JP2007067439A - Printed wiring board and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase reliability of electrical connection between wiring layers and reliability of pattern forming, and to improve manufacturing yield, productivity and the like. <P>SOLUTION: The printed wiring board is provided with a first wiring layer provided on a first surface of a first insulating layer, a first conductive composition which fills a hole reaching the first wiring layer and penetrating the first insulating layer and protrudes from the hole toward a second surface of the first insulating layer, a second wiring layer which is provided on the second surface of the first insulating layer and is electrically connected with the first conductive composition, a second insulating layer which sandwiches the second wiring layer with the first insulating layer, a second conductive composition which fills a hole reaching the second wiring layer or the first conductive composition and penetrating the second insulating layer or reaching the first wiring layer and penetrating the first and second insulating layers and protrudes from the hole toward the surface of the second insulating layer, and a third wiring layer which is provided on a surface of the second insulating layer different from that in contact with the second wiring layer and is electrically connected with the second conductive composition. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、配線層が複数存在するプリント配線板およびその製造方法に係り、特に、配線層同士の電気的接続(層間接続)や配線パターン形成の高信頼性化を図り製造歩留まり、生産性などを向上できるプリント配線板およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a printed wiring board having a plurality of wiring layers and a method for manufacturing the same, and in particular, to increase the reliability of electrical connection (interlayer connection) between wiring layers and the formation of wiring patterns, and the manufacturing yield and productivity. The present invention relates to a printed wiring board and a method for manufacturing the same.

近年の電子機器の小型軽量化への要求に伴い、それらの機器を構成する各種の電子部品も小型軽量、高機能化が著しい。その中で、半導体部品においては電気的接続部に多ピン狭ピッチ化と面領域で接続を図るいわゆるエリアアレー化が進展している。   With recent demands for reducing the size and weight of electronic devices, the various electronic components that make up these devices are also becoming increasingly smaller, lighter, and more functional. Among them, in semiconductor components, so-called area arrays are being developed in which a multi-pin narrow pitch and a surface area connection are made in an electrical connection portion.

電子機器においては、所定の機能を持たせるため複数の電子部品でこれを構成するが、電子部品の実装にはプリント配線板の使用が必要不可欠と言える。この重要な部品であるプリント配線板も、電子部品の小型軽量化、半導体部品の多ピン狭ピッチ化・エリアアレー化の進展に伴い、貫通孔(スルーホール)をあけその内面へのメッキで層間接続を行うスルーホール方式のプリント配線板では、実装密度にむだが生ずるなどのため対応し切れなくなりつつある。   In an electronic device, a plurality of electronic components are used to provide a predetermined function. However, it can be said that the use of a printed wiring board is indispensable for mounting electronic components. The printed wiring board, which is an important component, is also made through the formation of through-holes (through-holes) and plating on the inner surface with the progress of smaller and lighter electronic components, narrowing of multi-pin pitch of semiconductor components and area array. The through-hole type printed wiring board for connection is becoming incapable of handling due to the wasteful mounting density.

このため用いられているスルーホール以外の層間接続を有する従来の多層プリント配線板の例について図8を参照して説明する。同図は、ビルドアップ方式のプリント配線板の製造プロセスフローを模式的に示す図であり、(a)、(b)、(c)、(d)の順に工程が進行するものである。   For this reason, an example of a conventional multilayer printed wiring board having interlayer connections other than through-holes used will be described with reference to FIG. This figure schematically shows a manufacturing process flow of a build-up type printed wiring board, in which the process proceeds in the order of (a), (b), (c), and (d).

まず、同図(a)に示すようにコア板71の両面に導電パターン72を形成しさらに必要に応じスルーホール73をこれらの層間接続として設ける。次に、同図(b)に示すように、スルーホール73を絶縁樹脂74で穴埋めするとともに、絶縁層75をコア板71上に積み重ねて形成する。ここで、層間接続部のためのビアホール76を必要に応じ絶縁層75に設ける。このためには、感光性樹脂を使用してフォトリソグラフにより形成する方法や、絶縁層75形成後にレーザー加工により穴をあける方法などを用いることができる。   First, as shown in FIG. 5A, conductive patterns 72 are formed on both surfaces of the core plate 71, and through holes 73 are provided as interlayer connections as necessary. Next, as shown in FIG. 4B, the through hole 73 is filled with the insulating resin 74 and the insulating layer 75 is stacked on the core plate 71 to be formed. Here, via holes 76 for interlayer connection portions are provided in the insulating layer 75 as necessary. For this purpose, a method of forming by photolithography using a photosensitive resin, a method of forming a hole by laser processing after forming the insulating layer 75, or the like can be used.

さらに、同図(c)に示すように、導電層77を形成・パターニングする。導電層77の形成には、メッキを用いることができる。パターニングには、エッチングを用いることができる。メッキにより、ビアホール76に層間接続となるビア79を形成する。   Further, as shown in FIG. 3C, a conductive layer 77 is formed and patterned. Plating can be used for forming the conductive layer 77. Etching can be used for patterning. A via 79 serving as an interlayer connection is formed in the via hole 76 by plating.

さらに多層化する場合には、同図(d)に示すように導電層77上に絶縁層78を積層し、このあと同様に導電層を形成・パターニングする。すなわち、同図(c)のプロセスと(d)のプロセスとを繰り返すことでより多層のプリント配線板が製造される。   In the case of further multilayering, an insulating layer 78 is laminated on the conductive layer 77 as shown in FIG. 4D, and thereafter, the conductive layer is similarly formed and patterned. That is, a multilayer printed wiring board is manufactured by repeating the process shown in FIG.

このような多層プリント配線板では、内層同士の層間接続のためのスルーホールが少なくとも必要なくなり、スルーホール基板に比較してプリント配線板の外側の面における部品実装密度を増加させる。   In such a multilayer printed wiring board, at least a through hole for interlayer connection between inner layers is not required, and the component mounting density on the outer surface of the printed wiring board is increased as compared with the through hole substrate.

しかしながら、このような多層プリント配線板は、製造方法としてコア板の上に順次絶縁層と導体層とを形成していく方法であることに変わりがなく、製造歩留まりや生産性などの観点からは改善すべき事項が存在する。   However, such a multilayer printed wiring board is still a method of sequentially forming an insulating layer and a conductor layer on a core board as a manufacturing method, and from the viewpoint of manufacturing yield, productivity, etc. There are items to be improved.

すなわち、個々の積層工程が必ずしも単純な工程とは言えず、プリント配線板の多層化に比例してこのような工程が累積する。このため、完成品の総合的な歩留まりは各層の形成工程歩留まりの積となり、歩留まり劣化の要因となる。特に、メッキによるビアの形成は、メッキ厚の均一性確保が難しく層間接続の不良の原因となりやすいのみならず、メッキ厚の不均一により、配線パターンのエッチングによる形成も精密性を欠き歩留まり劣化の要因になる。また、順次積み上げるため並行して行う工程がなく生産性の向上も困難である。さらに、コア板のスルーホールの穴埋め工程という特別の工程を要する。これらのため、一般的には、低価格化が難しいなどである。   That is, the individual lamination processes are not necessarily simple processes, and such processes are accumulated in proportion to the multilayered printed wiring board. For this reason, the overall yield of the finished product is the product of the formation process yield of each layer, which causes a deterioration in yield. In particular, the formation of vias by plating not only makes it difficult to ensure the uniformity of plating thickness but tends to cause poor interlayer connection, but also due to non-uniform plating thickness, the formation of wiring patterns by etching is inaccurate and results in deterioration of yield. It becomes a factor. In addition, it is difficult to improve productivity because there are no steps to be performed in parallel because they are sequentially stacked. Furthermore, a special process called a hole filling process of the through hole of the core plate is required. For these reasons, it is generally difficult to reduce the price.

また、製造されたプリント配線板の外側の一面にはビアが存在しその部位には部品実装のためのランドを設けられない。このため、部品実装効率、配線効率を向上するという意味ではまだ余地を有しているとも言える。   In addition, vias exist on one side of the manufactured printed wiring board, and lands for component mounting cannot be provided at those portions. For this reason, it can be said that there is still room for improving component mounting efficiency and wiring efficiency.

