JP2007028861A - ステッピングモータ及び弁装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ネジ構造をもつステッピングモータにおいて、高分解能化、軽量化、低コスト化等を図りつつ機械的強度を確保する。
【解決手段】雌ネジ２４を有するロータ２０、ロータ２０の周りに配置されたステータ３０、雄ネジ４２を有し直線的に往復動自在に支持された可動子４０を備え、ロータ２０が回転して可動子４０が直線移動するステッピングモータにおいて、雌ネジ２４は樹脂材料により形成された樹脂ネジからなり、雄ネジ４２は金属材料により形成された金属ネジからなり、樹脂ネジ２４のネジ山の幅Ｗｐは、金属ネジ４２のネジ山の幅Ｗｓよりも大きく形成されている。これにより、ネジピッチを小さくして高分解能を確保する一方で、樹脂ネジの機械的強度も確保することができ、軽量化、低コスト化、高分解能化を達成しつつ、ネジ構造としての機械的強度、機能上の信頼性を確保することができる。
【選択図】 図４

Description

本発明は、ロータの回転を雄ネジ及び雌ネジの螺合関係により直線移動に変換して可動子を往復動させるステッピングモータ及びこのステッピングモータを駆動源とする弁装置に関する。

従来のステッピングモータとしては、円筒状に形成されたステータ、ステータの内側に回動自在に支持されてステップ的に回転し得るロータ、ロータの回転軸に直結された駆動歯車、駆動歯車に噛合する減速歯車機構、減速歯車機構の出力軸に設けられた雄ネジ、雄ネジと螺合する雌ネジを有するナット部材等を備え、ネジ螺合部分の損耗等を抑制しつつ分解能を高く（微調整可能に）するべく、雄ネジ及び雌ネジを共に金属材料により形成すると共に、雄ネジ及び雌ネジのネジピッチを１ｍｍ以下に小さくしかつネジ山の形状を台形又は矩形としたネジ構造をもつものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、他のステッピングモータとしては、円筒状に形成されたステータ、ステータの内側に回動自在に支持されてステップ的に回転し得る円筒状のロータ、ロータの内周面に設けられた雌ネジ、この雌ネジと螺合する雄ネジを有しロータの回転により直線的に往復動する出力軸等を備え、雌ネジを樹脂材料により形成し、雄ネジを金属材料により形成すると共に、ネジ部分の耐久性、耐熱性等を確保するために、雌ネジをＰＰＳ樹脂により形成したネジ構造をもつものが知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開２００３−９７６６０号公報 特開平９−２４７９１９号公報

ところで、高分解能を確保しつつ、軽量化、低コスト化等を図る観点から、特許文献１に開示のネジ構造に対して、特許文献２に開示されているように、雌ネジ及び雄ネジの一方を樹脂材料により形成する構成を採用すると、樹脂材料により形成されたネジ山の幅が薄くなり、機械的強度が弱くなり過ぎて、ネジ構造そのものが成立しないという問題があった。

本発明は、上記従来技術の事情に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、軽量化、低コスト化、高分解能化等を図りつつ、機械的強度も確保でき、ネジ構造としての性能を保証し得る雌ネジ及び雄ネジのネジ構造を備えたステッピングモータ及びこのステッピングモータを駆動源とする弁装置を提供することにある。

本発明のステッピングモータは、雌ネジ及び雄ネジの一方を有するロータ、ロータの周りに配置されたステータ、雌ネジ及び雄ネジの他方を有し直線的に往復動自在に支持された可動子を備え、ロータが回転して可動子が直線移動するステッピングモータであって、上記雌ネジ及び雄ネジの一方は、樹脂材料により形成された樹脂ネジからなり、上記雌ネジ及び雄ネジの他方は、金属材料により形成された金属ネジからなり、樹脂ネジのネジ山の幅は、金属ネジのネジ山の幅よりも大きく形成されている、構成となっている。
この構成によれば、ロータが回転すると、雌ネジと雄ネジの螺合構造を介して、可動子がその軸線方向に移動する。ここで、雄ネジ及び雌ネジの一方を樹脂ネジ、雄ネジ及び雌ネジの他方を金属ネジとし、かつ、樹脂ネジのネジ山の幅を金属ネジのネジ山の幅よりも大きく形成したことにより、ネジピッチを小さくして高分解能を確保する一方で、樹脂ネジの機械的強度も確保することができる。したがって、軽量化、低コスト化、高分解能化を達成しつつ、ネジ構造としての機械的強度、機能上の信頼性を確保することができる。

