JP2007078459A - 多回転式絶対値エンコーダおよび回転機械 - Google Patents
多回転式絶対値エンコーダおよび回転機械 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 広範囲に多回転の絶対角度を検出でき、或いは小型化でき、信頼性も高めて実用性の高い多回転式絶対値エンコーダを提供する。
【解決手段】
入力軸1の絶対角度を検出する絶対値エンコーダ(2、3)と、入力軸1と減速機(6、6A、6C)で連結された減速軸(1A、1C)の絶対角度を検出する多回転絶対値エンコーダとを備えた多回転式絶対値エンコーダにおいて、減速機((6、6A)、(6、6C))と減速軸(1A、1C)と多回転絶対値エンコーダ((2A、3A)、(2C、3C))が複数個設けられ、少なくとも2つの減速機の減速比を異なるようにする。
【選択図】図1
【解決手段】
入力軸1の絶対角度を検出する絶対値エンコーダ(2、3)と、入力軸1と減速機(6、6A、6C)で連結された減速軸(1A、1C)の絶対角度を検出する多回転絶対値エンコーダとを備えた多回転式絶対値エンコーダにおいて、減速機((6、6A)、(6、6C))と減速軸(1A、1C)と多回転絶対値エンコーダ((2A、3A)、(2C、3C))が複数個設けられ、少なくとも2つの減速機の減速比を異なるようにする。
【選択図】図1
Description
本発明は、モータや回転機械の回転を制御するときに使われて多回転の絶対角度を検出する多回転式絶対値エンコーダに関する。
多回転に亘って回転位置の制御を必要とするような様々な機械があるため、絶対角度を検出することができる各種の多回転式絶対値エンコーダが開発されている。
そのような多回転式絶対値エンコーダのひとつの例として、検出しようとする回転軸の回転を2段の平歯車で減速し、回転軸と減速された減速軸の絶対角度をそれぞれエンコーダで検出するというものが開発されている(例えば特許文献1を参照)。この例によると、2つのエンコーダの信号を用いて演算しており、回転軸の多回転にわたる絶対角度を検出することができるようになっている。また他の例として、検出しようとする回転軸の回転を磁気ウォームで減速し、減速された減速軸の絶対角度を絶対値エンコーダで検出するというものも開発されている(例えば特許文献2を参照)。この例の場合、全く同じ磁気ウォームと絶対値エンコーダを2組設けることも開示されており、その場合は1つ目の絶対値エンコーダが故障しても2つ目の絶対値エンコーダを使うことができて、検出器としての信頼性向上が図られている。
特開平10−019599号公報(5頁、図1)
特開平10−185623号公報(4頁、図1)
そのような多回転式絶対値エンコーダのひとつの例として、検出しようとする回転軸の回転を2段の平歯車で減速し、回転軸と減速された減速軸の絶対角度をそれぞれエンコーダで検出するというものが開発されている(例えば特許文献1を参照)。この例によると、2つのエンコーダの信号を用いて演算しており、回転軸の多回転にわたる絶対角度を検出することができるようになっている。また他の例として、検出しようとする回転軸の回転を磁気ウォームで減速し、減速された減速軸の絶対角度を絶対値エンコーダで検出するというものも開発されている(例えば特許文献2を参照)。この例の場合、全く同じ磁気ウォームと絶対値エンコーダを2組設けることも開示されており、その場合は1つ目の絶対値エンコーダが故障しても2つ目の絶対値エンコーダを使うことができて、検出器としての信頼性向上が図られている。
ところが最初の例では平歯車を用いているため、減速比を大きくするときは減速軸の歯車の直径を大きくして歯数を増やすとか多段にすればよいが、何れによっても多回転式絶対値エンコーダが大きくなるので実用性を高められないという問題があった。
2つ目の例では磁気ウォームを用いているため、回転軸から減速軸までのトルクの伝達力が弱く、信頼性に問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、同じ大きさでありながら従来よりも広範囲に多回転の絶対角度を検出することができるようにし、あるいは同じ範囲の多回転の絶対角度を検出させる場合は小型化することができるようにし、信頼性も高めて多回転絶対値エンコーダの実用性を高めることを目的とする。
2つ目の例では磁気ウォームを用いているため、回転軸から減速軸までのトルクの伝達力が弱く、信頼性に問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、同じ大きさでありながら従来よりも広範囲に多回転の絶対角度を検出することができるようにし、あるいは同じ範囲の多回転の絶対角度を検出させる場合は小型化することができるようにし、信頼性も高めて多回転絶対値エンコーダの実用性を高めることを目的とする。
