンはアルミニウムでつくられることを特徴とする請求項12記載のインダクター。
- 前記第一金属材料パターンと第二金属材料パターンはコイルパターンであり、両者が実質的に重なり合っていることを特徴とする請求項11記載のインダクター。
- 前記インダクターはロジックベースラインプロセスで製作されることを特徴とする請求項11記載のインダクター。
- 前記第一金属材料パターンはロジックベースラインプロセスの最上部金属層を含むことを特徴とする請求項15記載のインダクター。
- 前記インダクターは0.13μmプロセスまたはそれより微細化が進んだプロセスで製作されることを特徴とする請求項16記載のインダクター。
- 前記第二金属材料パターンはビア層パターンを含むことを特徴とする請求項11記載のインダクター。
- 前記第二金属材料パターンは更に、再配置層パターンを含むことを特徴とする請求項18記載のインダクター。
- 前記第一金属材料パターンの厚さはおよそ10kÅ以下であり、前記再配置層パターンの厚さはおよそ13kÅ以下であり、前記ビア層パターンの厚さはおよそ12kÅ以下であることを特徴とする請求項19記載のインダクター。
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