JP2007092701A - 密閉型冷媒圧縮機の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、効率よく安価で容易に、軸受の耐摩耗性及び耐焼付き性を向上することができるようにすること。
【解決手段】軸受材３ｆに支持された回転軸６により駆動される圧縮手段で冷媒を圧縮する密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、平板状の裏金１４の一側に非晶質硬質炭素皮膜１６を積層して複合体とし、平板状の複合体を、非晶質硬質炭素皮膜１６を積層した側を内面とする円筒状に形成して軸受材５ｂとし、回転軸６を支持する部材の軸受部３ｆに円筒状の軸受材３ｆを圧入して装着し、この軸受部３ｆに装着された軸受材３ｆの内面を表面仕上げ加工し、この表面仕上げされた軸受材３ｆに回転軸３ｆを挿入して支持する。
【選択図】図２

Description

本発明は、密閉型冷媒圧縮機の製造方法に係り、例えば、空調機、冷凍機、ヒートポンプ式給湯機等に搭載されるスクロール圧縮機及びロータリ圧縮機等に好適なものである。

ルームエアコン，冷蔵庫，ヒートポンプ式給湯機等に用いられる密閉型冷媒圧縮機としては様々なものがあるが、最近では振動や騒音が小さく性能が優れたスクロール圧縮機が多く使用されるようになってきている。

従来のスクロール圧縮機を図７を参照して以下に説明する。図７は従来の一般的なスクロール圧縮機の構成を示す縦断面図である。

図７において、固定スクロール４は、鏡板４ａの一方の面に略インボリュート形状のラップ４ｂが直立して形成されており、中央に吐出口４ｄが設けられている。旋回スクロール３は、鏡板３ａの一方の面に略インボリュート形状のラップ３ｂが直立して形成されており、鏡板３ａのもう一方の面には軸受部３ｃが設けられている。固定スクロール４と旋回スクロール３とは、互いにラップ４ｂ、３ｂを内側に向けて噛み合わされ、三日月型の圧縮室を形成している。旋回スクロール３は、フレーム５にオルダムリング７を介して回転可能に支持されることにより自転が阻止され、かつ軸受部３ｃがクランクシャフト６のクランク６ａに軸受材３ｆを介して係合されている。

クランクシャフト６は、モータ８の回転子に固定されており、回転子と共に回転する。旋回スクロール３はクランクシャフト６に対して偏心して係合されており、かつ自転を拘束されているので、クランクシャフト６の回転により固定スクロール４に対して自転を伴わない公転運動（旋回運動）を行うことになる。この結果、固定スクロール４と旋回スクロール３とで形成された三日月型の圧縮室は、クランクシャフト６の回転に伴い、外周側から中心方向に向かって次第に容積を縮小させながら移動され、これによって圧縮室内の冷媒が圧縮される。

クランクシャフト６は、縦方向に配置され、旋回スクロール３の軸受部３ｃとフレーム５の軸受部５ａとに設けられた軸受材３ｆと軸受材５ｄとで支持されている。クランク６ａには流体圧力によりその偏心方向と直角の半径方向に荷重が作用する。クランクシャフト６は、軸受材３ｆ、５ｄとの間に存在する隙間の範囲で、半径方向に微小量移動可能のように構成されている。

このような状態で、流体圧力による半径方向の荷重が作用すると、クランクシャフト６は、旋回スクロール３の軸受部３ｃを支持する上側の軸受材３ｆ及びフレーム５の軸受部５ａを支持する下側の軸受材５ｄの中で傾き、それぞれの軸受材３ｆ、５ｄに片当たりの状態で強く押し付けられながら回転することになる。その結果、軸受材３ｆ、５ｄには潤滑油による油膜反力を上回る荷重が加わり、クランクシャフト６との間に潤滑油が存在しない状態で摺動することが起こりうる。また、クランクシャフト６と軸受材３ｆ、５ｄとの隙間寸法は、大きすぎると圧縮ガスの漏洩による性能低下や振動騒音の増大を招き、小さすぎると摺動部の摩擦損失の増大を招く、といった悪影響を及ぼすので、最適な寸法に設定する必要がある。さらに、軸受や回転軸の表面状態（表面粗さ等）も信頼性や性能に影響を与える。このため軸受材３ｆ、５ｄは厳しい潤滑条件下でも焼付きや摩耗が発生しない耐摩耗性、最適な隙間寸法を実現するための加工性が要求される。

