JP2007082034A - シリコンマイクロホンパッケージ - Google Patents
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Abstract
【課題】シリコンマイクロホンパッケージにおいて、優れた受音特性を得ることができるキャビティ及び通気穴(リーク穴)を持つと共に安価に作製することができる。
【解決手段】シリコンマイクロホンパッケージ1は、シリコンマイクロホンチップ2が実装されるリードフレーム成形品4と、リードフレーム成形品4に設置される封止用蓋5及びケース6を備える。リードフレーム成形品4は受音用の開口部4aと貫通孔4bを有し、ケース6は溝部6aと溝部6aが臨む通気用の開口部6bを有する。封止用蓋5は、シリコンマイクロホンチップ2を覆って設置され、これにより、封止用蓋5とリードフレーム成形品4に囲まれた空間がキャビティ7となる。ケース6は、通気用の開口部6bを受音用の開口部4aに合せ、かつ、溝部6aを貫通孔4bに合せて設置され、これにより、貫通孔4b、溝部6a、及び通気用の開口部6bがキャビティ7の通気穴8となる。
【選択図】図1
【解決手段】シリコンマイクロホンパッケージ1は、シリコンマイクロホンチップ2が実装されるリードフレーム成形品4と、リードフレーム成形品4に設置される封止用蓋5及びケース6を備える。リードフレーム成形品4は受音用の開口部4aと貫通孔4bを有し、ケース6は溝部6aと溝部6aが臨む通気用の開口部6bを有する。封止用蓋5は、シリコンマイクロホンチップ2を覆って設置され、これにより、封止用蓋5とリードフレーム成形品4に囲まれた空間がキャビティ7となる。ケース6は、通気用の開口部6bを受音用の開口部4aに合せ、かつ、溝部6aを貫通孔4bに合せて設置され、これにより、貫通孔4b、溝部6a、及び通気用の開口部6bがキャビティ7の通気穴8となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、携帯電話、補聴器、車載用の音響センサ、超音波センサの受波装置などに用いられるシリコンマイクロホンパッケージに関するものである。
従来から、コンデンサマイクロホンにエレクトレットコンデンサマイクロホンを用いたエレクトレットコンデンサマイクロホンパッケージがある。このエレクトレットコンデンサマイクロホンパッケージは、部品点数が多く、また、樹脂材料やプリント基板などの存在のために、全体を小型軽量薄型化するのが困難である。さらに、コンデンサ部の振動板と振動板リングは接着剤で貼り合わせているために、高い信頼性が要求される車載用の音響センサには不向きとされている。
そこで、コンデンサマイクロホンに耐環境性の良いシリコンマイクロホンチップを用いたシリコンマイクロホンパッケージが注目されている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1のシリコンマイクロホンパッケージでは、印刷回路基板に穴をあけて、その穴をキャビティとしている。つまり、印刷回路基板に穴をあけて、印刷回路基板自体にキャビティを形成している。
特表2004−537182号公報
しかしながら、上述した特許文献1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいては、キャビティとするための穴を印刷回路基板に形成するのが困難である。また、シリコンマイクロホンパッケージの受音特性を向上するには、キャビティを大きくすると共に、キャビティと外部空間とを連通する通気穴(外部空間とキャビティ内の外圧/内圧差を調整するためのリーク穴)を設けるのが良く、通気穴はキャビティの大きさに対して十分に細くするのが望ましい。
ところが、上述した特許文献1に記載のシリコンマイクロホンパッケージのように印刷回路基板に形成した穴をキャビティとするのでは、キャビティを大きくすることが困難であると共に、キャビティの大きさに対して十分に細い通気穴を形成するのも困難であるため、優れた受音特性を得ることができない。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、優れた受音特性を得ることができるキャビティ及び通気穴(リーク穴)を持つと共に安価に作製することができるシリコンマイクロホンパッケージを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために請求項1の発明は、シリコンマイクロホンチップをリードフレーム成形品に実装したシリコンマイクロホンチップパッケージにおいて、受音用の開口部を持ち、該開口部上にシリコンマイクロホンチップを実装し、回路部品を実装した外部回路接続のための端子用フレームを有したリードフレーム成形品と、リードフレーム成形品上にシリコンマイクロホンチップを覆ってキャビティを形成するように設置される封止用蓋と、リードフレーム成形品上に設置され、裏面に、キャビティを外部空間と連通するための通気穴を形成するための溝部と、この溝部が臨み外部空間に開口する通気用の開口部とが設けられたケースとを備え、リードフレーム成形品には、通気穴となる貫通孔が設けられ、ケースは、通気用の開口部が受音用の開口部と合わさり、かつ、溝部が貫通孔に合わさるように設置されるものである。
