JP2007079592A - ホログラム露光装置とホログラム露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】反射型のホログラム素子を作製するホログラム露光装置とホログラム露光方法であって、ホログラム素子の作製が容易で、波長の異なる光に対するホログラム素子の回折効率を同等にすることが容易なものを実現する。
【解決手段】複数のレーザ光源をホログラム感剤を有する基板に順次露光してホログラム素子を作製する際に、レーザ光源を２つの光路に分離させるとともに光束を広げて、２つの光束を所定の角度で交差させ、基板を交差させた位置で一方の光束の光軸に対して垂直な方向に平行移動可能に保持する。
【選択図】図３

Description

本発明は、映像表示素子の照明等に用いるホログラム素子を作製するホログラム露光装置とホログラム露光方法に関する。

与えられる照明光を変調して映像を表す光とする液晶表示器と、液晶表示器からの光を眼に導いて映像の虚像を提供する接眼光学系を備える映像表示装置が、小型の映像提供手段として多用されている。このような映像表示装置では、照明光を射出する光源面と観察者の眼とを光学的に共役にすることにより、明るい映像を提供するようにしている。また、カラー映像を提供する場合は、液晶表示器の個々の画素にカラーフィルタを設けて、照明光である白色光を一度に変調する第１の方法と、波長の異なる照明光を時間をずらして液晶表示器に与えて、各照明光を個別に変調する第２の方法のいずれかを採用するのが一般的である。

ここで、第１の方法は、白色光を発する光源を１つのみ備えればよく、構成が簡素である。ただし、各波長の光を変調する画素が映像表示素子の全画素の一部になるため、解像度は低い。第２の方法は、複数の光源と各光源からの光を同じ方向から映像表示素子に導くための光学系を備える必要があり、構成はやや複雑である。しかし、各波長の光を映像表示素子の全ての画素で変調するため、解像度が高い。第１の方法で第２の方法と同じ解像度の映像を提供するためには、画素数の多い液晶表示器を使用する必要があるが、画素の高密度化には限界があるため、液晶表示器の大型化が避けられない。また、液晶表示器が大きいと、これを照明するための光学系も大口径化する。したがって、映像表示装置を小型に保ちつつ提供するカラー映像の解像度を高めるためには、第２の方法の方が好ましいといえる。

第２の方法でカラー映像を提供する場合、光源面上での輝度むらや色むらが観察瞳面上での輝度むらや色むらとなるという問題がある。特に、光源面上での色むらは、観察者が眼をふったときに顕著に映像品位を低下させる原因となる。これを避けるためには、光源面上での色を一様にする（色混ぜを行う）必要があり、これは一般に、波長の異なる光を発する複数の発光素子を並べて配置するとともに、これらの発光素子からある程度離れた位置に拡散板を配置することで実現されている。しかし、この構成では、光の利用効率が低下し、また、光学系の小型化に制約が生じる。

そこで、複数の発光素子からの光の光路を、多層膜ミラーまたは反射型のホログラム素子によって重ね合わせることが提案されている。これらはいずれも、透過型の液晶表示器の照明にも、反射型の液晶表示器の照明にも利用可能であるが、作製工程が多く高価な多層膜ミラーよりも、作製工程が少なく廉価な反射型のホログラム素子の方が、実用に適している。

反射型のホログラム素子を備えた映像表示装置の構成を図１７に示す。この映像表示装置８は、それぞれ赤色（Ｒ）光、緑色（Ｇ）光、青色（Ｂ）光を発する３つの発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂ、ホログラム素子８２、透過型の液晶表示器８３、および接眼光学系８５より成り、発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂからの光をホログラム素子８２によって回折反射して液晶表示器８３に導く。ホログラム素子８２は３つの発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂからの光を同一方向に回折反射し、各回折反射光を平行光束とするように設定されている。また、３つの発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂは、ホログラム素子８２による回折反射光Ｌの光路に平行な平面上に、かつ、ホログラム素子８２上の１点を中心とする円弧上に配置されている。

ホログラム素子８２の作製に用いるホログラム露光装置の構成を図１８に示す。この装置９は、３つのレーザ光源９１Ｒ、９１Ｇ、９１Ｂ、３つのミラー９２ａ、９２ｂ、９２ｃ、ビームスプリッタ９３、ビームエキスパンダ９４、２つのミラー９５ａ、９５ｂ、およびピンホール９６ａが設けられたピンホール板９６より成る。レーザ光源９１Ｒ、９１Ｇ、９１Ｂはそれぞれ発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂが発する光の波長と略等しい波長のレーザ光を発する。

ミラー９２ａは光源９１Ｒからのレーザ光を反射し、ミラー９２ｂは光源９１Ｇからのレーザ光を反射するとともにミラー９２ａからのレーザ光を透過させ、ミラー９２ｃは光源９１Ｂからのレーザ光を透過させるとともにミラー９２ｂからのレーザ光を反射する。レーザ光源９１Ｒ、９１Ｇ、９１Ｂからのレーザ光は、これらのミラー９２ａ、９２ｂ、９２ｃを経て同一方向に進む。

ビームスプリッタ９３はミラー９２ｃからのレーザ光を透過光と反射光に分岐させ、ビームエキスパンダ９４はビームスプリッタ９３を透過したレーザ光の光束径を拡げる。ミラー９５ａはビームスプリッタ９３によって反射されたレーザ光を反射し、ミラー９５ｂはミラー９５ａからのレーザ光をさらに反射して、ビームエキスパンダ９４を透過したレーザ光と交差させる。ピンホール板９６は、ピンホール９６ａを通過させることによりミラー９５ｂからのレーザ光を発散光束とする。

