JP2007070236A - ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルおよびその製造方法ならびにそれを用いた炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を化学気相成長法により形成するための原料として、供給しやすく、高い蒸気圧を有する化合物を提供し、さらに、その製造方法およびそれを用いた炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 TaCl5とNa(EtCp)とNaBH4とをTHF中で反応させ、未反応原料を水で失活させた後、溶媒留去し、真空蒸留することにより、蒸気圧が0.1Torr/95℃、融点が38℃である新規化合物ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタル(Ta(EtCp)2H3)が得られ、この化合物を原料として、化学気相成長法により、炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 TaCl5とNa(EtCp)とNaBH4とをTHF中で反応させ、未反応原料を水で失活させた後、溶媒留去し、真空蒸留することにより、蒸気圧が0.1Torr/95℃、融点が38℃である新規化合物ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタル(Ta(EtCp)2H3)が得られ、この化合物を原料として、化学気相成長法により、炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、化学気相成長法により炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成するための原料化合物およびその製造方法ならびに前記膜の形成方法に関する。
炭化タンタル(TaC)膜、炭窒化タンタル(TaCxN1-x)膜は、低抵抗の拡散バリヤや、仕事関数が好ましいことから、ゲート電極材料として好適であり、研究開発が進められている。
前記薄膜を量産する製法としては、低圧下での化学気相成長法(以下、CVDと表す。この中には、原子層堆積法(以下、ALDと表す。)を含む。)が期待されているが、従来は、それに適する材料がほとんどなかったこともあり、適当な製法はまだ見出されていない。
前記薄膜を量産する製法としては、低圧下での化学気相成長法(以下、CVDと表す。この中には、原子層堆積法(以下、ALDと表す。)を含む。)が期待されているが、従来は、それに適する材料がほとんどなかったこともあり、適当な製法はまだ見出されていない。
非特許文献1には、五塩化タンタルとメチルクロライドと水素を原料として、CVDにより炭化タンタル膜を作製することができることが記載されている。
また、特許文献1には、金属ハライドの金属源とアルキルボロン等の炭素源を用いて、ALDで炭化遷移金属膜を形成することが開示されている。
William S. Rees, Jr. , "CVD of Nonmetals", VCH, 1996, p.385 米国特許第6482262号明細書
また、特許文献1には、金属ハライドの金属源とアルキルボロン等の炭素源を用いて、ALDで炭化遷移金属膜を形成することが開示されている。
William S. Rees, Jr. , "CVD of Nonmetals", VCH, 1996, p.385
しかしながら、上記非特許文献1記載の方法において用いられている五塩化タンタルは、昇華により供給され、また、塩素の混入可能性等の問題があることから、半導体装置用としては使い難い。
また、上記特許文献1には、WF6とB(C2H5)3とを用いて、350℃でのALDによりWC膜を形成したことが記載されているが、TaC膜については何ら記載されていない。
また、上記特許文献1には、WF6とB(C2H5)3とを用いて、350℃でのALDによりWC膜を形成したことが記載されているが、TaC膜については何ら記載されていない。
さらに、Ta−Cのシグマ結合を有するTa有機化合物は、一般に熱安定性が低く、100℃付近で熱分解してしまうため、CVDのための適当な材料とはなり得ないものであった。
これに対して、Taのシクロペンタジエニル系化合物は、100℃付近でも熱安定性があり、CVD、ALD材料としての使用可能性が考えられる。
表1に、公知の比較的簡単なTaのシクロペンタジエニル系化合物の例を示す。
表1に、公知の比較的簡単なTaのシクロペンタジエニル系化合物の例を示す。
表1に示した公知のTaのシクロペンタジエニル系化合物は、いずれも、室温付近では液体でない。
しかしながら、半導体装置の量産のためには、タンタル化合物が、CVDやALDの供給温度において液体であることが、制御上好ましい。また、タンタル化合物の製造、精製の観点からも、それが液体であることが好ましい。
