JP2007109594A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】非検査時間の短縮をはかった光源装置を実現する。
【解決手段】光源からの光をフィルタを通すことにより光量や色を検査条件に合わせて変更し、被検査対象に照射する光源装置において、
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置した。
【選択図】 図1
【解決手段】光源からの光をフィルタを通すことにより光量や色を検査条件に合わせて変更し、被検査対象に照射する光源装置において、
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置した。
【選択図】 図1
Description
、
本発明は、ハロゲンランプまたはメタルハライドランプ等を用いて被検査対象を照射する光源装置に関し、予め定めた検査条件と時系列が一致するように光量や色を検査条件に合わせて変更するように構成した光源装置に関するものである。
本発明は、ハロゲンランプまたはメタルハライドランプ等を用いて被検査対象を照射する光源装置に関し、予め定めた検査条件と時系列が一致するように光量や色を検査条件に合わせて変更するように構成した光源装置に関するものである。
従来、CCD(電荷結合素子)センサやCMOS(相補正金属酸化膜半導体)センサ等
の固体撮像素子の検査では光源装置を用いて、被検査対象である固体撮像素子に既知の色
や光量の光を照射し、固体撮像素子から出力された電気信号をモニタするものがある。このような光源装置の先行技術としては例えば下記の特許文献1,2に示されたものがある。
の固体撮像素子の検査では光源装置を用いて、被検査対象である固体撮像素子に既知の色
や光量の光を照射し、固体撮像素子から出力された電気信号をモニタするものがある。このような光源装置の先行技術としては例えば下記の特許文献1,2に示されたものがある。
CCD等の固体撮像素子の製造にあたっては、これらの固体撮像素子がウエハ上に形成された段階で、個々の固体撮像素子の性能が検査される。
図3(a,b)はこのような検査に用いられる固体撮像素子の検査用光源として用いられる光源装置の一例を示すもので、図3(a)は全体構成図、図3(b)はNDフィルタの説明図である。
図3(a,b)はこのような検査に用いられる固体撮像素子の検査用光源として用いられる光源装置の一例を示すもので、図3(a)は全体構成図、図3(b)はNDフィルタの説明図である。
図3(a,b)において、ハロゲンランプ1などを光源とし、レンズ2でランプ光をほぼ平行もしくはわずかに収束する光束とする。光束の途中にはモータ3で回転するNDフィルタ用ターレット4の外周付近には透過率の異なるND(ニュートラルデンシティ)フィルタ5が取付けられている。また、モータ6で回転するカラーフィルタ用ターレット8の外周付近には色の異なるカラーフィルタ7が取付けられている。
光量可変絞り9はレンズ2、NDフィルタ5、カラーフィルタ7を通過した光束を機械的に遮光することが可能な絞りで、プログラマブルに開口面積が制御される。
NDフィルタ5、カラーフィルタ7を通過した光は照度均一化素子10に入射し、内部で反射を繰り返すことで出口において照度ムラ、色ムラの極めて少ない均一な拡散光となる。
NDフィルタ5、カラーフィルタ7を通過した光は照度均一化素子10に入射し、内部で反射を繰り返すことで出口において照度ムラ、色ムラの極めて少ない均一な拡散光となる。
光量や色を切り替えるターレット4,8は、光量調整範囲をカバーするように大きなステップと小さなステップを組み合わせて所望の照度を最低ステップ数で設定されている。
このような構成は汎用性を持たせたシステムであり、撮像素子の品種などによってその都度替えるものではない。
このような構成は汎用性を持たせたシステムであり、撮像素子の品種などによってその都度替えるものではない。
ハロゲンランプやショートアークランプは経時変化によりランプが新品の状態と長時間使って使用が許される限界に達した状態では光量、色ともに大きく変化する。従来はこれを補正する目的で、大きなステップと小さなステップを組み合わせて、もしくは経時変化の範囲内をカバーできれば小さなステップのみで光源変化補正と、検査光の所望光量の切り替えを一緒に行なっていた。
例えば10lx(ルクス)を所望した場合、光源の発光光束が10%低下したのであれば、大小のステップを切り替えて透過率を現状の組み合わせに対し、111%になるよう組み合わせを選び直している。
ところで、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary−Metal Oxide Semiconductor)センサの固体撮像素子の検査用光源としては、以下の光源を用いたものが一般的である。
・ハロゲンランプ
・メタルハライドランプ(放電管:ショートアーク)
・LED
これらの内、LEDを除いては瞬時点灯、瞬時消灯または点滅ができず、または電流を絞って使うと立ち切れや発光分光分布が変わるなどして、撮像素子光源として安定を保てない。そのため、ハロゲンランプやメタルハライドランプを用いる場合は常時点灯させておき光束を遮るシャッタや、光量を調整する前記NDフィルタなどで光量の切り替えを行なわざるを得ない。
・ハロゲンランプ
・メタルハライドランプ(放電管:ショートアーク)
・LED
これらの内、LEDを除いては瞬時点灯、瞬時消灯または点滅ができず、または電流を絞って使うと立ち切れや発光分光分布が変わるなどして、撮像素子光源として安定を保てない。そのため、ハロゲンランプやメタルハライドランプを用いる場合は常時点灯させておき光束を遮るシャッタや、光量を調整する前記NDフィルタなどで光量の切り替えを行なわざるを得ない。
撮像素子の検査は、検査したい欠陥の検出に適した光量や色を適切に切り替えて幾通りかの検査が行われるため、光量の変更は前述の図3に示したようなNDフィルタを搭載したNDフィルタ用ターレット4や、色フィルタを搭載した色フィルタ用ターレット8を具備し、図示しない制御装置からの指令に基づいて予め定めた手順に従って出来るだけ高速に切り替えることで、光量、色の変更を行なっている。
フィルタ用ターレットは6枚ないし8枚の構成で、その内1箇所はフィルタを載せないで透過させて使い、フィルタ取り付け穴より1枚少ない枚数のフィルタが搭載可能となる。従って、大きなステップで5〜7段に設定され、後述する光量を微調整する構造と組み合わされて光量を微少ステップで調整が出来る構造にしてある。
このNDフィルタの自動切り替えには、100〜300msecを要する。そのため、ターレット切り替えに要する時間は検査の待ち時間(非検査時間)となる。
光量の微調整の方法としては、光学濃度が偏角方向に連続して線形に増加するように製作した円盤状のウェッジNDフィルタを用いるか、光軸上に光束制限用の絞りやスリット、遮蔽板などを設け、開口サイズを制御することで光束を制限する方法がある。
この切り替えにかかる時間は概ね100msecで、この間は検査出来ず、前述のフィルタ用ターレットの切り替え時間と同様、切替が完了するまで次の検査が出来ず待機時間が発生している。
光量の微調整の方法としては、光学濃度が偏角方向に連続して線形に増加するように製作した円盤状のウェッジNDフィルタを用いるか、光軸上に光束制限用の絞りやスリット、遮蔽板などを設け、開口サイズを制御することで光束を制限する方法がある。
この切り替えにかかる時間は概ね100msecで、この間は検査出来ず、前述のフィルタ用ターレットの切り替え時間と同様、切替が完了するまで次の検査が出来ず待機時間が発生している。
また、NDフィルタ用ターレット4は、照明条件の切り替えのみならず、比較的長期間の変化である例えばランプ光量の低下やフィルタの透過率変化などの経時変化への対応や、比較的短い温度変化や電源安定性やランプ安定性などといった光量変化に対して、照射光量をモニタし、フィードバックすることで、所望の光量を正確に照射するようにシャッタ9の開閉量を制御している。
つまり、1つの機構で照明条件の切り替えと光量変化をフードバックするという2つの機能を果たしている。
つまり、1つの機構で照明条件の切り替えと光量変化をフードバックするという2つの機能を果たしている。
図4は図3に示す従来例の動作説明をしたものである。フィルタターレット(4,8)は最初の撮影条件の位置で停止している。なお、以下の動作は図示しない制御装置に入力されたプログラム信号により行われる。
プロービングが完了すると直ぐ撮影が開始され、条件1で撮影する枚数の撮影が行
われる。
条件1の撮影が終わると撮影完了信号がフィルタターレットに送信される。
撮影完了信号を受け取ったフィルタターレットは高加速、高減速を行って照明条件
2に切り替えられる。
プロービングが完了すると直ぐ撮影が開始され、条件1で撮影する枚数の撮影が行
われる。
条件1の撮影が終わると撮影完了信号がフィルタターレットに送信される。
撮影完了信号を受け取ったフィルタターレットは高加速、高減速を行って照明条件
2に切り替えられる。
切り替え完了の信号が撮影側に送られる。
再び撮影が開始される。
この繰り返し(7),(8),(9)で3つの条件が全て撮影完了すると、最後の
撮影が完了したとフィルタターレットとプローバに送信される。
次の披検査撮像素子の準備が行われる。条件の切り替え直後の撮影は条件設定に不安があるため最初の1枚は加算演算に加えず捨てる場合もある。
再び撮影が開始される。
この繰り返し(7),(8),(9)で3つの条件が全て撮影完了すると、最後の
撮影が完了したとフィルタターレットとプローバに送信される。
次の披検査撮像素子の準備が行われる。条件の切り替え直後の撮影は条件設定に不安があるため最初の1枚は加算演算に加えず捨てる場合もある。
上述のように従来例では、1撮影条件ごとにフィルタターレット4,8の一方又は両方
を切り替えている。そのため、切り替えに要する時間が100〜200msec発生してしまい、検査時間が長くなってしまう。更にフィルタターレット切り替え時間のほかにも撮影開始や完了、フィルタターレット切り替え完了などの信号を送受信しているため概ね数msec〜十数msecの通信時間と通信回数分が必要となり、撮影条件切り替えの度に撮影できるタイミングでありながら数枚分の待ち時間が発生する。
を切り替えている。そのため、切り替えに要する時間が100〜200msec発生してしまい、検査時間が長くなってしまう。更にフィルタターレット切り替え時間のほかにも撮影開始や完了、フィルタターレット切り替え完了などの信号を送受信しているため概ね数msec〜十数msecの通信時間と通信回数分が必要となり、撮影条件切り替えの度に撮影できるタイミングでありながら数枚分の待ち時間が発生する。
生産の現場では、テスタ、プローバ、光源を組み合わせた1システム当たり1億円前後もする高価なテストシステムの稼働率を上げることや、検査時間の短縮を図ることで製品コストを下げることが課題となっており、そのために、待ち時間の削減は有効である。
従って、本発明の目的は、照明装置の照明条件を高速に切り替えるための、照明条件切り替え専用フィルタターレットを用いて、待ち時間(非検査時間)の短縮をはかった光源装置を実現することにある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、請求項1記載の発明は、
光源からの光をフィルタを通すことにより光量や色を検査条件に合わせて変更し、被検査対象に照射する光源装置において、
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置したことを特徴とする。
光源からの光をフィルタを通すことにより光量や色を検査条件に合わせて変更し、被検査対象に照射する光源装置において、
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置したことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1に記載の光源装置において、
前記フィルタは減光、色変換、スリット、シャッタの少なくとも一つを含むことを特徴とする。
前記フィルタは減光、色変換、スリット、シャッタの少なくとも一つを含むことを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2に記載の光源装置において、
前記ターレットの所定の位置を検出する検出機構を設け、該検出機構が検出した所定の位置を基点として予め定めた照射条件と時系列が一致するように前記フィルタを配置したことを特徴とする。
前記ターレットの所定の位置を検出する検出機構を設け、該検出機構が検出した所定の位置を基点として予め定めた照射条件と時系列が一致するように前記フィルタを配置したことを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の光源装置において、
所定の位置を基点として始まる予め定めた照射条件は、ターレットが一周するごとに元の位置に戻るように配置したことを特徴とする。
所定の位置を基点として始まる予め定めた照射条件は、ターレットが一周するごとに元の位置に戻るように配置したことを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項3又は4に記載の光源装置において、
前記所定の位置を検出する検出機構はターレットに設けた切欠きもしくは突起部とフォトセンサの組合せにより構成したことを特徴とする。
前記所定の位置を検出する検出機構はターレットに設けた切欠きもしくは突起部とフォトセンサの組合せにより構成したことを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5に記載の光源装置において、
前記ターレットを回転させるモータは同期可能で速度が可変であることを特徴とする。
前記ターレットを回転させるモータは同期可能で速度が可変であることを特徴とする。
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項1,2によれば、
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置し、フィルタは減光、色変換、スリット、シャッタの少なくとも一つを含んで構成したので、ターレットを回転させながら連続撮影が可能となり非検査時間を短縮して1素子当りの検査時間を短縮することができる。
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置し、フィルタは減光、色変換、スリット、シャッタの少なくとも一つを含んで構成したので、ターレットを回転させながら連続撮影が可能となり非検査時間を短縮して1素子当りの検査時間を短縮することができる。
請求項3,4記載の発明によれば、
ターレットの所定の位置を検出する検出機構を設け、該検出機構が検出した所定の位置を基点として予め定めた照射条件と時系列が一致するように前記フィルタを配置し、所定の位置を基点として始まる予め定めた照射条件は、ターレットが一周するごとに元の位置に戻るように配置したので、無駄がなく正確な撮影が可能となる。
ターレットの所定の位置を検出する検出機構を設け、該検出機構が検出した所定の位置を基点として予め定めた照射条件と時系列が一致するように前記フィルタを配置し、所定の位置を基点として始まる予め定めた照射条件は、ターレットが一周するごとに元の位置に戻るように配置したので、無駄がなく正確な撮影が可能となる。
請求項5,6に記載の発明によれば、
前記所定の位置を検出する検出機構はターレットに設けた切欠きもしくは突起部とフォトセンサの組合せにより構成し、ターレットを回転させるモータは同期可能で速度を可変としたので、無駄がなく正確な撮影が可能となる。
前記所定の位置を検出する検出機構はターレットに設けた切欠きもしくは突起部とフォトセンサの組合せにより構成し、ターレットを回転させるモータは同期可能で速度を可変としたので、無駄がなく正確な撮影が可能となる。
図1(a,b)は本発明の光源装置の要部構成図である。図(a)は全体構成、図(b)はターレットに取付けるNDフィルタ又はカラーフィルタの説明図である。基本的な構成は従来例で示した図3と同じであるが、この実施例では照明条件切り替え専用フィルタターレット21を具備し、照明条件を切り替えるフィルタターレットと光量変化の補正を受け持つフィルタターレットを機能的に完全に分離させている。
なお、この実施例においても光源装置は図示しない制御装置からの指令に基づいて予め定めた手順に従って動作するものとする。
なお、この実施例においても光源装置は図示しない制御装置からの指令に基づいて予め定めた手順に従って動作するものとする。
ここで照明条件切り替え専用フィルタターレットを駆動するモータ25は、同期可能なスピードコントロールモータとする。また、ターレット21の外周部にはフォトセンサ26などの非接触または接触式のセンサ用検出部(切欠き)24を設け、フォトセンサ26または図示していない接触式のセンサでターレットの姿勢をモニタする。
各種フィルタは隙間なく光束22を順次遮るように、検査実行順に並べてあり、各フィルタの大きさ(開口角)は、ターレット21が1周したら被検査素子の検査で撮影される全ての照明条件における枚数分が収まるように撮影時間の比率に合わせて決める。ターレットには必要に応じてフィルタを搭載しないで単に通過させるだけの透明な箇所(貫通孔)があっても良い。
例えば、被検査素子の撮影条件を、
条件1 撮影時間=67msec/枚 9枚撮影 67msec×9枚=603msec
条件2 撮影時間=67msec/枚 15枚撮影 67msec×15枚=1,005msec