ホログラム感剤を塗着した基板８２ａすなわちホログラム素子８２の原体は、ビームエキスパンダ９４からのレーザ光とピンホール板９６からのレーザ光が交差する位置に配置されて、ホログラム露光される。このとき、基板８２ａは、自己を透過した後のビームエキスパンダ９４からのレーザ光と自己の法線の成す角が、図１７に示した使用時の回折反射光Ｌとホログラム素子８２の法線の成す角に等しくなるように、配置される。

また、ピンホール板９６は可動であり、ピンホール９６ａは、基板８２ａに対して、ホログラム素子８２に対する３つの発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂと同じ位置関係となる３つの位置を取り得る。ホログラム露光を行う様子を図１９に示す。ホログラム露光は、図１９（ａ）〜（ｃ）に示すように、ピンホール９６ａの位置を変えて３回行い、各回のホログラム露光では、３つのレーザ光源９１Ｒ、９１Ｇ、９１Ｂのうち、ピンホール９６ａの位置に対応する発光ダイオードと略等しい波長のレーザ光を発するものを発光させる。

こうして得られるホログラム素子８２は、発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂからの光を同一方向に回折反射して色混ぜを行う機能と、回折反射光を液晶表示器８３の照明に適する平行光束とする機能とを併せもつものとなる。発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂはホログラム素子８２の近くに配置することが可能であり、映像表示装置８は小型化が容易である。

ところが、映像表示装置８では、３つの発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂをホログラム素子８２による回折反射光Ｌに平行な平面上に配置しているため、ホログラム露光装置９が複雑になり大型化する。この理由について前掲の図１８、図１９を参照しながら説明する。

３回のホログラム露光に際して、ビームエキスパンダ９４からのレーザ光に対する基板８２ａの向きは一定にする必要がある。一方、ビームエキスパンダ９４からのレーザ光に対するピンホール９６ａからのレーザ光の角度は、各回のホログラム露光ごとに変化させる必要がある。つまり、ピンホール板９６を可動とすることは必須であり、ピンホール板９６にレーザ光を導くミラー９５ａ、９５ｂのうち少なくともミラー９５ｂも可動としなければならない。このため、ピンホール板９６とミラー９５ｂを矢印で示した方向に可動に保持する機構が不可欠となる。

しかも、ミラー９５ｂについては、単にピンホール板９６と共に移動させるだけでなく、各回のホログラム露光ごとにミラー９５ａとピンホール板９６に対する角度を変化させる必要があり、このための機構がさらに必要となる。これらの機構を備えることで、ホログラム露光装置９は複雑になり大型化する。

また、映像表示装置８では、ホログラム素子８２に対する発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂからの光の入射角が全て相違し、両端に位置する２つの発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｂからの光の入射角の差は大きい。一般に、反射型のホログラム素子の回折効率は入射角と回折反射角の差が小さいほど高く、入射角が小さいほど高い。また、一般に小型の発光ダイオードは放射角度が半値全幅で６０゜以上と広いため、放射光を有効利用するためには、ホログラム素子へ入射する面積が大きいほどよい。

映像表示装置８では、これを考慮して、ホログラム素子８２を発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂと液晶表示器８３の間を向くように配置している。しかし、それでも発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｂからの光の回折効率に差が生じることは避けられず、液晶表示器８３から最も遠い発光ダイオード８１Ｂからの光の回折効率は低くなり易い。発光ダイオード８１Ｂの出力を相対的に高めることで、適正な色合いの映像を提供することは可能であるが、回折効率の低下は光の有効利用の点で好ましくない。

さらに、ホログラム素子８２の回折反射光Ｌに平行な平面上に発光ダイオード８１Ｒ、８１Ｇ、８１Ｂを並べると、構成寸法が大きくなるという問題もある。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、映像表示素子の照明のために反射型のホログラム素子を作製するホログラム露光装置とホログラム露光方法であって、ホログラム素子の作製が容易で、波長の異なる光に対するホログラム素子の回折効率を同等にすることが容易な小型の構成のものを実現することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明では、複数のレーザ光源と、前記複数のレーザ光源からの光を同一の光路に導く光学系と、同一の光路を透過光と反射光の２つの光路に分離する光学系と、分離された光路それぞれに配置され前記レーザ光源からの光束を広げる光学系と、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させる光学系と、を有するホログラム露光装置において、ホログラム感剤を有する基板を、前記交差させる光学系による交差させた位置に配置し、広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸を中心として回動可能に保持することを特徴としている。

このホログラム露光装置では、ホログラム感剤を塗着した基板をホログラム露光してホログラム素子を作製する際に、露光用の２光束の成す角が一定となる。ホログラム露光は、例えば、一方の光束の中心軸の周りに、複数の発光素子の位置に対応する角度だけ、基板を回転させて行えばよい。したがって、ホログラム素子の作製が容易であり、露光用の２光束の成す角を変化させる機構をホログラム露光装置に備える必要もない。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光装置において、前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系を有し、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して回動させることを特徴としている。