しかしながら、半導体装置の量産のためには、タンタル化合物が、CVDやALDの供給温度において液体であることが、制御上好ましい。また、タンタル化合物の製造、精製の観点からも、それが液体であることが好ましい。
一般に、CVDやALD装置に原料化合物を気化して供給するためには、0.1Torr程度の蒸気圧を示す温度に加熱する必要がある。その温度が100℃程度以下であり、その温度で熱安定性があり、かつ、原料化合物が、室温付近または気化温度付近で液体であることが好ましいが、これらの条件を満たすようなシクロペンタジエニル系化合物は、これまで知られていなかった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、100℃付近の蒸気圧が0.1Torr以上と高く、融点が50℃以下であり、炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を化学気相成長法により形成するための原料として、供給しやすく、高い蒸気圧を有する新規なタンタル化合物を提供することを目的とする。
また、安全性、生産性が高い、前記タンタル化合物の製造方法を提供することも目的とする。
さらに、本発明の他の目的は、前記タンタル化合物を用いて、CVDやALDにより、炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成する方法を提供することである。
また、安全性、生産性が高い、前記タンタル化合物の製造方法を提供することも目的とする。
さらに、本発明の他の目的は、前記タンタル化合物を用いて、CVDやALDにより、炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を形成する方法を提供することである。
本発明によれば、新規化合物であるビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルが提供される。
また、本発明によれば、エチルシクロペンタジエニルナトリウムと、五塩化タンタルとナトリウムボロハイドライドまたはナトリウム水素化ビス(2−メトキシエトキシ)アルミニウムとを、テトラヒドロフランを含む有機溶媒中で反応させ、次いで、水で未反応原料を失活させた後、溶媒を減圧留去し、次いで、真空下で蒸留することを特徴とするビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルの製造方法が提供される。
さらに、本発明によれば、化学気相成長法により炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜を基板上に形成する方法において、ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルを用いることを特徴とする炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜の形成方法が提供される。
本発明に係るビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタル(以下、Ta(EtCp)2H3と表す。)は、95℃で0.1Torrと高い蒸気圧を持ち、融点38℃の新規化合物である。このため、僅かな加熱で液体となり、蒸気圧も高いことから、容易に蒸気を供給することができる。
また、本発明に係る製造方法によれば、上記の本発明に係るタンタル化合物を容易に製造することができる。
さらに、上記の本発明に係るタンタル化合物を用いることにより、CVDやALDで炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を形成することができる。
また、本発明に係る製造方法によれば、上記の本発明に係るタンタル化合物を容易に製造することができる。
さらに、上記の本発明に係るタンタル化合物を用いることにより、CVDやALDで炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を形成することができる。
以下、本発明について、より詳細に説明する。
本発明に係るTa(EtCp)2H3は、新規化合物である。
このTa(EtCp)2H3は、Paul p. Deutsch, John A. Maguire, William D. Jones and Richard Eisenberg, "Inorg. Chem." , 1990, Vol.29, p.686に記載のビス(シクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルの製法に準じて製造することができる。
本発明に係るTa(EtCp)2H3は、新規化合物である。