請求項2の発明は、請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、ケースをカシメ工法又は樹脂封止によりリードフレーム成形品に設置したものである。
請求項3の発明は、請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、ケースに溝部が臨む通気用の開口部が設けられると共に、通気穴となる貫通孔がリードフレーム成形品に代えて封止用蓋に設けられ、ケースは、溝部が貫通孔に合わさるように設置されるものである。
請求項4の発明は、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、ケース及び封止用蓋は導電材料により形成され、リードフレーム成形品のグランド端子部となる箇所の一部を折り曲げてケース又は封止用蓋と接触させて通電させるものである。
請求項5の発明は、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシリコンマイクロホンパッケージにおいて、リードフレーム成形品のリードフレーム端子部の折り曲げ方向に応じて受音面方向を切替自在としたものである。
請求項1の発明によれば、封止用蓋をリードフレーム成形品上に設置することにより、封止用蓋とリードフレーム成形品に包囲された空間がキャビティとなるため、大きいキャビティを容易に形成することができる。また、ケースをリードフレーム成形品上に設置することにより、リードフレーム成形品の貫通孔、ケースの溝部、及びケースの通気用の開口部がキャビティと外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)となるため、キャビティの大きさに対して十分に細い通気穴を容易に形成することができる。従って、優れた受音特性を得るためのキャビティ及び通気穴を容易に形成することができ、優れた受音特性を発揮できるシリコンマイクロホンパッケージを安価に作製することができる。
請求項2の発明によれば、ケースをリードフレーム成形品に容易に設置することができる。
請求項3の発明によれば、封止用蓋の貫通孔、ケースの溝部、及びケースの通気用の開口部がキャビティと外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)となるため、キャビティの大きさに対して十分に細い通気穴を容易に形成することができる。従って、上記請求項1と同様に、優れた受音特性を得るためのキャビティ及び通気穴を容易に形成することができ、優れた受音特性を発揮できるシリコンマイクロホンパッケージを安価に作製することができる。
請求項4の発明によれば、ケース又は封止用蓋が電磁ノイズをシールドする役割を果たす。
請求項5の発明によれば、リードフレーム端子部の折り曲げ方向を変えることで実装基板に対するシリコンマイクロホンパッケージの実装方向が変わり、受音面方向を切替えることができる。なお、リードフレーム端子部の一方の折り曲げ方向については、実装基板に受音用の開口が必要となる。
以下、本発明を具体化した実施形態によるシリコンマイクロホンパッケージについて図面を参照して説明する。図1は、シリコンマイクロホンパッケージの構成を、図2は、シリコンマイクロホンパッケージのリードフレーム成形品の構成を、図3は、シリコンマイクロホンパッケージの封止用蓋の構成を、図4は、シリコンマイクロホンパッケージのケースの構成をそれぞれ示す。シリコンマイクロホンパッケージ1は、例えば、携帯電話、補聴器、車載用の音響センサ、超音波センサの受波装置などに用いられ、音響信号(空気中を伝播する音)を電気信号に変換出力する装置である。
シリコンマイクロホンパッケージ1は、音響信号を静電容量の変化として検出するシリコンマイクロホンチップ2と、シリコンマイクロホンチップ2により検出された音響信号を電気信号に変換出力する電界効果トランジスタ3と、シリコンマイクロホンチップ2及び電界効果トランジスタ3が実装されるリードフレーム成形品4と、リードフレーム成形品4に設置される封止用蓋5及びケース6とを備えている。
このシリコンマイクロホンパッケージ1は、リードフレーム成形品4及び封止用蓋5に包囲された空間によってキャビティ7が形成されており、また、キャビティ7を外部空間と連通するための通気穴(リーク穴)8が形成されている。これらキャビティ7及び通気穴8は、音響信号の受音特性を向上するためのものであり、優れた受音特性を得るには、キャビティ7を大きくし、また、通気穴8をキャビティ7の大きさに対して十分に細くするのが望ましい。シリコンマイクロホンパッケージ1は、実装基板9に実装されて用いられる。
シリコンマイクロホンチップ2は、半導体製造技術を利用してシリコンを加工することにより作製されたものであり、基台部21と、振動膜22と、スペーサ23と、固定膜24とを有している。基台部21には、受音穴2aが形成されており、振動膜22は、受音穴2aに臨む位置に設けられている。固定膜24は、スペーサ23を介して振動膜22と重なるように設けられており、振動膜22と固定膜24との間には、間隙が設けられている。基台部21及びスペーサ23は絶縁性を有しており、振動膜22及び固定膜24は導電性を有している。シリコンマイクロホンチップ2は、振動膜22及び固定膜24の静電容量の変化により音響信号を検出する。電界効果トランジスタ3は、シリコンマイクロホンチップ2の振動膜22及び固定膜24の静電容量の変化、すなわちシリコンマイクロホンチップ2により検出された音響信号を電気信号に変換出力する。