上記構成のステッピングモータにおいて、ロータは雌ネジを有し、可動子は雄ネジを有し、雌ネジは樹脂ネジからなり、雄ネジは金属ネジからなる、構成を採用することができる。
この構成によれば、雌ネジをロータに対し樹脂材料により一体成型することができるため、ロータの軽量化を達成でき、又、可動子をロータの内側に入れ子状に螺合して連結するため、小型化、全長の短縮化が可能になる。

また、本発明の弁装置は、雌ネジ及び雄ネジの一方を有するロータ、ロータの周りに配置されたステータ、雌ネジ及び雄ネジの他方を有し直線的に往復動自在に支持された可動子を含むステッピングモータ、可動子の先端に設けられて流体の通路を開閉し得る弁体を備え、ステッピングモータの駆動力により弁体を開閉させる弁装置であって、上記雌ネジ及び雄ネジの一方は、樹脂材料により形成された樹脂ネジからなり、上記雌ネジ及び雄ネジの他方は、金属材料により形成された金属ネジからなり、樹脂ネジのネジ山の幅は、金属ネジのネジ山の幅よりも大きく形成されている、構成となっている。
この構成によれば、ロータが回転すると、雌ネジと雄ネジの螺合構造を介して、可動子がその軸線方向に移動し、可動子の先端に設けられた弁体が流体の通路を開閉する。
ここで、雄ネジ及び雌ネジの一方を樹脂ネジ、雄ネジ及び雌ネジの他方を金属ネジとし、かつ、樹脂ネジのネジ山の幅を金属ネジのネジ山の幅よりも大きく形成したことにより、ネジピッチを小さくして高分解能を確保する一方で、樹脂ネジの機械的強度も確保することができる。
したがって、軽量化、低コスト化、高分解能化を達成しつつ、ネジ構造としての機械的強度、機能上の信頼性を確保することができ、弁体による通路の開閉を高精度に又弁の開度をきめ細かに微調整することができ、流体の流量を高精度に制御することができる。

上記構成の弁装置において、ロータは雌ネジを有し、可動子は雄ネジを有し、雌ネジは樹脂ネジからなり、雄ネジは金属ネジからなる、構成を採用することができる。
この構成によれば、雌ネジをロータに対し樹脂材料により一体成型することができるため、ロータの軽量化を達成でき、又、可動子をロータの内側に入れ子状に連結するため、小型化、全長の短縮化が可能になる。

上記構成をなすステッピングモータ及び弁装置によれば、軽量化、低コスト化、高分解能化等を達成しつつ、機械的強度も確保でき、ネジ構造としての性能を保証し得る雌ネジ及び雄ネジのネジ構造を備えたステッピングモータ及びこのステッピングモータを駆動源とする弁装置を得ることができる。

以下、本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。
図１ないし図６は、本発明に係るステッピングモータを駆動源とする弁装置一実施形態を示すものであり、図１及び図２は弁装置の断面図、図３はロータ及び弁体を有する可動子を示す部分図、図４は雌ネジ及び雄ネジの断面形状を示す部分拡大図、図５及び図６はネジ形状を説明するための模式図である。

この弁装置は、図１ないし３に示すように、ハウジング１０、ハウジング１０内に収容されて回動自在に支持されたロータ２０、ロータ２０の周りにおいて軸線方向Ｘに積層された２つのステータ３０、ロータ２０に連結されると共に直線的に移動自在に支持された可動子としてのシャフト４０、シャフト４０の先端側に設けられた弁体５０、シャフト４０を摺動自在に支持するシャフトホルダ６０、シャフトホルダ６０に装着されたＯリング７０，８０、ロータ２０を回動自在に支持する軸受９０及び支持プレート１００、ロータ２０を軸線方向Ｘの一方に向けて付勢する及びスラスト軸受１１０等を備えている。
すなわち、この弁装置では、ロータ２０，ステータ３０，可動子としてのシャフト４０等によりステップ的に回転し得るステッピングモータが形成され、このステッピングモータにより弁体５０が開閉駆動されるようになっている。

ハウジング１０は、図１及び図２に示すように、樹脂材料により形成されて、ロータ２０及びステータ３０を収容するモータハウジング１１、流体の通路及び弁座を形成する弁ハウジング１２等により形成されている。

モータハウジング１１は、支持プレート１００及びスラスト軸受１１０を保持すると共に、ステータ３０を内部に保持しかつステータ３０の内側においてロータ２０を回動自在に収容し、電気接続用のコネクタ１１ａ、弁ハウジング１２と接続される円筒状の嵌合部１１ｂ等を備えている。
弁ハウジング１２は、流体が流入する流入通路１２ａ、流体が流出する流出通路１２ｂ、弁体５０が着座して閉弁し得る弁座１２ｃ、モータハウジング１１の嵌合部１１ｂと嵌合される円筒状の嵌合部１２ｄ等を備えている。

ロータ２０は、モータハウジング１１の内部において、スラスト軸受１１０によりスラスト方向の移動が規制されつつ、軸受９０及び支持プレート１００により軸線Ｘを中心に回動自在に支持されている。
ロータ２０は、樹脂材料により形成された円筒部２１、円筒部２１の外周に固着されたマグネット２２、円筒部２１の両端から突出して軸受９０及び支持プレート１００に摺動自在に嵌合される軸部２３、円筒部２１の内周面に樹脂材料により一体的に形成された樹脂ネジとしての雌ネジ２４等により形成されている。マグネット２２は、円筒部２１の外周に一体的に成型されており、回転方向においてＮ極とＳ極とが交互に配列されて複数着磁されている。
ここでは、ロータ２０を樹脂材料により円筒状に形成すると共にその内周面に雌ネジ２４を樹脂材料により一体成型しているため、ロータ２０の軽量化を達成でき、又、シャフト４０をロータ２０の内側に入れ子状に螺合して連結するため、小型化、全長の短縮化が可能になる。

２つのステータ３０は、図１及び図２に示すように、それぞれ、励磁用のコイル３１、コイル３１を巻回するボビン３２、及びボビン３２を挟持して接合されると共にロータ２０の外周面（マグネット２２）と対向する複数の爪状磁極片をもつ一対のヨーク３３により形成されている。

可動子としてのシャフト４０は、断面が略円形をなすようにＳＵＳ等の金属材料により形成されると共に、図１ないし図３に示すように、その一端側（先端側）に弁体５０の結合部４１、その他端側の外周面に所定領域に亘って雌ネジ２４と螺合するべく形成された金属ネジとしての雄ネジ４２が形成されている。

弁体５０は、図１及び図２に示すように、シャフト４０の結合部４１を包囲するように樹脂材料によりインサート成型された弁ホルダ５１、弁ホルダ５１に結合されて弁座１２ｃに着座し得るゴムシート状の弁部５２、弁ホルダ５１に対して軸線Ｘ周りに放射状に一体的に形成されて後述の規制片６５と係合する複数の被規制片５３等により形成されている。

シャフトホルダ６０は、図１及び図２に示すように、シャフト４０を摺動自在に支持する貫通孔６１、弁ハウジング１２に嵌合される円筒部６２、貫通孔６１よりも大きい内径をなす縮径円筒部６３、軸受９０を嵌合させて保持する円筒状の軸受保持部６４、弁ホルダ５１の被規制片５３と係合してシャフト４０の回転を規制しつつ軸線方向Ｘにガイドする複数の規制片６５、弁ホルダ５１の端部が当接することにより弁体５０（及びシャフト４０）の軸線方向Ｘの移動端位置を規定する端面６６等により形成されている。

すなわち、シャフトホルダ６０は、ハウジング１０の内側に嵌合して固定されると共にシャフト４０を摺動自在に支持し、その規制片６５が弁ホルダ５１の被規制片５３に係合して回転を規制しつつ軸線方向Ｘに移動自在に弁体５０すなわちシャフト４０をガイドし、又、その端面６６が弁ホルダ５１の端部を当接させて受け止めることにより弁体５０の軸線方向Ｘの移動端位置を規定する。

Ｏリング７０，８０は、ゴム材料により形成されている。ここで、Ｏリング７０は、特にシャフト４０が軸線方向Ｘに摺動する状態で、その接触界面を確実にシールする必要があるため、その表面に潤滑剤等を塗布して、摺動抵抗を軽減し、耐摩耗性を向上させてもよい。

軸受９０は、図１及び図２に示すように、ロータ２０の一方の軸部２３を回動自在にラジアル方向において支持するものであり、シャフトホルダ６０の軸受保持部６４に嵌合して保持されている。このように、ロータ２０とシャフト４０が、同一の部材であるシャフトホルダ６０により支持されるため、軸心のずれ等を防止でき、ロータ２０の円滑な回転運動及びシャフト４０の円滑な直線運動を得ることができる。

支持プレート１００は、図１及び図２に示すように、ロータ２０の他方の軸部２３を回動自在にラジアル方向において支持するものであり、耐摩耗性に優れた金属材料等により、モータハウジング１１と一緒にインサート成型されている。
スラスト軸受１１０は、図１及び図２に示すように、モータハウジング１１に収容されるコイルスプリング１１１、コイルスプリング１１１の付勢力により軸線方向Ｘに付勢される球体１１２により形成され、ロータ２０に対して軸線方向Ｘの一方向に（弁体５０側に向けて）付勢力を及ぼすものである。

上記構成において、ロータ２０の雌ネジ２４とシャフト４０の雄ネジ４２のネジ形状について、図４ないし図６を参照しつつ以下に説明する。
雌ネジ２４は樹脂材料により形成された樹脂ネジであり、雄ネジ４２は金属材料により形成された金属ネジであり、雌ネジ２４と雄ネジ４２とは、図４に示すように、ネジピッチＰを１ｍｍ以下にして、かつ、雌ネジ２４のネジ山の幅Ｗｐが雄ネジ４２のネジ山の幅Ｗｓよりも大きく（Ｗｐ＞Ｗｓ）なるように形成されている。
このように、雌ネジ２４（樹脂ネジ）のネジ山の幅Ｗｐを雄ネジ４２（金属ネジ）のネジ山の幅Ｗｓよりも大きく形成したことにより、ネジピッチＰを小さくして高分解能化を達成しつつも、樹脂ネジである雌ネジ２４の機械的強度を高めることができる。したがって、軽量化、低コスト化、高分解能化を達成しつつ、ネジ構造としての機械的強度、機能上の信頼性を確保することができる。

ここで、雌ネジ２４におけるネジ山の幅Ｗｐと雄ネジ４２におけるネジ山の幅Ｗｓの関係を、Ｗｐ＞Ｗｓに設定するために、ネジ形状は、図５に示すように、二点鎖線で示すＪＩＳ規格のメートル台形ネジのネジピッチＰを公式により求められる寸法（規格寸法）よりも短いネジピッチＰに設定することにより形成されている。

具体的な寸法例で示すと、ＪＩＳ規格（ＪＩＳＢ０２１６）のメートル台形ネジの基準寸法の算出に用いられる公式により、外径ｄ＝４ｍｍ、ネジピッチＰ＝１．０ｍｍのメートル台形ネジの形状を算出すると、図６（ａ）に示すように、雌ネジ（樹脂ネジ）におけるネジ山の幅がＷｐ＝０．３６６ｍｍ、雄ネジ（金属ネジ）におけるネジ山の幅がＷｓ＝０．３６６ｍｍ、高さがＨ＝０．５００ｍｍとなる。

そこで、ネジピッチＰをさらに小さくて高分解能化を図るべく、外径ｄ＝４ｍｍ、ネジピッチＰ＝０．７ｍｍのメートル台形ネジの形状を算出すると、図６（ｂ）に示すように、雌ネジ（樹脂ネジ）におけるネジ山の幅がＷｐ＝０．２５６ｍｍ、雄ネジ（金属ネジ）におけるネジ山の幅がＷｓ＝０．２５６ｍｍ、高さがＨ＝０．３５０ｍｍとなる。
このように、単にネジピッチＰを小さくしただけでは、雌ネジ（樹脂ネジ）のネジ山の幅Ｗｐが小さくなり過ぎて機械的強度が低下する。

したがって、図６（ａ）に示すネジピッチＰ＝１．０ｍｍのメートル台形ネジの寸法を基準にして、ネジピッチＰを０．３ｍｍだけ短くすると共にその短くしたネジピッチＰに対応する高さＨ寸法に設定すると、図５に示すように、雌ネジ（樹脂ネジ）におけるネジ山の幅がＷｐ＝０．２９６ｍｍ、雄ネジ（金属ネジ）におけるネジ山の幅がＷｓ＝０．２１６ｍｍ、高さがＨ＝０．３５０ｍｍとなり、図６（ｃ）に示すように、雌ネジ２４（樹脂ネジ）におけるネジ山の幅Ｗｐが雄ネジ４２（金属ネジ）におけるネジ山の幅Ｗｓよりも大きくなる（Ｗｐ＞Ｗｓ）ネジ形状が得られる。

このように、雌ネジ２４及び雄ネジ４２は、ＪＩＳ規格のメートル台形ネジのネジピッチＰを公式により算出される寸法（規格寸法）よりも短く詰めて設定することにより、ネジ構造に要求される所定の性能を確保しつつ、ネジ山の幅Ｗｐ，Ｗｓが異なる（Ｗｐ＞Ｗｓ）樹脂ネジとしての雌ネジ２４と金属ネジとしての雄ネジ４２を容易に形成することができる。

次に、上記弁装置の動作について説明すると、コイル３１が一方向に通電されてロータ２０が一方向に回転すると、ロータ２０の雌ネジ２４とシャフト４０の雄ネジ４２との螺合関係を介して、図１に示すように、弁体５０（及びシャフト４０）が軸線方向Ｘの一方向（図中の下向き）に直線的に移動する。そして、弁部５２が弁ハウジング１２の弁座１２ｃに当接して着座すると同時に通路１２ａ，１２ｂ間を閉鎖して停止する。
この状態において、弁部５２は通路１２ａ，１２ｂ間を完全に遮断しており、水道水あるいは温水等の流体の流れを完全に止める止水作用が得られる。

一方、コイル３１が他方向に通電されてロータ２０が他方向に回転すると、ロータ２０の雌ネジ２４とシャフト４０の雄ネジ４２との螺合関係を介して、図２に示すように、シャフト４０の一部がさらにロータ２０の内側に入り込むように、弁体５０（及びシャフト４０）が軸線方向Ｘの他方向（図中の上向き）に直線的に移動する。
そして、弁ホルダ５１の端部（被規制片５３の端部）がシャフトホルダ６０の端面６６に当接すると、弁部５２が弁ハウジング１２の弁座１２ｃから最も離れた往復動方向Ｘの移動端位置に位置付けられると同時に通路１２ａ，１２ｂ間を全開して停止する。

また、コイル３１への通電を適宜調整して、ステッピングモータ（ロータ２０）の回転量を適宜制御することにより、弁体５０を全開〜全閉の中間の開度に調整できるため、流体の流量を制御することができる。さらに、ステッピングモータの回転により弁体５０（シャフト４０）が直線移動すると共に、雌ネジ２４及び雄ネジ４２がネジピッチＰを小さく設定されたネジ構造をもつため、弁体５０（シャフト４０）の移動ピッチすなわち弁体５０の開度を高精度に調整することができ、流量を高精度に制御することができる。

特に、雌ネジ２４を樹脂ネジとし、雄ネジ４２を金属ネジとするだけでなく、樹脂ネジ（雌ネジ２４）のネジ山の幅Ｗｐを金属ネジ（雄ネジ４２）のネジ山の幅Ｗｓよりも大きく設定しているため、樹脂ネジの機械的強度も確保することができ、ネジ構造としての機能上の信頼性を保証することができる。
上記のような構成をなすステッピングモータを駆動源とする弁装置を、温水暖房システム等の制御弁として使用すると、温水の流量を高精度に制御して、暖房温度を所望の設定温度に高精度にかつ応答性良く制御することができる。

上記実施形態においては、ロータ２０に対して樹脂ネジとしての雌ネジ２４を設けかつシャフト４０に対して金属ネジとしての雄ネジ４２を設ける構成において本発明を採用した場合を示したが、これに限定されるものではなく、ロータに樹脂ネジとしての雄ネジを設けかつシャフトに金属ネジとしての雌ネジを設けた構成において本発明を採用してもよく、あるいは、ロータに金属ネジとしての雌ネジ又は雄ネジを設けかつシャフトに樹脂ネジとしての雄ネジ又は雌ネジを設けた構成において本発明を採用してもよい。
上記実施形態においては、ステッピングモータの可動子として、先端に弁体５０を設けたシャフト４０を示したが、シャフト以外の可動子を備えた構成において本発明を採用してもよい。

以上述べたように、本発明のステッピングモータ及び弁装置は、軽量化、低コスト化、高分解能化等を達成しつつ、機械的強度も確保でき、ネジ構造としての機能上の信頼性を保証し得るため、通路を開閉して流体の流量を制御する温水暖房システム等の制御弁の駆動源として又制御弁そのものとして適用できるのは勿論のこと、その他の流体の供給システムにおいて、流れを制御する制御弁の駆動源及び制御弁そのものとしても有用である。

本発明に係るステッピングモータを備えた弁装置の一実施形態を示すものであり、弁体が閉弁した状態を示す断面図である。 本発明に係る弁装置の一実施形態を示すものであり、弁体が開弁した状態を示す断面図である。 本発明に係る弁装置のロータ及びシャフトを示す部分図である。 本発明に係るステッピングモータ及び弁装置の一部をなす雌ネジ及び雄ネジからなるネジ構造のネジ山を示す部分断面図である。 本発明に係る雌ネジ及び雄ネジのネジ形状の設定手法を示す模式図である。 （ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれネジ形状を示す模式図である。

符号の説明

Ｘ 軸線方向
Ｗｐ 雌ネジのネジ山の幅
Ｗｓ 雄ネジのネジ山の幅
Ｐ ネジピッチ
１０ ハウジング
１１ モータハウジング
１２ 弁ハウジング
１２ａ 流入通路
１２ｂ 流出通路
１２ｃ 弁座
２０ ロータ
２１ 円筒部
２２ マグネット
２３ 軸部
２４ 雌ネジ（樹脂ネジ）
３０ ステータ
３１ 励磁用のコイル
２２ ボビン
３３ ヨーク
４０ シャフト（可動子）
４１ 結合部
４２ 雄ネジ（金属ネジ）
５０ 弁体
５１ 弁ホルダ
５２ 弁部
５３ 被規制片
６０ シャフトホルダ
６１ 貫通孔
６２ 円筒部
６３ 縮径円筒部
６４ 軸受保持部
６５ 規制片
６６ 端面
７０，８０ Ｏリング
９０ 軸受
１００ 支持フレーム
１１０ スラスト軸受

Claims (4)

1. 雌ネジ及び雄ネジの一方を有するロータ、前記ロータの周りに配置されたステータ、前記雌ネジ及び雄ネジの他方を有し直線的に往復動自在に支持された可動子を備え、前記ロータが回転して前記可動子が直線移動するステッピングモータであって、
   前記雌ネジ及び雄ネジの一方は、樹脂材料により形成された樹脂ネジからなり、
   前記雌ネジ及び雄ネジの他方は、金属材料により形成された金属ネジからなり、
   前記樹脂ネジのネジ山の幅は、前記金属ネジのネジ山の幅よりも大きく形成されている、
   ことを特徴とするステッピングモータ。
2. 前記ロータは前記雌ネジを有し、
   前記可動子は、前記雄ネジを有し、
   前記雌ネジは、前記樹脂ネジからなり、
   前記雄ネジは、前記金属ネジからなる、
   ことを特徴とする請求項１記載のステッピングモータ。
3. 雌ネジ及び雄ネジの一方を有するロータ、前記ロータの周りに配置されたステータ、前記雌ネジ及び雄ネジの他方を有し直線的に往復動自在に支持された可動子を含むステッピングモータ、前記可動子の先端に設けられて流体の通路を開閉し得る弁体を備え、前記ステッピングモータの駆動力により前記弁体を開閉させる弁装置であって、
   前記雌ネジ及び雄ネジの一方は、樹脂材料により形成された樹脂ネジからなり、
   前記雌ネジ及び雄ネジの他方は、金属材料により形成された金属ネジからなり、
   前記樹脂ネジのネジ山の幅は、前記金属ネジのネジ山の幅よりも大きく形成されている、
   ことを特徴とする弁装置。
4. 前記ロータは前記雌ネジを有し、
   前記可動子は、前記雄ネジを有し、
   前記雌ネジは、前記樹脂ネジからなり、
   前記雄ネジは、前記金属ネジからなる、
   ことを特徴とする請求項３記載の弁装置。
   
   

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