このTa(EtCp)2H3は、Paul p. Deutsch, John A. Maguire, William D. Jones and Richard Eisenberg, "Inorg. Chem." , 1990, Vol.29, p.686に記載のビス(シクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルの製法に準じて製造することができる。
具体的には、粉末五塩化タンタル(TaCl5)1molを、エチルシクロペンタジエニルナトリウム(Na(EtCp))4.3molとナトリウムボロハイドライド(NaBH4)3.2molが入ったテトラヒドロフラン(THF)溶媒中に、0〜20℃を保持しながら徐々に添加する。
これを還流し、室温に冷却後、水を添加し、再び還流する。
次いで、減圧脱溶媒乾燥し、留出管と受器を取り付け、0.10Torrで真空蒸留を行なうことにより、フラスコ加熱浴温100〜130℃で緑色液の初留、130〜150℃で淡緑茶色の主留が得られる。この主留が、Ta(EtCp)2H3である。
これを還流し、室温に冷却後、水を添加し、再び還流する。
次いで、減圧脱溶媒乾燥し、留出管と受器を取り付け、0.10Torrで真空蒸留を行なうことにより、フラスコ加熱浴温100〜130℃で緑色液の初留、130〜150℃で淡緑茶色の主留が得られる。この主留が、Ta(EtCp)2H3である。
この製法により得られたTa(EtCp)2H3は、微量の有機物や価数の異なるTa有機化合物を含むため、淡緑茶色に着色していると考えられるが、炭化タンタル膜形成や膜の不純物含量には影響しない。
必要に応じて、再結晶操作を行うことにより、より高純度で無色のTa(Etp)2H3を得ることができる。
上記製造方法は、収率は低いものの、ワンポット反応であるため、操作が容易であるという利点を有している。
必要に応じて、再結晶操作を行うことにより、より高純度で無色のTa(Etp)2H3を得ることができる。
上記製造方法は、収率は低いものの、ワンポット反応であるため、操作が容易であるという利点を有している。
上記製造方法においては、NaBH4の代わりに、ナトリウム水素化ビス(2−メトキシエトキシ)アルミニウム(NaAlH2(OC2H4OCH3)2)のトルエン溶液を使うこともできる。
この場合、主留分のTa(EtCp)2H3は、淡黄茶色となり、上記製造方法と比較して、色は淡くなる。
この場合、主留分のTa(EtCp)2H3は、淡黄茶色となり、上記製造方法と比較して、色は淡くなる。
また、より収率が高い製造方法としては、工程は長くなるが、Malcolm L. H. Green and Bernard Jousseaume, J. Organometal. Chem., 1980, Vol.193, p.339のTa(iPrCp)2H3の製造方法を参考にすることができる。
すなわち、ジクロロメタン中で、TaCl5とエチルシクロペンタジエニルトリn−ブチル錫((EtCp)(nBu3)Sn)を室温で4日間反応させ、Ta(EtCp)2Cl2を回収し、これをトルエン中で、NaAlH2(OC2H4OCH3)2と反応させると、Ta(EtCp)2H3となる。
これを、トルエンとペンタンの溶液から再結晶すると、無色の結晶(融点38℃)が得られる。
すなわち、ジクロロメタン中で、TaCl5とエチルシクロペンタジエニルトリn−ブチル錫((EtCp)(nBu3)Sn)を室温で4日間反応させ、Ta(EtCp)2Cl2を回収し、これをトルエン中で、NaAlH2(OC2H4OCH3)2と反応させると、Ta(EtCp)2H3となる。
これを、トルエンとペンタンの溶液から再結晶すると、無色の結晶(融点38℃)が得られる。
上記のような方法により得られらTa(EtCp)2H3を原料として用いることにより、CVDやALDにより、炭化タンタル膜や炭窒化タンタル膜を形成することができる。
Ta(EtCp)2H3の供給方法としては、(1)100℃程度に本化合物を加熱して液体とし、キャリヤーガスをバブリングすることにより気化させる、(2)本化合物を50℃程度に加熱して液体とし、液体マスフローメーターで供給し、100〜150℃の気化器で全量気化させる、あるいはまた、(3)本化合物液体に10wt%以上の不活性有機溶媒を添加し、室温で溶液として、液体マスフローメーターで供給し、100〜150℃の気化器で全量気化させる、等の方法を用いることができる。
Ta(EtCp)2H3の供給方法としては、(1)100℃程度に本化合物を加熱して液体とし、キャリヤーガスをバブリングすることにより気化させる、(2)本化合物を50℃程度に加熱して液体とし、液体マスフローメーターで供給し、100〜150℃の気化器で全量気化させる、あるいはまた、(3)本化合物液体に10wt%以上の不活性有機溶媒を添加し、室温で溶液として、液体マスフローメーターで供給し、100〜150℃の気化器で全量気化させる、等の方法を用いることができる。
上記方法により気化させたTa(EtCp)2H3を0.01〜1TorrのCVD室に導入することにより、150〜700℃のSi基板上に、炭化タンタル膜を形成させることができる。