本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、配線層が複数存在するプリント配線板およびその製造方法において、配線層同士の電気的接続の高信頼性化およびパターン形成の高信頼性化を図り製造歩留まり、生産性などを向上できるプリント配線板およびその製造方法を提供することを目的とする。また、これに加え、部品実装の密度、配線密度をさらに向上するプリント配線板およびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances. In a printed wiring board having a plurality of wiring layers and a manufacturing method thereof, the electrical connection between the wiring layers is highly reliable and the pattern formation is highly reliable. An object of the present invention is to provide a printed wiring board and a method for manufacturing the same that can improve the manufacturing yield and productivity. Another object of the present invention is to provide a printed wiring board and a method for manufacturing the printed wiring board that further improve the density of component mounting and the wiring density.

上記の課題を解決するため、本発明の一態様に係るプリント配線板は、第1の面と第2の面とを有する第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層の前記第1の面に設けられた、第1の層状の導電体を有する第1の配線層と、前記第1の層状の導電体に達する前記第1の絶縁層を貫く孔に充填されかつこの孔より前記第1の絶縁層の第2の面側にはみ出す第1の導電性組成物と、前記第1の絶縁層の前記第2の面に設けられた、前記第1の導電性組成物に電気的に接続しかつ第2の層状の導電体を有する第2の配線層と、前記第2の配線層を前記第1の絶縁層とにより挟み込む第2の絶縁層と、前記第2の層状の導電体または前記第1の導電性組成物に達する前記第2の絶縁層を貫く孔または前記第1の層状の導電体に達する前記第1および第2の絶縁層を貫く孔に充填されかつこの孔より前記第2の配線層に接する面とは異なる前記第2の絶縁層の面上にはみ出す第2の導電性組成物と、前記第2の配線層に接する前記面とは異なる前記第2の絶縁層の前記面に設けられた、前記第2の導電性組成物に電気的に接続する第3の配線層とを具備することを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a printed wiring board according to one embodiment of the present invention includes a first insulating layer having a first surface and a second surface, and the first insulating layer having the first surface. A first wiring layer having a first layered conductor provided on the surface and a hole penetrating through the first insulating layer reaching the first layered conductor and passing through the hole through the first insulating layer; A first conductive composition that protrudes to the second surface side of the first insulating layer, and the first conductive composition provided on the second surface of the first insulating layer. A second wiring layer connected and having a second layered conductor; a second insulating layer sandwiching the second wiring layer by the first insulating layer; and the second layered conductor Alternatively, the first and second insulating layers reaching the first insulating composition and the hole penetrating the second insulating layer or reaching the first layered conductor. A second conductive composition that fills a hole penetrating the layer and protrudes from a surface of the second insulating layer different from a surface in contact with the second wiring layer from the hole; and the second wiring layer And a third wiring layer provided on the surface of the second insulating layer different from the surface in contact with the surface and electrically connected to the second conductive composition.

層間接続は、配線層を隔てる絶縁層に形成される孔に充填された導電性組成物によりなされる。メッキ工程を用いる必要がないので、層間接続の信頼性を向上する。配線層のパターニングは、この層間接続とは関係なく、均一厚に製造可能である金属層に対して行うことができ、このためより微細なパターンも高歩留まりで形成可能となる。   The interlayer connection is made by a conductive composition filled in holes formed in the insulating layer separating the wiring layers. Since it is not necessary to use a plating process, the reliability of interlayer connection is improved. The patterning of the wiring layer can be performed on a metal layer that can be manufactured with a uniform thickness irrespective of the interlayer connection, and therefore, a finer pattern can be formed with a high yield.

これらにより、配線層同士の電気的接続の高信頼性化およびパターン形成の高信頼性化を図り、製造歩留まりを向上できる。   As a result, the reliability of electrical connection between the wiring layers and the reliability of pattern formation can be improved, and the manufacturing yield can be improved.

ここで、第1の絶縁層には、ガラスエポキシのようなリジッドな材料、ポリイミドのようなフレキシブルな材料いずれも用いることができる。また、液晶ポリマー(LCP)、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂のような樹脂単体のシートのほか、ガラスクロス入りポリイミド、ガラスクロス入りビスマレイミドトリアジン樹脂、ガラスクロス入りPPE樹脂などのガラスクロス入り樹脂材料や、アラミド繊維入りエポキシ樹脂などの有機繊維入り樹脂材料、エポキシフィラー入りエポキシ樹脂などのフィラー入り樹脂材料などを用いることができる。金属層には、例えばCu箔を用いることができる。導電性組成物には、例えば銀微粒子を分散させた導電性ペーストを用いることができる。   Here, a rigid material such as glass epoxy or a flexible material such as polyimide can be used for the first insulating layer. In addition to resin single sheet such as liquid crystal polymer (LCP) and polyphenylene ether (PPE) resin, glass cloth-containing resin materials such as polyimide with glass cloth, bismaleimide triazine resin with glass cloth, and PPE resin with glass cloth, Resin materials with organic fibers such as epoxy resins with aramid fibers, resin materials with fillers such as epoxy resins with epoxy filler, and the like can be used. For example, a Cu foil can be used for the metal layer. For the conductive composition, for example, a conductive paste in which silver fine particles are dispersed can be used.

また、部分ごとに電気的・光学的検品をすることが可能であり、良品のみの組み合わせにより製造できるので、歩留まりも向上する。   In addition, electrical and optical inspection can be performed for each part, and manufacturing can be performed by combining only good products, so that the yield is also improved.

なお、このようなプリント配線板を電子機器に適用すれば配線の自由度が高いのでパターン設計時間の短縮もなされ得る。   Note that if such a printed wiring board is applied to an electronic device, the degree of freedom in wiring is high, so that the pattern design time can be shortened.

また、第2の絶縁層には、例えば、ガラスエポキシからなるプリプレグを用いることができる。   Further, for the second insulating layer, for example, a prepreg made of glass epoxy can be used.

ここで、層状に配置された上記の複数のプリント配線板と、前記層状に配置された複数のプリント配線板それぞれの間に挟まれた複数の第3の絶縁層とを具備し、前記複数のプリント配線板の配線層のうち前記複数の第3の絶縁層に接していない配線層が第1の配線層となる配置である、とすることができる。   Here, the plurality of printed wiring boards arranged in layers, and a plurality of third insulating layers sandwiched between the plurality of printed wiring boards arranged in layers, respectively, Of the wiring layers of the printed wiring board, the wiring layer that is not in contact with the plurality of third insulating layers may be arranged as the first wiring layer.

これによれば、プリント配線板の外側の面には、導電性組成物のはみ出しがなくパターニングされた金属層のみ存在するので、部品実装のためのランド位置に制限がなく部品実装の密度、配線密度をさらに向上することが可能となる。   According to this, since there is only a patterned metal layer without protruding conductive composition on the outer surface of the printed wiring board, there is no restriction on the land position for component mounting, and the density and wiring of component mounting The density can be further improved.

また、本発明の一態様に係るプリント配線板の製造方法は、両主面にそれぞれ第1、第2の金属層を有する第1の絶縁層の前記第1の金属層をエッチング加工して前記第1の絶縁層を露出する第1の孔を含むよう第1の導電パターンを形成する工程と、前記第1の導電パターンの前記第1の孔に連続して前記第2の金属層に達する第2の孔を前記第1の絶縁層に形成する工程と、前記形成された連続する第1および第2の孔に第1の導電性組成物を充填し前記第1、第2の金属層の電気的接続部分を形成する工程と、前記第1の絶縁層の前記第1の導電性組成物が露出する側の面上に第2の絶縁層、第3の金属層の順に該第2の絶縁層および該第3の金属層を積層する工程と、前記第3の金属層をエッチング加工して前記第2の絶縁層を露出する第3の孔を含むよう第2の導電パターンを形成する工程と、前記第2の導電パターンの前記第3の孔に連続して、前記第1の金属層または前記第1の導電性組成物に達する前記第2の絶縁層を貫く第4の孔または前記第2の金属層に達する前記第1および第2の絶縁層を貫く第5の孔を形成する工程と、前記形成された連続する第3および第4の孔または前記形成された連続する第3および第5の孔に第2の導電性組成物を充填し前記第1、第3の金属層の電気的接続部分または前記第2、第3の金属層の電気的接続部分を形成する工程とを具備することを特徴とする。   The method for manufacturing a printed wiring board according to one aspect of the present invention includes etching the first metal layer of the first insulating layer having first and second metal layers on both main surfaces, respectively. Forming a first conductive pattern so as to include a first hole exposing the first insulating layer; and reaching the second metal layer continuously to the first hole of the first conductive pattern. Forming a second hole in the first insulating layer, and filling the formed first and second holes with the first conductive composition to form the first and second metal layers. Forming a second electrical connection portion, and a second insulating layer and a third metal layer in this order on the surface of the first insulating layer on the side where the first conductive composition is exposed. Laminating the insulating layer and the third metal layer, and etching the third metal layer to expose the second insulating layer Forming a second conductive pattern so as to include a third hole, and the first metal layer or the first conductive composition in succession to the third hole of the second conductive pattern. Forming a fourth hole through the second insulating layer reaching the object or a fifth hole through the first and second insulating layers reaching the second metal layer; and the formed continuous Filling the second conductive composition into the formed third and fourth holes or the continuous third and fifth holes formed, and electrically connecting portions of the first and third metal layers, or the first And a step of forming an electrical connection portion of the third metal layer.

