JP2007035636A - 回転陽極及び回転陽極の冷却体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 高い熱伝導率が得られる炭素繊維材料からなるＸ線回転陽極及び回転陽極冷却体の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、炭素繊維材料からなり、回転軸を同軸に取り囲む、回転対称に形成された冷却体を有する、Ｘ線管の回転陽極に関する。高い熱伝導率を得るために、冷却体（１４）のベースがテーラード・ファイバー・プレースメント法（ＴＦＰ）で作製されたプリフォームであり、冷却体が中空円筒形を有し、一体に形成され、炭素繊維が全長にわたって軸線（１６）と平行又はおおむね平行に伸び、λ≧２５０Ｗ／ｍＫの熱伝導率λを有し、炭素繊維が炭素を含む基質によって結合され、基質の黒鉛微結晶が炭素繊維に沿って整列されていることを提案する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、回転軸があって、炭素繊維が回転軸に沿って通る炭素繊維材料からなり、回転軸を同軸に取り囲む、回転対称に形成された冷却体と、回転軸を横切って伸びる集束リングとを具備する、特にＸ線管の回転陽極に関する。また本発明は、回転軸の周りに回転可能な回転陽極の、軸に沿って伸びる高い熱伝導率の炭素繊維を有する回転対称な冷却体の製造方法に関する。

冒頭に挙げた種類の冷却体を有する回転陽極はドイツ特許ＤＥ−Ｂ−１０３０４９３６により周知である。集束リング即ちターゲット表面に生じる高温を十分に排出するために、冷却体はカップ状の幾何学的形状を有し、冷却体の内部に通る高い熱伝導率の炭素繊維を、ターゲットの下側でも、回転軸と同軸に通り、冷却剤が貫流する冷却管のかたわらでも、鈍角で終わらせる。

互いに平行に伸びる炭素繊維を炭素基質で結合した炭素複合体によって熱伝導結合が行われる回転陽極が米国特許ＵＳ−Ａ−５，９４３，３８９により周知である。炭素繊維の熱伝導率は４００Ｗ／ｍＫないし１０００Ｗ／ｍＫの範囲である。

炭素繊維を含む成形品、いわゆるプリプレグで構成された回転陽極が日本特許公開ＪＰ−Ａ−６１−０２２５４６で明らかである。その場合、繊維は１つの方向に通ることが可能である。

Ｘ線管のための回転陽極がドイツ特許ＤＥ−Ｂ−４０１２０１９により周知である。回転陽極は中空の陽極ディスクを有し、中空に形成されたシャフトを経て陽極ディスクに冷却液が供給される。

回転陽極で熱の排出のために、繊維複合材が効果的であることは実証済みである。繊維複合材は通常使用される金属体に比して軽いため、回転陽極が高い周波数で回転し、及び／又は大きな直径を有することができるからである。ところが実際経験が明らかにしたところでは、こうした排熱は高度に発達したＸ線装置、特にＣＴ装置の要求を十分に満足しない。依然として温度上昇が生じ、このため操作の頻繁な中断が必要になるからである。さらに炭素複合材を利用する周知の回転陽極は、冷媒が貫流する補助冷却管を組み込まなければならないことが多いので、当該の回転陽極の構造が高価なことが欠点である。

ブレーキライニング又は電子装置のための欧州特許公開ＥＰ−Ａ−０６２９５９３による冷却体は、炭素材料からなる基質を有する炭素繊維製のプリフォームを有する。炭素繊維は互いに平行に伸びている。プリフォームの作製のために、まずピッチ繊維を巻枠の胴体の周りに巻き取って円筒体を形成し、次にこれを断片に切断し、続いて平らに折り曲げる。次に平坦なプリフォームプレートを炭化及び黒鉛化する。

本発明の課題は、高い熱伝導率が得られ、このため冷却体により冷却される回転陽極を周知の回転陽極に比してより長い時間にわたって中断なく利用できるように、冒頭に挙げた種類の回転陽極の冷却体及び冷却体の製造方法を改良することにある。また回転陽極を高い周波数で回転し及び／又は大きな直径で形成することができるように、冷却体は小さな重量を有するようにすることも本発明の課題である。