そして、成膜後、500℃以上、0.01Torrでアニールすることにより、完全な炭化物とすることができる。
CVD室は、フリーの炭素を少なくするため、できるだけ低圧にしておくことが好ましい。また、プラズマCVDや原子状水素を使用することによっても、フリーの炭素を減少させることができる。
そして、成膜後、500℃以上、0.01Torrでアニールすることにより、完全な炭化物とすることができる。
CVD室は、フリーの炭素を少なくするため、できるだけ低圧にしておくことが好ましい。また、プラズマCVDや原子状水素を使用することによっても、フリーの炭素を減少させることができる。
また、Ta(EtCp)2H3と、窒素源としてのヒドラジンやアンモニアを、同時に、0.001〜1TorrのCVD室に導入することにより、400〜500℃の基板上に炭窒化タンタル(TaCxN1-x(0<x≦1))膜を形成できる。
以下、本発明を実施例に基づきさらに具体的に説明するが、本発明は下記の実施例により制限されるものではない。
[実施例1]Ta(EtCp)2H3の製造
温度計、撹拌子、リフラックスコンデンサーを備えた1L三口フラスコに、真空アルゴン置換後、脱水脱酸素したTHF400mlと、NaBH417.4g(0.46mol)と、Na(EtCp)(0.62mol)のTHF溶液350mlを仕込み、フラスコを氷水冷却しながら、粉末TaCl552.0g(0.145mol)を反応液温を2〜10℃に保持しながら徐々に加えた。
これを4時間還流し、室温に冷却後、撹拌しながら、水8.3g(0.46mol)を添加し、さらに、5分間還流した。
次いで、減圧脱溶媒し、90℃で乾燥した後、内容物を乾燥アルゴン雰囲気中に取り出し、軽く粉砕すると、淡緑色のさらさらとした粉末となった。この粉末を同じフラスコに戻し、留出管と受器を取り付け、0.10Torrで真空蒸留を行なった。
フラスコ加熱浴温100〜130℃で緑色液の初留8g、130〜150℃で淡緑茶色の主留16gを得た。
この初留のTa含量は5%であった。
[実施例1]Ta(EtCp)2H3の製造
温度計、撹拌子、リフラックスコンデンサーを備えた1L三口フラスコに、真空アルゴン置換後、脱水脱酸素したTHF400mlと、NaBH417.4g(0.46mol)と、Na(EtCp)(0.62mol)のTHF溶液350mlを仕込み、フラスコを氷水冷却しながら、粉末TaCl552.0g(0.145mol)を反応液温を2〜10℃に保持しながら徐々に加えた。
これを4時間還流し、室温に冷却後、撹拌しながら、水8.3g(0.46mol)を添加し、さらに、5分間還流した。
次いで、減圧脱溶媒し、90℃で乾燥した後、内容物を乾燥アルゴン雰囲気中に取り出し、軽く粉砕すると、淡緑色のさらさらとした粉末となった。この粉末を同じフラスコに戻し、留出管と受器を取り付け、0.10Torrで真空蒸留を行なった。
フラスコ加熱浴温100〜130℃で緑色液の初留8g、130〜150℃で淡緑茶色の主留16gを得た。
この初留のTa含量は5%であった。
上記において得られた主留物質について、下記分析により、その同定および物性測定を行った。
(1)組成分析
湿式分解し、生成した液のICP発光分光分析の結果、Ta:47.7%(理論値48.87%)、C:47.2%(理論値45.41%)、H:5.8%(理論値5.72%)であった。
(1)組成分析
湿式分解し、生成した液のICP発光分光分析の結果、Ta:47.7%(理論値48.87%)、C:47.2%(理論値45.41%)、H:5.8%(理論値5.72%)であった。
(2)不純物分析
ICP発光分光分析の結果、Al<1,Ca<1,Fe<1,Mg<1,Ti<1,Na<2,K<2,Ni<3,Cu<1,Cr<2(単位:ppm)であり、高純度であった。
また、Cl分析の結果、Cl<60ppmであった。
ICP発光分光分析の結果、Al<1,Ca<1,Fe<1,Mg<1,Ti<1,Na<2,K<2,Ni<3,Cu<1,Cr<2(単位:ppm)であり、高純度であった。
また、Cl分析の結果、Cl<60ppmであった。
(3)EI−MS
測定条件 装置:JMS AX505W、イオン化法:EI、イオン源温度:230℃、イオン化エネルギー:70eV
測定結果を図1に示す。
主なm/Zと強度(%)とそのイオン種を以下に列挙する。
368(19) Ta(C5H4C2H5)2H+;367(11) Ta(C5H4C2H5)2 +;366(65),364(61),362(58),361(46) [Ta(C5H4C2H5)2nH]+または{[CH2CHC5H4C5H4CCH]2+nH}+;360(100) [Ta(C5H4C2H5)26H]+または[CH2CHC5H4C5H4CCH]2 +;180(33) [CH2CHC5H4C5H4CCH]+;94(10) C5H5C2H5 +;79(15) C5H5CH2 +.
なお、370 Ta(C5H4C2H5)2H3 +分子イオンはなかった。
測定条件 装置:JMS AX505W、イオン化法:EI、イオン源温度:230℃、イオン化エネルギー:70eV
測定結果を図1に示す。
主なm/Zと強度(%)とそのイオン種を以下に列挙する。
368(19) Ta(C5H4C2H5)2H+;367(11) Ta(C5H4C2H5)2 +;366(65),364(61),362(58),361(46) [Ta(C5H4C2H5)2nH]+または{[CH2CHC5H4C5H4CCH]2+nH}+;360(100) [Ta(C5H4C2H5)26H]+または[CH2CHC5H4C5H4CCH]2 +;180(33) [CH2CHC5H4C5H4CCH]+;94(10) C5H5C2H5 +;79(15) C5H5CH2 +.
なお、370 Ta(C5H4C2H5)2H3 +分子イオンはなかった。
(4)1H−NMR
測定条件 装置:JNM−ECA400(400MHz)、溶媒:C6D6、方法:1D
測定結果を図2に示す。δH(ppm)と(帰属)を以下に列挙する。
4.71,4.78 t(6H,2CH 3);2.36 q(4H,2CH 2);1.05 c(8H,2C5 H 4);−0.89 t(1H,TaH central);−2.42 d(2H,TaH not central).
測定条件 装置:JNM−ECA400(400MHz)、溶媒:C6D6、方法:1D
測定結果を図2に示す。δH(ppm)と(帰属)を以下に列挙する。
4.71,4.78 t(6H,2CH 3);2.36 q(4H,2CH 2);1.05 c(8H,2C5 H 4);−0.89 t(1H,TaH central);−2.42 d(2H,TaH not central).
(5)蒸気圧
気体飽和法測定から、0.1Torr/95℃、1Torr/135℃であった。
気体飽和法測定から、0.1Torr/95℃、1Torr/135℃であった。
(6)性状と融点
色は、淡緑茶色であった。
また、過冷却により、30℃で液体であったが、その融点は38℃であった。融液の粘度は約10cPであった。
なお、再結晶で得られた純品は無色の結晶であり、その融点は38℃であった。液体の密度は1.5g/cm3であった。
色は、淡緑茶色であった。
また、過冷却により、30℃で液体であったが、その融点は38℃であった。融液の粘度は約10cPであった。
なお、再結晶で得られた純品は無色の結晶であり、その融点は38℃であった。液体の密度は1.5g/cm3であった。
(7)TG−DTA
測定条件 試料重量:13.1mg、雰囲気:Ar 1気圧、昇温速度:10.0deg/min
測定結果を図3に示す。
図3から、210℃付近で熱分解重合し、不揮発性の化合物になることが分かる。
測定条件 試料重量:13.1mg、雰囲気:Ar 1気圧、昇温速度:10.0deg/min
測定結果を図3に示す。
図3から、210℃付近で熱分解重合し、不揮発性の化合物になることが分かる。
(8)溶液化
通常のCVD、ALDに用いられる炭化水素溶媒であるヘキサン、オクタン、トルエン、シクロヘキサン等によく溶けた。
通常のCVD、ALDに用いられる炭化水素溶媒であるヘキサン、オクタン、トルエン、シクロヘキサン等によく溶けた。
(9)化学反応性
水とは反応しにくく、安定である。空気中の酸素とは瞬時に反応するが、発火することはなかった。
水とは反応しにくく、安定である。空気中の酸素とは瞬時に反応するが、発火することはなかった。
以上の同定および物性測定のうち、主に組成分析、EI−MS、1H−NMRから、総合的に判断して、この主留物質は、Ta(EtCp)2H3と同定した。
収率はTaCl5に対して30%(0.043mol)であった。
収率はTaCl5に対して30%(0.043mol)であった。
[実施例2]Ta(EtCp)2H3を用いたCVDによる炭化タンタル膜の形成
Ta(EtCp)2H3が充填されたシリンダーを、100℃、圧力2Torrに保持しながら、アルゴンガスをバブリングし、Ta(EtCp)2H3ガスを含ませて、0.02TorrのCVD室に導入した。
CVD室に置かれた250℃のSi基板上に、熱CVDで膜を形成し、次いで、500℃、0.01Torrで1時間アニールして、炭化タンタル(TaC)膜とした。
