JP2007108019A - 酸素含有ガス製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャリアガス主流路F1と、切り替え可能に分岐したキャリアガス分岐流路F2と、キャリアガス主流路F1のキャリアガス分岐流路F2との分流部よりも下流に配設された酸素ガス除去手段1と、キャリアガス主流路F1の酸素ガス除去手段1の配設箇所よりも下流に配設された流量制御手段(マスフローコントローラ)2と、キャリアガス主流路F1のキャリアガス分岐流路F2との合流部よりも下流に配設された酸素発生手段3と、酸素発生手段3に電気的に切り替え可能に接続された電圧計4及び定電流電源5とから構成する。
【選択図】図1
Description
この結果では、従来技術においてはボンベ毎に測定した酸素ガス濃度にバラツキが見られるが、実施例においては測定した酸素ガス濃度にバラツキがなく一定であることがわかる。したがって、用いられるキャリアガスG1のボンベ中の酸素ガス濃度(品質)にバラツキがある場合であっても、流量制御手段2を用いて脱酸素ガス後に流量調整をするため、脱酸素ガス後における全ガス量にバラツキがなくなり、酸素ガス濃度の測定精度が向上し、所定酸素濃度に精密に制御された酸素含有ガスG2を得ることが可能となる。
2:流量制御手段(マスフローコントローラ)
3:酸素発生手段
4:電圧計
5:定電流電源
10:ガス分析装置
11:チューブ状容器
12:活性化銅
13:ヒーター
20:酸素含有ガス製造装置
31:筒状体(ジルコニア管)
32:内側電極
33:外側電極
41:ガスセンサ
42:ガスセンサ素子
101:検出手段
102:分析手段
G1:キャリアガス(窒素ガス)
G2:酸素含有ガス
F1:キャリアガス主流路
F2:キャリアガス分岐流路
P1:分流弁
P2:分流弁
Claims (3)
- キャリアガスに所定濃度の酸素ガスを含有させたガスを製造する酸素含有ガス製造装置であって、
前記キャリアガスの主な流路としてのキャリアガス主流路と、
前記キャリアガス主流路から前記キャリアガスの流れを切り替え可能に分岐したキャリアガス分岐流路と、
前記キャリアガスの流量を制御する流量制御手段と、
前記キャリアガス主流路の、前記キャリアガス分岐流路との分流箇所よりも下流に配設された、キャリアガス中の酸素ガスを除去する酸素ガス除去手段と、
前記キャリアガス主流路の、前記キャリアガス分岐流路との合流箇所よりも下流に配設された、酸素を発生する酸素発生手段とを備え、
前記キャリアガス分岐流路から前記キャリアガスが導入された場合は、前記酸素発生手段が酸素ガスセンサとして機能し、前記キャリアガス主流路から前記キャリアガスが導入された場合は、前記酸素発生手段が酸素ガスポンプとして機能するように構成されてなることを特徴とする酸素含有ガス製造装置。 - 電圧計及び定電流電源をさらに備え、前記酸素発生手段が、前記電圧計及び前記定電流電源に切り替え可能に接続され、前記キャリアガス分岐流路内に導入される前記キャリアガスの酸素ガス濃度によって発生する電圧が、前記電圧計にて所定電圧値以上であると判定した場合、前記キャリアガス分岐流路内が前記キャリアガスによってパージされたと判定し、前記キャリアガスの流れをキャリアガス分岐流路から前記キャリアガス主流路に切り替えるとともに、前記酸素発生手段の接続を前記電圧計から前記定電流電源に切り替え、その後、前記定電流電源により前記酸素発生手段から発生した酸素ガスを前記キャリアガスに混合して、所定酸素ガス濃度に制御された前記酸素含有ガスを得るように構成されてなる請求項1に記載の酸素含有ガス製造装置。
- 前記流量制御手段が、前記酸素ガス除去手段の下流に配設された請求項1又は2に記載の酸素含有ガス製造装置。
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