これは上記説明のプリント配線板を製造する方法の態様である。形成された連続する孔に導電性組成物を充填し電気的接続部分を形成する工程は、例えば、その孔に相当する位置に印刷のための開口部を有するスクリーン版を用いたスクリーン印刷により達成することができる。また、スクリーン印刷に代えてディスペンサーによる方法を使用してもよい。   This is an aspect of the method for producing the printed wiring board described above. The step of filling the formed continuous hole with the conductive composition to form the electrical connection portion is achieved by, for example, screen printing using a screen plate having an opening for printing at a position corresponding to the hole. can do. Further, a method using a dispenser may be used instead of screen printing.

また、本発明の別の態様に係るプリント配線板の製造方法は、両主面にそれぞれ第1、第2の金属層を有する第1の絶縁層の前記第1の金属層をエッチング加工して前記第1の絶縁層を露出する第1の孔を含むよう第1の導電パターンを形成する工程と、前記第1の導電パターンの前記第1の孔に連続して前記第2の金属層に達する第2の孔を前記第1の絶縁層に形成する工程と、前記形成された連続する第1および第2の孔に第1の導電性組成物を充填し前記第1、第2の金属層の電気的接続部分を形成する工程と、前記第1の絶縁層の前記第1の導電性組成物が露出する側の面上に第2の絶縁層、第3の金属層の順に該第2の絶縁層および該第3の金属層を積層する工程と、前記第3の金属層をエッチング加工して前記第2の絶縁層を露出する第3の孔を含むよう第2の導電パターンを形成する工程と、前記第2の導電パターンの前記第3の孔に連続して、前記第1の金属層または前記第1の導電性組成物に達する前記第2の絶縁層を貫く第4の孔または前記第2の金属層に達する前記第1および第2の絶縁層を貫く第5の孔を形成する工程と、前記形成された連続する第3および第4の孔または前記形成された連続する第3および第5の孔に第2の導電性組成物を充填し前記第1、第3の金属層の電気的接続部分または前記第2、第3の金属層の電気的接続部分を形成する工程と、により得られるプリント配線板部を少なくとも2枚準備するステップと、前記少なくとも2枚のプリント配線板部それぞれの間に挟まれるように第3の絶縁層を積層・一体化するステップとを具備し、前記少なくとも2枚のプリント配線板部それぞれの前記第2の金属層のうち前記第3の絶縁層に接しないことになる第2の金属層が最も外側の配置で前記積層がなされることを特徴とする。   Moreover, the manufacturing method of the printed wiring board which concerns on another aspect of this invention etches the said 1st metal layer of the 1st insulating layer which has a 1st, 2nd metal layer in both main surfaces, respectively. Forming a first conductive pattern so as to include a first hole exposing the first insulating layer; and forming a second metal layer continuously with the first hole of the first conductive pattern. A step of forming a second hole reaching the first insulating layer, and filling the formed first and second holes with the first conductive composition to form the first and second metals. A step of forming an electrical connection portion of the layer, and a second insulating layer and a third metal layer in this order on the surface of the first insulating layer on the side where the first conductive composition is exposed. A step of laminating the second insulating layer and the third metal layer, and etching the third metal layer to expose the second insulating layer. Forming the second conductive pattern so as to include the third hole, and the first metal layer or the first conductive composition in succession to the third hole of the second conductive pattern. Forming a fourth hole penetrating the second insulating layer reaching the object or a fifth hole penetrating the first and second insulating layers reaching the second metal layer, and the formed continuous Filling the second conductive composition into the formed third and fourth holes or the continuous third and fifth holes formed, and electrically connecting portions of the first and third metal layers, or the first 2, a step of forming an electrical connection portion of the third metal layer, a step of preparing at least two printed wiring board portions obtained by the step, and being sandwiched between each of the at least two printed wiring board portions And laminating and integrating a third insulating layer Then, the second metal layer that does not contact the third insulating layer among the second metal layers of each of the at least two printed wiring board portions is stacked with the outermost arrangement of the second metal layer. It is characterized by.

これによれば、積層で得られたプリント配線板の外側の面には、導電性組成物のはみ出しがないので、部品実装のためのランド位置に制限がなく部品実装の密度、配線密度をさらに向上することが可能となる。   According to this, since there is no protrusion of the conductive composition on the outer surface of the printed wiring board obtained by lamination, there is no restriction on the land position for component mounting, and the component mounting density and wiring density are further increased. It becomes possible to improve.

また、本発明の別の態様に係るプリント配線板は、第1の面と第2の面とを有する絶縁層と、前記絶縁層の前記第1の面に設けられた、層状の導電体を有する第1の配線層と、前記層状の導電体に達する前記絶縁層を貫く孔に充填されかつこの孔より前記絶縁層の前記第2の面側にはみ出す導電性組成物と、前記絶縁層の前記第2の面に設けられた、前記導電性組成物に電気的に接続する第2の配線層と、前記導電性組成物上に接して設けられた導電ピラーとを具備することを特徴とする。   A printed wiring board according to another aspect of the present invention includes an insulating layer having a first surface and a second surface, and a layered conductor provided on the first surface of the insulating layer. A first wiring layer having a conductive composition that fills a hole penetrating the insulating layer reaching the layered conductor and protrudes from the hole to the second surface side of the insulating layer; and A second wiring layer provided on the second surface and electrically connected to the conductive composition; and a conductive pillar provided on and in contact with the conductive composition. To do.

この場合も、層間接続は、配線層を隔てる絶縁層に形成される孔に充填された導電性組成物によりなされる。メッキ工程を用いる必要がないので、層間接続の信頼性を向上する。配線層のパターニングは、この層間接続とは関係なく、均一厚に製造可能である金属層に対して行うことができ、このためより微細なパターンも高歩留まりで形成可能となる。   Also in this case, the interlayer connection is made by a conductive composition filled in holes formed in the insulating layer separating the wiring layers. Since it is not necessary to use a plating process, the reliability of interlayer connection is improved. The patterning of the wiring layer can be performed on a metal layer that can be manufactured with a uniform thickness irrespective of the interlayer connection, and therefore, a finer pattern can be formed with a high yield.

これらにより、配線層同士の電気的接続の高信頼性化およびパターン形成の高信頼性化を図り、製造歩留まりを向上できる。   As a result, the reliability of electrical connection between the wiring layers and the reliability of pattern formation can be improved, and the manufacturing yield can be improved.

本発明によれば、配線層が複数存在するプリント配線板およびその製造方法において、配線層同士の電気的接続の高信頼性化およびパターン形成の高信頼性化を図り製造歩留まり、生産性などを向上できる。また、これに加え、部品実装の密度、配線密度をさらに向上できる。   According to the present invention, in a printed wiring board having a plurality of wiring layers and a method for manufacturing the same, it is possible to increase the reliability of electrical connection between the wiring layers and increase the reliability of pattern formation, thereby improving manufacturing yield, productivity, and the like. It can be improved. In addition to this, the density of component mounting and the wiring density can be further improved.