そこで本発明は、入力軸の絶対角度を検出する絶対値エンコーダと、その入力軸と減速機で連結された減速軸の絶対角度を検出する多回転絶対値エンコーダと、を備えた多回転式絶対値エンコーダにおいて、減速機と減速軸と多回転絶対値エンコーダを複数個設け、少なくとも2つの減速機の減速比が異なるようにしたのである。
また第2の発明は減速機を平歯車とし、第3の発明は減速機をウォームギアとしたのである。
また第2の発明は減速機を平歯車とし、第3の発明は減速機をウォームギアとしたのである。
第1の発明によると、入力軸の絶対角度を絶対値エンコーダが検出し、これとは別に設けた複数の多回転絶対値エンコーダを使い異なる減速比で減速された減速軸の絶対角度を検出するので、小型にして広範囲で多回転の絶対角度を検出することができ、実用性が高められるという効果がある。
また第2の発明によると、減速機が平歯車であるため、作りやすく実用性が高められるという効果がある。
また第3の発明によると、減速機がウォームギアであるため、極めて広範囲で多回転の絶対角度を検出することができ、実用性が飛躍的に高められて信頼性も向上するという効果がある。
また第2の発明によると、減速機が平歯車であるため、作りやすく実用性が高められるという効果がある。
また第3の発明によると、減速機がウォームギアであるため、極めて広範囲で多回転の絶対角度を検出することができ、実用性が飛躍的に高められて信頼性も向上するという効果がある。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1は本発明の多回転式絶対値エンコーダの構成を説明する側断面図であり、図2はその要部を説明する正断面図である。
図1において、100はケース、101はハウジングであり、これらが作る内部の空間とハウジング101の中央に設けられた軸受5によって入力軸1が回転可能に支持されている。ケース100は円柱状をしており、図1の右側にある底面に対して垂直になるよう入力軸1が設けられている。入力軸1の右側端部には磁石2が設けられており、空隙を介して検出素子3が配置されている。ケース100の底面には基板9が取付けられており、この基板9に検出素子3が取付けられている。入力軸1が回転すると磁石2が作る磁界も一緒に回転するので、検出素子3がその磁気変化を感知して入力軸1の絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、磁石2と検出素子3とで磁気エンコーダを構成しており、入力軸1の1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
1A、1Cは減速軸であり、ケース100の内部とハウジング101に設けられた軸受5A、5Cによって回転可能に支持され、入力軸1と平行になるとともに、入力軸1を中心にして互いに反対側に配置されている。
図1において、100はケース、101はハウジングであり、これらが作る内部の空間とハウジング101の中央に設けられた軸受5によって入力軸1が回転可能に支持されている。ケース100は円柱状をしており、図1の右側にある底面に対して垂直になるよう入力軸1が設けられている。入力軸1の右側端部には磁石2が設けられており、空隙を介して検出素子3が配置されている。ケース100の底面には基板9が取付けられており、この基板9に検出素子3が取付けられている。入力軸1が回転すると磁石2が作る磁界も一緒に回転するので、検出素子3がその磁気変化を感知して入力軸1の絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、磁石2と検出素子3とで磁気エンコーダを構成しており、入力軸1の1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
1A、1Cは減速軸であり、ケース100の内部とハウジング101に設けられた軸受5A、5Cによって回転可能に支持され、入力軸1と平行になるとともに、入力軸1を中心にして互いに反対側に配置されている。
減速軸1A、1Cはいずれも入力軸1と同じように、右側端部に磁石2A、2Cが設けられており、空隙を介して検出素子3A、3Cが配置されている。検出素子3A、3Cは基板9に取付けられている。
