JP2007067213A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェハを保持するためのサセプタ4及び原料ガスを導入するためのガス導入部を有する反応室1と、この反応室からガスを排気する排気部6と、上記反応室及び上記排気部の間に配設され、これら反応室及び排気部を連通する排気口が形成された仕切り部材を備えた気相成長装置において、仕切り部材7に形成する排気口8を、上記反応室の側から上記排気部の側に向けて流路断面積が小さくなるように形成し、余剰生成物の付着を上流側に集中させ、処理を重ねていっても一定のガス流速が得られるように構成したものである。
【選択図】 図1
Description
図1はこの発明の実施の形態1による気相成長装置としてのMOCVD成膜装置の要部を模式的に説明するもので、図1(a)は反応室(反応炉)部分を概略的に示す側面断面図、図1(b)は図1(a)の斜視図、図1(c)は図1(a)の丸で囲むA部の拡大断面図である。図において、MOCVD装置は、反応炉を構成する円形の反応室1、この反応室1内中心部に外部から成膜用の原料ガスを導入するためのガス導入部2、複数のウェハ3を周方向にセットする円盤状のサセプタ4、ウェハ3を加熱するためのヒータ5、反応室1内から反応後のガスを排気するための図示省略している排気装置に連通された排気部6、これら反応室1及び排気部6を連通する多数の排気口8が周方向に略等間隔で形成された仕切り部材7、などから構成されている。なお、8aは内側開口部、8bは外側開口部である。
図2及び図3はこの発明の実施の形態2による気相成長装置としてのMOCVD成膜装置の要部を模式的に説明するもので、図2(a)は反応室部分を概略的に示す側面断面図、図2(b)は図2(a)の丸で囲むD部の排気口の断面構成を説明する図、図2(c)は該D部の排気口に隣接する排気口の断面構成を説明する図、図3は仕切り部材を平面方向に見たときの排気口の位置関係を説明する断面図である。図に示すように、この実施の形態2においては、リング状の仕切り部材7は径方向内側から外側に向けて第1のプレート部材71、第2のプレート部材72、第3のプレート部材73、第4のプレート部材74、及び第5のプレート部材75からなる多段プレートで構成され、各プレート部材71〜75の相互の間は、所定の間隔9を保持して互いに離間されている。
R81>R82>R83>R84>R85
のように、内側から外側に向けて、即ち気体の流れる方向に順次小さくなるように構成され、しかも図3に示すように各排気口81〜85の周方向の位置を交互にずらして、いわゆる「てれこ」に配設されている。なお、上記第1〜第5のプレート部材71〜75の材質としては、例えばモリブデン、タングステンなど耐熱性に優れた金属類の薄板は好ましく用いることができるが、特にこれらのみに限定されるものではない。その他の構成は上記実施の形態1と同様であるので説明を省略する。
Claims (6)
- サセプタを有する反応室と、この反応室からガスを排気する排気部と、上記反応室及び上記排気部の間に配設され、これら反応室及び排気部を連通する排気口が形成された仕切り部材を備えた気相成長装置において、上記仕切り部材に形成された排気口は、上記反応室側から上記排気部側に向けて流路断面積が小さくなるように形成されてなることを特徴とする気相成長装置。
- 上記仕切り部材は、石英(SiO2)、炭化シリコン(SiC)、窒化シリコン(SiN)、及び窒化ボロン(BN)から選ばれた少なくとも一つの材料を用いたものであることを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置。
- 上記排気口は、上記反応室側から上記排気装置側に向けて内径が連続的に小さくなるように錐体状に形成されたものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の気相成長装置。
- 上記仕切り部材は、上記反応室側に配設され流路断面積が大きい貫通孔からなる排気口が設けられた第1のプレート部材と、この第1のプレート部材に対して上記排気装置の側に離間して配設され、かつ上記第1のプレート部材の排気口とはずらした位置に、流路断面積が上記第1のプレート部材の貫通孔よりも小さい貫通孔からなる排気口を有する第2のプレート部材とを用いて構成されてなることを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置。
- 上記仕切り部材は、耐熱性の金属材料からなることを特徴とする請求項4に記載の気相成長装置。
- 上記仕切り部材は、上記サセプタのまわりを囲むようにリング状に形成され、上記排気口は上記仕切り部材の周方向に多数設けられてなることを特徴とする請求項1ないし請求項5の何れかに記載の気相成長装置。
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