JP2007056343A - ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法 - Google Patents

ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007056343A
JP2007056343A JP2005245427A JP2005245427A JP2007056343A JP 2007056343 A JP2007056343 A JP 2007056343A JP 2005245427 A JP2005245427 A JP 2005245427A JP 2005245427 A JP2005245427 A JP 2005245427A JP 2007056343 A JP2007056343 A JP 2007056343A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
amino acid
polyimide resin
aqueous solution
basic amino
plating film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005245427A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4708920B2 (ja
Inventor
Makoto Takatoku
誠 高徳
Saneyoshi Hamada
実香 濱田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JCU Corp
Original Assignee
Ebara Udylite Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Udylite Co Ltd filed Critical Ebara Udylite Co Ltd
Priority to JP2005245427A priority Critical patent/JP4708920B2/ja
Publication of JP2007056343A publication Critical patent/JP2007056343A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4708920B2 publication Critical patent/JP4708920B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Chemically Coating (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

【課題】 ポリイミド樹脂上に金属めっき皮膜を析出させるにあたり、十分なポリイミド−金属皮膜間の密着性を確保できる技術を提供すること。
【解決手段】 ポリイミド樹脂をアルカリ処理した後、触媒付与処理、無電解金属めっきおよび電解金属めっきを行うポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法であって、前記アルカリ処理と触媒付与処理の間に塩基性アミノ酸水溶液処理を行うことを特徴とするポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
【選択図】 なし