一方、ロータリ圧縮機においても、冷媒がＨＦＣ化及び自然冷媒化へと移行するに伴い、軸受に加わる荷重が増大するため耐摩耗性が良好な軸受材を軸受材に使用する必要がでてきた。

従来のスクロール圧縮機の製造方法としては、特開２００２−２１３３５６号公報（特許文献１）に示された方法がある。この特許文献１のスクロール圧縮機の製造方法は、信頼性を向上するために、IＢ族、Ｆeを除くVIII族及びＳｎから選ばれる１種の金属又はこれらの金属を主にした合金の素材をその溶融温度より高い温度に加熱して溶湯化し、その溶湯中に所定の長さの炭素質基材からなる円柱体を浸し、窒素ガスによって加圧して金属または合金を含浸させた後、円柱体を切削加工によって円筒形状に加工する方法である。

また、従来の磁気ディスクドライブ、光ディスクドライブ、ビデオテープレコーダ等のスピンドルモータに使用される動圧流体軸受の製造方法として、特開２００１−２７２４５号公報（特許文献２）に示された方法がある。この動圧流体軸受の製造方法は、スパッタリング装置を用いて、軸受部の内周にアモルファス炭素であるＤＬＣ（Diamond Like Carbon）膜を保護膜として成膜する方法である。ＤＬＣ皮膜を保護膜とすることで、硬度が大幅に向上し保護膜の膜厚を薄くでき、成膜時の膜厚精度の向上をはかることができると共に、低摩擦かつ表面が平滑であることから、焼付きや、摩耗による回転精度の劣化等の改善を図ることができる。

特開２００２−２１３３５６号公報 特開２００１−２７２４５号公報

密閉型冷媒圧縮機では、地球環境対応として冷媒のＨＦＣ化及び自然冷媒化の進展に伴い、圧縮機運転状態で圧縮機内部が高圧となり軸受の負荷が増大してきており、潤滑油による潤滑膜が途切れ、軸受と回転軸とが局部的に直接接触する境界潤滑状態になり易くなっている。特に、圧縮機の起動時や過大な冷媒の混入時に境界潤滑状態になり易く、このような境界潤滑状態において、軸受及び回転軸が焼付きや、かじり等が発生し易かった。

軸受部の耐摩耗、耐焼付き性を向上するために、上述した特許文献１及び特許文献２に示す技術が提案されている。

しかし、特許文献１のスクロール圧縮機の製造方法では、金属または合金を含浸させるための高価な設備を必要とすると共に、含浸行程及び切削加工行程の生産性が低く、コストアップを招くという問題があった。

また、特許文献２のディスクドライブ等のスピンドルモータに使用される動圧流体軸受の製造方法では、ドライプロセスための高価な設備を必要とし、コストアップを招くと共に、高度な生産技術が要求されために実用性に課題があった。

本発明の目的は、効率よく安価で容易に、軸受の耐摩耗性及び耐焼付き性を向上することができる密閉型冷媒圧縮機の製造方法を提供することにある。

前述の目的を達成するための本発明の第１の態様は、軸受材に支持された回転軸により駆動される圧縮手段で冷媒を圧縮する密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、平板状の裏金の一側に非晶質硬質炭素皮膜を積層して複合体とし、前記平板状の複合体を、非晶質硬質炭素皮膜を積層した側を内面とする円筒状に形成して軸受材とし、前記回転軸を支持する部材の軸受部に前記円筒状の軸受材を圧入して装着し、この軸受部に装着された軸受材の内面を表面仕上げ加工し、この表面仕上げされた軸受材に前記回転軸を挿入して支持することである。

係る本発明の第１の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
（１）前記平板状の裏金の一側に金属材料からなるバインダ層を介して前記非晶質硬質炭素皮膜を積層して複合体とすること。
（２）前記平板状の裏金にチタン層及びシリコン層の順に前記バインダの層を設け、このバインダのシリコン層の上に前記非晶質硬質炭素皮膜を積層して複合体とすること。
（３）ダイアモンド構造を一部含んだ炭素と水素からなるアモルファスのＤＬＣ皮膜で前記非晶質硬質炭素皮膜を形成すること。
（４）前記軸受部に圧入した軸受材を表面粗さ５μｍ以下に仕上げ加工すること。
（５）冷媒としてＨＦＣ冷媒または自然系冷媒を用いること。