また、本発明は、複数のレーザ光源と、前記複数のレーザ光源からの光を同一の光路に導く光学系と、同一の光路を透過光と反射光の２つの光路に分離する光学系と、分離された光路それぞれに配置され前記レーザ光源からの光束を広げる光学系と、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させる光学系と、を有するホログラム露光装置において、ホログラム感剤を有する基板を、前記交差させる光学系による交差させた位置に配置し、広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸に対して垂直な方向に平行移動可能に保持することを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光装置において、前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系を有し、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して平行移動させることを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光装置において、前記ホログラム露光装置において、前記同一の光路に導く光学系がミラーとハーフミラーを有し、前記分離する光学系がビームスプリッタを有し、前記光束を広げる光学系がピンホールを設けたピンホール板とビームエキスパンダを有し、前記交差させる光学系がビームスプリッタによって反射されたレーザ光を反射させるミラーを有することを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光装置において、前記第１の光学系が前記ビームエキスパンダを有し、前記第２の光学系が前記ピンホール板を有することを特徴としている。

また、本発明は、第１のレーザ光を２つの光路に分離する光学系へ入射させることにより透過光と反射光に分離させ、光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させた位置に配置したホログラム感剤を有する基板に、広げられた２つの光束を露光する工程と、前記光束を広げる光学系により広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸を中心として該基板を回動させる工程と、第２のレーザ光を前記分離する光学系により透過光と反射光に分離させ、前記光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を該基板に露光する工程と、を有することを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光方法において、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系よりなり、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して回動させることを特徴としている。

また、本発明は、第１のレーザ光を２つの光路に分離する光学系へ入射させることにより透過光と反射光に分離させ、光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させた位置に配置したホログラム感剤を有する基板に、広げられた２つの光束を露光する工程と、前記光束を広げる光学系により広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸に対して垂直な方向に該基板を平行移動させる工程と、第２のレーザ光を前記分離する光学系により透過光と反射光に分離させ、前記光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を該基板に露光する工程と、を有することを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光方法において、前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系よりなり、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して平行移動させることを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光方法において、前記分離する光学系がビームスプリッタを有し、前記光束を広げる光学系がピンホールを設けたピンホール板とビームエキスパンダを有し、前記交差させる光学系がビームスプリッタによって反射されたレーザ光を反射させるミラーを有することを特徴としている。

また、本発明は、上記の構成のホログラム露光方法において、前記第１の光学系が前記ビームエキスパンダを有し、前記第２の光学系が前記ピンホール板を有することを特徴としている。

ホログラム露光によりホログラム素子を作製する際に、ホログラム感剤を塗着した基板を、露光用の２光束の一方の中心軸の周りに回転させるだけでよくなり、ホログラム素子の作製が容易である。ホログラム露光装置も簡素化、小型化する。

以下、本発明の映像表示装置のいくつかの実施形態について、図面を参照しながら説明する。第１の実施形態の映像表示装置１の光学構成を、図１の斜視図および図２の側面図に模式的に示す。映像表示装置１は、３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ、反射型のホログラム素子１２、透過型の液晶表示器１３、および接眼光学系１５より成る。発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇおよび１１Ｂは、それぞれＲ光、Ｇ光およびＢ光を発する。発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂが発する光は発散光束となるが、図１、図２においては各光束の主光線のみを示している。

反射型のホログラム素子１２は、３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光を回折反射して、液晶表示器１３に導く。発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂはホログラム素子１２上の１点に向けて配置されており、各発光ダイオードからの光の主光線はホログラム素子１２上の１点に角度差をもって入射する。ホログラム素子１２は角度差をもって入射する３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光を同一方向に回折反射し、かつ、各回折反射光を平行光束とするように設定されている。

透過型の液晶表示器１３は、ホログラム素子１２による回折反射光Ｌの光路に対して垂直に配置されており、映像信号に応じて映像を表示する液晶層と、その両面に設けられた２つの偏光板を備えている（不図示）。液晶表示器１３は、ホログラム素子１２によって導かれる発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光を、入射側の偏光板によって直線偏光とし、この直線偏光を液晶層によって変調して偏光方向が直交する２つの直線偏光とし、そのうちの一方を出射側の偏光板を透過させて映像を表す光とする。一般に、反射型のホログラム素子の回折効率はＳ偏光の方が高いため、ホログラム素子１２で回折された光のうちＳ偏光成分を映像表示に用いるように、液晶表示器１３の偏光板の方向を設定することが望ましい。

接眼光学系１５は、液晶表示器１３からの光が表す映像の拡大虚像を形成して使用者に提供する。発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの発光は時間をずらして行われ、液晶表示器１３には、Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光がそれぞれ異なる時間に導かれる。また、液晶表示器１３の各画素にはカラーフィルタは設けられておらず、全ての画素がカラー映像のうちのＲ成分、Ｇ成分、Ｂ成分の表示要素となる。各発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの発光と液晶表示器１３の各色成分の表示は同期をとって繰り返し行われ、これにより使用者にカラー映像が提供される。

３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂは、ホログラム素子１２による回折反射光Ｌの光路に対して垂直な平面Ｖ上に、かつ、回折反射光Ｌの中心軸（主光線）から等距離に、また、互いに等間隔に配置されている。なお、ここではＧ光を発する発光ダイオード１１Ｇが中央となるように３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂを配置しているが、これらの配列順序は任意である。

ホログラム素子１２に向かう光の主光線とホログラム素子１２による回折反射光Ｌの成す角は、３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂについて等しい。したがって、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光は高い回折効率で回折反射され、回折効率にはほとんど差がない。このため、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光はいずれも効率よく液晶表示器１３の照明に利用され、提供するカラー映像の色合いを適正にするために、回折効率を考慮して発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの出力強度を調整する必要はない。

反射型のホログラム素子１２の作製に用いるホログラム露光装置７の構成を図３に模式的に示す。この装置７は、３つのレーザ光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ、３つのミラー７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、ビームスプリッタ７３、ビームエキスパンダ７４、２つのミラー７５ａ、７５ｂ、およびピンホール７６ａが設けられたピンホール板７６より成る。レーザ光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂはそれぞれ発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂが発する光の波長と略等しい波長のレーザ光を発する。ミラー７２ａは光源７１Ｒからのレーザ光を反射し、ミラー７２ｂは光源７１Ｇからのレーザ光を反射するとともにミラー７２ａからのレーザ光を透過させ、ミラー７２ｃは光源７１Ｂからのレーザ光を透過させるとともにミラー７２ｂからのレーザ光を反射する。

レーザ光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂからのレーザ光は、これらのミラー７２ａ、７２ｂ、７２ｃを経て同一方向に進む。なお、レーザ光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂの配列順序は任意であり、光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂからのレーザ光を同一方向に進行させ得る限り、ミラー７２ａ、７２ｂ、７２ｃの透過と反射も自由に設定してかまわない。

ビームスプリッタ７３はミラー７２ｃからのレーザ光を透過光と反射光に分岐させ、ビームエキスパンダ７４はビームスプリッタ７３を透過したレーザ光の光束径を拡げる。ミラー７５ａはビームスプリッタ７３によって反射されたレーザ光を反射し、ミラー７５ｂはミラー７５ａからのレーザ光をさらに反射して、ビームエキスパンダ７４を透過したレーザ光と交差させる。ピンホール板７６は、ピンホール７６ａを通過させることによりミラー７５ｂからのレーザ光を発散光束とする。

なお、ビームエキスパンダ７４は、レーザ光をある一定の径をもつ平行光に変換するものとしているが、ホログラム再生時に組み合わせる光学系との兼ね合いによっては、ある一定の径をもつ収束光または発散光に変換するものとしてもよい。また、ピンホール板７６に代えて、レンズ、またはピンホール板とレンズを組み合わせたものを使用することもできる。

ホログラム感剤を塗着した基板１２ａすなわちホログラム素子１２の原体は、ビームエキスパンダ７４からのレーザ光とピンホール７６ａからのレーザ光が交差する位置に配置されて、ホログラム露光される。このとき、基板１２ａは、自己を透過した後のビームエキスパンダ７４からのレーザ光と自己の法線の成す角が、図１、図２に示した使用時の回折反射光Ｌとホログラム素子１２の法線の成す角に等しくなるように配置する。

ピンホール板７６は固定であり、ピンホール７６ａからの光はビームエキスパンダ７４を透過した光に対して常に一定の角度を成す。ピンホール７６ａの位置は、使用時の中央の発光ダイオード１１Ｇの位置と同じである。一方、基板１２ａは、ビームエキスパンダ７４を透過した光の中心軸（主光線）を中心として回動可能に保持されている。ホログラム露光を行う様子を図４に示す。図４は、ビームエキスパンダ７４を透過した光の方向から見た正面図である。ホログラム露光は、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、ビームエキスパンダ７４からの光の主光線の周りに基板１２ａを回動させて３回行い、各回のホログラム露光では、３つのレーザ光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂのうち、基板１２ａの向きに対応する発光ダイオードと略等しい波長のレーザ光を発するものを発光させる。

ホログラム露光装置７は、基板１２ａを回動可能に保持する機構のみを備えればよく、ピンホール板７６やミラー７５ｂを可動に保持する機構は全く不要であり、きわめて簡素な構成となる。また、各回のホログラム露光においては、基板１２ａの回動角のみを厳密に設定すればよく、装置７の制御も容易である。

基板１２ａに塗着するホログラム感剤としては、光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂが発するレーザ光の波長全てに対して感度を有する単一のもの、または、光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂが発するレーザ光の波長のいずれか対して感度を有する２以上のものを組み合わせて用いることができる。いずれの場合も、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光を最も効率よく回折反射することができるように、光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂが発するレーザ光の波長に対して高い吸収率（感度）を有するホログラム感剤を使用する。

ホログラム感剤としては、銀塩、重クロムゼラチン等でもよいが、ドライプロセスで使用できるフォトポリマーが最も好ましい。また、塗着する代わりに、感剤をシート上にコートしたものを基板に貼り合わせてもよい。基板は露光に使用するレーザ光を透過させるものであれば何でもよく、また、露光時のノイズ光を低減するために、反射防止膜をコートしておくのが望ましい。

Ｒ光に感度を有する感剤と、Ｇ光およびＢ光に感度を有する感剤とを使用してホログラム素子１２を作製するときの、レーザ光の波長と各感剤の吸収率の関係を図５に示し、これにより得られるホログラム素子１２における波長と回折効率の関係を図６に示す。得られるホログラム素子１２は、例えば図７に示す２層構成となる。

ホログラム素子１２は、基板１２ａを回動させる上記の方法のほか、基板１２ａを平行移動させる方法によっても作製することができる。この方法でホログラム露光を行う様子を図８に示す。図８は、ビームエキスパンダ７４を透過した光の方向から見た正面図である。ホログラム露光は、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、ビームエキスパンダ７４からの光の主光線に対して垂直な方向（両端の発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｂを結ぶ方向）に、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの配列間隔に等しい距離だけ基板１２ａを移動させて３回行い、各回のホログラム露光では、３つのレーザ光源７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂのうち、基板１２ａの位置に対応する発光ダイオードと略等しい波長のレーザ光を発するものを発光させる。