Description

本発明は、ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法に関し、更に詳細には、ポリイミド樹脂上へ無電解めっき処理を施すに先立ち、その素材を前処理することによりめっき皮膜とポリイミド樹脂間の密着強度を飛躍的に高めることのできる方法に関する。
近年、電子機器の小型化、高性能化に伴い、プリント配線板の高配線密度化、高性能化が求められている。ポリイミド樹脂は、耐熱性、電気絶縁性、機械的強度などの優れた特性から、フレキシブルプリント基板やTABテープ用のベースフィルムとして実用化されており、通常、フィルム状のポリイミド樹脂は表面上に銅を被覆した銅張ポリイミド基板の形で多用されている。
銅張ポリイミド基板の製法としては、ラミネート法、キャスティング法、スパッタ・めっき法などがある。このうち、ラミネート法はポリイミドフィルムと銅箔を接着剤で貼り合わせる方法であり、また、キャスティング法は、粗化銅箔表面にポリイミド前駆体のポリアミック酸を塗布、加熱する方法である。これらの方法は、生産性が高く、銅箔とポリイミドとの密着性が良いなどの利点があるが、銅箔とポリイミドの界面の凹凸が大きく、銅膜厚を薄くすることが難しいため、ファインパターニングには不利であるという問題点かあった。
それに対し、スパッタ・めっき法は、スパッタリングによりポリイミドフィルム表面に導電層を形成した後、電気銅めっきで厚膜する方法であり、銅とポリイミドの界面が平滑で、電気めっきにより銅膜厚を制御することができるので、ファインパターニングに適するという大変優れた特徴を持っている。
ところが、このスパッタ・めっき法を行うには、高価なスパッタリング装置が必要であることから、銅張ポリイミド基板のコストは高くなり、また、生産性も低くなるという問題がった。そのため、更なる低コスト化、生産性向上を目指して、スパッタリングによる導電層形成に代え無電解めっきで行う試みがなされていた。
ところで、ポリイミド樹脂上に密着性良く無電解めっきを行う方法としては、アルカリ金属水酸化物の水溶液にポリイミド樹脂を浸漬する方法が知られている。このアルカリ金属水酸化物溶液にポリイミド樹脂を浸漬することにより、無電解めっきの密着性が良くなる理由は、アルカリ金属水酸化物の水溶液に接触することにより、ポリイミドのイミド環がアルカリ加水分解により開環して極性基が付与され、この結果、金属皮膜との化学的密着性が向上するというものである。また、アルカリ金属水酸化物の水溶液によりポリイミド表面がエッチングされて凹凸が生じ、金属皮膜との接触表面積を増加させたり、アンカー効果により密着性が向上する効果もあるとされている。
しかし、この方法で得られる密着強度は実用化には不十分であり、より高い密着強度を得るための手段が求められていた。
従って、本発明の課題は、ポリイミド樹脂上に金属めっき皮膜を析出させるにあたり、十分なポリイミド−金属皮膜間の密着性を確保できる技術を提供することにある。
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を行った結果、ポリイミド−金属皮膜間の十分な密着性を確保するには、金属めっき皮膜析出に先立ち、ポリイミド樹脂上に無電解金属めっきを行うための触媒金属を強く固定させることが重要であることに気づいた。そこで更に、研究を進めた結果、アルカリ水溶液への浸漬によりポリイミド樹脂上に形成されるポリアミック酸部分(極性部分)に、触媒金属を担持しうる化合物を強く結合させた後、常法に従って触媒付与処理、無電解めっきおよび金属めっきを行うことにより、従来より高い、ポリイミド−金属皮膜間の密着性能が得られることを見出し、本発明を完成した。
すなわち本発明は、ポリイミド樹脂をアルカリ処理した後、触媒付与処理、無電解金属めっきおよび電解金属めっきを行うポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法であって、前記アルカリ処理と触媒付与処理の間に塩基性アミノ酸水溶液処理を行うことを特徴とするポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法である。
また本発明は、塩基性アミノ酸を有効成分とすることを特徴とする密着性向上用前処理剤である。
本発明の金属めっき皮膜形成方法によれば、従来に比べ、ポリイミド樹脂と金属めっき皮膜との間に高い密着強度が得られ、フレキシブル銅張積層板の製造等において、製品の品質の向上や、コストダウン、生産性の向上が期待される。
本発明方法は、従来のポリイミド樹脂上の金属めっき方法において、アルカリ処理と触媒付与処理の間に塩基性アミノ酸水溶液処理を行うことを特徴とするものである。
本発明方法の対象となるポリイミド樹脂は、アルカリ処理により、ポリアミック酸イオンが形成されるものであれば、特に制約はない。