本発明の第２の態様は、前記第１の態様及びその好ましい具体的構成例の方法で製作された密閉型冷媒圧縮機を用いた空調機である。

本発明の第３の態様は、前記第１の態様及びその好ましい具体的構成例の方法で製作された密閉型冷媒圧縮機を用いた冷凍機である。

本発明の第４の態様は、前記第１の態様及びその好ましい具体的構成例の方法で製作された密閉型冷媒圧縮機を用いたヒートポンプ式給湯機である。

本発明の密閉型冷媒圧縮機の製造方法によれば、効率よく安価で容易に、軸受の耐摩耗性及び耐焼付き性を向上することができる。

以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。本発明の各実施形態の図１〜図６及び従来例の図７における同一符号は同一物または相当物を示す。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の密閉型冷媒圧縮機の製造方法を図１から図５を用いて説明する。

まず、本実施形態における密閉型冷媒圧縮機の全体構成に関して図１を参照しながら説明する。図１は本発明の第１実施形態におけるスクロール圧縮機の縦断面図である。本実施形態は、ＤＬＣ皮膜を成膜した軸受材を使用したスクロール圧縮機に適用した例である。このスクロール圧縮機は、固定スクロール４と旋回スクロール３との噛み合わせによって圧縮された圧縮ガスを密閉容器１内に吐出した後、密閉容器１外へ吐出するように構成されている。スクロール圧縮機は、振動や騒音が小さく性能が優れているため、空調機、冷蔵庫、ヒートポンプ式給湯機等に用いられる。

スクロール圧縮機は、密閉容器１の内部に、圧縮機部を上側に配置し、モータ８を下側に配置し、圧縮機部とモータ８とをクランクシャフト６を介して連設して構成されている。圧縮機部は、鏡板４ａに渦巻き状のラップ４ｂを直立した固定スクロール４と、鏡板３ａに渦巻き状のラップ３ｂを直立した旋回スクロール３とを、それぞれのラップ４ｂ、３ｂを内側に噛み合わせ、固定スクロール４の外周部に吸入口４ｃを設けると共に中央部に吐出口４ｄを設けて構成されている。

回転軸を構成するクランクシャフト６はフレーム５の中央の軸受部５ａに軸支されている。クランクシャフト６の先端に突出したクランク６ａは旋回スクロール３の軸受部３ｃに挿入されて係合されている。自転防止機構としてのオルダム継手７ａは、旋回スクロール３が固定スクロール４に対し自転することなく旋回運動させる継手で、旋回スクロール３の鏡板３ａの背面キー溝３ｄとフレーム５のキー溝５ｃに係合している。

モータ８によりクランクシャフト６が回転すると、クランク６ａの偏心回転により、旋回スクロール３は自転することなく固定スクロール４に対し旋回運動を行う。これによって、吸入口４ｃより吸い込まれた冷媒ガスは、圧縮室で圧縮され、吐出口４ｄより吐出される。

旋回スクロール３には軸受部３ｃが設けられ、フレーム５には軸受部５ａが設けられている。軸受部３ｃ及び軸受部５ａにはいずれも循環する潤滑油が供給されるが、起動時や冷媒の吐出圧力が高い場合には潤滑油の供給が不足して摩耗や焼付き等の損傷が発生し易い。そこで、本実施形態では、内面に非晶質硬質炭素皮膜をコーティングした軸受材３ｅ、５ｂを軸受部３ｃ及び５ａにそれぞれ圧入して固定している。これによって、スクロール圧縮機の信頼性及び耐久性を向上することができるようになっている。

次に、本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂの製造方法及び詳細構造について図２及び図３を参照しながら説明する。図２は本実施形態における軸受材３ｅ、５ｂの製造方法を示す工程図、図３は本実施形態における軸受材３ｅ、５ｂの一部拡大図である。

まず、平板状の裏金１４の一側に金属材料からなる複数層のバインダ層１５をコーティングして積層する（ステップＳ１）。このバインダ層１５の積層は、裏金１４が平板状態で、その一側から行うので、安価な設備で、容易に、しかも生産性良く行うことができる。

複数層のバインダ層１５は、本実施形態では、チタン（Ｔｉ）層１５ａとシリコン（Ｓｉ）層１５ｂとからなっている。裏金１４の表面にチタン層１５ａをコーティングして積層した後、チタン層１５ａの表面にシリコン層１５ｂをコーティングして積層する。

