JP2007101695A - フォトニック結晶及びその製造方法 - Google Patents
フォトニック結晶及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007101695A JP2007101695A JP2005288846A JP2005288846A JP2007101695A JP 2007101695 A JP2007101695 A JP 2007101695A JP 2005288846 A JP2005288846 A JP 2005288846A JP 2005288846 A JP2005288846 A JP 2005288846A JP 2007101695 A JP2007101695 A JP 2007101695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- single crystal
- sio
- photonic crystal
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【課題】 Siの可視光に対する吸収を抑え、Si膜とSiO2膜とが交互に積層された構造により、可視光に対し高い反射率を有するフォトニック結晶を提供する。
【解決手段】 Si膜3とSiO2膜2とのペアを複数周期積層した積層構造を有するフォトニック結晶1において、Si膜3は、波長480nm以上800nm以下の可視光領域における消衰係数が、バルクSi単結晶の消衰係数よりも小さくされる。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明のフォトニック結晶の一例を示す模式図である。該フォトニック結晶1は、基材23上に、Si膜3とSiO2膜2とのペアを複数周期積層した積層構造を有する。Si膜3は、波長480nm以上800nm以下の可視光領域における消衰係数がバルクSi単結晶の消衰係数よりも小さくなっている。Si膜3の層厚は20nm以上120nm以下、SiO2膜2の層厚は50nm以上270nm以下に設定される。また、基材23は、ガラス基板あるいはSi単結晶基板等で構成される。そして、SiO2膜2の厚さt1とSi膜3の厚さt2とは、可視光域でのSiO2の屈折率をn1=1.5、同じくSiの屈折率n2を3.5とし、SiO2膜2とSi膜3との、反射すべき可視光域における光学的厚さtOPをtOP=n1×t1+n2×t2として、0.1λ<tOP<2λを充足し、かつ、(t1×n1)/(t2×n2)が0.2以上3以下の範囲内に設定される。
表2に示す3種類の単結晶Si膜(SOI層)を有する直径200mmのSOI(Silicon On Insulator)ウェーハと、リファレンスとして直径200mmのSi単結晶ウェーハを用意した。
中心波長640nmの可視光に対して高反射率を有するフォトニック結晶を作製するため、直径200mmのSi単結晶ウェーハ上に、107nmのSiO2膜と42nmのSi膜のペアを3ペア形成した。これらの膜厚は、図2より、中心波長640nmに対する屈折率をそれぞれ1.5(SiO2膜)、3.8(Si膜)とし、膜厚=中心波長/4n(nは屈折率)の式により算出して設定した。そして、この膜厚を有する多層膜はイオン注入剥離法を用いて以下のプロセスにより作製した。
直径200mmのSi単結晶ウェーハ上に、CVD法を用いて形成した多結晶Si膜とSiO2膜を形成した。そして、多結晶Si膜に応力を加えるため、このウェーハにRTA処理(温度上昇率:50℃/秒、1100℃にて1分保持、温度下降率:80℃/秒にて冷却)を施し、その処理の前後で波長300〜800nm領域の反射率を測定し、断面TEM写真により、各層の厚さを正確に得た後、吸収係数の変化を算出した。その結果、RTA処理後の多結晶Si膜の吸収係数は、RTA処理前の吸収係数に比べて約35%減少していることがわかった。これは、RTA処理により、多結晶Si膜中に応力を加えたことによる吸収係数の減少と説明できる。従って、RTA処理をすることによってもSi膜の吸収係数を減少させることができ、結果として、多層膜の反射率を向上させることができることがわかった。
2 SiO2膜
3 Si膜
Claims (13)
- Si膜とSiO2膜とのペアを複数周期積層した積層構造を有するフォトニック結晶であって、前記Si膜は、波長480nm以上800nm以下の可視光領域における消衰係数がバルクSi単結晶の消衰係数よりも小さくなっていることを特徴とするフォトニック結晶。
- 前記Si膜は、波長480nm以上800nm以下の可視光領域における消衰係数がバルクSi単結晶の50%以下であり、波長480nm以上800nm以下の可視光領域における前記積層構造の反射率が90%以上100%以下である請求項1記載のフォトニック結晶。
- 波長540nm以上680nm以下の可視光領域における前記積層構造の反射率が99%以上である請求項2に記載されたフォトニック結晶。
- Si膜とSiO2膜とのペアを3周期以上10周期以下に積層してなる請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のフォトニック結晶。
- 前記Si膜が多結晶Si膜である請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のフォトニック結晶。
- 前記Si膜が単結晶Si膜である請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のフォトニック結晶。
- 請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のフォトニック結晶の製造方法であって、前記Si膜と前記SiO2膜とを交互に積層した前記積層構造を形成する積層構造形成工程と、該積層構造を700℃以上1400℃以下で熱処理後、室温まで冷却する熱処理工程と、を有してなることを特徴とするフォトニック結晶の製造方法。
- 前記Si膜をCVD法により多結晶Si膜として形成する請求項7記載のフォトニック結晶の製造方法。
- 前記熱処理工程において、前記積層構造を昇温する際の平均的な温度上昇率を20℃/秒以上100℃/秒以下、100℃まで冷却する際の平均的な温度下降率を40℃/秒以上150℃/秒以下に設定して行なう請求項8記載のフォトニック結晶の製造方法。
- 前記熱処理工程において、前記積層構造を、赤外線ランプ加熱を用いた枚葉式の急速熱処理装置を用いて行なう請求項8又は請求項9に記載のフォトニック結晶の製造方法。
- 前記Si膜を単結晶Si膜として形成する請求項7記載のフォトニック結晶の製造方法。
- ベースSi単結晶層の第一主表面と、貼り合わせるべきSi単結晶基板の第一主表面との少なくともいずれかにSiO2膜を形成し、該SiO2膜を介して前記ベースSi単結晶層に前記Si単結晶基板とを貼り合わせる貼り合わせ工程と、該貼り合わせ後に前記Si単結晶基板の厚みを減ずることにより、これをSOI層となす工程とを、前記SOI層を次のSi単結晶基板を貼り合わせるべき新たなベースSi単結晶層とする形で繰り返すことにより、前記単結晶Si膜と前記SiO2膜とのペアを複数周期積層して前記積層構造を得る請求項11記載のフォトニック結晶の製造方法。
- 前記熱処理工程が、前記単結晶Si膜と前記SiO2膜との結合熱処理に兼用されてなる請求項12記載のフォトニック結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288846A JP4666217B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | フォトニック結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288846A JP4666217B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | フォトニック結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007101695A true JP2007101695A (ja) | 2007-04-19 |
JP4666217B2 JP4666217B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=38028715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005288846A Expired - Fee Related JP4666217B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | フォトニック結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4666217B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012528345A (ja) * | 2009-05-29 | 2012-11-12 | テクノロジアン タトキマスケスクス ヴィーティーティー | 調節可能な微小機械ファブリ・ペロー干渉計、中間産物、およびその製造方法 |
