JP2007048661A - プラズマ生成電極、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ生成電極、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 プラズマ生成電極装置の誘電体14に設けられる窪み140Aは、プラズマ放電の開始および維持電圧を小さくするための予備放電空間部P1と、プラズマ拡大空間部P2と、プラズマ拡大空間部P2により生成されたプラズマの幅拡大を制限するプラズマ幅拡大制限空間部P3とを備えている。
【選択図】 図2
Description
まず、図1および図2を参照して、本実施の形態におけるプラズマ生成電極、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法について説明する。なお、図1は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置の構成を示す模式的断面図であり、図2は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置に採用されるプラズマ生成電極の構造を示す部分拡大断面図である。
両図を参照して、本実施の形態におけるプラズマ処理装置1Aは、プラズマ生成電極を複数備えるプラズマ生成電極装置10と、このプラズマ生成電極装置10に対して対向配置される被処理対象物搬送装置100とを備えている。また、プラズマ生成電極部10は、シールド部材20により覆われている。
(プラズマ処理)
次に、上記誘電体14の窪み140Aを有するプラズマ生成電極を備えたプラズマ処理装置を用いた基板200のプラズマ処理について、再び図1を参照して説明する。反応ガス供給装置16からガス流路Dに反応ガスを送り込み、反応ガス排出装置17から反応ガスを排気することで、ガス流路Dに反応ガスの流れ(図1中矢印で示す方向)を形成する。なお、図1においては、基板200の搬送方向と、反応ガスの流れ方向とは同じであるが、基板200の搬送方向に対して、反応ガスの流れ方向を逆方向にすることも可能である。
次に、図3を参照して、本実施の形態におけるプラズマ生成電極、プラズマ処理装置、および、プラズマ処理方法について説明する。上記実施の形態1との相違点は、プラズマ生成電極を構成する、空間部Rを規定する誘電体14の窪み140の形状が異なる点にある。したがって、以下の説明においては、窪み140の形状についてのみ詳細に説明する。なお、図3は、本実施の形態におけるプラズマ処理装置に採用されるプラズマ生成電極の構造を示す部分拡大断面図である。
上記実施の形態1および2において採用した、空間部Rを規定する誘電体14の窪み140の形状において、比較例として、他の構造を図4、図5および図6に示す。図4、図5および図6は、比較例1、2および3のプラズマ処理装置に採用されるプラズマ生成電極の構造を示す部分拡大断面図である。
Claims (13)
- 一対の電極の主たる対向面間には誘電体が配置され、該対向面間の端部近傍領域において、前記誘電体の窪みによって規定される空間部においてプラズマを生成するプラズマ生成電極であって、
前記空間部を規定する前記誘電体の窪みは、
一対の前記電極の主たる対向面間に位置し、プラズマ放電の開始および維持電圧を小さくするための予備放電空間部を規定する第1対向壁面部と、
前記第1対向壁面部に連続して設けられ、対向間隔が第1対向壁面部の対向間隔よりも広く設けられたプラズマ拡大空間部を規定する第2対向壁面部と、によって構成されるプラズマ生成電極。 - 前記予備放電空間部は、少なくともその一部が、一対の前記電極の対向面間の下端部側のそれぞれの端部を結ぶ線よりも前記電極の対向面側に位置するように、前記第1対向壁面部が配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ生成電極。
- 前記予備放電空間部は、一対の前記電極の対向面間端部側のそれぞれの端部を結ぶ線上における前記第1対向壁面部の対向間隔が0.2mm以上となるように配置されていることを特徴とする、請求項2に記載のプラズマ生成電極。
- 前記予備放電空間部は、前記第1対向壁面部の対向間隔が、前記電極から遠ざかるにしたがって拡がるように配置されていることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のプラズマ生成電極。
- 前記プラズマ拡大空間部は、前記第2対向壁面部の対向間隔が、前記電極から遠ざかるにしたがって拡がるように配置されていることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載のプラズマ生成電極。
- 前記プラズマ拡大空間部は、前記第2対向壁面部の対向間隔の拡がる割合が、前記第1対向壁面部の対向間隔が拡がる割合よりも大きくなるように配置されている、請求項5に記載のプラズマ生成電極。
- 前記プラズマ拡大空間部は、前記第2対向壁面部の対向間隔の拡がる割合が、前記電極から遠ざかるにしたがって大きくなることを特徴とする、請求項5に記載のプラズマ生成電極。
- 前記第2対向壁面部に連続して設けられ、前記プラズマ拡大空間部により生成されたプラズマの幅拡大を制限するプラズマ幅拡大制限空間部を規定する第3対向壁面部をさらに備える、請求項1から7のいずれかに記載のプラズマ生成電極。
- 前記プラズマ幅拡大制限空間部は、その高さ方向の長さが、0.5mm以上となるように設けられていることを特徴とする、請求項8に記載のプラズマ生成電極。
- 前記プラズマ幅拡大制限空間部は、前記プラズマ拡大空間部と反対側の端部の幅(W2)が、W2/Logf<1.4mm(f:電極対に印加される電圧の周波数)となるように配置されていることを特徴とする、請求項8または9に記載のプラズマ生成電極。
- 一対の電極の主たる対向面間には誘電体が配置され、該対向面間の端部の空間部にプラズマを生成するプラズマ生成電極を備える、被処理対象物にプラズマ処理を施すためのプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ生成電極は、請求項1から10のいずれかに記載のプラズマ生成電極であり、
前記プラズマ生成電極のプラズマ生成面と対向して配置され、前記プラズマ生成電極に対して、前記被処理対象物を相対移動させるための被処理対象物支持手段と、
前記プラズマ生成電極と前記被処理対象物との間に、ガスの供給/排気を行なうガス供給/排気口と、を備えたことを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 前記プラズマ生成電極は前記ガスの流れる方向に複数個配置されていることを特徴とする、請求項11記載のプラズマ処理装置。
- 請求項11または12に記載のプラズマ処理装置を用いた記被処理対象物のプラズマ処理方法であって、
プラズマ生成電極のプラズマ生成面と対向する位置に被処理対象物を配置し、前記プラズマ生成電極と前記被処理対象物との間にガスの供給しながら、前記プラズマ生成電極と前記被処理対象物を相対的に移動させることにより、前記被処理対象物の表面にプラズマ処理を施すことを特徴とする、プラズマ処理方法。
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