基板１２ａのうち３回のホログラム露光を受けた部分（図８（ｃ）に斜線を付した部分）は、３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光を同一方向に回折反射する領域となり、この部分の回折反射光を液晶表示器１３の照明に用いる。この方法でも、ホログラム露光装置７は、基板１２ａを一方向に移動可能に保持する機構のみを備えればよく、ピンホール板７６やミラー７５ｂを可動に保持する機構は全く不要であり、きわめて簡素な構成となる。また、各回のホログラム露光においては、基板１２ａの移動距離のみを厳密に設定すればよく、装置７の制御も容易である。

なお、この方法で作製したホログラム素子１２を使用する場合、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂは、主光線が互いに平行になるように向きを設定する。各発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光の回折効率を最大にするためである。光の利用効率の面では、基板１２ａを回動させてホログラム露光を行う方法の方が優れているが、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの配設の容易さの面では、このように基板１２ａを平行移動させてホログラム露光を行う方法の方が優るといえる。

映像表示装置１においてはホログラム素子１２を平面としているが、曲面のホログラム素子を備える構成とすることも可能である。１例を図９の側面図に示す。これは、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ側を凹面としたホログラム素子１２'を備えたものである。発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光は発散光束であるため、平面のホログラム素子１２への入射角には光束の部位ごとに差が生じるが、このように凹面のホログラム素子１２'を用いると、入射角の差を小さくすることが可能になり、回折効率を一層高めることができる。なお、このような曲面のホログラム素子１２'は、ホログラム感剤を塗着した曲面の基板を用いて、図４または図８に示した方法で作製する。

第２の実施形態の映像表示装置２の光学構成を図１０の側面図に示す。この映像表示装置２は、第１の実施形態の映像表示装置１を修飾し、透過型の液晶表示器１３に代えて、反射型の液晶表示器１４を備えたものである。映像表示装置１では透過型の液晶表示器１３が２つの偏光板を内蔵する構成としていたが、映像表示装置２では、これらに相当する偏光板１６、１７を液晶表示器１４から分離して、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂとホログラム素子１２の間と、ホログラム素子１２と接眼光学系１５の間に配置している。

発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光は、偏光板１６によって直線偏光とされ、反射型のホログラム素子１２によって回折反射されて液晶表示器１４に導かれる。液晶表示器１４は、その液晶層に関してホログラム素子１２の反対側に反射板を有しており（不図示）、反射板による反射の前後２回にわたる液晶層の透過の間に、導かれた光を変調する。液晶表示器１４によって反射され変調された光はホログラム素子１２を透過し、偏光板１７によって映像光のみとされて、接眼光学系１５に入射する。

反射型のホログラム素子１２に対する発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの位置および向き、ならびに発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光に対するホログラム素子１２の回折反射の条件は、映像表示装置１と同様に設定されている。ただし、液晶表示器１４は、ホログラム素子１２による回折反射光に対して少し傾けて配置されており、したがって、液晶表示器１４は、ホログラム素子１２からの光を、入射方向に対してやや角度差のある方向に反射し、液晶表示器１４からの光は、ホログラム素子１２に回折反射光Ｌとは異なる方向から入射する。ホログラム素子１２に対する回折反射光Ｌの角度をθ１で、ホログラム素子１２に対する液晶表示器１４からの光の入射の角度をθ２で図１０に示す。θ１＞θ２である。

一般に、反射型のホログラム素子は高い入射角選択性を有しており、回折反射した方向に対してある程度角度差を有する方向から入射する光を、波長が同じであっても、回折反射することなくほとんど全て透過させることができる。映像表示装置２は、反射型のホログラム素子のこのような特性を利用したものであり、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光をホログラム素子１２により回折反射して液晶表示器１４に導きつつ、液晶表示器１４からの光がホログラム素子１２を透過するようにして、接眼光学系１５に導くようにしたものである。

映像表示装置２のホログラム素子１２における入射角と回折反射効率の関係を図１１に模式的に示す。ホログラム素子１２は、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光の入射角θ１が回折効率の最大付近になり、液晶表示器１４からの光の入射角θ２が略０の回折効率となるように、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂおよび液晶表示器１４に対する向きを設定されている。

反射型の液晶表示器は、変調対象の光が往復で２回液晶層を通るため、液晶層の厚さが透過型の液晶表示器の半分程度となり、高速で液晶層の状態を切り替えることができる。また、液晶層の状態切り替えの制御のための薄膜トランジスタを各画素の反射板側に配置することが可能であり、開口の周囲に制御用トランジスタを配置する必要のある透過型の液晶表示器のように、各画素の開口率が低下することもない。したがって、反射型の液晶表示器１４を用いる映像表示装置２では、表示する映像を速やかに切り替えることが可能であり、また、明るい映像を提供することができる。

第３の実施形態の映像表示装置３の光学構成を図１２の側面図に示す。この映像表示装置３は、第２の実施形態の映像表示装置２を修飾して、ホログラム素子１２と液晶表示器１４の間にプリズム１８を配置したものである。プリズム１８は、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂに近い部位ほど薄いくさび型であり、ホログラム素子１２による回折反射光Ｌと液晶表示器１４からの映像光に一層大きな角度差をもたらす。

一般に、液晶表示器では光の入射角が大きくなるほど透過光または反射光の量が低下し、表示映像のコントラストも低下するが、このようにプリズム１８によってホログラム素子１２の回折反射光と液晶表示器１４からの光の角度差を増すことにより、液晶表示器１４への光の入射角を小さくすることが可能になって、一層明るい映像を提供することができるようになる。

なお、第２、第３の実施形態の映像表示装置２、３では、３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光を異なる時間に液晶表示器１４に導くようにしているが、反射型のホログラム素子の入射角選択性を利用して、光源からの光を回折反射して映像表示素子に導き、映像表示素子からの光を回折反射することなく透過させるようにすることは、広い波長範囲（例えば白色光全体にわたる波長）の光を発する単一の光源を備えて、その波長範囲の光を映像表示素子（例えばカラーフィルタを画素ごとに設けた液晶表示器）によって同時に変調する映像表示装置にも適用可能である。

第４の実施形態の映像表示装置４の光学構成を図１３の側面図に示す。この映像表示装置４は、第２の実施形態の映像表示装置２を修飾して、２つの偏光板１６、１７に代えて偏光選択素子１９を備えたものである。偏光選択素子１９は、反射型のホログラム素子１２に近接して配置されており、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂおよび液晶表示器１４とホログラム素子１２との間に位置する。偏光選択素子１９は、偏光面が直交する２つの直線偏光の一方を透過させ他方を反射する特性を有する。このような偏光選択素子１９としては、例えばＤＢＥＦ（Dual Brightness Enhancement Film、３Ｍ社製）がある。

ホログラム素子１２は、３つの発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂに向けて配置されており、より具体的には、中央の発光ダイオード１１Ｇからの光の主光線が垂直に入射するように配置されている。接眼光学系１５は、映像表示装置２とは異なり、ホログラム素子１２に関して、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂおよび液晶表示器１４と同じ側に配置されている。また、液晶表示器１４は、ホログラム素子１２からの回折反射光Ｌに対して垂直に配置されている。

発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂからの光は偏光選択素子１９に入射して、これを透過する直線偏光と反射される直線偏光とに分離する。偏光選択素子１９によって反射された直線偏光は、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの方向に向かい、液晶表示器１４に入射することなく捨てられる。偏光選択素子１９を透過した直線偏光は、ホログラム素子１２によって回折反射され、全て偏光選択素子１９を透過して、液晶表示器１４に入射する。

液晶表示器１４に入射した光は反射され変調されて、偏光選択素子１９を透過する直線偏光と偏光選択素子１９により反射される直線偏光となる。液晶表示器１４からの光は、偏光選択素子１９に再度入射し、透過する直線偏光と反射される直線偏光に分離される。偏光選択素子１９によって反射された直線偏光は映像を表す光として接眼光学系１５に導かれ、偏光選択素子１９を透過した直線偏光は、ホログラム素子１２によって回折反射され、再び偏光選択素子１９を透過して、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂの方向に向かい、捨てられる。

映像表示装置４は、２つの偏光板１６、１７を備える映像表示装置２よりも簡素な構成となり、一層の小型化が可能である。

上記の各実施形態の映像表示装置１〜４は、接眼光学系１５を備えており、眼前で使用されるが、小型であるため、手持ち式と頭部装着式のいずれにも適する。映像表示装置１〜４を眼鏡型の頭部装着式とした第５の実施形態の映像表示装置５の外観を図１４に示す。眼鏡のレンズに相当する透明板５１の上縁に、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ、ホログラム素子１２等を収容した筐体５２が取り付けられており、透明板５１の中央部に接眼光学系１５が設けられている。また、筐体５２には、不図示のコントローラから映像信号、制御信号等を与えるためのケーブル５３が接続されている。

第１の実施形態の映像表示装置１のように、透過型の液晶表示器１３を用いる場合を例にとって、映像表示装置５の光学構成を図１５に模式的に示す。透明板５１の上端部は断面をくさび形とされており、筐体５２には、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ、ホログラム素子１２および液晶表示器１３が、液晶表示器１３からの映像光が透明板５１の端面に斜め入射するように配置されている。端面より透明板５１の内部に入った液晶表示器１３からの光は、透明板の２つの表面で全反射されながら下方に向かう。

透明板５１の中央部には、表面に対して傾斜するように、反射型のホログラム素子５４が埋設されており、ホログラム素子５４は、液晶表示器１３からの光を回折反射して透明板５１の表面より出射させ、使用者の眼Ｅに導く。ホログラム素子５４は、液晶表示器１３からの光が表す映像の拡大虚像を形成するように設定されており、接眼光学系１５として機能する。また、ホログラム素子５４は、反射型のホログラム素子の特長である波長選択性を利用して、映像光以外の波長の外部からの光を透過させるように設定されており、映像の拡大虚像を外界の像に重ねて提供する。

映像表示装置１〜４の接眼光学系１５に代えて投影光学系を備え、スクリーンに拡大実像を形成する投影型の映像表示装置とすることもできる。第６の実施形態である投影型の映像表示装置６の外観を図１６の側面図に示す。映像表示装置６は、折り畳み式のスクリーン６１と筐体６２より成る。筐体６２には、発光ダイオード１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ、ホログラム素子１２、液晶表示器１３または１４等、上記の各実施形態で説明した構成要素と、投影光学系が収容される。スクリーン６１としては、拡散板、反射型のホログラム素子等を用いることができる。

なお、上記の各実施形態の映像表示装置１〜６においては光源として発光ダイオードを用いているが、レーザダイオード等の他の発光素子を光源として用いることもできる。また、発光素子を反射型のホログラム素子の近傍に配置して発光素子からの光をホログラム素子に直接入射させることに代えて、発光素子とホログラム素子の間に光ファイバ、光導波路等の導光素子を配置し、発光素子からの光を導光素子を介してホログラム素子に導くようにしてもよい。

照明光を変調して映像を表す光とする映像表示素子としても、液晶表示器以外のものを使用することができる。例えば、方向可変の微小なミラー素片を２次元に多数配列し、映像信号に応じて各ミラー素片の向きを変えることにより、照明光の一部を映像を表す光として所定の方向に反射し、照明光の残りを映像を表さない光として他の方向に反射するようにしたミラー素子も、反射型の映像表示素子として採用可能である。

なお、上記した実施形態には以下の構成を含み、各構成の要素に対応する実施形態の符号を括弧内に示す。

複数のレーザ光源（７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ）と、前記複数のレーザ光源（７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ）からの光を同一の光路に導く光学系（７２ａ、７２ｂ、７２ｃ）と、前記同一の光路を透過光と反射光の２つの光路に分離する光学系（７３）と、分離された光路それぞれに配置され前記レーザ光源（７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ）からの光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）と、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させる光学系（７５ｂ）と、を有するホログラム露光装置において、ホログラム感剤を有する基板（１２ａ）を、前記交差させる光学系（７４、７５ａ、７５ｂ、７６、７６ａ）による交差させた位置に配置し、広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸を中心として回動可能に保持する構成である。

また、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系（７４）と、光束を発散光とする第２の光学系（７６、７６ａ）を有し、該記基板（１２ａ）を前記第１の光学系（７４）を通る光束の光軸に対して回動させる構成である。

また、複数のレーザ光源（７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ）と、前記複数のレーザ光源（７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ）からの光を同一の光路に導く光学系（７２ａ、７２ｂ、７２ｃ）と、同一の光路を透過光と反射光の２つの光路に分離する光学系（７３）と、分離された光路それぞれに配置され前記レーザ光源（７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ）からの光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）と、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させる光学系（７５ｂ）と、を有するホログラム露光装置において、ホログラム感剤を有する基板（１２ａ）を、前記交差させる光学系（７４、７５ａ、７５ｂ、７６、７６ａ）による交差させた位置に配置し、広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸に対して垂直な方向に平行移動可能に保持する構成である。

また、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系（７４）と、光束を発散光とする第２の光学系（７６、７６ａ）を有し、該記基板（１２ａ）を前記第１の光学系（７４）を通る光束の光軸に対して平行移動させる構成である。

また、第１のレーザ光（７１Ｒ）を２つの光路に分離する光学系（７３）へ入射させることにより透過光と反射光に分離させ、光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）により分離されたレーザ光（７１Ｒ）の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させた位置に配置したホログラム感剤を有する基板（１２ａ）に、広げられた２つの光束を露光する工程と、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）により広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸を中心として該基板（１２ａ）を回動させる工程と、第２のレーザ光（７１Ｇまたは７１Ｂ）を前記分離する光学系（７３）により透過光と反射光に分離させ、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）により分離されたレーザ光（７１Ｇまたは７１Ｂ）の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を該基板（１２ａ）に露光する工程と、を有する構成である。

また、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系（７４）と、光束を発散光とする第２の光学系（７６、７６ａ）よりなり、該基板を前記第１の光学系（７４）を通る光束の光軸に対して回動させる構成である。

また、第１のレーザ光（７１Ｒ）を２つの光路に分離する光学系（７３）へ入射させることにより透過光と反射光に分離させ、光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）により分離されたレーザ光（７１Ｒ）の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を所定の角度で交差させた位置に配置したホログラム感剤を有する基板（１２ａ）に、広げられた２つの光束を露光する工程と、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）により広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸に対して垂直な方向に該基板（１２ａ）を平行移動させる工程と、第２のレーザ光（７１Ｇまたは７１Ｂ）を前記分離する光学系（７３）により透過光と反射光に分離させ、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）により分離されたレーザ光（７１Ｇまたは７１Ｂ）の光束をそれぞれ広げ、広げられた２つの光束を該基板（１２ａ）に露光する工程と、を有するである。

また、前記光束を広げる光学系（７４、７６、７６ａ）は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系（７４）と、光束を発散光とする第２の光学系（７６、７６ａ）よりなり、該基板を前記第１の光学系（７４）を通る光束の光軸に対して平行移動させる構成である。

第１の実施形態の映像表示装置の光学構成を模式的に示す斜視図。 第１の実施形態の映像表示装置の光学構成を模式的に示す側面図。 各実施形態の映像表示装置に備える反射型ホログラム素子の作製に用いるホログラム露光装置の構成を模式的に示す側面図。 図３のホログラム露光装置によりホログラム露光を行う様子を模式的に示す正面図。 ２種のホログラム感剤を用いる場合の露光用レーザ光の波長とホログラム感剤の吸収率の関係の例を模式的に示す図。 図５の関係で作製したホログラム素子における波長と回折効率の関係を模式的に示す図。 ２種のホログラム感剤を用いて作製したホログラム素子の構成の例を模式的に示す側面図。 図３のホログラム露光装置により別の方法でホログラム露光を行う様子を模式的に示す正面図。 第１の実施形態の映像表示装置の変形例の光学構成を模式的に示す側面図。 第２の実施形態の映像表示装置の光学構成を模式的に示す側面図。 第２の実施形態の映像表示装置に備えるホログラム素子における入射角と回折反射効率の関係を模式的に示す図。 第３の実施形態の映像表示装置の光学構成を模式的に示す側面図。 第４の実施形態の映像表示装置の光学構成を模式的に示す側面図。 第５の実施形態の映像表示装置の外観を示す斜視図。 第５の実施形態の映像表示装置の光学構成を模式的に示す断面図。 第６の実施形態の映像表示装置の外観を示す模式的に示す側面図。 従来の映像表示装置の光学構成を模式的に示す側面図。 従来の映像表示装置に備える反射型ホログラム素子の作製に用いるホログラム露光装置の構成を模式的に示す側面図。 図１８のホログラム露光装置によりホログラム露光を行う様子を模式的に示す側面図。

符号の説明

１〜６ 映像表示装置
７ ホログラム露光装置
１１Ｒ、１１Ｇ、１１Ｂ 発光ダイオード
１２、１２' 反射型ホログラム素子
１２ａ 基板
１３ 透過型液晶表示器
１４ 反射型液晶表示器
１５ 接眼光学系
１６、１７ 偏光板
１８ プリズム
１９ 偏光選択素子
５１ 透明板
５２ 筐体
５３ ケーブル
５４ 反射型ホログラム素子
６１ スクリーン
６２ 筐体
７１Ｒ、７１Ｇ、７１Ｂ レーザ光源
７２ａ ミラー
７２ｂ、７２ｃ ハーフミラー
７３ ビームスプリッタ
７４ ビームエキスパンダ
７５ａ、７５ｂ ミラー
７６ ピンホール板
７６ａ ピンホール

Claims (12)

1. 複数のレーザ光源と、
   前記複数のレーザ光源からの光を同一の光路に導く光学系と、
   同一の光路を透過光と反射光の２つの光路に分離する光学系と、
   分離された光路それぞれに配置され前記レーザ光源からの光束を広げる光学系と、
   広げられた２つの光束を所定の角度で交差させる光学系と、を有するホログラム露光装置において、
   ホログラム感剤を有する基板を、前記交差させる光学系による交差させた位置に配置し、広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸を中心として回動可能に保持することを特徴とするホログラム露光装置。
2. 前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系を有し、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して回動させることを特徴とする請求項１に記載のホログラム露光装置。
3. 複数のレーザ光源と、
   前記複数のレーザ光源からの光を同一の光路に導く光学系と、
   同一の光路を透過光と反射光の２つの光路に分離する光学系と、
   分離された光路それぞれに配置され前記レーザ光源からの光束を広げる光学系と、
   広げられた２つの光束を所定の角度で交差させる光学系と、を有するホログラム露光装置において、
   ホログラム感剤を有する基板を、前記交差させる光学系による交差させた位置に配置し、広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸に対して垂直な方向に平行移動可能に保持することを特徴とするホログラム露光装置。
4. 前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系を有し、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して平行移動させることを特徴とする請求項３に記載のホログラム露光装置。
5. 前記同一の光路に導く光学系がミラーとハーフミラーを有し、前記分離する光学系がビームスプリッタを有し、前記光束を広げる光学系がピンホールを設けたピンホール板とビームエキスパンダを有し、前記交差させる光学系がビームスプリッタによって反射されたレーザ光を反射させるミラーを有することを特徴とする請求項１または請求項３に記載のホログラム露光装置。
6. 前記第１の光学系が前記ビームエキスパンダを有し、前記第２の光学系が前記ピンホール板を有することを特徴とする請求項２または請求項４に記載のホログラム露光装置。
7. 第１のレーザ光を２つの光路に分離する光学系へ入射させることにより透過光と反射光に分離させ、
   光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、
   広げられた２つの光束を所定の角度で交差させた位置に配置したホログラム感剤を有する基板に、広げられた２つの光束を露光する工程と、
   前記光束を広げる光学系により広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸を中心として該基板を回動させる工程と、
   第２のレーザ光を前記分離する光学系により透過光と反射光に分離させ、前記光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、
   広げられた２つの光束を該基板に露光する工程と、を有するホログラム露光方法。
8. 前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系よりなり、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して回動させることを特徴とする請求項７に記載のホログラム露光方法。
9. 第１のレーザ光を２つの光路に分離する光学系へ入射させることにより透過光と反射光に分離させ、
   光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、
   広げられた２つの光束を所定の角度で交差させた位置に配置したホログラム感剤を有する基板に、広げられた２つの光束を露光する工程と、
   前記光束を広げる光学系により広げられた２つの光束のうちのいずれか一方の光束の光軸に対して垂直な方向に該基板を平行移動させる工程と、
   第２のレーザ光を前記分離する光学系により透過光と反射光に分離させ、前記光束を広げる光学系により分離されたレーザ光の光束をそれぞれ広げ、
   広げられた２つの光束を該基板に露光する工程と、を有するホログラム露光方法。
10. 前記光束を広げる光学系は、光束を所定の径を有する平行光に変換する第１の光学系と、光束を発散光とする第２の光学系よりなり、該基板を前記第１の光学系を通る光束の光軸に対して平行移動させることを特徴とする請求項９に記載のホログラム露光方法。
11. 前記分離する光学系がビームスプリッタを有し、前記光束を広げる光学系がピンホールを設けたピンホール板とビームエキスパンダを有し、前記交差させる光学系がビームスプリッタによって反射されたレーザ光を反射させるミラーを有することを特徴とする請求項７または請求項９に記載のホログラム露光装置。
12. 前記第１の光学系が前記ビームエキスパンダを有し、前記第２の光学系が前記ピンホール板を有することを特徴とする請求項８または請求項１０に記載のホログラム露光装置。

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