JP2007095678A - プラズマ加速器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上部が閉鎖され、下部が開放され、側面が外壁により囲まれたチャンバー部300と、複数のコイルから成り、前記複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる第1コイル部100と、前記第1コイル部をなす複数のコイルの間にそれぞれ位置する他の複数のコイルから成り、前記他の複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる第2コイル部200と、を含む。
【選択図】図3
Description
結局、磁束は互いに弱く連結され、両コイルの相互インダクタンスは小さい。コイルの対称的な配置と電流の方向が交合に変わることにより、両コイルの相互インダクタンスは小さくなる。
S1 第1コイル、
S2 第2コイル、
S3 第3コイル、
S4 第4コイル、
S5 第5コイル、
100 第1コイル部、
200 第2コイル部、
300 チャンバー部、
110 トップコイル、
120 第1コイル、
130 第2コイル、
210 第3コイル、
220 第4コイル、
230 第5コイル、
400 シリンダー。
Claims (14)
- 上部が閉鎖され、下部が開放され、側面が外壁により囲まれたチャンバー部と、
複数のコイルから成り、前記複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる、第1コイル部と、
前記第1コイル部をなす複数のコイルの間にそれぞれ位置する他の複数のコイルから成り、前記他の複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる、第2コイル部と、
を含むことを特徴とするプラズマ加速器。 - 前記チャンバー部は、円筒状のシリンダーであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ加速器。
- 前記チャンバー部は、誘電体から構成されることを特徴とする請求項2に記載のプラズマ加速器。
- 前記第1コイル部は、
前記チャンバー部の上部の閉鎖された面上に位置し、前記チャンバー部の中心軸を基準にして所定の方向に巻かれるトップコイルと、
前記チャンバー部の外壁面上において、前記トップコイルとは反対方向に前記チャンバー部の中心軸を基準にして巻かれる第1コイルと、
前記チャンバー部の外壁面上において、前記第1コイルと所定の距離を隔てて位置し、前記第1コイルとは反対方向に前記チャンバー部の中心軸を基準にして巻かれる第2コイルと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ加速器。 - 前記トップコイルの一端は第1入力端をなし、前記トップコイルの他端は前記第1コイルの一端に連結され、前記第1コイルの他端は前記第2コイルの一端に連結され、前記第2コイルの他端は第1出力端をなすことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ加速器。
- 前記第2コイル部は、
前記チャンバー部の外壁面上において、前記トップコイルと前記第1コイルとの間に位置し、前記トップコイルが巻かれた方向と同じ方向に、前記チャンバー部の中心軸を基準にして巻かれる第3コイルと、
前記チャンバー部の外壁面上において、前記第1コイルと前記第2コイルとの間に位置し、前記第3コイルが巻かれた方向とは反対方向に、前記チャンバー部の中心軸を基準にして巻かれる第4コイルと、
前記チャンバー部の外壁面上において、下部方向に前記第2コイルと一定の距離を隔てて位置し、前記第4コイルが巻かれた方向とは反対方向に前記チャンバー部の中心軸を基準にして巻かれる第5コイルと、
を含むことを特徴とする請求項5に記載のプラズマ加速器。 - 前記第3コイルの一端は第2入力端をなし、前記第3コイルの他端は前記第4コイルの一端に連結され、前記第4コイルの他端は前記第5コイルの一端に連結され、前記第5コイルの他端は第2出力端をなすことを特徴とする請求項6に記載のプラズマ加速器。
- 前記第1コイル部及び前記第2コイル部に印加される電流は90度の位相差を有することを特徴とする請求項1ないし請求項7のうちいずれか一つに記載のプラズマ加速器。
- 請求項1のプラズマ加速器を使って半導体チップ製造用のウエハをエッチングするウエハエッチング装置において、
前記プラズマ加速器は、
上部が閉鎖され、下部が開放され、側面が外壁により囲まれたチャンバー部と、
複数のコイルから成り、前記複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる、第1コイル部と、
前記第1コイル部をなす複数のコイルの間にそれぞれ位置する他の複数のコイルから成り、前記他の複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記チャンバー部の外壁上において前記チャンバー部の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる、第2コイル部と、
を含むことを特徴とするウエハエッチング装置。 - 複数のコイルから成り、前記複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は一定の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる第1コイル部と、
前記第1コイル部をなす複数のコイルの間にそれぞれ位置する他の複数のコイルから成り、前記他の複数のコイルは直列に連結され、連結状態で隣接するコイル同士は前記一定の中心軸を基準にして互いに反対方向に巻かれる第2コイル部と、
を含むことを特徴とするプラズマ加速器。 - 開放端、閉鎖端及び外壁から成るチャンバーをさらに含み、
前記第1コイル部の複数のコイルのうちいずれか一つのコイルは前記チャンバーの閉鎖端である面上を巻かれることを特徴とする請求項10に記載のプラズマ加速器。 - 前記第1コイル部の複数のコイルのうち前記いずれか一つのコイルを除いた他のコイルはチャンバー部の外壁を巻くことを特徴とする請求項11に記載のプラズマ加速器。
- 前記第2コイル部のコイルはチャンバー部の外壁を巻くことを特徴とする請求項10に記載のプラズマ加速器。
- 前記第1コイル部及び前記第2コイル部に印加される電流は90度の位相差をもつことを特徴とする請求項10に記載のプラズマ加速器。
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