リードフレーム成形品4は、図2に示されるように、複数のリードフレーム41〜46を樹脂成形体40により一体的にしたものである。樹脂成形体40は、ポリフタルアミド樹脂により形成されており、略矩形の上壁47と、上壁47から連続すると共に上壁47の外周方向に連続する周側壁48とを有しており、略矩形の箱状をしている。リードフレーム41〜46は、銅系金属により作製され、表面にニッケルパラジウム、金、銀などが鍍金されている。リードフレーム41〜46は、シリコンマイクロホンチップ2及び電界効果トランジスタ3と電気的に接続され、また、実装基板9上の回路91と電気的に接続される。
また、リードフレーム成形品4には、音響信号を導入するための受音用の開口部4aと、通気穴8を形成するための貫通孔4bとが設けられている。受音用の開口部4aは、樹脂成形体40の上壁47及びリードフレーム46を開口して成っている。貫通孔4bは、樹脂成形体40の上壁47及びリードフレーム42を貫通して成っている。
リードフレーム41、42、45、46は、実装基板9上の回路91と電気的に接続するためのリードフレーム端子部41a、42a、45a、46aを有しており、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aは、樹脂成形体40の周側壁46を貫通して樹脂成形体40から露出され、受音用の開口部4aと反対側に折り曲げられている。また、リードフレーム46はグランド接続用であり、グランド接続用のリードフレーム46の一部を折り曲げてシールド用接続部46bが形成されている。シールド用接続部46bは、封止用蓋5に電磁ノイズのシールド性を持たせるために封止用蓋5と接触させる部分である。
上記シリコンマイクロホンチップ2は、受音穴2aをリードフレーム成形品4の上壁47側にして、受音穴2aがリードフレーム成形品4の受音用の開口部4aに合わさるように、受音用の開口部4a上に設置され、シリコン系ダイボンド剤28によりリードフレーム成形品4に接合され、ワイヤ29a、29bによりワイヤボンディング実装される。また、上記電界効果トランジスタ3は、導電性接着剤又は半田(不図示)によりリードフレーム成形品4に接合される。
封止用蓋5は、図3に示されるように、導電性材料により形成されており、略矩形の平板状をしている。封止用蓋5は、リードフレーム成形品4の周側壁48の下端縁に設置されて、シリコンマイクロホンチップ2、電界効果トランジスタ3、及びリードフレーム成形品4の貫通孔4bを覆う。このように封止用蓋5をリードフレーム成形品4に設置することにより、封止用蓋5及びリードフレーム成形品4によって、シリコンマイクロホンチップ2の受音穴2aと反対側の領域が外部空間から遮蔽される。つまり、封止用蓋5及びリードフレーム成形品4によってキャビティ7が形成され、封止用蓋5及びリードフレーム成形品4により囲まれた空間がキャビティ7となる。
また、封止用蓋5は、リードフレーム成形品4のシールド用接続部46bと導電性接着剤又は半田(不図示)により電気的に接触されて通電され、これにより、封止用蓋5が電磁ノイズをシールドする役割を果たす。また、封止用蓋5の周縁(外周全周)とリードフレーム成形品4は、封止樹脂59により封止され、これにより、キャビティ7の遮蔽性が高められる。
ケース6は、図4に示されるように、導電性材料により形成されており、略矩形の上板61と、上板61から連続する周側板62とを有し、略矩形の箱状をしている。上板62の裏面(すなわちケース6の裏面)には、通気穴8を形成するための通気用の溝部6aと、この溝部6aが臨み外部空間に開口する通気用の開口部6bとが設けられている。周側板62には、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aを通すための溝穴6cが設けられている。
ケース6は、溝部6aがリードフレーム成形品4の貫通孔4bに合わさり、かつ、通気用の開口部6bがリードフレーム成形品4の受音用の開口部4aと合わさるように、受音用の開口部4a側からリードフレーム成形品4に設置される。このようにケース6をリードフレーム成形品4に設置することにより、リードフレーム成形品4の貫通孔4b、ケース6の溝部6a、及び通気用の開口部6bによって、キャビティ7と外部空間とを連通するリーク経路(図1の矢印Aで示す経路)が形成される。つまり、リードフレーム成形品4の貫通孔4b、ケース6の溝部6a、及び通気用の開口部6bによって、キャビティ7と外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)8が形成される。なお、ケース6は、カシメ工法又は封止樹脂(不図示)により、リードフレーム成形品4に固定される。
音響信号(音)は、実装基板9と反対側から導入され、図1の矢印B方向に、ケース6の通気用の開口部6b、リードフレーム成形品4の受音用の開口部4a、及びシリコンマイクロホンチップ2の受音穴2aを経由して、シリコンマイクロホンチップ2の振動膜22に与えられる。振動膜22に音響信号が与えられると、その音響信号によって振動膜22が振動して振動膜22及び固定膜24の静電容量が変化し、これによって、シリコンマイクロホンパッケージ1は音響信号を検出する。
上記のように構成されたシリコンマイクロホンパッケージ1においては、封止用蓋5をリードフレーム成形品4に設置することにより、封止用蓋5及びリードフレーム成形品4により囲まれた空間がキャビティ7となるため、大きいキャビティ7を容易に形成することができる。また、ケース6をリードフレーム成形品4に設置することにより、リードフレーム成形品4の貫通孔4b、ケース6の溝部6a、及び通気用の開口部6bがキャビティ7と外部空間とを連通する通気穴(リーク穴)8となるため、キャビティ7の大きさに対して十分に細い通気穴8を容易に形成することができる。従って、優れた受音特性を得るためのキャビティ7及び通気穴8を容易に形成することができ、優れた受音特性を発揮できるシリコンマイクロホンパッケージ1を安価に作製することができる。
また、ケース6をカシメ工法又は封止樹脂によりリードフレーム成形品4に固定することにより、ケース6をリードフレーム成形品4に容易に設置することができる。さらに、封止用蓋5をグランド接続用のリードフレーム46の一部を折り曲げて形成したシールド用接続部46bと接触させて通電させることにより、封止用蓋5が電磁ノイズをシールドする役割を果たす。また、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aを受音用の開口部4aと反対側に折り曲げているため、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aを折り曲げた側と同じ側又は反対側に受音用の開口部4aが存在し、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aを折り曲げた側と反対側(実装基板9と反対側)から音響信号を受音することができる。
図5は、シリコンマイクロホンパッケージ1の別の構成例を示す。このシリコンマイクロホンパッケージ1では、上記図1乃至図4のリードフレーム成形品4に貫通孔4bを設けた構成に代えて、封止用蓋5に貫通孔5aが設けられている。ケース6には、通気用の溝部6aと、この溝部6aが臨み外部空間に開口する通気用の開口部6bとが設けられている。
ケース6は、溝部6aが封止用蓋5の貫通孔5aに合わさるように、受音用の開口部4aと反対側から封止用蓋5を覆ってリードフレーム成形品4に設置される。このようにケース6をリードフレーム成形品4に設置することにより、封止用蓋5の貫通孔5a、ケース6の溝部6a、及び通気用の開口部6bによって、キャビティ7と外部空間とを連通するリーク経路(図5の矢印Aで示す経路)が形成される。つまり、封止用蓋5の貫通孔5a、ケース6の溝部6a、及び通気用の開口部6bによって、キャビティ7と外部空間とを連通する通気穴8が形成される。
音響信号は、実装基板9と反対側から導入され、図5の矢印B方向に、リードフレーム成形品4の受音用の開口部4a、及びシリコンマイクロホンチップ2の受音穴2aを経由して、シリコンマイクロホンチップ2の振動膜22に与えられる。シリコンマイクロホンパッケージ1の他の構成については、上記図1乃至図4の構成と同様である。
このように構成されたシリコンマイクロホンパッケージ1においては、ケース6をリードフレーム成形品4に設置することにより、封止用蓋5の貫通孔5a、ケース6の溝部6a、及び通気用の開口部6bがキャビティ7と外部空間とを連通する通気穴8となるため、キャビティ7の大きさに対して十分に細い通気穴8を容易に形成することができる。従って、上記図1乃至図4の構成と同様に、優れた受音特性を得るためのキャビティ7及び通気穴8を容易に形成することができ、優れた受音特性を発揮できるシリコンマイクロホンパッケージ1を安価に作製することができる。
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限られず、種々の変形が可能である。例えば、封止用蓋5に代えて、ケース6をリードフレーム成形品4のシールド用接続部46bと接触させて通電させてもよい。このような構成によれば、ケース6が電磁ノイズをシールドする役割を果たす。リードフレーム成形品4のリードフレーム端子部41a、42a、45a、46aは、受音用の開口部4aと同じ側に折り曲げてもよい。このような構成によれば、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aを折り曲げた側と同じ側(すなわち実装基板9側)から音響信号を受音することができる。すなわち、リードフレーム端子部41a、42a、45a、46aの折り曲げ方向を変えることで実装基板9に対するシリコンマイクロホンパッケージ1の実装方向が変わり、受音面方向を上記実施形態と逆方向にすることができる。この場合、実装基板9に受音用の開口が必要となる。電界効果トランジスタ3は、キャビティ7の外部に配置して、実装基板9に実装してもよい。シリコンマイクロホンチップ2は、シリコン系ダイボンド剤28による接合、及びワイヤ29a、29bによるワイヤボンディング実装に代えて、フリップチップ実装してもよい。封止用蓋5とリードフレーム成形品4は、封止樹脂59に代えて、封止用蓋5をシールド用接続部46bと導電性接着剤又は半田により電気的に接続する工程において、それら導電性接着剤又は半田によって封止してもよい。