以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係るプリント配線板の前提となるプリント配線板の製造プロセスを模式的に示す断面図である。同図の(a)、(b)、(c)、(d)の順に工程が進行する。   FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a manufacturing process of a printed wiring board which is a premise of the printed wiring board according to an embodiment of the present invention. The process proceeds in the order of (a), (b), (c), and (d) in FIG.

まず、同図(a)に示すように、両面に金属層(この例では18μm厚のCu箔)12、13を有する絶縁層(この例では100μm厚のガラスエポキシ板)11を用意する。次に、同図(b)に示すように、両面の金属層12、13をエッチング加工して必要な配線等のパターンを形成する。このとき、通常のパターン12b、13bのほかに層間接続を行う部分としてのパターン12a、13a(この例では直径300μmのほぼ円形状)も位置を合わせて同時に形成する。なお、一方の面のパターン13aには、その内側に孔14(この例では直径100μm)が形成される。これも、エッチングにより同時に形成される。なお、説明を分かりやすくするため、孔14は実際より大きく描いてある。   First, as shown in FIG. 2A, an insulating layer (100 μm thick glass epoxy plate in this example) 11 having metal layers (18 μm thick Cu foil) 12 and 13 on both sides is prepared. Next, as shown in FIG. 4B, the metal layers 12 and 13 on both sides are etched to form a pattern such as necessary wiring. At this time, in addition to the normal patterns 12b and 13b, patterns 12a and 13a (substantially circular shapes having a diameter of 300 μm in this example) as portions for performing interlayer connection are simultaneously formed at the same position. Note that a hole 14 (in this example, a diameter of 100 μm) is formed inside the pattern 13a on one surface. This is also formed simultaneously by etching. For easy understanding, the hole 14 is drawn larger than the actual size.

次に、同図(c)に示すように、孔14をマスクとして、例えば炭酸ガスレーザにより絶縁層11に孔15を形成する。この孔15は、絶縁層11を貫きパターン12aに達するものである。ここまでの工程で用いられるのは、エッチング加工、レーザ加工のみであり、また、エッチング加工はレーザ加工のためのマスク形成工程にもなっているので効率的に行うことが可能である。また、エッチング加工は、もともと均一厚に加工されている金属層に対して行うので、微細なパターンを高歩留まりで形成できる。なお、レーザ加工に代えてNCマシーンにより機械加工することもできる。   Next, as shown in FIG. 2C, the hole 15 is formed in the insulating layer 11 by, for example, a carbon dioxide gas laser using the hole 14 as a mask. The hole 15 penetrates the insulating layer 11 and reaches the pattern 12a. Only the etching process and the laser process are used in the processes so far, and the etching process is also a mask forming process for the laser process, and can be performed efficiently. In addition, since the etching process is performed on the metal layer that is originally processed to have a uniform thickness, a fine pattern can be formed with a high yield. In addition, it can replace with a laser processing and can also machine with an NC machine.

さらに、同図(d)に示すように、形成された孔15に導電性ペースト(この例では銀ペースト)16をスクリーン印刷で充填する。この例では、スクリーン印刷は、インチ当たり325本のステンレススクリーンに10μmの乳剤を塗布したスクリーン版を使用する。また、銀ペーストには銀スルーホール用のものを用い、スクリーン版を擦るスキージには平スキージを用いる。これにより、パターン13aに5〜15μm厚のはみ出し部分が形成されるまで、孔15に導電性ペースト16が充填され、パターン13aとパターン12aとの良好な層間接続が形成される。   Further, as shown in FIG. 4D, the formed holes 15 are filled with a conductive paste (in this example, a silver paste) 16 by screen printing. In this example, screen printing uses a screen plate in which a 10 μm emulsion is coated on 325 stainless screens per inch. A silver paste for silver through holes is used as a silver paste, and a flat squeegee is used as a squeegee for rubbing the screen plate. As a result, the conductive paste 16 is filled in the holes 15 until a protruding portion having a thickness of 5 to 15 μm is formed in the pattern 13a, and a good interlayer connection between the pattern 13a and the pattern 12a is formed.

なお、このような孔15への導電性ペーストの充填は、スクリーン印刷以外の方法を使用してもよい。例えば、ディスペンサーによる方法を用いることができる。これは、以下でも同様である。   It should be noted that a method other than screen printing may be used for filling the hole 15 with the conductive paste. For example, a method using a dispenser can be used. The same applies to the following.

以上のようにして、前提としての2層のプリント配線板25を得ることができる。   As described above, the two-layer printed wiring board 25 as a premise can be obtained.

次に、図2は、本発明の一実施形態に係るプリント配線板を用いて多層配線板を製造するプロセスを模式的に示す断面図である。すでに説明した構成要素には同一番号を付して説明する。同図の(a)、(b)、(c)、(d)の順に工程が進行する。   Next, FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a process for manufacturing a multilayer wiring board using the printed wiring board according to the embodiment of the present invention. The components already described will be described with the same numbers. The process proceeds in the order of (a), (b), (c), and (d) in FIG.

このプリント配線板は、上記で説明した2層のプリント配線板25を2枚用いて4層のプリント配線板にしたものである。   This printed wiring board is a four-layer printed wiring board using two of the two-layer printed wiring boards 25 described above.

まず、同図(a)に示すように、図1に示したプロセスにより製造されたプリント配線板25を用意する。なお、この図(a)では図1(d)とは上下反対にして示してある。   First, as shown in FIG. 1A, a printed wiring board 25 manufactured by the process shown in FIG. 1 is prepared. In this figure (a), it is shown upside down from FIG. 1 (d).

次に、同図(b)に示すように、導電性ペースト16のうち必要な部位のものの上に導電性バンプ21を形成する。導電性バンプ21の形成は、例えば、導電性ペースト(例えば銀微粒子を分散させたペースト)をスクリーン印刷することにより行うことができる。なお、導電性バンプ21の形成は、パターン13bのように層間接続を直下に有しないものの上であってもよい。図2(b)に示すこのような態様は、以下説明するように、多層配線板を製造するための有用な素材となる。   Next, as shown in FIG. 2B, conductive bumps 21 are formed on the necessary portions of the conductive paste 16. The conductive bumps 21 can be formed, for example, by screen printing a conductive paste (for example, a paste in which silver fine particles are dispersed). Note that the conductive bumps 21 may be formed on a layer having no interlayer connection just like the pattern 13b. Such an embodiment shown in FIG. 2B is a useful material for manufacturing a multilayer wiring board, as will be described below.

次に、同図(c)に示すように、セミキュア状態のプリプレグ(この例ではガラスエポキシ製)22を導電性バンプ21に貫通させて積層する。   Next, as shown in FIG. 2C, a semi-cured prepreg (made of glass epoxy in this example) 22 is passed through the conductive bumps 21 and laminated.

さらに、同図(d)に示すように、もう1枚のプリント配線板25aを、その導電性ペースト16が内側になるようにかつ導電性バンプ21が層間接続(導電ピラー)となるようにその上に積層する。このとき、加熱・加圧して積層することでプリプレグ22が硬化するとともに導電性バンプ21の頭部がつぶれ層間接続がなされる。   Further, as shown in FIG. 4D, another printed wiring board 25a is placed so that the conductive paste 16 is on the inside and the conductive bumps 21 are interlayer connection (conductive pillar). Laminate on top. At this time, by heating and pressurizing and laminating, the prepreg 22 is cured, and the heads of the conductive bumps 21 are crushed and interlayer connection is made.

以上により、4層のプリント配線板を得ることができる。   As described above, a four-layer printed wiring board can be obtained.

この例では、第1のプリント配線板25と第2のプリント配線板25aとは別個に並行して製造することができる。したがって、ビルドアップ基板と異なり部分ごとの並行製造により生産性を向上することができる。   In this example, the first printed wiring board 25 and the second printed wiring board 25a can be separately manufactured in parallel. Therefore, unlike the build-up substrate, productivity can be improved by parallel manufacturing for each part.