減速軸1Aが回転すると磁石2Aが作る磁界も一緒に回転するので、検出素子3Aがその磁気変化を感知して減速軸1Aの絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、磁石2Aと検出素子3Aとで多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸1Aの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。同様に、減速軸1Cが回転すると磁石2Cが作る磁界も一緒に回転するので、検出素子3Cがその磁気変化を感知して減速軸1Cの絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、磁石2Cと検出素子3Cとで第2の多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸1Cの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
減速軸1Aが回転すると磁石2Aが作る磁界も一緒に回転するので、検出素子3Aがその磁気変化を感知して減速軸1Aの絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、磁石2Aと検出素子3Aとで多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸1Aの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。同様に、減速軸1Cが回転すると磁石2Cが作る磁界も一緒に回転するので、検出素子3Cがその磁気変化を感知して減速軸1Cの絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、磁石2Cと検出素子3Cとで第2の多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸1Cの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
2つの軸受5の間のところの入力軸1には平歯車6が設けられ、2つの軸受5Aの間のところの減速軸1Aには平歯車6Aが設けられ、2つの軸受5Cの間のところの減速軸1Cには平歯車6Cが設けられている。歯数Zの平歯車6と歯数Mの平歯車6Aは係合しており、入力軸1の回転を減速比Z/M(ただしM>Z)で減速して減速軸1Aに伝える減速機を構成している。また平歯車6と歯数Nの平歯車6Cも係合しており、入力軸1の回転を減速比Z/N(ただしN>M>Z)で減速して減速軸1Cに伝える減速機を構成している。2つの減速機は減速比がZ/M及びZ/Nとなっていて異なっているので、平歯車6Aと平歯車6Cは歯数が異なっており、従って図2に示すように、平歯車6A、6Cの直径が異なっている。
図1、図2を用いて説明した本発明の多回転式絶対値エンコーダが従来のものと異なるのは、減速機と多回転絶対値エンコーダを2組備えるとともに、減速機の減速比を異なるようにし、2つの減速軸と入力軸の絶対角度を検出して多回転式絶対値エンコーダを構成した点である。
図1、図2を用いて説明した本発明の多回転式絶対値エンコーダが従来のものと異なるのは、減速機と多回転絶対値エンコーダを2組備えるとともに、減速機の減速比を異なるようにし、2つの減速軸と入力軸の絶対角度を検出して多回転式絶対値エンコーダを構成した点である。
この多回転式絶対値エンコーダの入力軸1を回転させると、検出素子3が入力軸1の1回転以内の絶対角度を検出し、検出素子3Aが減速された減速軸1Aの1回転以内の絶対角度を検出し、検出素子3Cが減速された減速軸1Cの1回転以内の絶対角度を検出する。減速軸1A、1Cはそれぞれ減速比Z/M、Z/Nで減速されているので、入力軸1がM回転すると減速軸1AがZ回転し、入力軸1がN回転すると減速軸1CがZ回転する。3つの軸がそれぞれの原点とする回転位置にあるときから入力軸1の回転を始め、再度3つの軸が原点とする回転位置に揃うのは入力軸1がY(ただし、YはMとNの最小公倍数)回転したときである。このため入力軸1がY回転するまでの間の絶対回転数を検出することができる。3つの検出素子の信号を用いてその絶対回転数を求めるやり方については説明を省略する。
次に別の構成をした本発明の多回転式絶対値エンコーダについて、図3、図4を用いて説明する。図1、図2の多回転式絶対値エンコーダと異なるのは、減速機をウォームギアにした点と、減速軸を4軸にした点である。
図3において、110はケース、111はハウジングであり、これらが作る内部の空間とハウジング111の中央に設けられた軸受15によって入力軸11が回転可能に支持されている。ケース110は円柱状をしており、図3の右側にある底面に対して垂直になるよう入力軸11が設けられている。入力軸11の右側端部には磁石12が設けられており、空隙を介して検出素子13が配置されている。ケース110の底面には基板19が取付けられており、この基板19に検出素子13が取付けられている。入力軸11が回転すると磁石12が作る磁界も一緒に回転するので、検出素子13がその磁気変化を感知して入力軸11の絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、入力軸11と磁石12と検出素子13とで磁気エンコーダを構成しており、入力軸11の1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
図3において、110はケース、111はハウジングであり、これらが作る内部の空間とハウジング111の中央に設けられた軸受15によって入力軸11が回転可能に支持されている。ケース110は円柱状をしており、図3の右側にある底面に対して垂直になるよう入力軸11が設けられている。入力軸11の右側端部には磁石12が設けられており、空隙を介して検出素子13が配置されている。ケース110の底面には基板19が取付けられており、この基板19に検出素子13が取付けられている。入力軸11が回転すると磁石12が作る磁界も一緒に回転するので、検出素子13がその磁気変化を感知して入力軸11の絶対角度を検出し、その信号を出力する。このように、入力軸11と磁石12と検出素子13とで磁気エンコーダを構成しており、入力軸11の1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
図3、図4において、11a、11b、11c、11dは減速軸であり、ケース110の内部に設けられた軸受15a、15b、15c、15dによって回転可能に支持され、基板19の面に平行になっていて入力軸11の周囲に配置されている。
減速軸11a、11b、11c、11dはいずれも入力軸11と同じように、軸端部に磁石12a、12b、12c、12dが設けられており、空隙を介して検出素子13a、13b、13c、13dが固定側に配置されている。
減速軸11a、11b、11c、11dが回転すると磁石12a、12b、12c、12dが作る磁界も一緒に回転するので、検出素子13a、13b、13c、13dがその磁気変化を感知して減速軸11a、11b、11c、11dの回転角に応じた信号を出力する。このように、磁石12aと検出素子13aとで多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸11aの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。同様に、磁石12bと検出素子13bとで多回転絶対値エンコーダを構成し、磁石12cと検出素子13cとで多回転絶対値エンコーダを構成し、磁石12dと検出素子13dとで多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸11b、11c、11dの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
減速軸11a、11b、11c、11dはいずれも入力軸11と同じように、軸端部に磁石12a、12b、12c、12dが設けられており、空隙を介して検出素子13a、13b、13c、13dが固定側に配置されている。
減速軸11a、11b、11c、11dが回転すると磁石12a、12b、12c、12dが作る磁界も一緒に回転するので、検出素子13a、13b、13c、13dがその磁気変化を感知して減速軸11a、11b、11c、11dの回転角に応じた信号を出力する。このように、磁石12aと検出素子13aとで多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸11aの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。同様に、磁石12bと検出素子13bとで多回転絶対値エンコーダを構成し、磁石12cと検出素子13cとで多回転絶対値エンコーダを構成し、磁石12dと検出素子13dとで多回転絶対値エンコーダを構成しており、減速軸11b、11c、11dの1回転内の絶対角度を検出することができるようになっている。
2つの軸受15の間のところの入力軸11には条数Xのウォーム17が設けられ、減速軸11a、11b、11c、11dにはそれぞれ歯数P、Q、R、Sのウォームホイール18a、18b、18c、18dが設けられている。ウォーム17とウォームホイール18a、18b、18c、18dはそれぞれ係合しており、入力軸11の回転を減速比X/P、X/Q、X/R、X/S(ただしP>Q>R>S>1)で減速して減速軸11a、11b、11c、11dに伝える減速機すなわちウォームギアを構成している。4つの減速機は減速比が異なっているので、ウォームホイール18a、18b、18c、18dは歯数が異なっている。
