JP2007086011A - 電子顕微鏡制御装置、電子顕微鏡システムおよび電子顕微鏡の制御方法 - Google Patents
電子顕微鏡制御装置、電子顕微鏡システムおよび電子顕微鏡の制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 SEMハードウェア1と、X線検出器およびエネルギー分散型X線分析装置で構成されるEDXハードウェア2とを制御するコンピュータ3に、SEM制御データ8,71の通信を高速化し、EDX側の測定結果をフィードバックしてSEM側の条件をリアルタイムに制御するデータ共有オブジェクト7を追加して、SEMアプリケーション5を介さずに、SEM制御データ8,71を直接EDXアプリケーション6へ送信する構成とした。
【選択図】図2
Description
ここで、前記したSEMの調整を容易にするため、EDX側の測定結果をSEM側にフィードバックしてSEM側をリアルタイムに制御するという方法が考えられる。
なお、SEM制御データ44は、加速電圧やワーキングディスタンス等の分析結果として用いるデータや、電子線照射電流調整値等の分析の制御に用いるデータである。
入出力インターフェースは、前記した表示装置9、ポインティングデバイス10、SEMハードウェア1、EDXハードウェア2等と、CPUとの間のデータ入出力のインターフェースを司る。CPUは、記憶部に格納されるSEM−EDX統合プログラム4やデータ共有オブジェクト7(後記)をメインメモリ上に読み出し、SEMハードウェア1およびEDXハードウェア2を制御する。メインメモリは、例えば、RAM(Random Access Memory)であり、CPUが演算処理を行う際に用いられる記憶手段である。このメインメモリには、SEMハードウェア1から出力されたSEM制御データ8等が記憶される。記憶部は、例えば、ハードディスク装置であり、所定領域にSEM−EDX統合プログラム4、データ共有オブジェクト7およびレシピ41を格納する。なお、請求項における制御部の機能は、CPUによるSEM−EDX統合プログラム4の実行処理により実現される。
以上のようにして、コンピュータ3は、試料の観察および分析に好適なようにSEMハードウェア1の制御を行う。
以下の説明では、CPUが、EDXハードウェア2のデットタイムを算出し(S41)、このデットタイムがレシピ41に記憶されているデットタイムの目標値の範囲内か否かを判断する場合(S42)を例に説明する。
つまり、EDXハードウェア2がレシピ41に記憶されているデットタイムとなるSEM制御データをデータ共有オブジェクト7経由でSEMハードウェア1へ出力する(S43)。このときのSEM制御データは、例えば、SEMハードウェア1における電子線照射電流の値を変化させる制御データである。これを受けてSEMハードウェア1において、SEM条件の調整(主に、電子線照射電流の値の変更)が行われる。電子線照射電流の制御方法は、例えば収束レンズ(コンデンサレンズ)の調整などである。このときCPUが出力したSEM制御データは、データ共有オブジェクト7のSEM制御データ71としてメインメモリに記憶しておく(S44)。
一方、デットタイムがレシピ41に記憶されているデットタイムの目標値の範囲内であった場合(S42の“Yes”)、SEMハードウェア1の調整処理を終了する。
2 EDXハードウェア
3 コンピュータ(電子顕微鏡制御装置)
3a SEMコンピュータ
3b EDXコンピュータ
4 SEM−EDX統合プログラム
5 SEMアプリケーション
6 EDXアプリケーション
7 データ共有オブジェクト
8 SEM制御データ
9 表示装置
10 ポインティングデバイス
21 SEM操作メニュー
22 SEM設定メニュー
23 SEM像
24 EDX操作メニュー
25 EDX設定メニュー
41 レシピ
42 SEMアプリケーション
43 EDXアプリケーション
44 SEM制御データ
46 外部通信手段
71 SEM制御データ
Claims (5)
- X線分析装置を備える電子顕微鏡における電子線照射電流を制御する電子顕微鏡制御装置であって、
前記X線分析装置におけるデットタイムの目標値の範囲を記憶する記憶部と、
前記X線分析装置から出力された計測結果に基づき、前記X線分析装置におけるデットタイムを算出し、前記算出されたデットタイムと、前記デットタイムの目標値の範囲とを比較し、前記算出されたデットタイムが、前記目標値の範囲内の値でなかったとき、前記電子顕微鏡の電子線照射電流を制御する制御データを作成する制御部と、
前記電子顕微鏡から、この電子顕微鏡における電子線照射電流の制御結果を受信し、前記受信した制御結果と、前記電子顕微鏡へ出力した制御データとを比較し、前記制御結果が前記制御データと異なる場合、前記受信した制御結果を、前記制御部用のフォーマットに変換して前記制御部へ出力するとともに、前記制御部で作成された制御データを、前記電子顕微鏡の制御用のフォーマットに変換し、前記電子顕微鏡へ出力するデータ共有部と、
を備えることを特徴とする電子顕微鏡制御装置。 - 前記記憶部は、前記X線分析装置におけるデットタイムおよびX線検出効率の目標値の範囲を記憶し、
前記制御部は、前記X線分析装置におけるデットタイムおよびX線検出効率を算出し、前記算出されたデットタイムおよび前記デットタイムの目標値の範囲の比較と、前記算出されたX線検出効率および前記X線検出効率の目標値の範囲の比較とを行い、前記算出されたデットタイムおよび前記算出されたX線検出効率の少なくとも一方が前記各目標値の範囲内でなかったとき、前記電子顕微鏡の電子線照射電流を制御する制御データを作成することを特徴とする請求項1に記載の電子顕微鏡制御装置。 - 前記制御部は、前記電子顕微鏡およびX線分析装置それぞれの操作画面と、前記電子顕微鏡による撮像画像と、前記X線分析装置による分析結果とを同じ画面上に表示する画面を作成し、前記電子顕微鏡制御装置の表示装置へ出力することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子顕微鏡制御装置。
- X線分析装置を備える電子顕微鏡と、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の電子顕微鏡制御装置とを含む電子顕微鏡システム。
- X線分析装置を備える電子顕微鏡の制御方法であって、
前記X線分析装置におけるデットタイムの目標値の範囲を記憶する記憶部と、
前記X線分析装置から出力された計測結果に基づき、前記X線分析装置におけるデットタイムを算出し、前記算出されたデットタイムと、前記デットタイムの目標値の範囲とを比較し、前記算出されたデットタイムが、前記目標値の範囲内の値でなかったとき、前記電子顕微鏡の電子線照射電流を制御する制御データを作成する制御部と、
前記電子顕微鏡から、この電子顕微鏡における電子線照射電流の制御結果を受信し、前記受信した制御結果と、前記電子顕微鏡へ出力した制御データとを比較し、前記制御結果が前記制御データと異なる場合、前記受信した制御結果を、前記制御部用のフォーマットに変換して前記制御部へ出力するとともに、前記制御部で作成された制御データを、前記電子顕微鏡の制御用のフォーマットに変換し、前記電子顕微鏡へ出力するデータ共有部と、
を備える電子顕微鏡制御装置が、
前記X線分析装置から出力された計測結果に基づき、前記X線分析装置におけるデットタイムを算出し、
前記算出されたデットタイムと、前記デットタイムの目標値の範囲とを比較し、前記算出されたデットタイムが、前記目標値の範囲内の値でなかったとき、前記電子顕微鏡の電子線照射電流を制御する制御データを、前記データ共有部経由で前記電子顕微鏡へ出力し、
前記電子顕微鏡から、前記データ共有部経由で前記電子顕微鏡における電子線照射電流の制御結果を受信する、
ことを特徴とする電子顕微鏡の制御方法。
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