また、このような部分ごとに電気的・光学的検品をすることが可能であり、良品のみの組み合わせにより製造できるので、歩留まりも向上する。さらに、このように積層されたプリント配線板の外側の面には、導電性ペースト16のはみ出しがなくパターニングされた金属層のみ存在するので(いわゆるパッドオンビア構造になる。)、部品実装のためのランド位置に制限がなく部品実装の密度、配線密度をさらに向上することが可能となる。   In addition, it is possible to perform electrical / optical inspection for each of these parts, and manufacturing can be performed by a combination of only non-defective products, thus improving the yield. Further, since the conductive paste 16 is not protruded and there is only a patterned metal layer on the outer surface of the printed wiring board thus laminated (a so-called pad-on-via structure), a land for component mounting is provided. The position is not limited, and the component mounting density and wiring density can be further improved.

さらに、このようなプリント配線板を電子機器に適用すれば配線の自由度が高いのでパターン設計時間の短縮もなされ得る。   Furthermore, if such a printed wiring board is applied to an electronic device, the degree of freedom of wiring is high, and therefore the pattern design time can be shortened.

なお、この例におけるプリント配線板の変形例として、図3に示すような形態をとることもできる。同図においてすでに説明した構成要素には同一番号を付してある。   As a modified example of the printed wiring board in this example, a form as shown in FIG. 3 can be taken. The same reference numerals are given to the components already described in FIG.

この例は、内層同士の層間接続に導電性バンプ21を用いないものであって、プリプレグ22を貫通して必要な層間接続をスルーホール302の内面に形成された導電体のメッキ301によりなすものである。スルーホール302の形成には、全体の積層を終えてからドリルで貫通孔をあけることにより行うことができる。メッキ301には、銅メッキを用いることができる。   In this example, the conductive bump 21 is not used for the interlayer connection between the inner layers, and the necessary interlayer connection through the prepreg 22 is made by the conductive plating 301 formed on the inner surface of the through hole 302. It is. The through-hole 302 can be formed by drilling a through-hole with a drill after completing the entire lamination. The plating 301 can be copper plating.

このようなスルーホール302とメッキ301であっても、任意の必要な層間接続を達成できる。図3においては、最上の配線層、2番目の配線層、最下の配線層を接続するものが例として示されている。   Even with such a through hole 302 and plating 301, any necessary interlayer connection can be achieved. FIG. 3 shows an example of connecting the uppermost wiring layer, the second wiring layer, and the lowermost wiring layer.

次に、本発明の別の実施形態に係るプリント配線板について図4、図5を参照して説明する。図4は、本発明の別の実施形態に係るリント配線板を製造プロセスフローとともに模式的に示す断面図である。同図の(a)、(b)、(c)、(d)の順に工程が進行する。図5は、図4の続図であって、同様のプリント配線板を製造プロセスフローとともに模式的に示す断面図であり、図4(d)に続き、図5(a)、(b)、(c)の順に工程が進行する。   Next, a printed wiring board according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a lint wiring board according to another embodiment of the present invention together with a manufacturing process flow. The process proceeds in the order of (a), (b), (c), and (d) in FIG. FIG. 5 is a continuation diagram of FIG. 4, and is a cross-sectional view schematically showing a similar printed wiring board together with a manufacturing process flow. FIG. 5 (a), (b), FIG. The process proceeds in the order of (c).

まず、図4(a)に示すように、両面に金属層(この例では18μm厚のCu箔)32、33を有する絶縁層(この例では100μm厚のガラスエポキシ板)31を用意する。次に、図4(b)に示すように、片面の金属層33をエッチング加工して必要な配線等のパターンを形成する。このとき、通常のパターン33bのほかに層間接続を行う部分としてのパターン33a(この例では直径300μmのほぼ円形状)、パターン33c(同)も同時に形成する。ここで、パターン33aには、その内側に孔34(この例では直径100μm)が形成される。これも、エッチングにより同時に形成される。   First, as shown in FIG. 4A, an insulating layer 31 (100 μm thick glass epoxy plate in this example) 31 having metal layers (in this example, 18 μm thick Cu foil) 32 and 33 on both sides is prepared. Next, as shown in FIG. 4B, the metal layer 33 on one side is etched to form a pattern such as necessary wiring. At this time, in addition to the normal pattern 33b, a pattern 33a (substantially circular shape with a diameter of 300 μm in this example) and a pattern 33c (same as this) are also formed simultaneously. Here, a hole 34 (in this example, a diameter of 100 μm) is formed in the pattern 33a. This is also formed simultaneously by etching.

次に、図4(c)に示すように、孔34をマスクとして、例えば炭酸ガスレーザにより絶縁層31に孔35を形成する。この孔35は、絶縁層31を貫き金属層32に達するものである。   Next, as shown in FIG. 4C, the hole 35 is formed in the insulating layer 31 by, for example, a carbon dioxide gas laser using the hole 34 as a mask. The hole 35 penetrates the insulating layer 31 and reaches the metal layer 32.

次に、図4(d)に示すように、形成された孔35に導電性ペースト(この例では銀ペースト)36をスクリーン印刷で充填する。この例では、スクリーン印刷は、インチ当たり325本のステンレススクリーンに10μmの乳剤を塗布したスクリーン版を使用する。また、銀ペーストには銀スルーホール用のものを用い、スクリーン版を擦るスキージには平スキージを用いる。これにより、パターン33aに5〜15μm厚のはみ出し部分が形成されるまで、孔15に導電性ペースト36が充填され、パターン33aと金属層32との良好な層間接続が形成される。   Next, as shown in FIG. 4D, the formed holes 35 are filled with a conductive paste (in this example, a silver paste) 36 by screen printing. In this example, screen printing uses a screen plate in which a 10 μm emulsion is coated on 325 stainless screens per inch. A silver paste for silver through holes is used as a silver paste, and a flat squeegee is used as a squeegee for rubbing the screen plate. Thereby, the conductive paste 36 is filled in the holes 15 until a protruding portion having a thickness of 5 to 15 μm is formed in the pattern 33 a, and a good interlayer connection between the pattern 33 a and the metal layer 32 is formed.

次に、図4(e)に示すように、絶縁層(プリプレグ)37と金属層(この例では銅箔)38とを導電性ペースト36のはみ出しがある面にプレスして積層する。これにより、配線層が3層になる。   Next, as shown in FIG. 4E, an insulating layer (prepreg) 37 and a metal layer (copper foil in this example) 38 are pressed and laminated on the surface where the conductive paste 36 protrudes. Thereby, the wiring layer becomes three layers.

次に、図5(a)に示すように、両面の金属層32、38をエッチング加工して必要な配線等のパターンを形成する。このとき、通常のパターン32b、38bのほかに層間接続を行う部分としてのパターン32a(この例では直径300μmのほぼ円形状)、32c(同)、パターン38a(同)、38c(同)、38d(同)も同時に形成する。ここで、パターン38a、38c、38dには、その内側に孔39(この例では直径100μm)が形成される。これも、エッチングにより同時に形成される。   Next, as shown in FIG. 5A, the metal layers 32 and 38 on both sides are etched to form a pattern such as necessary wiring. At this time, in addition to the normal patterns 32b and 38b, a pattern 32a (substantially circular shape with a diameter of 300 μm in this example), 32c (same), patterns 38a (same), 38c (same), and 38d as portions for performing interlayer connection. (Same) is formed at the same time. Here, holes 39 (in this example, a diameter of 100 μm) are formed inside the patterns 38a, 38c, and 38d. This is also formed simultaneously by etching.

次に、図5(b)に示すように、孔39をマスクとして、例えば炭酸ガスレーザにより絶縁層37に孔310a、310b、310cを形成する。これら孔310a、310b、310cは、絶縁層37を貫き、さらに場合によっては絶縁層31をも貫き、導電性ペースト36もしくはパターン33cまたはパターン32cに達するものである。   Next, as shown in FIG. 5B, holes 310a, 310b, and 310c are formed in the insulating layer 37 by, for example, a carbon dioxide gas laser using the hole 39 as a mask. These holes 310a, 310b, and 310c penetrate through the insulating layer 37, and possibly through the insulating layer 31, and reach the conductive paste 36, the pattern 33c, or the pattern 32c.

次に、図5(c)に示すように、形成された孔310a、310b、310cに導電性ペースト(この例では銀ペースト)311a、311b、311cをスクリーン印刷で充填する。この例では、スクリーン印刷は、インチ当たり325本のステンレススクリーンに10μmの乳剤を塗布したスクリーン版を使用する。また、銀ペーストには銀スルーホール用のものを用い、スクリーン版を擦るスキージには平スキージを用いる。これにより、パターン38a、38c、38dに5〜15μm厚のはみ出し部分が形成されるまで、孔310a、310b、310cに導電性ペースト311a、311b、311cが充填され、パターン38a、38c、38dと導電性ペースト36もしくはパターン33cまたはパターン32cとの良好な層間接続が形成される。   Next, as shown in FIG. 5C, the formed holes 310a, 310b, and 310c are filled with conductive paste (silver paste in this example) 311a, 311b, and 311c by screen printing. In this example, screen printing uses a screen plate in which a 10 μm emulsion is coated on 325 stainless screens per inch. A silver paste for silver through holes is used as a silver paste, and a flat squeegee is used as a squeegee for rubbing the screen plate. As a result, the conductive pastes 311a, 311b, and 311c are filled in the holes 310a, 310b, and 310c until the protruding portions having a thickness of 5 to 15 μm are formed in the patterns 38a, 38c, and 38d. Good interlayer connection with the conductive paste 36, the pattern 33c, or the pattern 32c is formed.

以上のようにして、3層のプリント配線板51を得ることができる。また、図5(e)に示されるようにこれら3層の配線層は、任意の配線層同士で、上記説明のエッチング、レーザ加工、スクリーン印刷により層間接続が可能である。   As described above, a three-layer printed wiring board 51 can be obtained. Further, as shown in FIG. 5E, these three wiring layers can be connected to each other between the arbitrary wiring layers by the above-described etching, laser processing, and screen printing.

以上の工程で用いられるエッチング加工、レーザ加工については、エッチング加工がレーザ加工のためのマスク形成工程にもなっているので効率的に行うことが可能である。また、エッチング加工は、もともと均一厚に加工されている金属層に対して行うので、微細なパターンを高歩留まりで形成できる。なお、レーザ加工に代えてNCマシーンにより機械加工することもできる。これらの効果は、2層の配線層を有する図1に示したプリント配線板についての説明と同様である。   The etching process and laser processing used in the above steps can be efficiently performed because the etching process is also a mask forming process for laser processing. In addition, since the etching process is performed on the metal layer that is originally processed to have a uniform thickness, a fine pattern can be formed with a high yield. In addition, it can replace with a laser processing and can also machine with an NC machine. These effects are the same as those described for the printed wiring board shown in FIG. 1 having two wiring layers.

次に、本発明のさらに別の実施形態に係るプリント配線板について図6を参照して説明する。同図は、本発明のさらに別の実施形態に係るプリント配線板を製造プロセスフローとともに模式的に示す断面図であり、すでに説明した構成要素には同一番号を付して説明する。同図の(a)、(b)、(c)、(d)の順に工程が進行する。   Next, a printed wiring board according to still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This figure is a cross-sectional view schematically showing a printed wiring board according to still another embodiment of the present invention together with a manufacturing process flow, and the components already described are denoted by the same reference numerals. The process proceeds in the order of (a), (b), (c), and (d) in FIG.

このプリント配線板は、上記で説明した3層のプリント配線板51を2枚用いて6層のプリント配線板にしたものである。   This printed wiring board is a six-layer printed wiring board using two of the three-layer printed wiring boards 51 described above.

まず、同図(a)に示すように、図4、図5に示したプロセスにより製造されたプリント配線板51を用意する。なお、この図(a)では図5(c)とは上下反対にして示してある。   First, as shown in FIG. 4A, a printed wiring board 51 manufactured by the processes shown in FIGS. 4 and 5 is prepared. In this figure (a), it is shown upside down from FIG. 5 (c).

次に、同図(b)に示すように、導電性ペースト311a、311b、311cのうち必要な部位のものの上に導電性バンプ312aを形成する。導電性バンプ312aの形成は、例えば、導電性ペースト(例えば銀微粒子を分散させたペースト)をスクリーン印刷することにより行うことができる。なお、導電性バンプの形成は、パターン38eのように層間接続を直下に有しないものの上であってもよい(導電性バンプ312b)。   Next, as shown in FIG. 4B, conductive bumps 312a are formed on the necessary portions of the conductive pastes 311a, 311b, 311c. The conductive bump 312a can be formed, for example, by screen printing a conductive paste (for example, a paste in which silver fine particles are dispersed). The conductive bump may be formed on a pattern that does not have an interlayer connection just like the pattern 38e (conductive bump 312b).

次に、同図(c)に示すように、セミキュア状態のプリプレグ(この例ではガラスエポキシ製)313を導電性バンプ312a、312bに貫通させて積層する。   Next, as shown in FIG. 3C, a semi-cured prepreg (made of glass epoxy in this example) 313 is passed through the conductive bumps 312a and 312b and laminated.

さらに、同図(d)に示すように、もう1枚のプリント配線板51aを、その導電性ペースト311a(または311b、311c)が内側になるようにかつ導電性バンプ312a、312bが層間接続(導電ピラー)となるようにその上に積層する。このとき、加熱・加圧して積層することでプリプレグ313が硬化するとともにプリプレグ313を貫通した導電性バンプ312a、312bの頭部がつぶれ層間接続がなされる。   Further, as shown in FIG. 4 (d), another printed wiring board 51a is connected to the conductive paste 311a (or 311b, 311c) on the inner side, and the conductive bumps 312a, 312b are connected to each other by an interlayer connection ( A conductive pillar is stacked thereon. At this time, the prepreg 313 is cured by heating and pressurizing and the heads of the conductive bumps 312a and 312b penetrating the prepreg 313 are crushed to form an interlayer connection.

以上により、6層のプリント配線板を得ることができる。   As described above, a six-layer printed wiring board can be obtained.

この例では、第1のプリント配線板51と第2のプリント配線板51aとは別個に並行して製造することができる。したがって、ビルドアップ基板と異なり部分ごとの並行製造により生産性を向上することができる。   In this example, the first printed wiring board 51 and the second printed wiring board 51a can be separately manufactured in parallel. Therefore, unlike the build-up substrate, productivity can be improved by parallel manufacturing for each part.

また、このような部分ごとに電気的・光学的検品をすることが可能であり、良品のみの組み合わせにより製造できるので、歩留まりも向上する。さらに、このように積層されたプリント配線板の外側の面には、導電性ペースト36、311cのはみ出しがなくパターニングされた金属層のみ存在するので、部品実装のためのランド位置に制限がなく部品実装の密度、配線密度をさらに向上することが可能となる。これらの効果は、4層の配線層を有する図2に示したプリント配線板についての説明と同様である。   In addition, it is possible to perform electrical and optical inspections for each of these parts, and manufacturing can be performed by combining only good products, so that the yield is also improved. Further, since the conductive paste 36, 311c is not protruded and only the patterned metal layer is present on the outer surface of the printed wiring board thus laminated, there is no restriction on the land position for component mounting. It is possible to further improve the mounting density and the wiring density. These effects are the same as those described for the printed wiring board shown in FIG. 2 having four wiring layers.

次に、本発明の一実施形態に係るプリント配線板を用いて多層配線基板を製造する別のプロセスについて図7を参照して説明する。同図は、本発明の一実施形態に係るプリント配線板を用いて多層配線基板を製造する別のプロセスを模式的に示す断面図であり、すでに説明した構成要素には同一番号を付してある。   Next, another process for manufacturing a multilayer wiring board using a printed wiring board according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This figure is a cross-sectional view schematically showing another process for manufacturing a multilayer wiring board using a printed wiring board according to an embodiment of the present invention. is there.

このプリント配線板は、上記で説明した2層のプリント配線板25を3枚用いて6層のプリント配線板にしたものである。   This printed wiring board is a six-layer printed wiring board using three of the two-layer printed wiring boards 25 described above.

製造方法としては、同図(a)に示すように、図1に示したプロセスにより製造されたプリント配線板25、およびこれに必要な導電性バンプ21が形成されたもの2枚(25a、25c)を用意する。そして、最外の配線層には導電性ペースト16のはみ出しがない層が配置されるようにし、プリント配線板25、25b、25cの間にはセミキュア状態のプリプレグ61a、61bを配置する。   As a manufacturing method, as shown in FIG. 2A, two printed wiring boards 25 manufactured by the process shown in FIG. 1 and two conductive bumps 21 necessary for the printed wiring board 25 (25a, 25c) are formed. ). A layer in which the conductive paste 16 does not protrude is disposed on the outermost wiring layer, and semi-cured prepregs 61a and 61b are disposed between the printed wiring boards 25, 25b, and 25c.

これらの配置を加熱・加圧して積層する。これにより、図7(b)に示すように、プリプレグ61a、61bが硬化するとともにこれらを貫通した導電性バンプ21の頭部がつぶれ層間接続がなされる。   These arrangements are laminated by heating and pressing. As a result, as shown in FIG. 7 (b), the prepregs 61a and 61b are cured, and the heads of the conductive bumps 21 penetrating them are crushed to form an interlayer connection.

これにより、6層の配線層のプリント配線板を得ることができる。   As a result, a printed wiring board having six wiring layers can be obtained.

この例でも、第1のプリント配線板25と第2のプリント配線板25b、第3のプリント基板25cとは別個に並行して製造することができる。したがって、ビルドアップ基板と異なり部分ごとの並行製造により生産性を向上することができる。   Also in this example, the first printed wiring board 25, the second printed wiring board 25b, and the third printed circuit board 25c can be separately manufactured in parallel. Therefore, unlike the build-up substrate, productivity can be improved by parallel manufacturing for each part.

また、このような部分ごとに電気的・光学的検品をすることが可能であり、良品のみの組み合わせにより製造できるので、歩留まりも向上する。さらに、このように積層されたプリント配線板の外側の面には、導電性ペースト16のはみ出しがなくパターニングされた金属層のみ存在するので、部品実装のためのランド位置に制限がなく部品実装の密度、配線密度をさらに向上することが可能となる。これらの効果は、4層の配線層を有する図2、6層の配線層を有する図6に示したプリント配線板についての説明と同様である。   In addition, it is possible to perform electrical and optical inspections for each of these parts, and manufacturing can be performed by combining only good products, so that the yield is also improved. Further, since the conductive paste 16 is not protruded and only the patterned metal layer is present on the outer surface of the printed wiring board laminated in this manner, there is no restriction on the land position for component mounting. The density and wiring density can be further improved. These effects are the same as those described for the printed wiring board shown in FIG. 2 having four wiring layers and FIG. 6 having six wiring layers.

また、図7に示したようにしてさらに2層のプリント配線板25(または3層のプリント配線板51)を多く配置すればすれば、7層以上のプリント配線板を得ることができる。   Further, if more two-layer printed wiring boards 25 (or three-layer printed wiring boards 51) are arranged as shown in FIG. 7, a printed wiring board having seven or more layers can be obtained.

以上詳述したように、各実施形態によれば、層間接続は配線層を隔てる絶縁層に形成される孔に充填された導電性組成物によりなされ、メッキ工程を用いる必要がないので層間接続の信頼性を向上し、配線層のパターニングは、この層間接続とは関係なく均一厚に製造可能である金属層に対して行うことができ、これらにより、配線層同士の電気的接続の高信頼性化およびパターン形成の高信頼性化を図り、製造歩留まりを向上できる。さらに、このように積層されたプリント配線板の外側の面には、導電性組成物のはみ出しを作らずパターニングされた金属層のみ存在するようにできるので、部品実装のためのランド位置に制限をなくし部品実装の密度、配線密度をさらに向上することが可能となる。   As described above in detail, according to each embodiment, the interlayer connection is made of the conductive composition filled in the holes formed in the insulating layer separating the wiring layers, and there is no need to use a plating process. Improves reliability and patterning of wiring layers can be performed on metal layers that can be manufactured to a uniform thickness regardless of this interlayer connection, which enables high reliability of electrical connection between wiring layers And the reliability of pattern formation can be improved, and the manufacturing yield can be improved. In addition, the outer surface of the printed wiring board laminated in this way can be made to have only a patterned metal layer without protruding the conductive composition, thus limiting the land position for component mounting. It is possible to further improve the density of component mounting and wiring density.

本発明の一実施形態に係るプリント配線板の前提となるプリント配線板の製造プロセスを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the manufacturing process of the printed wiring board used as the premise of the printed wiring board which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るプリント配線板を用いて多層配線板を製造するプロセスを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the process which manufactures a multilayer wiring board using the printed wiring board which concerns on one Embodiment of this invention. 図2に示した多層配線板の変形例を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the modification of the multilayer wiring board shown in FIG. 本発明の別の実施形態に係るプリント配線板を製造プロセスフローとともに模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the printed wiring board which concerns on another embodiment of this invention with a manufacturing process flow. 図4の続図であって、本発明の別の実施形態に係るリント配線板を製造プロセスフローとともに模式的に示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a lint wiring board according to another embodiment of the present invention together with a manufacturing process flow, which is a continuation diagram of FIG. 本発明のさらに別の実施形態に係るプリント配線板を製造プロセスフローとともに模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically the printed wiring board which concerns on another embodiment of this invention with a manufacturing process flow. 本発明の一実施形態に係るプリント配線板を用いて多層配線基板を製造する別のプロセスを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows typically another process which manufactures a multilayer wiring board using the printed wiring board which concerns on one Embodiment of this invention. ビルドアップ方式のプリント配線板の製造プロセスフローを模式的に示す図。The figure which shows typically the manufacturing process flow of the printed wiring board of a buildup system.

符号の説明Explanation of symbols

11,31,37…絶縁層、12,13,32,33,38…金属層、12a,12b,13a,13b,32a,32b,32c,33a,33b,33c,38a,38b,38c,38d,38e…パターン、14,34,39…孔、15,35,310a,310b,310c…孔、16,36,311a,311b,311c…導電性ペースト、21,312a,312b…導電性バンプ、22,61a,61b,313…プリプレグ、25,25a,25b,25c…プリント配線板、51,51a…プリント配線板、301…メッキ、302…スルーホール。   11, 31, 37 ... insulating layer, 12, 13, 32, 33, 38 ... metal layer, 12a, 12b, 13a, 13b, 32a, 32b, 32c, 33a, 33b, 33c, 38a, 38b, 38c, 38d, 38e ... pattern, 14, 34, 39 ... hole, 15, 35, 310a, 310b, 310c ... hole, 16, 36, 311a, 311b, 311c ... conductive paste, 21, 312a, 312b ... conductive bump, 22, 61a, 61b, 313 ... prepreg, 25, 25a, 25b, 25c ... printed wiring board, 51, 51a ... printed wiring board, 301 ... plating, 302 ... through hole.

Claims (7)