JP2013054368A (ja) * | 2012-10-22 | 2013-03-21 | Panasonic Corp | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
JP2016014766A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-01-28 | 富士通株式会社 | 光デバイス及びその製造方法 |
JP2019105808A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
WO2020213066A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 日本電信電話株式会社 | 可視光光源 |
CN115807207A (zh) * | 2021-09-14 | 2023-03-17 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05206588A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-08-13 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 光学デバイス及び直列抵抗低減方法 |
JPH06323900A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-25 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 共鳴キャビティを有する光ディテクタ |
JPH11316154A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 積層材料および光機能素子 |
JP2002049006A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Minebea Co Ltd | 磁気光学体及びこの磁気光学体を用いた光アイソレータ |
JP2005266538A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Stanley Electric Co Ltd | 赤外線透過フィルタ |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005288846A patent/JP4666217B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05206588A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-08-13 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 光学デバイス及び直列抵抗低減方法 |
JPH06323900A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-25 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 共鳴キャビティを有する光ディテクタ |
JPH11316154A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 積層材料および光機能素子 |
JP2002049006A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Minebea Co Ltd | 磁気光学体及びこの磁気光学体を用いた光アイソレータ |
JP2005266538A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Stanley Electric Co Ltd | 赤外線透過フィルタ |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012528345A (ja) * | 2009-05-29 | 2012-11-12 | テクノロジアン タトキマスケスクス ヴィーティーティー | 調節可能な微小機械ファブリ・ペロー干渉計、中間産物、およびその製造方法 |
JP2013054368A (ja) * | 2012-10-22 | 2013-03-21 | Panasonic Corp | 赤外線光学フィルタおよびその製造方法 |
JP2016014766A (ja) * | 2014-07-02 | 2016-01-28 | 富士通株式会社 | 光デバイス及びその製造方法 |
JP2019105808A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
JP7062937B2 (ja) | 2017-12-14 | 2022-05-09 | 日本電信電話株式会社 | 光学素子およびその製造方法 |
WO2020213066A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-22 | 日本電信電話株式会社 | 可視光光源 |
JPWO2020213066A1 (ja) * | 2019-04-16 | 2021-12-09 | 日本電信電話株式会社 | 可視光光源 |
CN115807207A (zh) * | 2021-09-14 | 2023-03-17 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4666217B2 (ja) | 2011-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI555713B (zh) | 可熱處理的四層抗反射塗層 | |
JP4666217B2 (ja) | フォトニック結晶の製造方法 | |
KR101614179B1 (ko) | 박막 형성 유리 기판의 제조 방법 | |
KR101111436B1 (ko) | Soi 웨이퍼의 제조 방법 및 soi 웨이퍼 | |
US20240022229A1 (en) | Composite substrate | |
US11827558B2 (en) | Coated glass articles and processes for producing the same | |
JP2016139138A (ja) | 反射低減層系の製造方法及び反射低減層系 | |
TWI582911B (zh) | 製造絕緣體上矽之晶圓之方法 | |
JP2007073768A (ja) | 貼り合わせsoiウェーハの製造方法 | |
TW201218471A (en) | Transparent thermoelectric energy conversion device | |
EP2672508B1 (en) | Method for manufacturing soi wafer | |
JP4826994B2 (ja) | Soiウェーハの製造方法 | |
JP4587034B2 (ja) | Soiウェーハの設計方法 | |
JP4696510B2 (ja) | Soiウェーハの製造方法 | |
KR20080042476A (ko) | 내열기능을 가지는 다층박막 안경렌즈 | |
KR20240037628A (ko) | 그래핀이 함유된 고강도 내열 안경렌즈 제조방법 | |
JP4816856B2 (ja) | Soiウェーハの製造方法 | |
CN115964767A (zh) | 高热稳定性的光导开关及其设计方法和制造方法 | |
Chen et al. | Fabrication of multilayer thin film filters by hydrofluoric acid bonding | |
JP4360490B2 (ja) | 結晶性薄膜形成方法およびこの方法を用いた薄膜構造体 | |
WO2013154462A2 (ru) | Способ изготовления полупроводниковой структуры на основе селенида свинца | |
JP2014173161A (ja) | 熱線反射部材およびその製造方法 | |
JP2017129643A (ja) | 光学部品 | |
JP2018044237A (ja) | 酸化亜鉛系透明導電膜の作製方法 | |
Alizadeh et al. | Evaporated erbium oxide as an antireflective layer for C-Si solar cells |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101029 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101216 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101229 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |