JP2007048794A - レーザ投影装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離などが変動しても投影倍率を一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させる。
【解決手段】倍率制御部20およびマスク移動サーボ制御部10によりマスク距離aを調節し、合焦点制御部50およびAFC制御部40およびテーブル移動サーボ制御部30により基板距離bを調節して、a/bを一定に保ち、且つ、1/f=1/a+1/bを満足させる。
【効果】SLS(Sequential Lateral Solidification)方式のELA(エキシマ・レーザ・アニール)装置に利用できる。
【選択図】図1
【解決手段】倍率制御部20およびマスク移動サーボ制御部10によりマスク距離aを調節し、合焦点制御部50およびAFC制御部40およびテーブル移動サーボ制御部30により基板距離bを調節して、a/bを一定に保ち、且つ、1/f=1/a+1/bを満足させる。
【効果】SLS(Sequential Lateral Solidification)方式のELA(エキシマ・レーザ・アニール)装置に利用できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、レーザ投影装置に関し、さらに詳しくは、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離などが変動しても投影倍率を一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来るレーザ投影装置に関する。
従来、マスクの光学像を投影レンズにより基板上に投影する投影露光装置において、投影レンズの位置を変えて投影倍率を調整し、基板の位置を調整することにより焦点合わせを行う技術が知られている(例えば特許文献1参照)。
他方、フィルムを読み取って画像データを得る画像読取装置において、撮影レンズの温度に応じて撮影レンズの位置を変えて撮影倍率の変動を補正する技術が知られている(例えば特許文献2参照)。
また、フィルムを読み取って画像データを得る画像読取装置において、画像データを解析して倍率変動を検出し、画像データに対して変倍処理を行って撮影倍率の変動を補正する技術が知られている(例えば特許文献3参照)。
特開2004−29234号公報
特開平9−152540号公報
特開2005−198091号公報
他方、フィルムを読み取って画像データを得る画像読取装置において、撮影レンズの温度に応じて撮影レンズの位置を変えて撮影倍率の変動を補正する技術が知られている(例えば特許文献2参照)。
また、フィルムを読み取って画像データを得る画像読取装置において、画像データを解析して倍率変動を検出し、画像データに対して変倍処理を行って撮影倍率の変動を補正する技術が知られている(例えば特許文献3参照)。
高出力のレーザ光によるマスクの光学像を投影レンズにより基板上に投影するレーザ投影装置では、レーザ光により投影レンズの温度が変動し、投影レンズの焦点距離が変動して、投影倍率が変動してしまう問題点がある。
しかし、上記従来の投影露光装置では、投影レンズの温度変動による投影倍率の変動について考慮していない問題点がある。
他方、上記従来の画像読取装置における撮影倍率の補正技術は、レーザ投影装置における投影倍率の補正には適用できない問題点がある。
そこで、本発明の目的は、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離などが変動しても投影倍率を一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来るレーザ投影装置を提供することにある。
しかし、上記従来の投影露光装置では、投影レンズの温度変動による投影倍率の変動について考慮していない問題点がある。
他方、上記従来の画像読取装置における撮影倍率の補正技術は、レーザ投影装置における投影倍率の補正には適用できない問題点がある。
そこで、本発明の目的は、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離などが変動しても投影倍率を一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来るレーザ投影装置を提供することにある。
第1の観点では、本発明は、レーザ光を出射するレーザ光源部と、前記レーザ光によるマスクの像を投影レンズにより基板上に結像させる結像部と、前記マスクと前記投影レンズの距離であるマスク距離aおよび前記投影レンズと前記基板の距離である基板距離bの両方を調節してa/bを一定に保ち且つ焦点合わせする結像制御部とを具備したことを特徴とするレーザ投影装置を提供する。
投影レンズの焦点距離をfとするとき、投影倍率Mfbは、Mfb=a/bとなる。また、焦点合わせの条件は、1/f=1/a+1/bである。
そこで、上記第1の観点によるレーザ投影装置では、マスク距離aおよび基板距離bの両方を調節して、Mfb=a/bを一定に保ち、且つ、1/f=1/a+1/bを満足させて正しく焦点合わせする。これにより、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離fなどが変動しても投影倍率Mfbを一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来る。
投影レンズの焦点距離をfとするとき、投影倍率Mfbは、Mfb=a/bとなる。また、焦点合わせの条件は、1/f=1/a+1/bである。
そこで、上記第1の観点によるレーザ投影装置では、マスク距離aおよび基板距離bの両方を調節して、Mfb=a/bを一定に保ち、且つ、1/f=1/a+1/bを満足させて正しく焦点合わせする。これにより、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離fなどが変動しても投影倍率Mfbを一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来る。
第2の観点では、本発明は、上記構成のレーザ投影装置において、前記結像制御部は、前記a/bが一定になるように前記マスク距離を調節するマスク距離調節手段と、焦点が合うように前記基板距離を調節する基板距離調節手段とを具備してなることを特徴とするレーザ投影装置を提供する。
上記第2の観点によるレーザ投影装置では、マスク距離調節手段が、Mfb=a/bを一定に保つようにマスク距離aを調節する。一方、基板距離調節手段が、1/f=1/a+1/bを満足させるように基板距離bを調節する。両手段が協働することにより、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離fなどが変動しても投影倍率Mfbを一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来る。
上記第2の観点によるレーザ投影装置では、マスク距離調節手段が、Mfb=a/bを一定に保つようにマスク距離aを調節する。一方、基板距離調節手段が、1/f=1/a+1/bを満足させるように基板距離bを調節する。両手段が協働することにより、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離fなどが変動しても投影倍率Mfbを一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来る。
第3の観点では、本発明は、上記構成のレーザ投影装置において、前記マスク距離調節手段は、現在のマスク距離aと現在の基板距離bから現在の投影倍率Mfb=a/bを求める手段と、前記現在の投影倍率Mfbと目標投影倍率Mspの偏差から目標マスク距離aspを求める手段と、前記基板距離調節手段で求めた前記基板距離bの調節量Δbに前記目標投影倍率Mspを乗算してマスク距離補正量Δaを求める手段と、前記目標マスク距離aspと前記マスク距離補正量Δaから補正後目標マスク距離Aspを求める手段と、補正後目標マスク距離Aspを指令値としてマスク距離aを調節する手段とを具備してなることを特徴とするレーザ投影装置を提供する。
投影倍率Mfbを一定に保ち且つ正しく焦点合わせするためには、マスク距離aと基板距離bの両方を変えなければならないが、マスク距離aを変えるとそれに応じて基板距離bを変えなければならず、基板距離bを変えるとそれに応じてマスク距離aを変えなければならないため、収束するのに時間がかかってしまう。
そこで、上記第3の観点によるレーザ投影装置では、目標マスク距離aspをマスク距離補正量Δaにより補正するフィードフォワード制御を採用した。これにより、収束するのに要する時間を短縮することが出来る。
なお、焦点が合うように前記基板距離を調節する基板距離調節手段は、従来公知の自動焦点装置(例えば2次結像位相差検出方式のTTLモニタ)を利用することが出来る。
投影倍率Mfbを一定に保ち且つ正しく焦点合わせするためには、マスク距離aと基板距離bの両方を変えなければならないが、マスク距離aを変えるとそれに応じて基板距離bを変えなければならず、基板距離bを変えるとそれに応じてマスク距離aを変えなければならないため、収束するのに時間がかかってしまう。
そこで、上記第3の観点によるレーザ投影装置では、目標マスク距離aspをマスク距離補正量Δaにより補正するフィードフォワード制御を採用した。これにより、収束するのに要する時間を短縮することが出来る。
なお、焦点が合うように前記基板距離を調節する基板距離調節手段は、従来公知の自動焦点装置(例えば2次結像位相差検出方式のTTLモニタ)を利用することが出来る。
本発明のレーザ投影装置によれば、レーザ光による投影レンズの温度変動などで投影レンズの焦点距離などが変動しても投影倍率を一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクを基板上に結像させることが出来る。
以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1に係るレーザ投影装置100を示す構成説明図である。
このレーザ投影装置100は、高出力のレーザ光を出射するレーザ光源部1と、マスクMkの光学像を投影レンズLzにより基板Bp上に結像させる結像部2と、投影倍率を一定に保つ制御および焦点合わせの制御を行う結像制御部3とを具備している。
このレーザ投影装置100は、高出力のレーザ光を出射するレーザ光源部1と、マスクMkの光学像を投影レンズLzにより基板Bp上に結像させる結像部2と、投影倍率を一定に保つ制御および焦点合わせの制御を行う結像制御部3とを具備している。
結像部2は、マスクMkと、投影レンズLzと、被加工物の基板Bpを載せるテーブルTbと、投影レンズLzから基板Bpの表面までの基板距離bを計測する距離センサSbとを具備しており、全体としてレーザ光の光軸方向(z方向)に対し直交する2方向(x方向,y方向)に移動して2次元走査を実現する。
マスクMkは、z方向に移動可能であり、投影レンズLzからマスクMkまでのマスク距離aを変更可能である。
テーブルTbも、z方向に移動可能であり、基板距離bを変更可能である。
マスクMkは、z方向に移動可能であり、投影レンズLzからマスクMkまでのマスク距離aを変更可能である。
テーブルTbも、z方向に移動可能であり、基板距離bを変更可能である。
結像制御部3は、マスクMkをz方向に移動させるマスク移動サーボ制御部10と、マスク移動サーボ制御部10に補正後目標マスク距離Aspを与える倍率制御部20と、テーブルTbをz方向に移動させるテーブル移動サーボ制御部30と、テーブル移動サーボ制御部30に目標高さHspを与えるAFC制御部40と、AFC制御部40に補正後目標基板距離Bspを与える合焦点制御部50とを具備している。
マスク移動サーボ制御部10では、エンコーダEcwがマスク距離aを検出し、差分器11がマスク距離aと補正後目標マスク距離Aspの偏差εaを出力し、サーボ・コントローラCaが偏差εaを小さくするようにサーボモータMwを駆動してマスクMkをz方向に移動させる。
テーブル移動サーボ制御部30では、エンコーダEchがテーブル高さhを検出し、差分器31がテーブル高さhと目標テーブル高さhspの偏差εhを出力し、サーボ・コントローラChが偏差εhを小さくするようにサーボモータMhを駆動してテーブルTbをz方向に移動させる。
AFC制御部40では、差分器41が距離センサSbで検出した基板距離bと補正後目標基板距離Bspの偏差εbを出力し、BH変換器Cbhが偏差εbを目標テーブル高さHspに変換する。
合焦点制御部50におけるTTLモニタTmは、合焦点時のテーブル距離をboとするとき、b=boのときにZ=Zoを出力し、b<boのときにZ<Zoを出力し、b>boのときにZ>Zoを出力する。ZとZoの偏差は、bとboの偏差とほぼ同じものである。
合焦点制御部50では、差分器51が合焦点設定値FspとTTL信号Zの偏差Δbを出力し、積分器Ibが偏差Δbを時間積分し、その偏差Δbの積分値を加算器52が基板距離設定値bspに加算して補正後目標基板距離Bspを出力する。
合焦点制御部50では、差分器51が合焦点設定値FspとTTL信号Zの偏差Δbを出力し、積分器Ibが偏差Δbを時間積分し、その偏差Δbの積分値を加算器52が基板距離設定値bspに加算して補正後目標基板距離Bspを出力する。
倍率制御部20では、エンコーダEcwで得たマスク距離aを距離センサSbで得た基板距離bで除算器Pmが除算して現在倍率Mfbを求め、減算器21が倍率設定値Mspとの偏差εmgを出力し、積分器Iaが偏差εmgを時間積分して目標マスク距離aspを求める。一方、乗算器Paが偏差Δbに倍率設定値Mspを乗算してマスク距離補正量Δaを求める。そして、減算器22が目標マスク距離aspからマスク距離補正量Δaを減算し、補正後目標マスク距離Aspを出力する。
実施例1のレーザ投影装置100によれば、高出力のレーザ光による投影レンズLzの温度変動などで投影レンズLzの焦点距離などが変動しても投影倍率を一定に保ち且つ正しく焦点合わせしてマスクMkを基板Bp上に結像させることが出来る。また、目標マスク距離aspをマスク距離補正量Δaにより補正するフィードフォワード制御により、収束するのに要する時間を短縮することが出来る。
本発明のレーザ投影装置は、例えばSLS(Sequential Lateral Solidification)方式のELA(エキシマ・レーザ・アニール)装置に利用できる。
1 レーザ光源部
2 結像部
3 結像制御部
10 マスク移動サーボ制御部
20 倍率制御部
30 テーブル移動サーボ制御部
40 AFC制御部
50 合焦点制御部
100 レーザ投影装置
Bp 基板
Lz 投影レンズ
Mk マスク
Tb テーブル
2 結像部
3 結像制御部
10 マスク移動サーボ制御部
20 倍率制御部
30 テーブル移動サーボ制御部
40 AFC制御部
50 合焦点制御部
100 レーザ投影装置
Bp 基板
Lz 投影レンズ
Mk マスク
Tb テーブル
Claims (3)
- レーザ光を出射するレーザ光源部と、前記レーザ光によるマスクの像を投影レンズにより基板上に結像させる結像部と、前記マスクと前記投影レンズの距離であるマスク距離aおよび前記投影レンズと前記基板の距離である基板距離bの両方を調節してa/bを一定に保ち且つ焦点合わせする結像制御部とを具備したことを特徴とするレーザ投影装置。
- 請求項1に記載のレーザ投影装置において、前記結像制御部は、前記a/bが一定になるように前記マスク距離aを調節するマスク距離調節手段と、焦点が合うように前記基板距離bを調節する基板距離調節手段とを具備してなることを特徴とするレーザ投影装置。
- 請求項2に記載のレーザ投影装置において、前記マスク距離調節手段は、現在のマスク距離aと現在の基板距離bから現在の投影倍率Mfb=a/bを求める手段と、前記現在の投影倍率Mfbと目標投影倍率Mspの偏差から目標マスク距離aspを求める手段と、前記基板距離調節手段で求めた前記基板距離bの調節量Δbに前記目標投影倍率Mspを乗算してマスク距離補正量Δaを求める手段と、前記目標マスク距離aspと前記マスク距離補正量Δaから補正後目標マスク距離Aspを求める手段と、補正後目標マスク距離Aspを指令値としてマスク距離aを調節する手段とを具備してなることを特徴とするレーザ投影装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100506 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101005 |