JP2007036078A - pn接合型発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の伝導型の導電層と、発光層と、第2の伝導型の導電層と、発光層からの発光を外部に取り出す方向に在る一方の極性のオーミック(Ohmic)電極及び一方の台座(pad)電極と、それに対向する他方の極性のオーミック電極形成部内に配置された他方の台座電極と、を備えた化合物半導体のpn接合型発光ダイオードである。
この発光ダイオードの前記一方の極性のオーミック電極を、開口部を有する導電性薄膜で構成する。そしてこの電極の先端部で導通させて、前記他方の極性のオーミック電極形成部側に開口部の無い導電性の連続膜が設けられている構成からなる。
Description
う。
即ち、本発明は以下の各発明からなる。
(3)開口部の無い導電性の連続膜が占める平面積を、開口部を有するオーミック電極が設けられている導電層の平面積未満とした、ことを特徴とする上記(1)または(2)に記載のpn接合型発光ダイオード。
(4)開口部の無い導電層の連続膜が占める平面積を、開口部を有するオーミック電極が設けられている導電層の平面積の1/2以下とした、ことを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(6)開口部の無い導電層の連続膜が、前記他方の極性のオーミック電極形成部に隣接して、開口部を有するオーミック電極の端部に設けられている、ことを特徴とする上記(1)〜(5)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(8)開口部の無い導電層の連続膜が、開口部を有する導電性薄膜とは、異なる金属材料から構成されている、ことを特徴とする、上記(1)〜(7)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(9)開口部の無い導電層の連続膜が、開口部を有する導電性薄膜を構成する材料よりは、高い融点の金属材料から構成されている、ことを特徴とする上記(1)〜(8)いずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(11)開口部の無い導電層の連続膜が、白金族金属またはその合金から構成されている、ことを特徴とする上記(1)〜(9)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(12)開口部の無い導電層の連続膜、及び開口部を有する導電性薄膜の双方が、発光層からの発光を透過できる導電性の材料から構成されている、ことを特徴とする上記(1)〜(11)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(14)pn接合型発光ダイオードが窒化ガリウム系である上記(1)〜(13)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
(15)上記(1)から(14)のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオードと蛍光体とを組み合わせた発光ダイオード。
(16)上記(15)に記載の発光ダイオードを用いた照明器具。
図1は本発明の発光ダイオードの1例を示す平面図である。
図には省略してあるが、本発明の発光ダイオードは少なくとも第1の伝導型の導電層(n又はp型の半導体層)と、発光層と、第2の伝導型の導電層(前記に対応してp又はn型の半導体層)とを有する。そして発光層からの光を取り出す方向の導電層上に、開口部11を有する一方の極性のオーミック(Ohmic)電極10が、さらにその上に一方の台座電極12が形成されている。このオーミック電極10はp型が好ましいが、n型でも可能である。
本発明は上記の構成からなる発光ダイオードにいて、一方の極性のオーミック電極10に対する他方の電極形成部側に開口部のない金属等の導電性連続膜14が設けられているのが特徴である。
連続膜14はオーミック電極10と同一平面、即ち、オーミック電極10が形成されている導電層と同じ導電層上に形成される。そしてオーミック電極10と先端で繋がっている。
本発明のpn接合型発光ダイオードには、窒化ガリウム系等のIII−V族化合物半導体を用いるのが好ましい。そのための積層構造体は、サファイア(α−Al2O3単結晶)、4H結晶型または6H結晶型の六方晶(hexagonal)炭化珪素(SiC)やウルツ鉱結晶型(wurtzite)窒化ガリウム(GaN)や酸化亜鉛(ZnO)などの六方晶の単結晶を基板として形成できる。また、燐化ガリウム(GaP)、砒化ガリウム(GaAs)及び珪素(Si)等の閃亜鉛鉱結晶型(zinc-blende)の半導体単結晶を基板として利用できる。
そこで本発明では、発光も外部視野方向へ取り出せ、且つ、素子駆動電流を発光部へ広く拡散させるために、発光の取り出し方向に設ける電極を、まず、開口部を設けた電極から構成する。例えば、図1に例示する様に、平面形状を角形とする開口部11を設けた金属膜からオーミック電極10を構成する。開口部11には、そのオーミック電極10を設けたクラッド層なりコンタクト層の表面が露出している。
そこで本発明では、他方のオーミック電極13の側に、開口されていない金属膜等の導電性の連続膜14を配備する。連続膜14はオーミック電極10と同一平面、即ち、オーミック電極10が形成されている導電層と同じ導電層上で、オーミック電極10の先端に形成される。
従って、他方の極性の電極と開口部を有する導電性薄膜電極の領域間との電流拡散の不均一さによる短絡的な電流の通流が避けられる。また、局所的な領域での電流の流通が回避できるため、局所的な領域での電極の焼損を防ぐに効果を上げられる。
導電性連続膜の材料としては金属の他、前記した導電性薄膜と同様な金属酸化物等を用いることができる。
本発明において、他方の極性のオーミック電極、台座電極(オーミック電極を兼ねる場合もある)は通常の材料、Ti、Zr、W、Mo、Cr、Al、Ni、Au、Sn、などおよびその合金や積層構造などが用いられる。最表面層は、ボンディング性を良くするため、AuかAlとすることが望ましい。
光の取り出し方向に開口部を有する一方の極性の導電性薄膜からなるオーミック電極を設け、これに対向する他方の極性のオーミック電極に近接し、かつ前記薄膜に導通させて設けた導電性連続膜は、電流拡散をよくする作用を有する。これによって極性を異にする電極間の短絡的な素子駆動電流の流通を防止し、また静電耐圧を向上させる。
窒化物系化合物半導体からなる青色発光素子を以下のとおり作製した。
サファイア基板上にAlN層を介してアンドープGaNからなる厚さ4μmの下地層、Geドープ(濃度1×1019/cm3)GaNからなる厚さ2μmのn側コンタクト層、Siドープ(濃度1×1018/cm3)In0.1Ga0.9Nからなる厚さ12.5nmのn側クラッド層、GaNからなる厚さ16nmの障壁層とIn0.2Ga0.8Nからなる厚さ2.5nmの井戸層を交互に5回積層させた後、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層、Mgドープ(濃度1×1020/cm3)Al0.07Ga0.93Nからなる厚さ2.5nmのp側クラッド層およびMgドープ(濃度8×1019/cm3)Al0.02Ga0.98Nからなる厚さ0.16μmのp側コンタクト層を順次積層して窒化物系化合物半導体積層構造を形成した。
然る後、350μm角の正方形のLEDチップに切断し、リードフレーム上に載置し、金導線をリードフレームに結線して、リードフレームよりLEDチップへ素子駆動電流を流せる様にした。
実施例と同じ積層構造のウエーハを用い、積層の構造は同じとしてp層のほぼ全面を均一に覆うようにp側電極を形成するようにパターンを変更して素子を作製した。n電極のパターンや積層構造は実施例と同じとした。
更に、静電耐圧測定(ESD)においては、2000V以上示したのは面内20点中3点のみであった。
またこの発光ダイオードと蛍光体とを組み合わせて、白色光等の発光ダイオードとして自動車のヘッドランプ、またはスポットライトや天井灯、街灯などの照明器具等に利用できる。
11 開口部
12 一方の極性の台座電極
13 他方の極性の台座電極
13a 他方のオーミック電極形成部
14 金属連続膜
14a 金属連続膜の幅
Claims (16)
- 第1の伝導型の導電層と、発光層と、第2の伝導型の導電層と、発光層からの発光を外部に取り出す方向に在る一方の極性のオーミック(Ohmic)電極及び一方の台座(pad)電極と、それに対向する他方の極性のオーミック電極形成部内に配置された他方の台座電極と、を備えた化合物半導体のpn接合型発光ダイオードに於いて、前記一方の極性のオーミック電極を、開口部を有する導電性薄膜で構成すると共に、該電極の先端部で該電極に導通して、前記他方の極性のオーミック電極形成部側に開口部の無い導電性の連続膜が設けられている、ことを特徴とするpn接合型発光ダイオード。
- 上記開口部を有する一方のオーミック電極と一方の台座電極が電気的に導通していることを特徴とする請求項1に記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電性の連続膜が占める平面積を、開口部を有するオーミック電極が設けられている導電層の平面積未満とした、ことを特徴とする請求項1または2に記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が占める平面積を、開口部を有するオーミック電極が設けられている導電層の平面積の1/2以下とした、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、開口部を有するオーミック電極と接触させて設けられている、ことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、前記他方の極性のオーミック電極形成部に隣接して、開口部を有するオーミック電極の端部に設けられている、ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、前記他方の極性のオーミック電極形成部の周囲に配置されている、ことを特徴とする請求項1〜6のいずらかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、開口部を有する導電性薄膜とは、異なる金属材料から構成されている、ことを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、開口部を有する導電性薄膜を構成する材料よりは、高い融点の金属材料から構成されている、ことを特徴とする請求項1〜8いずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、遷移金属または遷移金属の合金から構成されている、ことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜が、白金族金属またはその合金から構成されている、ことを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 開口部の無い導電層の連続膜、及び開口部を有する導電性薄膜の双方が、発光層からの発光を透過できる導電性の材料から構成されている、ことを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- pn接合型発光ダイオードがIII−V族化合物系である請求項1〜12のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- pn接合型発光ダイオードが窒化ガリウム系である請求項1〜13のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオード。
- 請求項1から14のいずれかに記載のpn接合型発光ダイオードと蛍光体とを組み合わせた発光ダイオード。
- 請求項15に記載の発光ダイオードを用いた照明器具。
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