第1の面と第2の面とを有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層の前記第1の面に設けられた、第1の層状の導電体を有する第1の配線層と、
前記第1の層状の導電体に達する前記第1の絶縁層を貫く孔に充填されかつこの孔より前記第1の絶縁層の第2の面側にはみ出す第1の導電性組成物と、
前記第1の絶縁層の前記第2の面に設けられた、前記第1の導電性組成物に電気的に接続しかつ第2の層状の導電体を有する第2の配線層と、
前記第2の配線層を前記第1の絶縁層とにより挟み込む第2の絶縁層と、
前記第2の層状の導電体または前記第1の導電性組成物に達する前記第2の絶縁層を貫く孔または前記第1の層状の導電体に達する前記第1および第2の絶縁層を貫く孔に充填されかつこの孔より前記第2の配線層に接する面とは異なる前記第2の絶縁層の面上にはみ出す第2の導電性組成物と、
前記第2の配線層に接する前記面とは異なる前記第2の絶縁層の前記面に設けられた、前記第2の導電性組成物に電気的に接続する第3の配線層と
を具備することを特徴とするプリント配線板。
A first insulating layer having a first surface and a second surface;
A first wiring layer provided on the first surface of the first insulating layer and having a first layered conductor;
A first conductive composition that fills a hole penetrating the first insulating layer reaching the first layered conductor and protrudes from the hole to the second surface side of the first insulating layer;
A second wiring layer provided on the second surface of the first insulating layer and electrically connected to the first conductive composition and having a second layered conductor;
A second insulating layer sandwiching the second wiring layer with the first insulating layer;
Passing through the second insulating layer reaching the second layered conductor or the first conductive composition, or passing through the first and second insulating layers reaching the first layered conductor. A second conductive composition that fills the hole and protrudes from the surface of the second insulating layer different from the surface in contact with the second wiring layer from the hole;
A third wiring layer provided on the surface of the second insulating layer different from the surface in contact with the second wiring layer and electrically connected to the second conductive composition. A printed wiring board characterized by that.
請求項1記載の第1のプリント配線板と、
請求項1記載の第2のプリント配線板と、
前記第1のプリント配線板の第3の配線層と前記第2のプリント配線板の第3の配線層とに挟まれる第3の絶縁層と
を有することを特徴とするプリント配線板。
A first printed wiring board according to claim 1;
A second printed wiring board according to claim 1;
A printed wiring board comprising: a third insulating layer sandwiched between a third wiring layer of the first printed wiring board and a third wiring layer of the second printed wiring board.
層状に配置された請求項1記載の複数のプリント配線板と、
前記層状に配置された複数のプリント配線板それぞれの間に挟まれた複数の第3の絶縁層とを具備し、
前記複数のプリント配線板の外側の配線層のうち前記複数の第3の絶縁層に接していない配線層が第1の配線層となる配置であること
を特徴とするプリント配線板。
A plurality of printed wiring boards according to claim 1 arranged in layers,
A plurality of third insulating layers sandwiched between each of the plurality of printed wiring boards arranged in layers,
The printed wiring board, wherein a wiring layer that is not in contact with the plurality of third insulating layers among the wiring layers outside the plurality of printed wiring boards is arranged as a first wiring layer.
前記第3の絶縁層を貫通して、前記第1および第2のプリント配線板の前記第3の配線層同士が電気的接続される導電ピラーをさらに具備することを特徴とする請求項3記載のプリント配線板。   4. A conductive pillar that penetrates through the third insulating layer and electrically connects the third wiring layers of the first and second printed wiring boards is provided. Printed wiring board. 両主面にそれぞれ第1、第2の金属層を有する第1の絶縁層の前記第1の金属層をエッチング加工して前記第1の絶縁層を露出する第1の孔を含むよう第1の導電パターンを形成する工程と、
前記第1の導電パターンの前記第1の孔に連続して前記第2の金属層に達する第2の孔を前記第1の絶縁層に形成する工程と、
前記形成された連続する第1および第2の孔に第1の導電性組成物を充填し前記第1、第2の金属層の電気的接続部分を形成する工程と、
前記第1の絶縁層の前記第1の導電性組成物が露出する側の面上に第2の絶縁層、第3の金属層の順に該第2の絶縁層および該第3の金属層を積層する工程と、
前記第3の金属層をエッチング加工して前記第2の絶縁層を露出する第3の孔を含むよう第2の導電パターンを形成する工程と、
前記第2の導電パターンの前記第3の孔に連続して、前記第1の金属層または前記第1の導電性組成物に達する前記第2の絶縁層を貫く第4の孔または前記第2の金属層に達する前記第1および第2の絶縁層を貫く第5の孔を形成する工程と、
前記形成された連続する第3および第4の孔または前記形成された連続する第3および第5の孔に第2の導電性組成物を充填し前記第1、第3の金属層の電気的接続部分または前記第2、第3の金属層の電気的接続部分を形成する工程と
を具備することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
The first metal layer of the first insulating layer having the first and second metal layers on both main surfaces is etched to include a first hole that exposes the first insulating layer. Forming a conductive pattern of
Forming a second hole in the first insulating layer that reaches the second metal layer continuously to the first hole of the first conductive pattern;
Filling the formed continuous first and second holes with a first conductive composition to form electrical connection portions of the first and second metal layers;
The second insulating layer and the third metal layer are arranged in the order of the second insulating layer and the third metal layer on the surface of the first insulating layer on the side where the first conductive composition is exposed. Laminating steps;
Etching the third metal layer to form a second conductive pattern so as to include a third hole exposing the second insulating layer;
The fourth hole or the second hole penetrating the second insulating layer reaching the first metal layer or the first conductive composition continuously to the third hole of the second conductive pattern. Forming a fifth hole through the first and second insulating layers reaching the metal layer;
The formed continuous third and fourth holes or the formed continuous third and fifth holes are filled with a second conductive composition to electrically connect the first and third metal layers. Forming a connection portion or an electrical connection portion of the second and third metal layers. A method of manufacturing a printed wiring board, comprising:
両主面にそれぞれ第1、第2の金属層を有する第1の絶縁層の前記第1の金属層をエッチング加工して前記第1の絶縁層を露出する第1の孔を含むよう第1の導電パターンを形成する工程と、前記第1の導電パターンの前記第1の孔に連続して前記第2の金属層に達する第2の孔を前記第1の絶縁層に形成する工程と、前記形成された連続する第1および第2の孔に第1の導電性組成物を充填し前記第1、第2の金属層の電気的接続部分を形成する工程と、前記第1の絶縁層の前記第1の導電性組成物が露出する側の面上に第2の絶縁層、第3の金属層の順に該第2の絶縁層および該第3の金属層を積層する工程と、前記第3の金属層をエッチング加工して前記第2の絶縁層を露出する第3の孔を含むよう第2の導電パターンを形成する工程と、前記第2の導電パターンの前記第3の孔に連続して、前記第1の金属層または前記第1の導電性組成物に達する前記第2の絶縁層を貫く第4の孔または前記第2の金属層に達する前記第1および第2の絶縁層を貫く第5の孔を形成する工程と、前記形成された連続する第3および第4の孔または前記形成された連続する第3および第5の孔に第2の導電性組成物を充填し前記第1、第3の金属層の電気的接続部分または前記第2、第3の金属層の電気的接続部分を形成する工程と、により得られるプリント配線板部を少なくとも2枚準備するステップと、
前記少なくとも2枚のプリント配線板部それぞれの間に挟まれるように第3の絶縁層を積層・一体化するステップとを具備し、
前記少なくとも2枚のプリント配線板部それぞれの前記第2の金属層のうち前記第3の絶縁層に接しないことになる第2の金属層が最も外側の配置で前記積層がなされること
を特徴とするプリント配線板の製造方法。
The first metal layer of the first insulating layer having the first and second metal layers on both main surfaces is etched to include a first hole that exposes the first insulating layer. Forming a conductive pattern, and forming a second hole in the first insulating layer that reaches the second metal layer continuously to the first hole of the first conductive pattern; Filling the formed continuous first and second holes with a first conductive composition to form electrical connection portions of the first and second metal layers; and the first insulating layer. Laminating the second insulating layer and the third metal layer in the order of the second insulating layer and the third metal layer on the surface on the side where the first conductive composition is exposed; Forming a second conductive pattern so as to include a third hole exposing the second insulating layer by etching the third metal layer; A fourth hole penetrating through the second insulating layer reaching the first metal layer or the first conductive composition in succession to the third hole of the second conductive pattern; Forming a fifth hole through the first and second insulating layers reaching the second metal layer, the formed third and fourth holes, or the formed third and Filling a fifth hole with a second conductive composition to form an electrical connection portion of the first and third metal layers or an electrical connection portion of the second and third metal layers; Preparing at least two printed wiring board parts obtained by
Laminating and integrating a third insulating layer so as to be sandwiched between each of the at least two printed wiring board portions,
Of the second metal layers of each of the at least two printed wiring board portions, the second metal layer that does not come into contact with the third insulating layer is laminated in the outermost arrangement. A method for manufacturing a printed wiring board.
第1の面と第2の面とを有する絶縁層と、
前記絶縁層の前記第1の面に設けられた、層状の導電体を有する第1の配線層と、
前記層状の導電体に達する前記絶縁層を貫く孔に充填されかつこの孔より前記絶縁層の前記第2の面側にはみ出す導電性組成物と、
前記絶縁層の前記第2の面に設けられた、前記導電性組成物に電気的に接続する第2の配線層と、
前記導電性組成物上に接して設けられた導電ピラーと
を具備することを特徴とするプリント配線板。
An insulating layer having a first surface and a second surface;
A first wiring layer having a layered conductor provided on the first surface of the insulating layer;
A conductive composition that fills a hole penetrating the insulating layer reaching the layered conductor and protrudes from the hole to the second surface side of the insulating layer;
A second wiring layer provided on the second surface of the insulating layer and electrically connected to the conductive composition;
A printed wiring board comprising: a conductive pillar provided in contact with the conductive composition.
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