1 シリコンマイクロホンパッケージ
2 シリコンマイクロホンチップ
2a 受音穴
3 電界効果トランジスタ
4 リードフレーム成形品
4a 受音用の開口部
4b 貫通孔
5 封止用蓋
5a 貫通孔
6 ケース
6a 通気用の溝部
6b 通気用の開口部
7 キャビティ
8 通気穴
9 実装基板
40 樹脂成形体
41、42、43、44、45、46 リードフレーム
41a、42a、45a、46a リードフレーム端子部
46b シールド用接続部
2 シリコンマイクロホンチップ
2a 受音穴
3 電界効果トランジスタ
4 リードフレーム成形品
4a 受音用の開口部
4b 貫通孔
5 封止用蓋
5a 貫通孔
6 ケース
6a 通気用の溝部
6b 通気用の開口部
7 キャビティ
8 通気穴
9 実装基板
40 樹脂成形体
41、42、43、44、45、46 リードフレーム
41a、42a、45a、46a リードフレーム端子部
46b シールド用接続部
Claims (5)
- シリコンマイクロホンチップをリードフレーム成形品に実装したシリコンマイクロホンチップパッケージにおいて、
受音用の開口部を持ち、該開口部上にシリコンマイクロホンチップを実装し、回路部品を実装した外部回路接続のための端子用フレームを有したリードフレーム成形品と、
前記リードフレーム成形品上に前記シリコンマイクロホンチップを覆ってキャビティを形成するように設置される封止用蓋と、
前記リードフレーム成形品上に設置され、裏面に、前記キャビティを外部空間と連通するための通気穴を形成するための溝部と、この溝部が臨み外部空間に開口する通気用の開口部とが設けられたケースとを備え、
前記リードフレーム成形品には、前記通気穴となる貫通孔が設けられ、
前記ケースは、前記通気用の開口部が前記受音用の開口部と合わさり、かつ、前記溝部が前記貫通孔に合わさるように設置されることを特徴とするシリコンマイクロホンパッケージ。 - 前記ケースをカシメ工法又は樹脂封止により前記リードフレーム成形品に設置したことを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
- 前記ケースに前記溝部が臨む通気用の開口部が設けられると共に、前記通気穴となる貫通孔が前記リードフレーム成形品に代えて前記封止用蓋に設けられ、
前記ケースは、前記溝部が前記貫通孔に合わさるように設置されることを特徴とする請求項1に記載のシリコンマイクロホンパッケージ。 - 前記ケース及び封止用蓋は導電材料により形成され、前記リードフレーム成形品のグランド端子部となる箇所の一部を折り曲げて前記ケース又は封止用蓋と接触させて通電させることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
- 前記リードフレーム成形品のリードフレーム端子部の折り曲げ方向に応じて受音面方向を切替自在としたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシリコンマイクロホンパッケージ。
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JP2005269469A JP2007082034A (ja) | 2005-09-16 | 2005-09-16 | シリコンマイクロホンパッケージ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011145790A1 (ko) * | 2010-05-20 | 2011-11-24 | 주식회사 비에스이 | 마이크로폰 조립체 |
CN101316462B (zh) * | 2007-06-01 | 2012-11-28 | 财团法人工业技术研究院 | 微机电系统麦克风封装体及其封装组件 |
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2005
- 2005-09-16 JP JP2005269469A patent/JP2007082034A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN101316462B (zh) * | 2007-06-01 | 2012-11-28 | 财团法人工业技术研究院 | 微机电系统麦克风封装体及其封装组件 |
WO2011145790A1 (ko) * | 2010-05-20 | 2011-11-24 | 주식회사 비에스이 | 마이크로폰 조립체 |
KR101094452B1 (ko) * | 2010-05-20 | 2011-12-15 | 주식회사 비에스이 | 마이크로폰 조립체 |
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