本発明方法における、塩基性アミノ酸水溶液処理は、塩基性アミノ酸を含む水溶液を使用することにより行われる。ここで使用される塩基性アミノ酸とは、カチオン性基(例えば、アミノ基やグアニジル基)を持つアミノ酸を意味し、その具体例としては、リシン、アルギニン、オルチニンなどを挙げることができる。この塩基性アミノ酸としては、L−体のみならず、D−体やそれらの塩酸塩等も使用でき、その市販品の例としては、L−リシン(和光純薬工業株式会社製)、D−リシン(和光純薬工業株式会社製)、D−リシン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)、L−リシン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)、L−オルニチン(和光純薬工業株式会社製)、D−オルニチン(和光純薬工業株式会社製)、L−オルニチン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)、D−オルニチン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)、L−アルギニン(和光純薬工業株式会社製)、D−アルギニン(和光純薬工業株式会社製)、L−アルギニン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)、D−アルギニン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)等を挙げることができる。このうちでも、特に、リシン(L−リシン、D−リシン、D−リシン塩酸塩、L−リシン塩酸塩)の効果が高く、その使用が好ましい。
上記の、塩基性アミノ酸水溶液における塩基性アミノ酸濃度は、0.01ないし2.5mol/Lであることが好ましく、特に0.5ないし1.0mol/Lであることが好ましい。
一方、塩基性アミノ酸水溶液処理に用いる水溶液は、弱酸性〜弱塩基性であることが好ましく、例えば、pHが3ないし11程度、特に4ないし10であることが好ましい。このようなpHに調整するには、塩基性アミノ酸を水に加えた後、必要に応じて適当な無機酸やアルカリ金属水酸化物、例えば塩酸や水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等を加えればよい。
本発明方法における、塩基性アミノ酸水溶液処理は、前工程においてアルカリ浸漬処理されたポリイミド樹脂を、塩基性アミノ酸水溶液に浸漬するか、あるいはポリイミド樹脂に塩基性アミノ酸水溶液を噴霧することにより行われる。
この塩基性アミノ酸水溶液処理は、室温ないし100℃程度、好ましくは30ないし60℃の温度で行われる。また、その処理時間は、0.1分(6秒)から100分間であり、好ましくは2分から20分間である。
本発明方法において、上記の塩基性アミノ酸水溶液処理以外の工程は、従来公知のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法に従って行うことができる。
すなわち、本発明の塩基性アミノ酸水溶液処理に先だって行われるアルカリ処理工程は、例えば、アルカリ金属水酸化物水溶液等のアルカリ水溶液に、常法に従ってポリイミド樹脂を浸漬することにより行うことができ、また、塩基性アミノ酸水溶液処理後の触媒付与処理工程も、市販のパラジウム触媒液等を使用して実施することができる。
更に、その後の無電解金属めっき工程や、電解金属めっき工程も、目的に応じて公知の無電解金属めっき方法や電解金属めっき方法により行うことができる。
本発明方法において使用される塩基性アミノ酸を含む水溶液は、各成分を濃縮した状態で含む密着性向上用前処理剤として提供することも可能である。
この密着性向上前処理剤は、塩基性アミノ酸濃度を好ましい濃度にまで希釈して使用するものであり、使用時におけるその濃度を、0.01ないし2.5mol/L程度、好ましくは、0.5ないし1.0mol/Lとするものである。また、その希釈時のpHも、3ないし11程度、特に4ないし10となるように酸性成分や塩基性成分が配合される。
上記の密着性向上前処理剤においては、更に必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、防腐剤、香料、色素等の任意成分を配合することもできる。
本発明方法において、ポリイミド樹脂と金属めっき皮膜との間に高い密着強度が得られる理由は、次のように考えられている。
すなわち、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのようなアルカリ金属水酸化物の水溶液にポリイミド樹脂を浸漬すると、次式のようにポリイミドのイミド環がアルカリ加水分解により開環して、ポリアミック酸イオンになり、表面改質層が生成する(以下の反応式は、リシンおよび水酸化カリウムを使用した場合で示してある)。
Figure 2007056343
このように、表面にポリアミック酸イオンが形成されたポリイミド樹脂を、リシン、アルギニン、オルチニンなどのようなカチオン性基(アミノ基やグアニジル基)を持つ塩基性アミノ酸の溶液で処理すると、下式のようにこの塩基性アミノ酸がポリアミック酸表面改質層中に取り込まれる。
Figure 2007056343
そしてその後、無電解めっきの触媒核となるPd錯体溶液等に浸すと、次に示すようにポリイミド樹脂の改質層中に取り込まれている塩基性アミノ酸のアミノカルボキシル基がPd錯体にキレート配位することで、改質層内に強力に固定される。
Figure 2007056343
このような機構により、ポリイミド樹脂上に触媒金属が強く担持され、ポリイミド樹脂と金属皮膜との密着性が向上するのである。
以下、実施例及び比較例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例により何ら制約されるものではない。
実 施 例 1
(1)水酸化カリウム(和光純薬工業株式会社製、特級)280gを水1Lに溶解し、5.0mol/Lの水溶液を調製した。この水溶液を50℃に加熱し、この溶液に25mm×100mmのポリイミドフィルム(Kapton 100−EN;東レ・デュポン株式会社製、厚さ25μm)を2分間浸漬し、水で洗浄した。
別に、L−リシン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)180gを水1Lに溶解し、1.0mol/L水溶液(水酸化カリウムにてpH=6.0に調整;以下、「L−リシン水溶液」という)を調製した。このL−リシン水溶液を50℃に加熱後、これに上記工程でアルカリ処理したポリイミドフィルムを2分間浸漬し、水で洗浄した。
さらに、L−リシン水溶液で処理したポリイミドフィルムを、50℃のイオン性パラジウム触媒溶液(PC−65H;荏原ユージライト株式会社製)に5分間浸漬してパラジウムイオンを吸着させ、その後、還元溶液(PC−66H;荏原ユージライト株式会社製)に浸して、前工程でポリイミド表面に吸着させたパラジウムイオンを金属パラジウムに還元した。
(2)触媒化したポリイミドフィルムを、35℃の無電解ニッケルめっき浴(ENILEX NI−100;荏原ユージライト株式会社製)に5分間処理し、両面に0.3μmのニッケルめっき皮膜を析出させ、水洗後、80℃で1時間乾燥した。
その後、10%硫酸水溶液に室温下で30秒間浸して、ニッケルめっき表面を活性化し、PDC(荏原ユージライト株式会社製)で、室温下にて1分間処理し、ニッケルめっき表面を銅に置換した。
最後に、硫酸銅めっき浴(Cu−Brite 21;荏原ユージライト株式会社製)により、室温で1時間、2A/dmの電流密度で電気めっきを行い、約20μmの銅めっき皮膜を析出させた。その後水洗し、80℃で1時間、120℃で1時間乾燥した。
(3)得られためっき皮膜とポリイミドフィルム間の密着強度を、JIS C−6481に従って測定した。まず、めっき皮膜の形成されたポリイミドフィルムから10mm幅でめっき皮膜は引き剥がせるように、カッターで2本の溝を形成した。次いで引っ張り強度試験器((株)島津製作所製:AGS−H500N)を用いて、10mm幅のめっき皮膜の90°引き剥がし強度を密着強度として測定した。その結果、密着強度は1100gf/cmと極めて高く、実用上全く問題ないものであった。
実 施 例 2
L−リシン水溶液を、L−オルニチン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)1.0mol/L水溶液(水酸化カリウムにてpH=6.0に調整)に変更する以外は全て実施例1と同じ条件でめっき皮膜を析出させた。このめっき皮膜の密着強度を測定したところ、920gf/cmであった。
実 施 例 3
L−リシン水溶液を、L−アルギニン塩酸塩(和光純薬工業株式会社製)1.0mol/L水溶液(水酸化カリウムにてpH=6.0に調整)に変更する以外は全て実施例1と同じ条件でめっき皮膜を析出させた。このめっき皮膜、密着強度を測定したところ、870gf/cmであった。
実 施 例 4
水酸化カリウム(和光純薬工業株式会社製、特級)2.8gを水1Lに溶解し、0.05mol/Lの水溶液を調製した。この水溶液を50℃に加熱した後、25mm×100mmのポリイミドフィルム(Kapton 100−H;東レ・デュポン株式会社製、厚さ25μm)を5分間浸漬し、水で洗浄した。その後は実施例1と全て同じ条件でめっき皮膜を析出させ、密着強度を測定したところ、1100gf/cmであった。
比 較 例 1
L−リシン水溶液に浸漬する工程を行わない以外は、全て実施例1と同じ条件でめっき皮膜を析出させた。このめっき皮膜の密着強度を測定したところ、340gf/cmであった。
比 較 例 2
L−リシン水溶液を、ポリイミド表面改質層と相互作用する部位を持たないL−アラニン(和光純薬工業株式会社製)1.0mol/L水溶液(水酸化カリウムにてpH=6.0に調整)に変更する以外は、全て実施例1と同じ条件でめっき皮膜を析出させた。このめっき皮膜の密着強度を測定したところ、370gf/cmであった。
比 較 例 3
L−リシン水溶液を、ポリイミド表面改質層と相互作用する部位を持たないL−グリシン(和光純薬工業株式会社製)1.0mol/L水溶液(水酸化カリウムにてpH=6.0に調整)に変更する以外は、全て実施例1と同じ条件でめっき皮膜を析出させた。このめっき皮膜の密着強度を測定したところ、330gf/cmであった。
比 較 例 4
L−リシン水溶液を、ポリイミド表面改質層と相互作用する部位を持たないL−アスパラギン酸(和光純薬工業株式会社製)1.0mol/L水溶液(水酸化カリウムにてpH=6.0に調整)に変更する以外は、全て実施例1と同じ条件でめっき皮膜を析出させた。このめっき皮膜の密着強度を測定したところ、330gf/cmであった。
上記実施例1〜3に示される、塩基性アミノ酸溶液浸漬処理を行う本発明の金属めっき皮膜形成方法は、アミノ酸浸漬処理を行わない比較例1と比較し、2.5〜3倍程度の密着強度の向上が見られた。これに対し、中性アミノ酸や酸性アミノ酸溶液浸漬処理を行った比較例2〜4では、アミノ酸浸漬処理を行わない比較例1とほぼ等しい密着強度であった。
このように、本発明の金属めっき皮膜形成方法によれば、従来に比べ、飛躍的に高い密着強度が得られるため、フレキシブル銅張積層板の製造等において、製品の品質の向上や、コストダウン、生産性の向上が期待される。特に、本法はアディティブ法での回路形成に好ましく用いることができる。
以 上

Claims (11)

  1. ポリイミド樹脂をアルカリ処理した後、触媒付与処理、無電解金属めっきおよび電解金属めっきを行うポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法であって、前記アルカリ処理と触媒付与処理の間に塩基性アミノ酸水溶液処理を行うことを特徴とするポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  2. 塩基性アミノ酸水溶液処理が、弱酸性から弱塩基性の塩基性アミノ酸水溶液により行われる請求項第1項記載のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  3. 塩基性アミノ酸が、リシン、オルニチンまたはアルギニンから選ばれたものである請求項第1項または第2項記載のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  4. 塩基性アミノ酸水溶液の塩基性アミノ酸濃度が、0.01ないし2.5mol/Lである請求項第1項ないし第3項のいずれかの項記載のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  5. 塩基性アミノ酸水溶液のpHが、3ないし11である請求項第1項ないし第4項のいずれかの項記載のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  6. 塩基性アミノ酸水溶液処理を、室温ないし100℃で行う請求項請求項第1項ないし第5項のいずれかの項記載のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  7. 塩基性アミノ酸水溶液処理を、0.1分から100分間行う請求項請求項第1項ないし第6項のいずれかの項記載のポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法。
  8. 塩基性アミノ酸を有効成分とすることを特徴とする密着性向上用前処理剤。
  9. 弱酸性の塩基性アミノ酸水溶液である請求項第8項記載の密着性向上用前処理剤。
  10. 使用時において、塩基性アミノ酸を0.01ないし2.5mol/Lの濃度で含む請求項第8項または第9項記載の密着性向上用前処理剤。
  11. 使用時におけるpHが、3ないし11である請求項第8項ないし第10項の何れかの項記載の密着性向上用前処理剤。

JP2005245427A 2005-08-26 2005-08-26 ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法 Active JP4708920B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005245427A JP4708920B2 (ja) 2005-08-26 2005-08-26 ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005245427A JP4708920B2 (ja) 2005-08-26 2005-08-26 ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007056343A true JP2007056343A (ja) 2007-03-08
JP4708920B2 JP4708920B2 (ja) 2011-06-22

Family

ID=37920071

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005245427A Active JP4708920B2 (ja) 2005-08-26 2005-08-26 ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4708920B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009285995A (ja) * 2008-05-29 2009-12-10 Ube Ind Ltd ポリイミド金属積層体及び配線基板、多層金属積層体及び多層配線基板
JP2009290003A (ja) * 2008-05-29 2009-12-10 Ube Ind Ltd ポリイミド配線基板
JP5096165B2 (ja) * 2005-12-06 2012-12-12 株式会社Jcu パラジウム錯体およびこれを利用する触媒付与処理液
JP2013129856A (ja) * 2011-12-20 2013-07-04 Adeka Corp 無電解めっき前処理剤及び該前処理剤を用いた無電解めっき前処理方法
JP5461988B2 (ja) * 2007-07-02 2014-04-02 株式会社Jcu 金属積層ポリイミド基盤及びその製造方法
KR20200104346A (ko) 2017-12-28 2020-09-03 이시하라 케미칼 가부시키가이샤 폴리이미드 수지 상의 금속 피막 형성 방법
KR20240036699A (ko) 2021-09-30 2024-03-20 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 피도금 복합재의 제조 방법 및 이방도전성 시트의 제조 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06101054A (ja) * 1992-09-21 1994-04-12 Ishihara Chem Co Ltd 銅系素材選択型無電解めっき用触媒液
JPH07216553A (ja) * 1994-01-28 1995-08-15 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 銅被覆ポリイミド基板の製造方法
JP2001073159A (ja) * 1999-09-01 2001-03-21 Nippon Riironaaru Kk ポリイミド樹脂表面への導電性皮膜の形成方法
JP2003268558A (ja) * 2002-03-18 2003-09-25 Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) 無電解めっき浴及び該めっき浴を用いて得られた金属被覆物
JP2004190042A (ja) * 2002-03-05 2004-07-08 Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) 無電解めっきの触媒付与のための前処理液、該液を使用する前処理方法、該方法を使用して製造した無電解めっき皮膜及び(又は)めっき被覆体

