JP2007109446A - プラズマ生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】仕切り板を境にして分離された第1および第2チャンバーと、第1チャンバーにガスを供給・排気するガス供給部と、第2チャンバー内に設けられたプラズマ生成用電極とを備え、仕切り板が部分的に誘電体板から形成され、前記電極は誘電体板を介して第1チャンバー内に電界を形成して前記処理ガスによりプラズマを生成し、第1チャンバー内に設置される被処理物をプラズマ処理する。
【選択図】図1
Description
このようなプラズマ生成装置の従来例としては、以下に説明するようなものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、対向する第1の固体誘電体と多孔金属電極の配置構造としては、互いに平行平板型以外にも、同軸円筒型、円筒対平板型、双曲面対平板型等でもよいし、一方の電極の先端部が複数のパイプ状であってもよいし、複数の細線状であってもよい。
・基板は対向する電極間に置かれる。
・対向する電極の少なくとも一方の対向面側に固体誘電体を設ける。
・対向電極間に反応用ガスを供給する。
・反応用ガスは多孔金属電極の中を通って供給される。
・対向する2つの電極に与えられる電圧は異なる極性であるがいずれか一方は接地される。
・グロー放電プラズマが発生するのは対向する2つの電極間である。
第1および第2チャンバーは圧力がほぼ大気圧に保持されてもよい。
第1チャンバーは第2チャンバーを内部に収容してなってもよい。
第2チャンバーを第1チャンバー内で搬送するチャンバー搬送部をさらに備えてもよい。
ガス供給部はプラズマが生成される空間に一様にガスを噴出するガス噴出部を備えてもよい。
電極に、サイン波形電力,パルス波形電力,サイン波形とパルス波形の混合波形電力,又はサイン波形電力とパルス波形電力との重畳電力の一つが供給されてもよい。
誘電体板は、3以上の比誘電率を有することが好ましく、誘電体板は9以上の比誘電率を有することがさらに好ましい。
以下、図に従い本発明の実施例について説明する。
図1はプラズマ生成装置の一例であり、装置全体を川幅方向に垂直な面で切った時の側面断面図である。処理室1は第1の空間(第1チャンバー)2と第2の空間(第2チャンバー)3から構成される。第1チャンバー2と第2チャンバー3とは仕切り板12によって分離され、仕切り板12の上に板状の被処理物18が戴置されている。図示しないガスボンベ、或いはガスタンク等の貯蔵手段から供給された各種ガスは、図示しないマスフローおよびミキサーで混合され処理ガスとなり、ガス供給管25を介してガス供給ユニット4に与えられる。ガス供給ユニット4に供給された処理ガスはガス溜4aで紙面奥行き方向に広がり、ガス溜4aより十分小さい断面積を持つスリット状、或いはシャワー状のガス噴出口4cが設けてあるプレート部材4bから狭ギャップ空間19中に噴き出す。このときガス噴出口4cは狭ギャップ空間19全体に等間隔配置されている。このようなプレート部材4bを用いることによって被処理物が大型となった場合でも狭ギャップ空間19内に処理ガスを均一に噴出することが可能となる。このプレート部材4bの材質としては樹脂材、或いは溶射や陽極酸化などにより表面に誘電体膜を形成した金属を用いることが好ましく、より好ましくはアルミナ等の誘電体を用いることである。
図2はプラズマ生成装置の別例である。基本的な構造、ガスや電力の供給形態、電極ユニットの移動機構などは図1と同じである。図1の装置との違いは誘電体部12aが板状の被処理物18より一回り小さな開口部12bを有し、この開口部12bを塞ぐように被処理物18を置くことで、第1の空間(第1チャンバー)2と第2の空間(第2チャンバー)3とが仕切られ、被処理物の表面近傍空間13と被処理物の裏面近傍空間9とが形作られることである。
図3はプラズマ生成装置のもう一つの例である。図1、図2の装置との違いは以下の通りである。
(a) 第2の空間(第2チャンバー)3が、第1の空間(第1チャンバー)2の中に収容されている点。
(b) スライダー付台座17に搭載されている第2の空間3全体が、レール11上を第2の空間の移動方向U2に移動する点。
(c) (b)に伴い排気管20、26の一部が、蛇腹状になり伸縮可能となっている点。
(d) 電極ユニット6が、固定されている点。
(e) 第1の空間2への処理ガス供給が、図1や図2のガス供給ユニット4より噴き出す面積の範囲が狭いガス供給ノズル34となっている点。
また図3の装置においても、実施例2と同様に誘電体部12aに開口部を設けて開口部を板状被処理物18で塞ぎ、その表裏面でプラズマを生成してもよいことはいうまでもない。
2 第1の空間(第1チャンバー)
3 第2の空間(第2チャンバー)
4 ガス供給ユニット
4a ガス溜
4b プレート部材
4c ガス噴出口
5 ガス排気部
6 電極ユニット
7 高周波電源
9 被処理物の裏面近傍空間
10 ガス供給パイプ
10a ガス噴出口
11 レール
12 仕切り板
12a 誘電体部
12b 開口部
13 被処理物の表面近傍空間
14 電極(電圧印加側)
14a 冷媒流路(電圧印加側)
15 電極(グランド側)
15a 冷媒流路(グランド側)
16 誘電体
17 スライダー付台座
18 被処理物
19 狭ギャップ空間
20 排気管
Claims (12)
- 仕切り板を境にして分離された第1および第2チャンバーと、第1チャンバーにガスを供給・排気するガス供給部と、第2チャンバー内に設けられたプラズマ生成用電極とを備え、仕切り板が部分的に誘電体板から形成され、前記電極は誘電体板を介して第1チャンバー内に電界を形成して前記処理ガスによりプラズマを生成し、第1チャンバー内に設置される被処理物をプラズマ処理するプラズマ生成装置。
- 第2チャンバーにガスを供給・排気するガス供給部をさらに備え、第1および第2チャンバーは、異なる組成のガスが供給されるか、異なる圧力に保持されるか、異なる組成のガスにより異なる圧力に保持される請求項1記載のプラズマ生成装置。
- 第1および第2チャンバーは圧力がほぼ大気圧に保持される請求項1記載のプラズマ生成装置。
- 仕切り板を境にして分離された第1および第2チャンバーと、第1および第2チャンバーのそれぞれに処理ガスを供給・排気するガス供給部と、第2チャンバー内に設けられたプラズマ生成用電極とを備え、仕切り板が開口部を有し、板状の被処理物がその開口部を塞ぐように第1チャンバー内に設置され、前記電極は第1および第2チャンバー内に電界を形成して前記各処理ガスによりプラズマを第1および第2チャンバー内に生成し、被処理物の表裏をプラズマ処理するプラズマ生成装置。
- 電極を被処理物に沿って搬送する電極搬送部をさらに備える請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
- 第1チャンバーは第2チャンバーを内部に収容してなる請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
- 第2チャンバーを第1チャンバー内で搬送するチャンバー搬送部をさらに備える請求項6記載のプラズマ生成装置。
- ガス供給部はプラズマが生成される空間に一様にガスを噴出するガス噴出部を備える請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
- 電極に、サイン波形電力,パルス波形電力,サイン波形とパルス波形の混合波形電力,又はサイン波形電力とパルス波形電力との重畳電力の一つが供給される請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
- 電極に与えられる電力が1〜100W/cm2の範囲にある請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
- 誘電体板は、3以上の比誘電率を有する請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
- 誘電体板は9以上の比誘電率を有する請求項1又は4記載のプラズマ生成装置。
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