条件3 撮影時間=67msec/枚 12枚撮影 67msec×12枚=804msec
条件1 撮影時間=67msec/枚 9枚撮影 67msec×9枚=603msec
条件2 撮影時間=67msec/枚 15枚撮影 67msec×15枚=1,005msec
条件3 撮影時間=67msec/枚 12枚撮影 67msec×12枚=804msec
とすれば、全ての枚数(36)を撮影するのに必要な時間の合計は、
603+1,005+804=2,412msecとなる。
従って各照明条件の開口率は、
条件1 360度×(603msec/2,412msec)=90度
条件2 360度×(1,005msec/2,412msec)=150度
条件3 360度×(408msec/2,412msec)=120度
なので、上記の開口比率になるようなNDフィルタ又は色フィルタを載置したフィルターターレットを作製する。
603+1,005+804=2,412msecとなる。
従って各照明条件の開口率は、
条件1 360度×(603msec/2,412msec)=90度
条件2 360度×(1,005msec/2,412msec)=150度
条件3 360度×(408msec/2,412msec)=120度
なので、上記の開口比率になるようなNDフィルタ又は色フィルタを載置したフィルターターレットを作製する。
図2は上述のフィルタターレットを用いて被検査素子を撮影する場合の流れの説明図である。はじめに、条件(1)において、照明条件切り替え専用フィルタターレット21はフォトセンサ26によりスタート位置を検出して撮影を開始する。
次に条件(2)において、前述のように作製したフィルタターレットを1周2,412msecで正確に連続回転させて、あらかじめ決めた順位に、9枚、15枚、12枚と続けて撮影する。
次に条件(2)において、前述のように作製したフィルタターレットを1周2,412msecで正確に連続回転させて、あらかじめ決めた順位に、9枚、15枚、12枚と続けて撮影する。
条件(3)において、撮影が終了すると、フィルタターレット21は元の位置に戻り再びスタート位置を検出する。
スタート信号が予定したタイミングで検出できれば、撮影は問題なく完了したと判断し、プロービングして次の被検査素子の撮影を行うための位置合わせを行う。
スタート信号が予定したタイミングで検出できれば、撮影は問題なく完了したと判断し、プロービングして次の被検査素子の撮影を行うための位置合わせを行う。
プローバによる位置合わせが完了して検査可能になると再びフィルタターレットのスタート位置を見つけて撮影を開始する。この時何らかのトラブルで予定通りのタイミングで検出できなかった場合は検査に不具合があったと判断し、アラームを発してオペレータコールを行う。
なお、僅かにタイミングが悪く、フィルタターレット21のスタート位置をほぼ1周待たなくてはいけなくなる場合も考えられるため、連続回転させず、ターレットの外周にスタート検出部と同様にエンド検出部を設けておき、エンド検出部を検出したらスタート位置に戻るようにプログラミングしておけば、プローバ(図示せず)から位置決め完了を受信した直後に、フィルタターレット21を回転させ撮影を開始させることもできる(なお、エンド検出部はターレットの回転方向に対してスタート検出部の直前で、かつ、ターレットのオーバラン量より大き目となる位置に設けるものとする)。このとき短時間に停止、加速させるにしてもその立ち上がり立下り時間を考慮して全周を分配しておけばスムーズな制御が可能である。
撮影中のフィルタターレット21は等速(又は必要に応じて加速、減速しながら)回転しているため、光束22は条件の違うフィルタ間をまたいでいる時間がある。そのため、撮影した画像の全ては使えない。そのような画像は正常な画像と比較して著しく信号が異なったものとなる。
従って、制御装置(図示省略)はまたがって撮影したと判断される画像は除去して加算演算を行う。
従って、制御装置(図示省略)はまたがって撮影したと判断される画像は除去して加算演算を行う。
本発明では、撮影が開始されたら通信時間も必要ないため光束フィルタ間をまたいでいる最中に撮影した画像を捨てるだけで、撮影時間を詰められるため、検査条件が多ければ多いほどまた、アベレージングの枚数が少なければ少ないほど、非検査時間を短縮して1素子当りの検査時間を短縮することが可能である。
