JP2007044841A - ソーワイヤおよびその製造法 - Google Patents
ソーワイヤおよびその製造法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007044841A JP2007044841A JP2005233578A JP2005233578A JP2007044841A JP 2007044841 A JP2007044841 A JP 2007044841A JP 2005233578 A JP2005233578 A JP 2005233578A JP 2005233578 A JP2005233578 A JP 2005233578A JP 2007044841 A JP2007044841 A JP 2007044841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- flat surface
- saw
- rolling
- twist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】ワイヤソーマシンに用いられるワイヤにおいて、ワイヤが円形断面の1個所以上に圧延された平坦面を有し、その平坦面がワイヤ長手方向でらせん状に連続している。
【選択図】図5
Description
しかしこのようなソーワイヤでは、ワイヤの走行により、図2のように被切断物Wの切断加工部の前部(厚さ方向で表面に近い領域)Fでは遊離砥粒の引き込みは比較的円滑であるものの、インゴット中央部Mや後部Bでは切断加工部とワイヤとの接触圧が高くなり、砥粒の引き込みができなくなる現象(いわゆる液切れないし膜切れ)を起こしやすい。既述のようにワイヤーソーによる切断は砥粒(通常、20ミクロン程度のダイヤモンドパウダー)のラップ効果で行われるので、液切れないし膜切れが起こると、ワイヤとインゴットが直接的にこすれる関係となる。このため、切断効率が大きく低下することを避けられなかった。
しかしながら、ソーマシンでは切断刃物としてのワイヤに大きな引張り力をかけるところ、先行技術では、ワイヤに溝を切欠するので、ノッチ作用によりワイヤの強度低下を招くことを避けられない。しかも、直径が0.2mm前後の硬質なワイヤに均一な深さと幅の溝を加工することはコストが高価となる上にきわめて困難であり、往々にして不均一な加工状態となり、それにより応力集中を招きやすい。さらに、メッキ後に溝加工をすると溝部分のメッキが切除されるので、腐食が生じやすくなる。これらの理由から、使用中にワイヤの破断、折損が生じやすく、その修復に多大な手間と時間を要するので、実用性に乏しかった。
また本発明の他の目的は、前記のような特徴を持つソーワイヤを安価に量産することができる方法を提供することにある。
また、被切断物との間に隙間を形成する機構を、ワイヤ断面に溝を設けるのでなく、圧延により平坦面を形成することで実現しているので強度の低下は生じず、使用中のワイヤの破断、折損を回避できる。
これによれば、2箇所以上の平坦面がワイヤ円周上で等間隔にあるので形状的なバランスがよく、また、残留応力の分布が周方向で均一化するので、切断時にワイヤがぶれることなくスムーズに移動するとともに、平坦面のピッチが細かくなるので砥粒を含む加工液の切断加工部位への供給をきめ細かく行える。しかも平坦面とワイヤ基本断面円形との最大距離が10〜100μmであるので、切断加工部に対する隙間を確実に創成でき、十分な量の砥粒を介在させてラッピングを行える。
これによれば、ワイヤの表面残留応力をバランスよく形成させることができるので走行切断時の直線性がよくなり、切断時にワイヤがぶれることなくスムーズに移動することができ、精度を高めることができる。また、切断部との隙間がクロス状となるので、砥粒を含む加工液がそのクロス状の隙間を介して時計方向および反時計方向に十分に供給されるので、切断効率と精度をよくすることができる。
これによれば、時計回りと反時計回りの混合した平坦面のらせんを能率よくインラインで加工することができる。
図3ないし図5は本発明によるソーワイヤの第1実施例を示している。
1は基本的に断面が真円形状ないしこれに近く、直径がたとえば0.05〜0.30mmのワイヤであり、炭素含有量が0.70%以上の高炭素鋼を伸線加工してなり、表面には真鍮、亜鉛などのメッキが0.10〜1.2μm厚で施されており、表面の残留応力は±200kgf/mm2となっている。
前記平坦面部2は、使用時に被加工物の切断加工部に隙間を形成する機能を発揮させるため、図4のようにワイヤ外円からの最大距離Hを10〜100μmとすることが好ましい。10ミクロン以下では創成される隙間が小さいため、砥粒を含む加工液を円滑に切断加工部に送り込むことができない。100μm以上はラップ効果が低下するので好ましくない。平坦面部2を設ける数によって前記範囲から適宜選定する。
一例としては、線径0.15mmのワイヤにおいて、4箇所の平坦面部を設ける場合、ワイヤ外円からの最大距離Hを約20μmとし、ピッチを10mmなどとすればよい。
しかも、平坦面部2はらせん状となっているので、ワイヤ1の走行とともにらせんピッチに応じた平坦面部2が次々と切断加工部wに臨み、加工液Sを供給するかたちとなる。加工液Sを切断部上方からあるいは側方から平坦面部2に注げば、らせんに沿って導かれ、ラップ作用により切断が行われる。
したがって、こうしたメカニズムにより、被切断物Wの切断加工部wの前部Fはもとより中央部Mや後部Bにおいても液切れや膜切れが起こらなくなるので、切断効率を高いものとすることができ、また、ワイヤと被切断物の直接的なこすれに起因する凹凸の発生も防止でき、表面精度がよくなる。
また、ワイヤ1に溝を加工するのでなく、平坦面部を圧延で形成することで達成しているので、強度の低下が起こらず、強いテンションをかけても溝形式の場合のようなノッチ作用による切断のおそれはない。また、溝切りを行うとメッキ層が溝部分でなくなるが、本発明の場合はメッキ層が全面にあるので耐食性もよいものとなる。
このような2方向のらせんの組み合わせによれば、表面残留応力のバランスがよくなるので直進性が向上し、また、円周上における平坦面部の数が実質的に増すので、隙間形成数が多くなり、きめ細かく砥粒の介在を実現できる。また、クロス部分から進行方向前後に加工液を導くことができるので、いずれの方向からワイヤを走行させても切断部に的確に隙間を形成して砥粒を介在させることができる。
3はワイヤボビン、4は捻線機、8は巻収ボビンであり、それらは直列状に配置されている。前記捻線機4の中心の走行ラインを境として上側には、第1ガイドロール5aとこれと組をなす第1ターンロール5bとが配され、下流部位には第2ターンロール5cとこれと組をなす第2ガイドロール5dが配されている。前記第1ガイドロール5aと第1ターンロール5bは第1捻り部T1を構成し、第2ターンロール5cと第2ガイドロール5dは第2捻りT2部を構成する。
この例では圧延ロール6は位相を変位した2組が所定の間隔をおいて配されている。これら圧延ロールは固定軸受け架台などに搭載されており、図示しないギャップ調整機構により圧下量が調整されるようになっている。
前記第1、第2捻り部T1,T2と第1、第2捻り戻し部TB1,TB2は捻線機4の走行ラインを中心として時計方向または反時計方向に回転されるようになっている。
この素材ワイヤ1´を前記した経路で巻収ボビン8に導き、捻線機4を作動すれば、素材ワイヤ1´は図10(a)の状態にあったものが、第1と第2捻り部T1,T2において長手方向に2回の捻りが入れられて図10(b)のような状態になる。この2回捻りが加えられた状態のワイヤは捻線機4の下流から走行ラインに導かれる。
そして、実施例のように下流にもう一組の圧延ロール6が90度位相をずらしてある場合には、ここで前回と90度位相のずれた平坦面が圧延され、その平坦面は同様にらせん状になる。
この場合には、第1捻線機4Aと第2捻線機4Bをタンデムに配置し、それらの間に中間ボビンまたはキャプスタン9を介在させ、第1捻線機4Aと第2捻線機4Bの回転方向を逆にして操業するものである。圧延ロール6は同じ位相のものを配置すればよい。
こうすれば、第1捻線機4Aにおいて、前記のようにらせん状の平坦面部2,2が形成されたワイヤ1が作られ、そのワイヤ1は第2捻線機4Bにおいて、第1と第2捻り部T1,T2において長手方向に2回の捻りが入れられ、次いで、圧延ロール6されることにより逆向きのらせん状平坦面に圧延され、キャプスタン7から第1、第2捻り戻し部TB1,TB2を通過する間に2回捻りが戻され、巻収ボビン8に巻収される。
これにより、図7に示すようなソーワイヤを連続的に製造することができる。
なお、ワイヤーソーは各種タイプを使用することができ、限定はない。
2 平坦面部
4 捻線機
4A 第1捻線機機
4B 第2捻線機機
6 圧延ロール
T1 第1捻り部
T2 第2捻り部
TB1 第1捻り戻し部
TB2 第2捻り戻し部
Claims (5)
- 溝つきローラに列状に巻き掛けて長手方向に走行させ、インゴット状の被切断物に押し付けながら被切断物との間に砥粒を含有する加工液を注いで薄層片に切断するワイヤソーマシンに用いられるワイヤにおいて、ワイヤが円形断面の1個所以上に圧延された平坦面を有し、その平坦面がワイヤ長手方向でらせん状に連続していることを特徴とするソーワイヤ。
- 平坦面が2箇所以上ワイヤ円周上で等間隔にあり、平坦面とワイヤ基本断面円形との最大距離が10〜100μmである請求項1に記載のソーワイヤ。
- 平坦面のらせんが、時計回りと反時計回りの混合したものである請求項1または2に記載のソーワイヤ。
- 伸線された真円状断面のワイヤに捻りを加え、この捻り状態のワイヤを長手方向に移動させつつ圧延手段にてワイヤ断面を局部的に圧延し、圧延後に捻れを戻すことを特徴とするソーワイヤの製造法。
- ワイヤに捻りを加え、このねじり状態のワイヤに対して圧延手段にて圧延し、圧延後に捻れを戻し、次いで前記第1回目の捻りと逆方向の捻りを加え、このねじり状態のワイヤに対して圧延手段にて圧延し、圧延後に捻れを戻す請求項4に記載のソーワイヤの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005233578A JP4559929B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | ソーワイヤの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005233578A JP4559929B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | ソーワイヤの製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007044841A true JP2007044841A (ja) | 2007-02-22 |
JP4559929B2 JP4559929B2 (ja) | 2010-10-13 |
Family
ID=37848115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005233578A Expired - Fee Related JP4559929B2 (ja) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | ソーワイヤの製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4559929B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010023224A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Hongduk Fine Cord Co Ltd | ソーワイヤー |
WO2012069314A1 (en) | 2010-11-22 | 2012-05-31 | Nv Bekaert Sa | A structured sawing wire |
EP2572818A1 (en) | 2011-09-23 | 2013-03-27 | NV Bekaert SA | A fixed abrasive sawing wire with improved abrasive particle retention |
AT512660B1 (de) * | 2012-04-16 | 2013-10-15 | Cpa Wire Technologies Gmbh | Gezogener Sägedraht zur Herstellung von Wafern |
WO2014102662A1 (en) | 2012-12-27 | 2014-07-03 | Pirelli Tyre S.P.A. | System for wire sawing of ingot materials, and saw wire used in said system |
JP2020507484A (ja) * | 2017-02-14 | 2020-03-12 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | ワイヤソー、ワイヤガイドロール、およびインゴットから複数のウェハを同時に切出すための方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103692567B (zh) * | 2013-12-17 | 2015-12-23 | 苏闽(张家港)新型金属材料科技有限公司 | 扁平截面锯齿形切割钢丝 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63260758A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-27 | Kenichi Ishikawa | 硬脆材料切断加工用ワイヤーの製造装置 |
JPH0358077U (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-05 | ||
JP2001205551A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-07-31 | Tokyo Seiko Co Ltd | ソーワイヤおよびワイヤソー |
-
2005
- 2005-08-11 JP JP2005233578A patent/JP4559929B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63260758A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-27 | Kenichi Ishikawa | 硬脆材料切断加工用ワイヤーの製造装置 |
JPH0358077U (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-05 | ||
JP2001205551A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-07-31 | Tokyo Seiko Co Ltd | ソーワイヤおよびワイヤソー |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010023224A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Hongduk Fine Cord Co Ltd | ソーワイヤー |
WO2012069314A1 (en) | 2010-11-22 | 2012-05-31 | Nv Bekaert Sa | A structured sawing wire |
EP2572818A1 (en) | 2011-09-23 | 2013-03-27 | NV Bekaert SA | A fixed abrasive sawing wire with improved abrasive particle retention |
AT512660B1 (de) * | 2012-04-16 | 2013-10-15 | Cpa Wire Technologies Gmbh | Gezogener Sägedraht zur Herstellung von Wafern |
AT512660A4 (de) * | 2012-04-16 | 2013-10-15 | Cpa Wire Technologies Gmbh | Gezogener Sägedraht zur Herstellung von Wafern |
WO2013155544A1 (de) * | 2012-04-16 | 2013-10-24 | Cpa Wire Technologies Gmbh | Unrunder verdrillter sägedraht sowie verfahren und vorrichtung zur herstellung desselben |
WO2014102662A1 (en) | 2012-12-27 | 2014-07-03 | Pirelli Tyre S.P.A. | System for wire sawing of ingot materials, and saw wire used in said system |
JP2020507484A (ja) * | 2017-02-14 | 2020-03-12 | ジルトロニック アクチエンゲゼルシャフトSiltronic AG | ワイヤソー、ワイヤガイドロール、およびインゴットから複数のウェハを同時に切出すための方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4559929B2 (ja) | 2010-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4559929B2 (ja) | ソーワイヤの製造法 | |
CN110430958B (zh) | 线锯、导线辊与用于从料锭同时切割多个晶片的方法 | |
JP6326070B2 (ja) | スライシング・テンション下で、クリンプの特性が維持される構造化されたソーワイヤ | |
US20160101651A1 (en) | Steel cord for tire reinforcement | |
JP3943584B1 (ja) | ソーワイヤー及びワイヤーソー | |
KR20150047507A (ko) | 표면하 인장 잔류 응력을 갖는 성형된 소잉 와이어 | |
JP5639858B2 (ja) | インゴットの切断方法 | |
JP2006336154A (ja) | ゴム補強用偏平ワイヤ | |
JP5550008B2 (ja) | 固定砥粒式ソーワイヤの製造方法 | |
JP2009023066A (ja) | ソーワイヤ及びそのソーワイヤを用いたワイヤソーによる切断方法 | |
JPH10249701A (ja) | インゴットのワイヤソー切断方法及び装置 | |
JP2007044794A (ja) | ワイヤソー用ワイヤ | |
JP6637094B2 (ja) | ダイス | |
WO2015051679A1 (zh) | 一种用于多线切割的金属丝及其制造装置 | |
TWI715735B (zh) | 線鋸裝置的製造方法及線鋸裝置 | |
JP2005246406A (ja) | 金属コード加工方法、及び金属コード加工装置 | |
JP3215089U (ja) | 弾性回転及び塑性回転を有するソーワイヤ付きスプール | |
JP2020131299A (ja) | ワークの切断方法及びワークの切断装置 | |
JP2000233356A (ja) | ワイヤソーの切断方法及びワイヤ | |
JP2007030117A (ja) | ウエーハの製造方法及びワイヤソー | |
WO2015106609A1 (zh) | 一种用于多线切割的异构金属丝及其制造装置与制备方法 | |
JP2001205551A (ja) | ソーワイヤおよびワイヤソー | |
JPH1161671A (ja) | スチールコードのラッピング方法 | |
JP6204166B2 (ja) | ソーワイヤの製造方法及び製造装置 | |
JP2000328188A (ja) | ワイヤソー用鋼線 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100713 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4559929 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |