JP2007048805A - 電子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【構成】 本発明は、電子ビーム200を照射する電子銃201と、電子銃201から照射された電子ビーム200を偏向させる第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214と、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214とに並列に偏向電圧を印加する偏向アンプ324と、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214との間を接続する偏向電圧を印加するための単芯ケーブル220に接続されたダンピング抵抗器230と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、うねり成分を減衰させることができるので、リンギングや発振を低減させ応答特性を向上させることができる。その結果、偏向精度を向上させることができる。また、リンギングや発振を低減させ応答特性を向上させることができるのでセトリング時間を短縮することができ、その結果、描画時間を短縮することができる。
【選択図】 図1
Description
可変成形型電子線描画装置(EB(Electron beam)描画装置)における第1のアパーチャ410には、電子線330を成形するための矩形例えば長方形の開口411が形成されている。また、第2のアパーチャ420には、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330を所望の矩形形状に成形するための可変成形用開口421が形成されている。荷電粒子ソース430から照射され、第1のアパーチャ410の開口411を通過した電子線330は、偏向器により偏向され、第2のアパーチャ420の可変成形開口421の一部を通過して、所定の一方向(例えば、X方向とする)に連続的に移動するステージ上に搭載された試料に照射される。すなわち、第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過できる矩形形状が、X方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料340の描画領域に描画される。第1のアパーチャ410の開口411と第2のアパーチャ420の可変成形開口421との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式という(例えば、特許文献1参照)。
電子ビームを照射する電子銃と、
この電子銃から照射された電子ビームを偏向させる第1と第2の偏向器と、
この第1と第2の偏向器に並列に電圧を印加する電圧印加部と、
上記第1と第2の偏向器間を接続する電圧を印加するための配線に接続された抵抗器と、
を備えたことを特徴とする。
図1は、実施の形態1における描画装置の構成を示す概念図である。
図1において、電子ビーム装置の一例である描画装置100は、描画部150の一例となる電子鏡筒102、XYステージ105、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、第1の成形偏向器212、第2の成形偏向器214、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、偏向器208、単芯ケーブル220、ダンピング抵抗器230、電圧印加部の一例となるアンプボックス(BOX)322、偏向制御回路320を備えている。そして、電子鏡筒102内には、電子銃201、照明レンズ202、第1のアパーチャ203、投影レンズ204、第1の成形偏向器212、第2の成形偏向器214、第2のアパーチャ206、対物レンズ207、偏向器208、単芯ケーブル220、ダンピング抵抗器230が配置されている。図1では、本実施の形態1を説明する上で必要な構成部分以外については記載を省略している。描画装置100にとって、通常、必要なその他の構成が含まれることは言うまでもない。
試料101に描画する場合には、XYステージ105を図示していない駆動部によりX方向に連続移動させながら、描画(露光)面を電子ビーム200が偏向可能な短冊状の複数のストライプ領域に仮想分割された試料101の1つのストライプ領域上を電子ビーム200が照射する。XYステージ105のX方向の移動は、連続移動とし、同時に電子ビーム200のショット位置もステージ移動に追従させる。連続移動させることで描画時間を短縮させることができる。そして、1つのストライプ領域を描画し終わったら、XYステージ105を図示していない駆動部によりY方向にステップ送りしてX方向(今度は逆向き)に次のストライプ領域の描画動作を行なう。各ストライプ領域の描画動作を蛇行させるように進めることでXYステージ105の移動時間を短縮することができる。
第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214は、共に、例えば8極の電極で構成される静電偏向器として構成する。そして、第1の成形偏向器212の各電極上部がそれぞれの制御系のアンプBOX322と接続されている。そして、第1の成形偏向器212の各電極下部がそれぞれ第2の成形偏向器214の各電極上部に単芯ケーブル220で接続されている。上方に位置する第1の成形偏向器212の各電極下部と下方に位置する第2の成形偏向器214の各電極上部とを接続することで、単芯ケーブル220の配線長さを短くすることができる。その結果、コイル成分を小さくすることができる。
第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214の8つの各電極は、対向する2つの電極のうち、一方側の電極同士をつなぐ単芯ケーブル220にダンピング抵抗器230が挿入されている。成形偏向器は、円柱の電極をワイヤーで8極に分割すると共に複雑な形状に内部加工する。ここで、長い円柱を加工するには長いワイヤーが必要となるが、長いワイヤーを用いると撓んでしまい複雑な形状に内部を加工することが難しいため、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214の2段に分けることにより製造し易くすることができる。また、円柱形とすることで、芯を出しやすくし、電子鏡筒102内の狭いスペースに設置する際に光軸に合わせ易くすることができる。
図4では、成形偏向器の8極の電極のうち、1対の電極についてその配置部分についての構成を示している。図4において、静電型の第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214は、電子鏡筒102内に配置される。第1の成形偏向器212の一方の電極は、シールド層を持たない単芯ケーブル221、シールド層で保護された補償ケーブルとなる同軸ケーブル222、抵抗器326を介してアンプBOX322内に配置された電圧印加部の一例となる偏向アンプ324に接続される。同軸ケーブル222は、電子鏡筒102の内外をコネクタ224で接続される。同軸ケーブル222を第1の成形偏向器212の電極上部近くまで引くことで、シールド層を持たない単芯ケーブル221の配線長さを短くすることができる。その結果、コイル成分を小さくすることができる。そして、静電型の第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214のそれぞれの電極の他方は地絡されている。
図5では、成形偏向器の8極の電極のうち、1対の電極についてその等価回路を示している。図5に示すように、偏向アンプ324の出力はアンプインピーダンス調整用の抵抗器326を介して、同軸ケーブル222を通って電子鏡筒102内に入り、コンデンサ成分となる第1の成形偏向器212の一方の電極と同様にコンデンサ成分となる第2の成形偏向器214の一方の電極とに並列に電圧を印加する。そして、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214とをつなぐコイル成分をもつ単芯ケーブル220と直列にダンピング抵抗器230を接続する。第1の成形偏向器212の他方の電極と第2の成形偏向器214の他方の電極と同軸ケーブル222のシールド層の配線は地絡させている。
ここで、例えば、コンデンサ成分となる第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214との静電容量Cを27pF、単芯ケーブル220のコイル成分のインダクタンスを20nHとした場合に、理想的にはダンピング抵抗器230の抵抗値Rを15Ωに設定すると良い。但し、かかる値に限るものではなく、実機により微調整することがより望ましい。
図6では、成形偏向器の8極の電極のうち、1対の電極についてその配置部分についての構成を示している。図6において、静電型の第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214は、電子鏡筒102内に配置される。第1の成形偏向器212の一方の電極は、シールド層を持たない単芯ケーブル221、シールド層で保護された補償ケーブルとなる同軸ケーブル222、抵抗器326を介してアンプBOX322内に配置された偏向アンプ324に接続される。同軸ケーブル222は、電子鏡筒102の内外をコネクタ224で接続される。そして、静電型の第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214のそれぞれの電極の他方は地絡されている。図6において、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214の電極間をつなぐ単芯ケーブル220にダンピング抵抗器230が直列に接続されていない点を除き、図4の構成と同様である。
図7では、成形偏向器の8極の電極のうち、1対の電極についてその等価回路を示している。図7に示すように、偏向アンプ324の出力はアンプインピーダンス調整用の抵抗器326を介して、同軸ケーブル222を通って電子鏡筒102内に入り、コンデンサ成分となる第1の成形偏向器212の一方の電極と同様にコンデンサ成分となる第2の成形偏向器214の一方の電極とに並列に電圧を印加する。第1の成形偏向器212の他方の電極と第2の成形偏向器214の他方の電極と同軸ケーブル222のシールド層の配線は地絡させている。図7において、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214とをつなぐコイル成分をもつ単芯ケーブル220と直列にダンピング抵抗器230を接続していない点を除き、図5の構成と同様である。
図9は、ダンピング抵抗器を挿入した本実施の形態1における構成の場合の偏向電圧と時間との関係を示す図である。
図8では、ダンピング抵抗器230がない場合には、偏向電圧を印加した当初にリンギングが起きてしまう様子を示している。これに対し、図9では、偏向電圧を印加した当初に発生するはずのリンギングが低減されている様子を示している。すなわち、第1の成形偏向器212と第2の成形偏向器214とをつなぐコイル成分をもつ単芯ケーブル220と直列にダンピング抵抗器230を接続することにより、リンギングのうねり成分を減衰させることができる。
101,340 試料
102 電子鏡筒
105 XYステージ
150 描画部
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203,410 第1のアパーチャ
204 投影レンズ
206,420 第2のアパーチャ
207 対物レンズ
208 偏向器
212,214 成形偏向器
220,221 単芯ケーブル
222 同軸ケーブル
224 コネクタ
230 ダンピング抵抗器
320 偏向制御回路
322 アンプBOX
324 偏向アンプ
326 抵抗器
330 電子線
411 開口
421 可変成形開口
430 荷電粒子ソース
Claims (5)
- 電子ビームを照射する電子銃と、
前記電子銃から照射された電子ビームを偏向させる第1と第2の偏向器と、
前記第1と第2の偏向器に並列に電圧を印加する電圧印加部と、
前記第1と第2の偏向器間を接続する前記電圧を印加するための配線に接続された抵抗器と、
を備えたことを特徴とする電子ビーム装置。 - 前記第1と第2の偏向器として、静電偏向器を用いることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム装置。
- 前記第1と第2の偏向器間は、シールド層で覆われていない単芯配線で接続され、前記抵抗器は、前記単芯配線に接続されることを特徴とする請求項1又は2記載の電子ビーム装置。
- 前記電子ビーム装置は、さらに、前記第1と第2の偏向器により偏向された前記電子ビームを成形する成形アパーチャを備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか記載の電子ビーム装置。
- 前記抵抗器は、真空雰囲気中に配置されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか記載の電子ビーム装置。
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