運動している被写体を滑らかに再現するには、画像を毎秒20〜30枚以上の割合で分解する必要がある。また、画像をスクリーン上に再現した場合、毎秒60枚以上の割合で再現しないと画面にちらつきを感じる。このような理由からテレビジョンでは画像を30枚/秒で分解し、飛び越し走査を用いて実効的に60枚/秒になるよう転送している。
NTSC(National Television System Committee)国際規格では、水平走査に要する時間は63.5μs、1画面を全て走査し終わる時間は1/30sと決められている。
NTSC(National Television System Committee)国際規格では、水平走査に要する時間は63.5μs、1画面を全て走査し終わる時間は1/30sと決められている。
従って、固体撮像素子においても30枚/秒の撮影が望まれるが、実際は数百万画素といった高精細画像の撮影では必要な映像信号周波数が非常に高くなり固体撮像素子を駆動することは困難である。また、記憶媒体の容量の制限などから高精細画像を30枚/秒で撮影するには至らないのが現状であり、実際には画素数によって異なるが、10〜20枚/秒程度である。
800万画素を超えるような素子に至っては2〜3枚/秒の場合もある。
800万画素を超えるような素子に至っては2〜3枚/秒の場合もある。
一般に固体撮像素子の検査は、検査内容により所望の光量、色を照射して画素欠陥、スジ、シミ、ムラといった検査内容が行われている。
電気的なノイズや検査光の揺らぎなどの影響をキャンセルするために、1条件につき1枚撮影した画像では検査せず数枚〜10枚程度撮影した画像を合成処理(加算平均または加算)した画像を用いて判定している。合成枚数をnとすると、S/Nは√nだけ改善される。
電気的なノイズや検査光の揺らぎなどの影響をキャンセルするために、1条件につき1枚撮影した画像では検査せず数枚〜10枚程度撮影した画像を合成処理(加算平均または加算)した画像を用いて判定している。合成枚数をnとすると、S/Nは√nだけ改善される。
従って、1条件当たり数枚〜十数枚程度撮影したら、次の検査条件に光量または色を切り替えて再び必要枚数撮影をする。検査条件だけこれを繰り返し、全て終了したら次の被検査固体撮像素子へ移動して同様に検査が開始される。
さらに、固体撮像素子の検査に要する時間の詳細を見ると、1枚撮影した画像は各素子に発生した電気信号を空間的並びに時間的に規則正しく切り換えて、1本の出力線から時系列の電気信号として読み出す。この時撮影に要する時間とフレーム転送に要する時間の合計が1フレームである。
さらに、固体撮像素子の検査に要する時間の詳細を見ると、1枚撮影した画像は各素子に発生した電気信号を空間的並びに時間的に規則正しく切り換えて、1本の出力線から時系列の電気信号として読み出す。この時撮影に要する時間とフレーム転送に要する時間の合計が1フレームである。
1秒間に表示可能なフレーム数をフレームレートと呼び、通常fps(frame per second)という単位で表示される。
ここで、15fpsの固体撮像素子の検査時間を算出してみると、検査条件が10通り、アベレージングを5枚、照明条件の切り替え時間を0.1sec、通信の時間を0.05secとして試算すれば、
{(1/15 fps×5枚)+0.1sec+0.05sec}
×10条件=4.83secとなる。
もし、照明切り替え時間を転送時間中(1/15fpsの約半分で30msec)に減らすことができれば、1.5秒削減されて4.83秒が3.33秒に短縮される。全体ではプロービングの時間やオペレータによる段替え時間などが含まれてくるため(4.83/3.33=45%まではいかないが)30%程度は向上させることができる。
ここで、15fpsの固体撮像素子の検査時間を算出してみると、検査条件が10通り、アベレージングを5枚、照明条件の切り替え時間を0.1sec、通信の時間を0.05secとして試算すれば、
{(1/15 fps×5枚)+0.1sec+0.05sec}
×10条件=4.83secとなる。
もし、照明切り替え時間を転送時間中(1/15fpsの約半分で30msec)に減らすことができれば、1.5秒削減されて4.83秒が3.33秒に短縮される。全体ではプロービングの時間やオペレータによる段替え時間などが含まれてくるため(4.83/3.33=45%まではいかないが)30%程度は向上させることができる。
上述のように撮影時間が短く、撮影条件が多い被検査素子の場合は大幅に短縮されるが、一般的には10〜30%程度期待できる。ただし、容易にターレットを交換できる構造と比較的大きな直径を有したターレットの検討が必要である。更に撮像素子の品種毎に検査用ターレットを製作する必要があるものの、検査時間が大幅に短縮できることから前述したように高額のテストシステムの生産性を上げることができる。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。例えば図1(a)では、照明条件切り替え専用フィルタターレット21を、光量変化補正用ターレット5と光量可変絞り9の間に挿入したが、基本的には光束上のどこに配置しても良い。
また、図1(a)ではNDフィルタターレットを備えた例を示しているが、照明条件切り替え専用フィルタターレット21にNDフィルタと色フィルタを重ねて装着することで、光量と色を同時に切り替えることも可能であるため不要とすることができる。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
1 光源(ハロゲンランプまたはメタルハライドランプ等)
2,11 レンズ
3,6,25 モータ
4 NDフィルタ用ターレット
5 NDフィルタ
7 カラーフィルタ
8 カラーフィルタ用ターレット
9 光量可変絞り
10 照度均一化素子
12 被検査撮像素子
22 光束
23 NDフィルタ又は色フィルタ
24 フォトセンサ検出部
25 同期可能なスピードコントロールモータ
26 フォトセンサ
2,11 レンズ
3,6,25 モータ
4 NDフィルタ用ターレット
5 NDフィルタ
7 カラーフィルタ
8 カラーフィルタ用ターレット
9 光量可変絞り
10 照度均一化素子
12 被検査撮像素子
22 光束
23 NDフィルタ又は色フィルタ
24 フォトセンサ検出部
25 同期可能なスピードコントロールモータ
26 フォトセンサ
Claims (6)
- 光源からの光をフィルタを通すことにより光量や色を検査条件に合わせて変更し、被検査対象に照射する光源装置において、
前記光源と被検査対象間にターレットを設け、該ターレットの円周上に予め定めた検査条件と時系列が一致するように複数のフィルタを配置したことを特徴とする光源装置。 - 前記フィルタは減光、色変換、スリット、シャッタの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記ターレットの所定の位置を検出する検出機構を設け、該検出機構が検出した所定の位置を基点として予め定めた照射条件と時系列が一致するように前記フィルタを配置したことを特徴とする請求項1又は2に記載の光源装置。
- 所定の位置を基点として始まる予め定めた照射条件は、ターレットが一周するごとに元の位置に戻るように配置したことを特徴とする請求項3に記載の光源装置。
- 前記所定の位置を検出する検出機構はターレットに設けた切欠きもしくは突起部とフォトセンサの組合せにより構成したことを特徴とする請求項3又は4に記載の光源装置。
- 前記ターレットを回転させるモータは同期可能で速度が可変であることを特徴とする請求項1〜5に記載の光源装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8125631B2 (en) * | 2008-09-10 | 2012-02-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tester for testing optical detector |
CN107191834A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-09-22 | 北京思比科微电子技术股份有限公司 | 用于图像芯片测试的光源系统 |
CN114199527A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-03-18 | 长沙麓邦光电科技有限公司 | 渐变型滤光片的od值检测方法、系统及存储介质 |
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2005
- 2005-10-17 JP JP2005301529A patent/JP2007109594A/ja active Pending
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