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06101054A (ja) * 1992-09-21 1994-04-12 Ishihara Chem Co Ltd 銅系素材選択型無電解めっき用触媒液
JPH07216553A (ja) * 1994-01-28 1995-08-15 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 銅被覆ポリイミド基板の製造方法
JP2001073159A (ja) * 1999-09-01 2001-03-21 Nippon Riironaaru Kk ポリイミド樹脂表面への導電性皮膜の形成方法
JP2004190042A (ja) * 2002-03-05 2004-07-08 Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) 無電解めっきの触媒付与のための前処理液、該液を使用する前処理方法、該方法を使用して製造した無電解めっき皮膜及び(又は)めっき被覆体
JP2003268558A (ja) * 2002-03-18 2003-09-25 Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) 無電解めっき浴及び該めっき浴を用いて得られた金属被覆物

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5096165B2 (ja) * 2005-12-06 2012-12-12 株式会社Jcu パラジウム錯体およびこれを利用する触媒付与処理液
US8354014B2 (en) 2005-12-06 2013-01-15 Ebara-Udylite Co., Ltd. Palladium complex and catalyst-imparting treatment solution using the same
JP5461988B2 (ja) * 2007-07-02 2014-04-02 株式会社Jcu 金属積層ポリイミド基盤及びその製造方法
JP2009285995A (ja) * 2008-05-29 2009-12-10 Ube Ind Ltd ポリイミド金属積層体及び配線基板、多層金属積層体及び多層配線基板
JP2009290003A (ja) * 2008-05-29 2009-12-10 Ube Ind Ltd ポリイミド配線基板
JP2013129856A (ja) * 2011-12-20 2013-07-04 Adeka Corp 無電解めっき前処理剤及び該前処理剤を用いた無電解めっき前処理方法
KR20200104346A (ko) 2017-12-28 2020-09-03 이시하라 케미칼 가부시키가이샤 폴리이미드 수지 상의 금속 피막 형성 방법
KR20240036699A (ko) 2021-09-30 2024-03-20 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 피도금 복합재의 제조 방법 및 이방도전성 시트의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP4708920B2 (ja) 2011-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5461988B2 (ja) 金属積層ポリイミド基盤及びその製造方法
JP4708920B2 (ja) ポリイミド樹脂上の金属めっき皮膜形成方法
JP5096165B2 (ja) パラジウム錯体およびこれを利用する触媒付与処理液
JP2006188761A (ja) 伝導性金属めっきポリイミド基板及びその製造方法
WO2010093009A1 (ja) 金属箔およびその製造方法,絶縁基板,配線基板
TW200934656A (en) Electroconductive layer, laminate using the same, and producing processes thereof
TW583349B (en) Method for enhancing the solderability of a surface
TW201318867A (zh) 附孔積層體的製造方法、附孔積層體、多層基板的製造方法及底層形成用組成物
JP2006104504A (ja) ポリイミド樹脂材の無電解めっき前処理方法および表面金属化方法、並びにフレキシブルプリント配線板およびその製造方法
JP5004336B2 (ja) 無電解めっき法で用いる触媒溶液及びその触媒溶液を用いた無電解めっき法並びにその無電解めっき法を用いて金属皮膜を形成した被めっき物
TW200428920A (en) Bonding layer forming solution, method of producing copper-to-resin bonding layer using the solution, and layered product obtained thereby
JP2007262481A (ja) ポリイミド樹脂材の表面金属化方法
KR100747627B1 (ko) 2 층 구조를 가지는 전도성 금속 도금 폴리이미드 기판의제조 방법
JP5522617B2 (ja) 接着層形成液及び接着層形成方法
JP6580119B2 (ja) ポリイミド樹脂上への金属皮膜形成方法
KR100798870B1 (ko) 커플링 에이전트를 포함하는 전도성 금속 도금 폴리이미드기판 및 그 제조 방법
JP2013093359A (ja) 半導体チップ搭載用基板及びその製造方法
JPH03170680A (ja) 非導電性支持体を直接金属被覆する方法
JPH07216553A (ja) 銅被覆ポリイミド基板の製造方法
JP4572363B2 (ja) 銅と配線基板用樹脂との接着層形成液及びその液を用いた銅と配線基板用樹脂との接着層の製造方法
JP2007077439A (ja) ポリイミド樹脂材の表面金属化方法
WO2012169074A1 (ja) 金属膜形成方法
JPH06316768A (ja) フッ素を含有するポリイミド樹脂の無電解めっき方法
JP2011190495A (ja) 積層板の製造方法
JP2008075146A (ja) Ni薄膜の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080407

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20080407

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100930

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101019

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110222

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110317

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4708920

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140325

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140325

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250