次いで、平板状の裏金１４の一側にバインダ層１５を介して非晶質硬質炭素皮膜１６を積層して、裏金１４、バインダ層１５及びＤＬＣ皮膜１６からなる複合体とする（ステップＳ２）。このＤＬＣ皮膜１６の積層は、裏金１４及びバインダ層１５が平板状態で、その一側から行うので、安価な設備で、容易に、しかも生産性良く行うことができる。

この非晶質硬質炭素皮膜１６は、本実施形態では、ダイアモンド構造を一部含んだ炭素と水素からなるアモルファスのＤＬＣ皮膜である。ＤＬＣ皮膜は、内部応力が高いため、基材に対する密着性が問題である。そこで、本実施形態では、裏金１４にバインダ層１５を介してＤＬＣ皮膜１６を積層することにより、ＤＬＣ皮膜１６の裏金１４への密着性を向上させている。

特に、本実施形態では、金属基材と強固に密着するチタン層１５ａを裏金１４側に用い、炭素と同じＩＶａ属であって共有結合することが可能なシリコン層１５ｂをチタン層１５ａとＤＬＣ皮膜１６との間に用いているので、ＤＬＣ皮膜１６をシリコン層１５ｂ上に安定した密着力で成膜可能であると共に、ＤＬＣ皮膜１６と裏金１４とをチタン層１５ａ及びシリコン層１５ｂを介して密着性の高い状態で結合された複合体が得られる。なお、必要に応じて、バインダ層１５を１層で構成するようにしても良い。

次いで、平板状の複合体を軸受材として用いる所定の大きさとなる矩形に切断した後、ＤＬＣ皮膜１６を積層した側を内面とする円筒状に形成して軸受材３ｅ、３ｆとする（ステップＳ３）。このように、平板を円筒に形成することは、安価で汎用的な機械を用いて生産性良く行うことが可能である。

次いで、クランクシャフト６を支持する部材である旋回スクロール３及び固定スクロール５の軸受部３ｃ、５ａに円筒状の軸受材３ｅ、３ｆを圧入して装着する（ステップＳ４）。軸受材３ｅ、３ｆは、圧入によって遊端部が接触してしっかりと軸受部３ｃ、５ａに固定されている。

次いで、軸受部部３ｃ、５ａに装着された軸受材３ｅ、３ｆの内面を表面仕上げ加工する（ステップＳ５）。この表面仕上げ加工は、研削加工によりその表面を適量除去され、所定の寸法精度に仕上げられるものであり、安価で汎用的な機械を用いて生産性良く行うことが可能である。

次いで、表面仕上げされた軸受材３ｅ、３ｆ内に回転軸であるクランクシャフト６を挿入して支持する（ステップＳ６）。

ＤＬＣ皮膜１６は、炭素がダイアモンド結合とグラファイト結合を含むアモルファス結合をしているものである。特徴として、ダイアモンド構造を含むため非常に高硬度であり、また結晶粒界を持たないため成膜後の表面が平滑で、更にグラファイト結合により潤滑性があり低摩擦である。ＤＬＣ皮膜１６を保護膜とすることで、硬度が大幅に向上し、そのため保護膜の膜厚を薄くできる。これにより、成膜時の膜厚精度の向上をはかることができる。更に、低摩擦かつ表面が平滑であることから摺動部の焼付きや摩耗等の課題に対して、大幅な改善を図ることができる。軸受材３ｅ、５ｂは、その摺動面が耐焼付き性及び耐摩耗性が良好なＤＬＣ皮膜１６であるため、固体接触した場合でも金属接触特有のアグレッシブ摩耗や焼付きが発生しにくくなる。また、本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂは、平板状の裏金１４上に金属材料からなるバインダ層１５を介して非晶質硬質炭素皮膜１６を成膜した構造となっているため、板厚も１．５〜３．０ｍｍで構成できると共に、圧入時に損傷することもない。したがって、軸受材３ｅ、５ｂをセラミックやカーボンのむく材で構成した場合に比べて薄く構成できる。

次に、本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂに係る性能について、図４及び図５を参照しながら説明する。

図４は比較例及び本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂに用いる複合体における試験時間に対する摩擦係数の特性を示す図である。具体的には、非晶質硬質炭素皮膜であるＤＬＣ皮膜１６の性能評価を目的として平板状の裏金１４としてＳＫＨ５１材を用い、裏金１４の上にチタン層１５ａ及びシリコン層１５ｂからなるバインダ層１５を設け、バインダ層１５の上にＤＬＣ皮膜１６を成膜した複合体について、ＣＯ２冷媒の無潤滑中において、モニクロ鋳鉄材を相手材として１．２ｍ／ｓの摺動速度、面圧９．８ＭＰａで負荷した摩耗試験における摩擦係数の変化を示すものである。ＤＬＣ処理を施したＳＫＨ５１材は、比較例であるＤＬＣ処理を施していない（無処理の）ＳＫＨ５１材と比較すると、図４にて明らかなように、摩擦係数が約１／４に減少している。これより、本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂは、無潤滑下においても高い摺動特性を有することが分かる。

図５は比較例及び本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂに用いる複合体における表面粗さＲｚに対する摩擦係数μの特性を示す図である。Ｒｚ≦５μｍに仕上加工した本実施形態の軸受材３ｅ、５ｂは、比較例である仕上加工をしない切削品と比較すると、摩擦係数が約１／３となり耐摩耗性が向上する。よって、軸受材３ｅ、５ｂを軸受部３ｃ、５ａに圧入後に表面をＲｚ≦５μｍに仕上加工することで信頼性の高い軸受を提供できる。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態の密閉型冷媒圧縮機の製造方法について図６を用いて説明する。図６は本発明の第２実施形態におけるのロータリ圧縮機の縦断面図である。この第２実施形態は、次に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１実施形態と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。

この第２実施形態では、ＤＬＣ皮膜１６を成膜した軸受材１０ｂ、１１ｂ、１２ｂを使用したロータリ圧縮機に適用した例である。このロータリ圧縮機は、シリンダ９内を偏心回転するローラ１２によって圧縮された圧縮ガスを密閉容器１内に吐出した後、吐出口４ｄを通して密閉容器１外へ吐出するように構成されている。

ロータリ圧縮機は、密閉容器１内部に、圧縮機部を下側に配置すると共にモータ８を上側に配置して、圧縮機部とモータ８とをクランクシャフト６を介して連設して構成されている。圧縮機部は、シリンダ９、上ベアリング１０、下ベアリング１１、ローラ１２、及びベーン１３より構成される。クランクシャフト６は上ベアリング１０及び下ベアリング１１により軸支されている。クランク６ａはローラ１２内を摺動してローラ１２に偏心回転を与える。ローラ１２の外周面に摺接されたベーン１３が摺動自在に設けられている。

モータ８によりクランクシャフト６が回転すると、クランク６ａの偏心回転によりローラ１２は自転することなくシリンダ９に対し旋回運動を行い、吸入口４ｃにより吸い込んだ冷媒ガスは圧縮され、吐出口４ｄにより圧縮ガスを吐出することになる。

上ベアリング１０の軸受部１０ａ、下ベアリング１１の軸受部１１ａ及びローラ１２の軸受部１２ａに装着された軸受材１０ｂ、１１ｂ、１２ｂは、いずれも循環する潤滑油が供給されるが、起動時や冷媒の吐出圧力が高い場合には潤滑油の供給が不足して磨耗や焼付き等の損傷が発生し易い。そこで、本実施形態のＤＬＣ皮膜１６を内面に備える軸受材１０ｂ、１１ｂ、１２ｂは、軸受部１０ａ、１１ａ、１２ａにそれぞれ圧入されることで固定され、ロータリ圧縮機の信頼性及び耐久性を向上させている。そして、軸受材１０ｂ、１１ｂ、１２ｂは、第１実施形態における軸受材３ｃ、５ａと同じ製作方法で同じ材料で製作されているの、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

上述した各実施形態で説明したように、基材（裏金）１４の表面に耐焼付き性及び耐摩耗性を有する非晶質硬質炭素であるＤＬＣ皮膜１６を、バインダ層１５である金属を介して成膜し、その複合体を円筒状とすることにより、内周部にＤＬＣ皮膜１６を有する軸受材３ｅ、５ｂ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂが実現でき、これを密閉型冷媒圧縮機の軸受部３ｃ、５ａ、１０ａ、１１ａ、１２ａに装着することで、効率よく安価で容易に、軸受の耐摩耗性及び耐焼付き性を向上することができる密閉型冷媒圧縮機の製造方法を提供することができる。