減速軸11a、11b、11c、11dはそれぞれ減速比X/P、X/Q、X/R、X/Sで減速されているので、入力軸11がP回転すると減速軸11aがX回転し、入力軸11がQ回転すると減速軸11bがX回転し、入力軸11がR回転すると減速軸11cがX回転し、入力軸11がS回転すると減速軸11dがX回転する。5つの軸がそれぞれの原点とする回転位置にあるときから入力軸11の回転を始め、再度5つの軸が原点とする回転位置に戻るのは入力軸11がT(ただし、TはP/XとQ/XとR/XとS/Xの最小公倍数)回転したときである。このため入力軸11がT回転するまでの間の絶対回転数を検出することができる。特に、条数Xが1でPとQとRとSの最大公約数が1の場合は、P×Q×R×S回転するまでの間の絶対回転数を検出することができる。5つの検出素子の信号を用いてその絶対回転数を求めるやり方については説明を省略する。
減速軸11a、11b、11c、11dはそれぞれ減速比X/P、X/Q、X/R、X/Sで減速されているので、入力軸11がP回転すると減速軸11aがX回転し、入力軸11がQ回転すると減速軸11bがX回転し、入力軸11がR回転すると減速軸11cがX回転し、入力軸11がS回転すると減速軸11dがX回転する。5つの軸がそれぞれの原点とする回転位置にあるときから入力軸11の回転を始め、再度5つの軸が原点とする回転位置に戻るのは入力軸11がT(ただし、TはP/XとQ/XとR/XとS/Xの最小公倍数)回転したときである。このため入力軸11がT回転するまでの間の絶対回転数を検出することができる。特に、条数Xが1でPとQとRとSの最大公約数が1の場合は、P×Q×R×S回転するまでの間の絶対回転数を検出することができる。5つの検出素子の信号を用いてその絶対回転数を求めるやり方については説明を省略する。
次に図3、図4で説明した実施例の変形例について図5を用いて説明する。図5が図3と異なるのは、入力軸21が中空穴12をもった中空軸になっているという点である。その他の構成は図3、図4とほぼ同じであるので説明を省略する。この実施例の場合、検出対象の機械やモータ、アクチュエータの軸が中空になっていて中実の軸をもつ検出器では検出できないような制約のある場合であっても適用することができる。また、ウォームの直径が大きくなってもウォームギアの製作が困難になることはなく、中空部の内径が大きくなるような用途にも容易に適用することができる。
以上で3とおりの実施例について説明したが、本発明の趣旨に従えば、図で示した構成に限定されるわけではなく、以下のような形態をとることができる。
入力軸は絶対回転数と絶対角度を検出したい機械やモータ等の軸にカップリング等を使って連結してもよいが、機械やモータ等の軸と一体になっていてもよい。
基板には検出素子が取付けられているのみならず、その信号処理をする回路など、他の要素を搭載されていてもよく、他の用途のものを利用しても構わない。
絶対値エンコーダと多回転絶対値エンコーダに磁石と検出素子を用いたもので説明したが、光透過式や光反射式の角度検出器を用いた構成にしてもよく、レゾルバを用いた構成してもよく、同じ効果が得られることは言うまでもない。
図1、図2では減速軸が2つの場合を説明し、図3、図4では減速軸が4つの場合を説明したが、減速軸は2以上で且つケースに格納できる範囲の数にすることができる。そして少なくとも2つの減速軸の減速比が異なっていればよい。
ケースの形状は円筒でなくともよく、図で説明した要素が収められるのであれば形を問わない。モータや機械の一部の空間に配置できれば専用のケースを必ずしも必要としない。
入力軸は絶対回転数と絶対角度を検出したい機械やモータ等の軸にカップリング等を使って連結してもよいが、機械やモータ等の軸と一体になっていてもよい。
基板には検出素子が取付けられているのみならず、その信号処理をする回路など、他の要素を搭載されていてもよく、他の用途のものを利用しても構わない。
絶対値エンコーダと多回転絶対値エンコーダに磁石と検出素子を用いたもので説明したが、光透過式や光反射式の角度検出器を用いた構成にしてもよく、レゾルバを用いた構成してもよく、同じ効果が得られることは言うまでもない。
図1、図2では減速軸が2つの場合を説明し、図3、図4では減速軸が4つの場合を説明したが、減速軸は2以上で且つケースに格納できる範囲の数にすることができる。そして少なくとも2つの減速軸の減速比が異なっていればよい。
ケースの形状は円筒でなくともよく、図で説明した要素が収められるのであれば形を問わない。モータや機械の一部の空間に配置できれば専用のケースを必ずしも必要としない。
本発明の多回転式絶対値エンコーダは例えばロボット用アクチュエータに使用することができ、その場合はロボットを小形軽量にでき、また動作範囲を大きくとることができ、バッテリの消耗によるメンテナンスが不要となって信頼性の高いロボットを実現することができる。
1、11、21 入力軸
1A、1C、11a、11b、11c、11d 減速軸
2、2A、2C、12、12a、12b、12c、12d、22、22a 磁石
