JP2007108170A - 水晶発振器及び感知装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶片の中央部に弾性波の伝播を止めるための例えば溝や透孔などからなる境界領域を形成して互いに独立して振動する第1の振動領域と第2の振動領域とに分割し、各領域に電極を設けて第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を構成する。これら水晶振動子の水晶片の厚さは互いに同じであるため、夫々に結合される負荷容量を同じにすれば、同じ周波数温度特性を持ちかつ同じ周波数の第1の発振部及び第2の発振部が得られる。従ってこれらの出力を適用機器に応じて利用することにより良好な周波数温度特性を備えた水晶発振器となる。
【選択図】図2
Description
一方TCXOは感温素子を用いた温度補償回路を内蔵することにより広い範囲に亘って良好な周波数温度特性を得るようにしたものであり、消費電力が少なく、小型軽量であり、適用範囲が広い利点がある。しかしながらTCXOは、OCXOほどの高い周波数安定性が得られないので、高い周波数安定性が要求される場合には、適用しがたいという課題がある。
前記第1の水晶振動子と負荷容量とを含む第1の発振部と、
前記第2の水晶振動子と負荷容量とを含む第2の発振部と、を備え、
第1の発振部の発振周波数と第2の発振部の発振周波数との差は、発振周波数に対して0.05%よりも小さいことを特徴とする。なお、第1の発振部の発振周波数と第2の発振部の発振周波数とは極めて近いので両発振部のいずれの発振周波数対しても0.05%の周波数値は実質同じである。
前記境界領域は、例えば水晶片を加工することにより形成されたものである。この場合、前記境界領域は、溝または透孔であるか、あるいは溝及び透孔を組み合わせたものとすることができる。なお境界領域としては、例えば水晶片の一面の中央領域を接着剤などの弾性波吸収体を介して基体に接着し、この吸収体に弾性波を吸収させる構成であってもよい。
本発明の上記の水晶発振器を用い、
第1の発振部と第2の発振部との各発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する周波数差取り出し手段を設け、
前記第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子の一方に前記吸着層を形成し、他方に、感知対象物を吸着しないが前記吸着層と同等のダミー層を形成し、
前記周波数差取り出し手段の後段に前記測定手段を設けたことを特徴とする。この感知装置において、水晶発振器の発振周波数の変化分を測定する手段は、周波数をカウントして周波数の変化分を測定する場合、及び周波数の周期を測定して周波数の変化分を求める場合のいずれも該当する。発振周波数の変化分を測定した後は、例えば発振周波数の変化分と感知対象物との濃度との関係式(検量線)を用いて感知対象物の濃度を求めることができる。
感知対象物を高精度に検出することができる。また第1の水晶振動子が置かれる環境は液体中などであることから、OCXOの構造は採用しにくく、このため本発明の手法は極めて有効である。
溝部32としては、水晶片31の両面に設けることに限らず、図2(b)に示すように水晶片31の片面のみに設けるようにしてもよい。
図3に説明を戻すと、ヘテロダイン検波器2の後段には、ローパスフィルタ71、アンプ72及び周波数信号(パルス)をカウントするカウンタ73が接続されており、カウンタ73の後段にはデータ処理部74が設けられている。
上述のように2つの水晶振動子3A、3Bは共通の水晶片で構成されていて厚さが同じであるため、大気雰囲気から超純水に浸漬したときの周波数の変わり方は同じであり、従って3kHzの周波数信号がヘテロダイン検波器2から取り出される。なお厳密には3kHzからわずかにシフトした周波数となっているが、便宜上この値で説明を進める。
以上の実施の形態は、カウンタ73とデータ処理部74は、水晶発振器の発振周波数の変化分を測定するための測定手段に相当する。なお、図6に第1の水晶振動子3A(測定用)の周波数温度特性と第2の水晶振動子3B(参照用)の周波数温度特性との一例を示しておく。なお、図6中の縦軸は発振周波数(f)であり、横軸は温度(T)である。
また図12の構造は、基体例えば基板39aに一対の水晶片保持部39b、39bを設け、これに水晶片31を保持させて基板39aから浮かした状態とすると共に、この水晶片31の中央部(図3において溝32が形成されている領域)を接着剤39cにより基板39aに固定したものである。この場合、接着剤が弾性波の吸収体として作用するので、前記境界領域の役割を果たす。
なお水晶片31の形状は矩形に限られるものではなく、円形などであってもよい。
第1の発振部及び第2の発振部の発振周波数の差、この例では矩形波発生部8及び波形整形部9の両発振周波数の差は、0.05%よりも小さいことが前提であるが、0.02%以下が好ましく、0.01%以内であればより好ましい。
2 ヘテロダイン検波器
3A、3B 水晶振動子
31 水晶片
32 溝部
33、34 振動領域
35、36 電極
4A、4B 発振回路
62、63 吸着層
37、38 透孔
39a 基板
39c 接着剤
8 矩形波発振部
9 波形整形部
Claims (6)
- 水晶片に弾性波の伝播を止めるための境界領域を形成してこの境界領域により、厚さが互いに同じである、互いに独立して振動する第1の振動領域と第2の振動領域とに分割し、これら第1の振動領域及び第2の振動領域に各々電極を設けて第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子を構成し、
前記第1の水晶振動子と負荷容量とを含む第1の発振部と、
前記第2の水晶振動子と負荷容量とを含む第2の発振部と、を備え、
第1の発振部の発振周波数と第2の発振部の発振周波数との差は、発振周波数に対して0.05%よりも小さいことを特徴とする水晶発振器。 - 前記境界領域は、水晶片を加工することにより形成されたものであることを特徴とする請求項1記載の水晶発振器。
- 前記境界領域は、溝または透孔であるか、あるいは溝及び透孔を組み合わせてなるものである請求項2記載の水晶発振器。
- 前記第1の発振部及び第2の発振部の後段に、夫々発振部の第3次高調波を除去するための第1の水晶フィルタ回路及び第2の水晶フィルタ回路を接続し、
第1の振動領域及び第2の振動領域の各々に、水晶片の厚さが互いに異なる発振部用の振動領域とフィルタ用振動領域とを形成し、
第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子は、前記発振部用の振動領域に各々電極を設けて構成され、
第1の水晶フィルタ回路に用いられる水晶振動子は第1の振動領域におけるフィルタ用振動領域に電極を設けて構成され、また第2の水晶フィルタ回路に用いられる水晶振動子は、第2の振動領域におけるフィルタ用振動領域に電極を設けて構成されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の水晶発振器。 - 第1の発振部は、矩形波を発振する矩形波発振部として構成され、第2の発振部は第1の発振部の出力波形を正弦波として出力するフィルタを構成する波形整形部として構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の水晶発振器。
- 感知対象物を吸着するための吸着層がその表面に形成された水晶振動子を含む水晶発振器と、この水晶発振器の発振周波数の変化分を測定するための測定手段と、を備えた感知装置において、
請求項1ないし5のいずれか一に記載の水晶発振器を用い、
第1の発振部と第2の発振部との各発振周波数の差を取り出しその周波数差の周波数信号を出力する周波数差取り出し手段を設け、
前記第1の水晶振動子及び第2の水晶振動子の一方に前記吸着層を形成し、他方に、感知対象物を吸着しないが前記吸着層と同等のダミー層を形成し、
前記周波数差取り出し手段の後段に前記測定手段を設けたことを特徴とする感知装置。
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