Ta(EtCp)2H3が充填されたシリンダーを、100℃、圧力2Torrに保持しながら、アルゴンガスをバブリングし、Ta(EtCp)2H3ガスを含ませて、0.02TorrのCVD室に導入した。
CVD室に置かれた250℃のSi基板上に、熱CVDで膜を形成し、次いで、500℃、0.01Torrで1時間アニールして、炭化タンタル(TaC)膜とした。
[実施例3]Ta(EtCp)2H3を用いたCVDによる炭窒化タンタル膜の形成
Ta(EtCp)2H3が充填されたシリンダーを100℃に、無水ヒドラジンが充填されたシリンダーを0℃に保持しながら、各々のガスを自圧で発生させ、混合器を通じて、0.01TorrのCVD室に導入した。
CVD室に置かれた450℃のSi基板上に、熱CVDにより、炭窒化タンタル(TaC0.4N0.6)膜を形成した。
Ta(EtCp)2H3が充填されたシリンダーを100℃に、無水ヒドラジンが充填されたシリンダーを0℃に保持しながら、各々のガスを自圧で発生させ、混合器を通じて、0.01TorrのCVD室に導入した。
CVD室に置かれた450℃のSi基板上に、熱CVDにより、炭窒化タンタル(TaC0.4N0.6)膜を形成した。
Claims (4)
- ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタル。
- エチルシクロペンタジエニルナトリウムと、五塩化タンタルとナトリウムボロハイドライドまたはナトリウム水素化ビス(2−メトキシエトキシ)アルミニウムとを、テトラヒドロフランを含む有機溶媒中で反応させ、水で未反応原料を失活させた後、溶媒を減圧留去し、次いで、真空下で蒸留することを特徴とするビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルの製造方法。
- 化学気相成長法により炭化タンタル膜を基板上に形成する方法において、ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルを用いることを特徴とする炭化タンタル膜の形成方法。
- 化学気相成長法により炭窒化タンタル膜を基板上に形成する方法において、ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルを用いることを特徴とする炭窒化タンタル膜の形成方法。
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ID=37932003
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005255894A Pending JP2007070236A (ja) | 2005-09-05 | 2005-09-05 | ビス(エチルシクロペンタジエニル)トリヒドロタンタルおよびその製造方法ならびにそれを用いた炭化タンタル膜または炭窒化タンタル膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007070236A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210151294A (ko) | 2020-06-04 | 2021-12-14 | 삼성전자주식회사 | 박막 제조용 물질, 이를 이용한 박막의 제조 방법 및 이를 이용한 박막의 제조 설비 |
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2005
- 2005-09-05 JP JP2005255894A patent/JP2007070236A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210151294A (ko) | 2020-06-04 | 2021-12-14 | 삼성전자주식회사 | 박막 제조용 물질, 이를 이용한 박막의 제조 방법 및 이를 이용한 박막의 제조 설비 |
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