以上のように、上述したＤＬＣ皮膜１６を成膜した裏金１４とバインダ層１５の複合体を軸受材３ｅ、５ｂ、１０ｂ、１１ｂ、１２ｂとして使用すれば、ＣＦＣ冷媒及びＨＣＦＣ冷媒は勿論、塩素を含まないために潤滑性が劣るＨＦＣ冷媒や超高圧状態となる自然系冷媒を使用する密閉型圧縮機への適用が可能であり、かつ圧縮機の高性能及び高信頼性を提供できる。更に、上述の密閉型冷圧縮機を用いた空調機、冷凍機、及び給湯機への適用が可能であると共に、高性能及び高信頼性化を提供できる。

本発明の第１実施形態におけるスクロール圧縮機の縦断面図である。 本第１実施形態における軸受材の製造方法を示す工程図である。 本実施形態における軸受材の一部拡大図である。 比較例及び本実施形態の軸受材に用いる複合体における試験時間に対する摩擦係数の特性を示す図である。 比較例及び本実施形態の軸受材に用いる複合体における表面粗さに対する摩擦係数の特性を示す図である。 本発明の第２実施形態におけるのロータリ圧縮機の縦断面図である。 従来例のスクロール圧縮機の縦断面図である。

符号の説明

１…密閉容器、２…バランスウエイト、３…旋回スクロール、３ａ…鏡板、３ｂ…ラップ、３ｃ…軸受部、３ｄ…キー溝、３ｅ，３ｆ…軸受材、４…固定スクロール、４ａ…鏡板、４ｂ…ラップ、４ｃ…吸入口、４ｄ…吐出口、５…フレーム、５ａ…軸受部、５ｂ，５ｄ…軸受材、５ｃ…キー溝、６…クランクシャフト（回転軸）、６ａ…クランク、７…オルダムリング、７ａ…オルダム継手、８…モータ、９…シリンダ、１０…上ベアリング、１０ａ…軸受部、１０ｂ…軸受材、１１…下ベアリング、１１ａ…軸受部、１１ｂ…軸受材、１２…ローラ、１２ａ…軸受部、１２ｂ…軸受材、１３ベーン、１５…バインダ層、１５ａ…チタン層、１５ｂ…シリコン層、１６…ＤＬＣ皮膜（非晶質硬質炭素皮膜）。

Claims (9)

1. 軸受材に支持された回転軸により駆動される圧縮手段で冷媒を圧縮する密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、
   平板状の裏金の一側に非晶質硬質炭素皮膜を積層して複合体とし、
   前記平板状の複合体を、非晶質硬質炭素皮膜を積層した側を内面とする円筒状に形成して軸受材とし、
   前記回転軸を支持する部材の軸受部に前記円筒状の軸受材を圧入して装着し、
   この軸受部に装着された軸受材の内面を表面仕上げ加工し、
   この表面仕上げされた軸受材に前記回転軸を挿入して支持する
   ことを特徴とする密閉型冷媒圧縮機の製造方法。
2. 請求項１に記載の密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、前記平板状の裏金の一側に金属材料からなるバインダ層を介して前記非晶質硬質炭素皮膜を積層して複合体とすることを特徴とする密閉型冷媒圧縮機の製造方法。
3. 請求項２に記載の密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、前記平板状の裏金にチタン層及びシリコン層の順に前記バインダの層を設け、このバインダのシリコン層の上に前記非晶質硬質炭素皮膜を積層して複合体とすることを特徴とする密閉型冷媒圧縮機の製造方法。
4. 請求項１から３の何れかに記載の密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、ダイアモンド構造を一部含んだ炭素と水素からなるアモルファスのＤＬＣ皮膜で前記非晶質硬質炭素皮膜を形成することを特徴とする密閉型冷媒圧縮機の製造方法。
5. 請求項１から４の何れかに記載の密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、前記軸受部に圧入した軸受材を表面粗さ５μｍ以下に仕上げ加工することを特徴とする密閉型冷媒圧縮機の製造方法。
6. 請求項１から５の何れかに記載の密閉型冷媒圧縮機の製造方法において、冷媒としてＨＦＣ冷媒または自然系冷媒を用いることを特徴とする密閉型冷媒圧縮機の製造方法。
7. 請求項１〜６の何れかに記載の方法で製作された密閉型冷媒圧縮機を用いたことを特徴とする空調機。
8. 請求項１〜６の何れかに記載の方法で製作された密閉型冷媒圧縮機を用いたことを特徴とする冷凍機。
9. 請求項１〜６の何れかに記載の方法で製作された密閉型冷媒圧縮機を用いたことを特徴とするヒートポンプ式給湯機。
   

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