3、3A、3C、13、13a、13b、13c、13d、23、23a 検出用素子
5、5A、5C、15、15a、15b、15c、15d、25 軸受
6、6A、6C 平歯車
17 ウォーム
18a、18b、18c、18d、28a、28c ウォームホイール
9、19、29 基板
100、110、120 ケース
101、111、121 ハウジング
12 中空穴
1A、1C、11a、11b、11c、11d 減速軸
2、2A、2C、12、12a、12b、12c、12d、22、22a 磁石
3、3A、3C、13、13a、13b、13c、13d、23、23a 検出用素子
5、5A、5C、15、15a、15b、15c、15d、25 軸受
6、6A、6C 平歯車
17 ウォーム
18a、18b、18c、18d、28a、28c ウォームホイール
9、19、29 基板
100、110、120 ケース
101、111、121 ハウジング
12 中空穴
Claims (14)
- 入力軸の絶対角度を検出する絶対値エンコーダと、前記入力軸と減速機で連結された減速軸の絶対角度を検出する多回転絶対値エンコーダと、を備えた多回転式絶対値エンコーダにおいて、
前記減速機と前記減速軸と前記多回転絶対値エンコーダが複数個設けられ、少なくとも2つの前記減速機の減速比が異なることを特徴とする多回転式絶対値エンコーダ。 - 入力軸の絶対角度を検出する絶対値エンコーダと、前記入力軸と減速機で連結された減速軸の絶対角度を検出する多回転絶対値エンコーダと、を備えた多回転式絶対値エンコーダにおいて、
前記減速機と前記減速軸と前記多回転絶対値エンコーダが複数個設けられ、前記減速機に平歯車が用いられ、少なくとも2つの前記減速機の減速比が異なることを特徴とする多回転式絶対値エンコーダ。 - 前記絶対値エンコーダと前記多回転絶対値エンコーダはそれぞれ、前記入力軸に設けられた検出用の磁石と、その磁石と空隙を介して固定側に設けられた検出素子を備えていることを特徴とする請求項1または2の何れかに記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 前記検出素子が全て同じ基板に搭載されていることを特徴とする請求項3に記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 前記入力軸が前記基板に対して垂直になるように前記基板が固定側に固定されたことを特徴とする請求項4に記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 入力軸の絶対角度を検出する絶対値エンコーダと、前記入力軸と減速機で連結された減速軸の絶対角度を検出する多回転絶対値エンコーダと、を備えた多回転式絶対値エンコーダにおいて、
前記減速機と前記減速軸と前記多回転絶対値エンコーダが複数個設けられ、前記減速機にウォームギアが用いられ、少なくとも2つの前記減速機の減速比が異なることを特徴とする多回転式絶対値エンコーダ。 - 前記絶対値エンコーダと前記多回転絶対値エンコーダはそれぞれ、前記入力軸に設けられた検出用の磁石と、その磁石と空隙を介して固定側に設けられた検出素子を備えていることを特徴とする請求項6に記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 前記絶対値エンコーダの検出素子は基板に搭載されるとともに、前記入力軸が前記基板に対して垂直になるように前記基板が固定側に固定されたことを特徴とする請求項7に記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 前記入力軸が中空軸であることを特徴とする請求項6に記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 前記ウオームギアがプラスチックで作られたことを特徴とする請求項6に記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 請求項1、2、6の何れかに記載の多回転式絶対値エンコーダが組み込まれたことを特徴とする回転機械。
- 絶対値エンコーダと多回転絶対値エンコーダに光透過式の角度検出器を用いたことを特徴とする請求項1、2、6の何れかに記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 絶対値エンコーダと多回転絶対値エンコーダに光反射式の角度検出器を用いたことを特徴とする請求項1、2、6の何れかに記載の多回転式絶対値エンコーダ。
- 絶対値エンコーダと多回転絶対値エンコーダにレゾルバを用いたことを特徴とする請求項1、2、6の何れかに記載の多回転式絶対値エンコーダ。
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