課題を解決するための手段及び発明の効果

上記課題解決のために、冒頭に挙げた種類の回転陽極は、本発明において、次のように改良される。即ち冷却体のベースはテーラード・ファイバー・プレースメント法（ＴＦＰ）で製造されたプリフォームであり、冷却体は中空円筒形を有し、一体に形成されており、炭素繊維が全長にわたって軸と平行又はおおむね平行であり、λ≧２５０Ｗ／ｍ・Ｋの熱伝導率λを有し、炭素を含む基質によって炭素繊維が結合され、基質の黒鉛微結晶が炭素繊維に沿って整列されている。

本発明に基づき、炭素繊維が全長にわたって陽極体の回転軸と平行又はおおむね平行に配列され、回転陽極の集束リングと−とりわけ原則として直接に−接触する冷却体が利用される。また炭素繊維を結合する炭素基質の黒鉛微結晶が繊維に沿って整列され、それによって２５０Ｗ／ｍＫ以上、特に６００Ｗ／ｍＫ以上、とりわけ６００Ｗ／ｍＫないし６５０Ｗ／ｍＫの範囲の高い熱伝導率が得られる。また黒鉛微結晶は炭素繊維に付加されているから、これによって熱伝導率が高められる。そこで冷却体自体から、即ち集束リングに関して反対側の端面から熱が放射される。冷却液が貫流する補助冷却路は不要である。

一体に形成された冷却体は中空円筒の形状を有し、安定化のために支持リングがその外周面及び／又は内面に沿って通ることができる。支持リングは例えば冷却体に圧着される。支持リングは炭素繊維材料（ＣＦＣ）からなることが好ましい。

このこととは別に、冷却体のベースはテーラード・ファイバー・プレースメント（ＴＦＰ）法で製造されたプリフォームである。そのために特にエンドレス炭素長繊維又は炭素長繊維が織物下地に縫着され、その際繊維は雷文状に配置されるから、湾曲した端部を除き繊維は互いに平行に整列されている。こうして作られたプリフォームの熱処理の前に、湾曲した端部を切り取る。炭素長繊維は、湾曲した端部がテープ状の織物下地から横へ張り出すように、織物下地に逢着することが好ましい。炭素長繊維を逢着した後に織物下地をテープに細分して、複数のベースをＴＦＰ法で同時に製造し、次にこれを円筒体に巻いて、冷却体を作製することももちろん可能である。

そこで本発明は、回転軸に沿って伸びる高い熱伝導率の炭素長繊維を有する、回転軸の周りに回転可能な回転陽極の回転対称な冷却体の、下記の手順
即ち
−利用されるプリフォームで炭素繊維が互いに平行又はおおむね平行であるように炭素繊維を織物下地に縫着することによって、テーラード・ファイバー・プレイスメント法（ＴＦＰ）によりテープ状のプリフォームを作製し、
−テープ状のプリフォームを円筒体に巻き取り、
−炭素で、又は炭化により炭素に変換する材料でプリフォームを含浸し、
−含浸したプリフォームを熱処理し、
−熱処理したプリフォームを１回又は数回再緻密化し、
−高温処理し、
−冷却体の最終的幾何学的形状を得るために、こうして作製された冷却体の機械的最終加工を行う
ことによる製造方法も特徴とする。

その場合、熱処理と再緻密化は、含浸と熱処理によって形成され、炭素繊維を結合する基質の黒鉛微結晶が炭素繊維に沿って整列されるように行われる。これによって熱伝導率がさらに高められるから、所望の冷却効果を得ることができる。

黒鉛微結晶層が炭素繊維の中に整列され、繊維表面に沿って配向されることに基づき、適当な処理パラメータと適当な炭素基質系を選択することによって、基質の黒鉛結晶の繊維表面に沿った近距離秩序が可能である。適当な炭素基質系はよく黒鉛化される物質、例えばピッチ又はパイログラファイトである。熱架橋樹脂は黒鉛化性があまりよくないので、避けるべきである。

また炭素繊維に沿って微結晶を整列するために、黒鉛化を真空で行うことができる。但しその場合は炭素の昇華を十分に回避しなければならない。代案として又は補足的に、黒鉛化の際に炭素繊維に緊張又は張力を作用させるとよい。これはすべて炭素繊維に沿った微結晶の整列をもたらし、その結果熱伝導率の所望の増加が生じる。

また高い熱伝導率を得るために、炭素繊維の容積含有量が４０％ないし８０％、特に６０％ないし７０％であることが好ましい。これは、テーラード・ファイバー・プレースメント法で作製されたプリフォームを所定の張力で円筒体に巻きつけることによって得られる。好ましい張力として３ｋｐないし１５ｋｐ、特に５ｋｐないし１０ｋｐの値が挙げられる。

炭素繊維の容積含有量を所望の値、特に６０容積％ないし７０容積％に調整する別のやり方は、押圧ローラを使用し、心に巻き取るときにローラが繊維シートを緻密化することである。

テーラード・ファイバー・プレースメント法自体は、例えば文献「Mattheij et al: Tailored fiber−placement−mechnical properties and applications（テーラード・ファイバー・プレースメント−機械的性質及び用途）, Journal of Reinforced Plastics and Compsites」17巻9号（1998年）774−786頁に出ている。その限りで、これに関する開示を明確に引用する。

こうして作製されたプリフォームは初期状態で通常１１５Ｗ／ｍＫないし２００Ｗ／ｍＫの熱伝導率を有するから、このプリフォームは冷却体の製造のために扱いやすく、十分な機械的性質を有するという利点が与えられる。繊維として、黒鉛化可能な繊維、さらには既に黒鉛化された繊維、特にピッチベースの炭素繊維を使用することができる。繊維の直径は４μｍないし９μｍの範囲内、とりわけ８μｍであることが好ましい。

プリフォームを心に巻き取った後、その場で熱伝導率が高められるように、熱処理を行う。特に６００Ｗ／ｍＫないし６５０Ｗ／ｍＫの範囲の熱伝導率が好ましい。このことに係りなく、熱伝導率は必ず２５０Ｗ／ｍＫ以上であるべきである。

プリフォームの繊維を熱分解炭素によるＣＶＩ［化学的気相浸透］含浸又はよく黒鉛化される基質前駆物質による含浸で安定化し、固定することによって、高い熱伝導率が得られる。こうして固定されたプリフォームに次にとりわけＴ＞２８００℃の温度Ｔで高温熱処理を施して繊維も基質も黒鉛化し、繊維を基質に固定することによって繊維の塑性変形による延伸黒鉛化効果を、黒鉛化の改善による熱伝導率の増加のために利用する。

乾式又は湿式含浸の前にプリフォームの繊維又はプリフォーム自体を樹脂又はピッチで処理し、続いて硬化することができる。次に樹脂又はピッチによる湿式含浸もしくは特にＣＶＩ法で熱分解炭素（ＰｙＣ）による気相含浸が行われる。続いて熱処理が行われ、樹脂及びピッチを使用してまず炭化、続いて黒鉛化が行われ、乾式含浸ではもっぱら黒鉛化が行われる。含浸剤を炭素に変換するための炭化はとりわけ７００℃ないし１２００℃の温度範囲、とりわけ９００℃ないし１０５０℃の範囲で行われる。好ましい黒鉛化温度は２４００℃ないし３５００℃、とりわけ２６００℃ないし３３００℃の範囲である。

湿式含浸には、炭素への変換を可能にするために高い炭素歩留の材料が使用される。湿式含浸では炭化に熱処理段階が前置され、それによって含浸剤の硬化又は架橋、もしくはピッチの場合は含浸剤の融解が行われる。

熱処理時に望ましくない形状変化が回避されることを保証するために、熱処理の際に中空円筒形の単一体の、即ち一体式の冷却体を板の上に支え、特に支持リングで取り囲むとよい。

とりわけプリフォームを円筒体に巻き取った後に含浸を行う場合は、あらかじめ少なくとも部分的含浸を行うことも直ちに可能である。

熱処理、即ち炭化及び黒鉛化の後に、熱伝導率の改善のために再緻密化を行う。これは真空−圧力含浸及び硬化、炭化、黒鉛化を含む。その場合、再緻密化をとりわけ２回ないし４回行うことができる。但し本発明はこれによって限定されない。

再緻密化によって熱伝導率が改善されるだけでなく、同時に密度が増加し、有孔率が最小化されるから、他方では冷却体の機械的強度が改善される。特に再緻密化は、完成冷却体の連続気孔率が１４容積％未満、とりわけ１０容積％未満、密度が１．５ｇ／ｃｍ³ないし２．２ｇ／ｃｍ³の範囲、特に１．７５ｇ／ｃｍ³ないし２．０ｇ／ｃｍ₃の範囲となるように行われる。

１回又は数回の再緻密化の後に、最終黒鉛化とも呼ぶことができる高温処理が行われる。高温処理は２４００℃ないし３０００℃の範囲で行われる。こうして作製された冷却体は、続いて切削加工により最終形状に加工される。場合によっては炭素繊維材料リングの形の高強度の支持構造が取り付けられる。支持リングは内周面及び／又は外周面に取り付けられる。

「particle release（粒子放出）」を回避するために、選択によっては最終加工の後にＣＶＤ（化学蒸着）被覆を冷却体に被着することができる。被覆は単独で０．５≦ε＜１．０、特に０．８≦ε≦０．９の高い放出係数を有することが好ましい。

これに関する被覆の前に、冷却体を高温過程で清浄化することも可能である。清浄化によって微結晶形成が好影響を受ける。なぜなら高温清浄化の前に異物原子があった部位に特に良好な微結晶形成が生じるからである。不純物が高温清浄化過程で再び除去されるならば、黒鉛化性の改善及び熱伝導率の向上のために、不純物を故意に使用することができる。

本発明のその他の細部、利点及び特徴は特許請求の範囲及び特許請求の範囲に見られる特徴−単独で及び／又は組合せとして−だけでなく、図面に見られる好ましい実施例の下記の説明からも明らかである。

本発明を回転陽極１０のための冷却体に基づいて説明することにする。但し本発明はこれによって限定されない。

図１に特にコンピュータトモグラフのための回転陽極１０のごく概要が示されている。回転陽極１０は特にタングステンからなる集束リング１２及び冷却体１４で構成される。回転陽極１０は図示しないシャフトに支承され、軸線６の周りに回転可能である。短時間で高い測定点密度を得るために、回転陽極は１５０ヘルツの周波数で回転される。直径は１５０ｍｍないし２５０ｍｍの範囲である。但しこれを限定と解すべきでない。

集束リング１２から熱をよく排出することができ、それによって回転陽極を長期間にわたって中断なく使用できることを保証するために、冷却体１４は、軸１６と平行かつ相互に平行であって炭素基質により結合された炭素繊維からなる炭素複合体である。また冷却体１４の製造の際に、炭素繊維が２５０Ｗ／ｍＫ以上、特に６００Ｗ／ｍＫないし６５０Ｗ／ｍＫの範囲の熱伝導率を有するように、その場で熱伝導率の増加が行われる。これによって、集束リング１２から冷却体１４を経て排出される熱が、集束リングの反対側の冷却体１４の端面１８から十分に放射されることが保証される。

冷却体１４はうず巻状に巻いたプリフォームからなる。プリフォームはテーラード・ファイバー・プレースメント法で製造されている。そのために高い炭素歩留を有する織物下地２０の上にエンドレス炭素繊維２２が雷文状に配置され、縫着される。次に湾曲した部分２４をとりわけ下地２０の縁端に沿って切り取り、こうして炭素繊維２２が互いに平行に、かつ下地１２の縦軸に対して垂直に整列されたテープ状のプリフォームが生じる。次に当該のプリフォームを、心と呼ばれる円筒体の周りに巻きつけ、その際炭素繊維２２は心の軸と平行である。なお心の周りへの巻きつけは、所望の繊維容積含有量が得られるように行う。繊維容積含有量は特に４０容積％ないし８０容積％、とりわけ６０容積％ないし７０容積％の範囲であることが好ましい。そのために５ｋｐないし１０ｋｐの張力Ｆを加える。代案として又は補足的に、心への巻き取りの際にプリフォームに押圧ローラを使用することができる。それによって同じく繊維容積含有量の所望の値への調整が行われ、又は促進される。続いて湿式又は気相含浸が行われる。湿式含浸は、炭素への変換を可能にするために高い炭素歩留を有する材料で行われる。特に樹脂及びピッチが挙げられる。気相含浸として特に熱分解炭素によるＣＶＩ法が考えられる。

本発明を逸脱しない限り、プリフォームを心に巻き取る前にすでに繊維を樹脂又はピッチで処理することができることに言及しなければならない。

このことに係りなく、含浸の後に熱処理が行われ、樹脂又はピッチを使用する場合はまず含浸剤の硬化又は架橋が行われ、一方、ピッチは含浸の前に融解するために熱しなければならない。熱処理は、樹脂及びピッチを使用する場合の炭化及び黒鉛化、気相含浸ではもっぱら黒鉛化を含む。炭化はとりわけ７００℃ないし１２００℃の温度範囲、特に９００℃ないし１０５０℃の範囲で行われ、これに対して黒鉛化は２４００℃ないし３５００℃、特に２６００℃ないし３３００℃の範囲で行うことが好ましい。熱処理の後に冷却が行われ、次に１回又は数回の再緻密化が続く。その場合、密度を増加し、有孔率を最小化するために、再緻密化は真空−圧力含浸を含む。製造される冷却体の機械的強度がこれによって高められる。特に密度ρがρ＞１．８５ｇ／ｃｍ³となるように、冷却体１４を再緻密化することが好ましい。

また不純物を除去するために、ガス洗浄を行うことが好ましい。

再緻密化の際に含浸剤に熱伝導性の高い充填材を加えることができる。

それとは別に、再緻密化即ち含浸、硬化又は黒鉛化は、製造される冷却体が１４容積％以下、とりわけ１０容積％以下の連続気孔率及び／又は１．５ｇ／ｃｍ³ないし２．２ｇ／ｃｍ³の範囲、特に１．７５ｇ／ｃｍ³ないし２．０ｇ／ｃｍ³の範囲の密度を有するように行われる。

次に２４００℃ないし３５００℃の範囲で高温処理が行われる。続いて切削加工により、冷却体を最終形状に加工する。場合によっては冷却体に高強度の炭素繊維材料リングの形の支持構造を設けることができる。当該のリングは中空円筒体の外側及び／又は内側に取り付けることができる。

最後に、「粒子放出」を回避するために、場合によっては化学蒸着被覆、例えば熱分解炭素被覆を行うことができる。被覆は０．５≦ε＜１、特に０．８≦ε≦０．９の高い放出係数εを有することが好ましい。

清浄化が予定されているならば、これを最終加工と化学蒸着被覆の間に行うことが好ましい。純度及び黒鉛化度の改善のために、高温ガス洗浄を行う。粒子放出を減少するために、特に超音波による清浄化が選ばれる。

最後に、冷却体１４の内側と外側にそれぞれ１個の高強度炭素繊維材料製の支持リング２６、２８を圧着することができる。

プリフォームは各含浸段階又は熱処理段階の前に、心から取り外すことができる。熱処理の終了の後にプリフォームを心から引き抜くことももちろん可能である。但しプリフォームの引き抜きは、もはや心の上にないプリフォームの変形を阻止することが、実施される処理段階で保証される場合に初めて行われるべきである。従って、たとえ先行する処理段階で引き抜きを行うことができても、少なくとも各高温処理段階の前にはプリフォームは心を取り囲んでいるべきである。

回転陽極の断面図を示す。 製造されるプリフォームの断片を示す。

符号の説明

１０ 回転陽極
１２ 集束リング
１４ 冷却体
１６ 回転軸
１８ 端面
２０ 織物下地
２２ エンドレス炭素繊維
２４ 湾曲した部分
２６ 支持リング
２８ 支持リング

Claims (22)

1. 回転軸（１６）があって、炭素繊維が回転軸（１６）に沿って通る炭素繊維材料からなり、回転軸を同軸に取り囲む、回転対称に形成された冷却体（１４）と、回転軸を横切って伸びる集束リング（１２）とを具備する、特にＸ線管の回転陽極（１０）において、冷却体（１４）のベースがテーラード・ファイバー・プレースメント（ＴＦＰ）法で製造されたプリフォームであり、冷却体が中空円筒形を有し、一体に形成されており、炭素繊維（２２）が全長にわたって回転軸（１６）と平行又はおおむね平行であり、λ≧２５０Ｗ／ｍＫの熱伝導率λを有し、炭素を含む基質によって炭素繊維が結合され、基質の黒鉛微結晶が炭素繊維に沿って整列されていることを特徴とする回転陽極。
2. 冷却体（１４）がその外周面ないしは内面に沿って支持リング（２６、２８）を有することを特徴とする請求項１に記載の冷却体。
3. 支持リング（２６、２８）が冷却体の上に圧着されていることを特徴とする請求項２に記載の冷却体。
4. 支持リング（２６、２８）が炭素繊維材料（ＣＦＣ）からなることを特徴とする請求項２又は３に記載の冷却体。
5. 冷却体（１４）が１．５ｇ／ｃｍ³≦ρ≦２．２ｇ／ｃｍ³、特に１．７５ｇ／ｃｍ³≦ρ≦２．０ｇ／ｃｍ³の密度ρを有することを特徴とする請求項１に記載の冷却体。
6. 回転軸の周りに回転可能な回転陽極（１０）の、該軸に沿って伸びる高い熱伝導率の炭素繊維（２２）を有する回転対称な冷却体の製造方法において、下記の手順、即ち
   −利用されるプリフォームで炭素繊維が互いに平行又はおおむね平行であるように炭素繊維（２２）を織物下地（２０）に縫着することによって、テーラード・ファイバー・プレイスメント法（ＴＦＰ）によりテープ状のプリフォームを作製し、
   −テープ状のプリフォームを円筒体に巻き取り、
   −炭素で、又は炭化する炭素により変換する材料でプリフォームを含浸し、
   −含浸したプリフォームを熱処理し、
   −熱処理したプリフォームを１回又は数回再緻密化し、
   −高温処理し、
   −冷却体の最終的幾何学的形状を得るために、こうして作製された冷却体の機械的最終加工を行う
   ことを特徴とする方法。
7. 炭素長繊維又はエンドレス炭素繊維の形の炭素繊維（２２）を織物下地（２０）の上に雷文状に縫着し、とりわけ織物下地の縁端から張り出す湾曲した部分（２４）を、円筒体に巻き取る前又は円筒体からプリフォームを抜き取った後に切り取ることを特徴とする請求項６に記載の方法。
8. プリフォームを巻き取りの前又は後に樹脂ないしはピッチで処理することを特徴とする請求項６に記載の方法。
9. 巻き取ったプリフォームの繊維容積含有量Ｖが、４０容積％≦Ｖ≦８０容積％、特に６０容積％≦Ｖ≦７０容積％となるように、プリフォームを張力Ｆで円筒体に巻き取ることを特徴とする請求項６に記載の方法。
10. 張力Ｆを３ｋｐ≦Ｆ≦１５ｋｐ、特に５ｋｐ≦Ｆ≦１０ｋｐに調整することを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. 円筒体に巻き取るときに、プリフォームに押圧ローラが作用することを特徴とする請求項６に記載の方法。
12. 円筒体に巻き取られたプリフォームを気相含浸ないしは液体含浸により含浸することを特徴とする請求項６に記載の方法。
13. 熱分解炭素（ＰｙＣ）で気相含浸を行うことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
14. プリフォームを樹脂ないしはピッチで処理するときに、プリフォームを７００℃≦Ｔ_C≦１２００℃、特に９００℃≦Ｔ_C≦１０５０℃の温度Ｔ_Cで炭化することを特徴とする請求項８に記載の方法。
15. 含浸したプリフォームを２４００℃≦Ｔ_G≦３５００℃、特に２６００℃≦Ｔ_G≦３３００℃の温度Ｔ_Gで黒鉛化することを特徴とする請求項６又は１４に記載の方法。
16. 含浸に使用される材料が熱伝導性の高い充填材を含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
17. 冷却体の最終加工の後に、０．５≦ε＜１、とりわけ０．８≦ε≦０．９の放出係数εを有する材料で冷却体を被覆することを特徴とする請求項６に記載の方法。
18. 冷却体をＣＶＤ（化学蒸着）法により熱分解炭素（P_yC）で被覆することを特徴とする請求項１７に記載の方法。
19. 最終加工の後及び被覆の前に、冷却体に特にガス洗浄を施し、ないしは超音波により清浄化することを特徴とする請求項６に記載の方法。
20. プリフォームを高温処理の後に円筒体から引き抜くことを特徴とする請求項６に記載の方法。
21. 炭素繊維に沿って黒鉛微結晶を整列するために、よく黒鉛化される物質例えばピッチ又は熱分解炭素でプリフォームを含浸することを特徴とする請求項６に記載の方法。
22. プリフォームの製造のために、４μｍ≦Ｄ≦９μｍの直径Ｄを有する炭素繊維を使用することを特徴とする請求項６に記載の方法。
    

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