JP2007027282A - 薄膜太陽電池モジュール製造方法および製造装置 - Google Patents

薄膜太陽電池モジュール製造方法および製造装置 Download PDF

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Abstract

【課題】薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面の保護樹脂被覆処理における貼り付きによる搬送不良に伴う歩留りの低下を、生産コストを増大させることなく防止することができる生産性に優れた薄膜太陽電池モジュール製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜太陽電池モジュール製造装置20は、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面への溶剤可溶型フッ素樹脂Fを用いた保護樹脂層Fの形成工程と、保護樹脂層F上への接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層の形成工程とを、巻取軸R2に巻き取られる前に連続的に行うことができる。保護樹脂層F上に形成された接着性樹脂封止材J1等(2)によるモジュール接着層は合い紙の役割を兼ねている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、フレキシブルタイプの絶縁性基板を用いた薄膜太陽電池モジュールをロール・ツー・ロール方式により製造する薄膜太陽電池モジュール製造方法および製造装置に関する。
近年、環境保護重視の立場からいわゆるクリーンエネルギーの研究開発が進められている。その中でも太陽電池は、その資源である太陽光が事実上無限に利用可能であること、太陽エネルギーを直接電気エネルギーへ変換するものであるため従来の他の発電と比較して無公害であること等から極めて注目を集めている。
同一基板上に形成された複数の光電変換素子が直列接続された太陽電池(光電変換装置)の代表例として、薄膜太陽電池が挙げられる(例えば、特許文献1参照。)。薄膜太陽電池は、薄型で軽量であること、量産性に優れているため製造コストが安価であること、大面積化が容易であること等の実用太陽電池に要求される産業上および技術上の利点を有していることから、今後の太陽電池の主流となるものと考えられている。薄膜太陽電池の主な用途は電力供給用であることは勿論であるが、それ以外にも建物の屋根または窓等に取り付けて利用される業務用および一般住宅用の用途にも需要が広がってきている。従来の薄膜太陽電池はガラス基板等の絶縁性基板を用いているものが一般的であった。しかし、厚型で重く割れやすい欠点があることと、屋外の屋根等への設置に対する作業性の改良等の理由とにより、薄型・軽量化の要望が強くなっている。これらの要望に対し、近年、軽量化、施工性および量産性の観点からプラスチックフィルム等の可撓性(フレキシブル)タイプの太陽電池の研究開発が進められ実用化されている。さらに、フレキシブルな金属材料に絶縁被膜した絶縁性フィルム基板を用いた薄膜太陽電池の研究開発および実用化も進められている。このフレキシブル性を生かしたロール・ツー・ロール(Roll to Roll)方式またはステッピングロール方式を用いた連続形成による製造方法により大量生産が可能となった。プラスチックフィルム等のフレキシブルタイプの絶縁性基板上に薄膜太陽電池を形成する場合には、基板の太陽電池の反対面側(裏面とする。)にも電極を配置し、基板を貫通して接続することにより、基板面積に対する太陽電池面積の比を大きくすることができ、太陽光の利用効率が高い等の特徴を持たせることができる。
図2(A)および(B)は、上述した薄膜太陽電池(以下、「薄膜太陽電池サブモジュール」と言う。)の一例を示す模式図である。図2(A)は平面図であり、図2(B)は図2(A)におけるXX線に沿ったXX断面図である。図2(A)、(B)に示されるように、フレキシブルタイプの絶縁性基板Sの一面(太陽光入射面であり、表面とする。)上、絶縁性基板S側から順に、第1電極層E1、光電変換層Pおよび透明電極である第2電極E2が積層されており、レーザー加工によるパターニングラインL1により複数の単位太陽電池(ユニットセルUn)に分割分離されている。絶縁性基板Sの反対面(裏面)上に第3電極層E3および第4電極層E4(両者を一括して裏面電極Erとする)がこの順に積層されており、これもレーザー加工によるパターニングラインL2により分割分離され、各単位太陽電池Un、Un+1等に対応する裏面電極En,n+1等と形成されている。絶縁性基板Sには接続孔H1および集電孔H2が貫通されており、第1電極層E1と裏面電極Erとは接続孔H1を通じ、第2電極層E2と裏面電極Erとは集電孔H2を通じ電気的に接続(導電)されている。2種の孔H1およびH2は、裏面電極(第4電極層E4)−集電孔H2−第2電極層E2−光電変換層P−第1電極層E1−接続孔H1−裏面電極(第3電極層E3)の順の単位太陽電池の直列接続に利用されている。従って、任意のユニットセルUn等に隣接し合う裏面電極En−1,nと裏面電極En,n+1とは、裏面電極En−1,n−ユニットセルUn−裏面電極En,n+1という直列接続をなし、多段直列接続された太陽電池となっている。以上のように分離された隣接し合う単位太陽電池を電気的に直列接続することを繰返すことにより、必要な電圧を出力させることができる。例えばインバータにより交流化し商用電力源として交流100Vを得るためには、100V以上が望まし<、実際には数10個以上の単位太陽電池素子が直列接続される。絶縁性基板Sは、ポリイミド系のフィルムでありその厚さは50μmである。絶縁性基板Sとしてはその他に、ポリエチレンナフタレート(polyethylene naphthalate: PEN)、ポリエーテルサルフォン(poly ether sulfone : PES)、ポリエチレンテレフタレート(polyethylene terephthalate : PET)、またはアラミド系フィルム等を用いることができる。
図3(A)、(B)および(C)は、上述の薄膜太陽電池サブモジュールを用いた太陽電池モジュールの集電孔H2部における断面図であり、図3(A)は集電孔H2に保護樹脂Fを被覆した状態の同断面図、図3(B)は保護樹脂F上(受光面側)に接着性樹脂封止材J1と表面保護フィルムJ3とをこの順に重ねた状態および裏面側に接着性樹脂封止材J2と背面補強板Bとを重ねた状態の同断面図、図3(C)は封止工程が完了した状態の同断面図である。図3(A)の状態で、保護樹脂Fは、集電孔H2の内壁、その周縁の絶縁性基板S面およびレーザーパターニングラインL1(不図示)を被覆している。図3(B)の状態で、圧力を加え、接着性樹脂封止材J1およびJ2が十分接着し硬化する加熱処理により、太陽電池モジュールが形成される。加熱処理中に接着性樹脂封止材J1およびJ2の粘度は低下して、集電孔H2内部に保護樹脂Fが入り込み、接着性樹脂封止材J1、J2の境界付近では保護樹脂F互いに混ざり合う。以上の加熱処理等は接続孔H1部においても同様であるため、説明は省略する。
上述の太陽電池モジュールに用いられる材料は、以下の通りである。受光面側の最表面に位置する表面保護フィルムとしては、防湿性、耐候性および透明度の高い材料が適しており、例えばエチレン・テトラフルオロエチレン共重合体(ethylene tetrafluoroethylene : ETFE)が用いられる。接着性樹脂封止材J1等としては、接着強度の観点から、例えばエチレン−酢酸ビニル重合体(Ethylene Vinyl Acetate : EVA)が用いられる。保護樹脂Fの材料としては、例えば接着性樹脂封止材J1等の加水分解で生成される酢酸および水分による薄膜太陽電池素子の腐蝕防止の観点から、例えば溶剤可溶型フッ素樹脂塗料が用いられる。非受光面である背面側に配置される背面補強板Bとしては、ステンレス板、塗装鋼板等が用いられる。
上述のようなフレキシブルな絶縁性基板Sを用いた薄膜太陽電池サブモジュールおよび薄膜太陽電池モジュールは、量産性、施工性に優れ、モジュールおよび施工の低コスト化が可能であるという特徴を有する。このような薄膜太陽電池モジュールの製造方法として、モジュール構成材料をロールフィルムの状態で供給し、配線接続、樹脂封指、保護材料の接着等を行い、再びロール状に巻き取るロール・ツー・ロール方式またはステッピングロール方式の製造方法が提案されている。
図4は、上述の太陽電池モジュールの製造方法の一工程である、薄膜太陽電池サブモジュール受光面の保護樹脂層F形成工程に用いられるロール・ツー・ロール方式の製造方法を実施する従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10の模式図である。図4に示されるように、従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10の主な構成は、ロール状に製造された薄膜太陽電池モジュール1を巻出すための巻出軸R1、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F(保護樹脂層F)、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面にアプリケータロールにより溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを塗布(転移)させるためのグラビアロールG、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面に塗布した溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを加熱乾燥させるための乾燥炉HB、および溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを受光面に塗布した太陽電池サブモジュール1fをロール状に巻き取るための巻取軸R2からなっている。
図4に示されるように、巻出軸R1に取り付けられた薄膜太陽電池サブモジュール1は、グラビアロールGにより溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを受光面に塗布されて太陽電池サブモジュール1fとなり、ガイドロールGR1およびGR2を介して乾燥炉HBへと導かれる。乾燥炉HBで可溶型フッ素樹脂塗料Fを加熱乾燥させた後、太陽電池サブモジュール1fは、ガイドロールGR3、搬送中の太陽電池サブモジュール1fのたまり量等を制御するための可動ロールであるダンサーロールDR、ガイドロールGR4、駆動ロールFDおよびプレスロールPを介して、巻取軸R2に搬送される。グラビアロールGは、以上の搬送に同期して、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面に一定圧力で押し付けられた状態で回動しながら、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面に塗布する。薄膜太陽電池サブモジュール1fは180℃に保持された乾燥炉HBに送られて、加熱乾燥により保護樹脂層Fの形成が行われる。薄膜太陽電池サブモジュール1fは、巻取軸R2に再度ロール状に巻き取られる。
特許第2755281号公報
上述した従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10では、以下のような問題があった。
(1)溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fが塗布され、乾燥炉HBで加熱乾燥された後の薄膜太陽電池サブモジュール1fをロール状に巻取軸R2に巻き取る間の搬送において、溶剤可溶型フッ素樹脂FがガイドロールGR3等に貼り付きを起こす結果、薄膜太陽電池サブモジュール1fに皺または折れ等の不良が発生し、歩留りを著し<低下させていた。
(2)上記(1)の問題に加え、薄膜太陽電池サブモジュール1fをロール状に巻取軸R2に巻き取る際にも同様の皺または折れ等の不良が発生し、歩留りを著しく低下させていた。
(3)さらに、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F被覆工程の後工程である、接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層形成のためのロール・ツー・ロール方式によるラミネート処理において、ロール状に巻取軸R2に巻き取られた薄膜太陽電池サブモジュール1fをロール(巻取軸R2)から巻出す際にも、溶剤可溶型フッ素樹脂Fに対向する面との貼り付きにより、薄膜太陽電池サブモジュール1fの受光面の薄膜層または上記対向する面の薄膜層が絶縁性基板Sから剥離する不良が発生し、歩留りを著し<低下させていた。
(4)上記(3)の問題に加え、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F被覆工程の後工程である、接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層形成のためのロール・ツー・ロール方式によるラミネート処理において、ロール(巻取軸R2)から巻き出された薄膜太陽電池サブモジュール1fの搬送でも溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F被覆工程と同様に、ガイドロール(GR)ヘの貼り付きを起こす結果、皺または折れ等の不良が発生し、歩留りを著し<低下させていた。
一般的に、上述のような貼り付きによる搬送不良の問題は、樹脂材を塗布した表面に合い紙を挿入すること、またはガイドロール表面にフッ素樹脂等の剥離材をコーティングすること等により対処することが良いと言われている。しかし、合い紙の挿入は搬送設備の増設および材料費の増大につながり、ガイドロール表面のコーティングは高価である等のため、以上の対処方法は生産コスト低減を図ることが困難であるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、上記問題を解決するためになされたものであり、薄膜太陽電池サブモジュールの受光面の保護樹脂被覆処理における貼り付きによる搬送不良に伴う歩留りの低下を、生産コストを増大させることなく防止することができる生産性に優れた薄膜太陽電池モジュール製造装置および製造方法を提供することにある。
この発明の薄膜太陽電池モジュール製造方法は、フレキシブルタイプの絶縁性基板を用いた薄膜太陽電池モジュールをロール・ツー・ロール方式により製造する薄膜太陽電池モジュール製造方法であって、巻出軸から巻出された薄膜太陽電池モジュールの受光面へ溶剤可溶型フッ素樹脂を用いて保護樹脂層を形成する保護樹脂層形成工程と、前記保護樹脂層形成工程により形成された保護樹脂層上へ、巻取軸へ巻取る前に連続的に、接着性樹脂封止材を用いてモジュール接着層を形成するモジュール接着層形成工程とを備えたことを特徴とする。
ここで、この発明の薄膜太陽電池モジュール製造方法において、前記モジュール接着層形成工程における接着性樹脂封止材を巻取軸に巻取られた薄膜太陽電池モジュール間の合い紙として用いることができる。
ここで、この発明の薄膜太陽電池モジュール製造方法において、前記モジュール接着層形成工程で形成されたモジュール接着層表面はエンボス形状とすることができる。
ここで、この発明の薄膜太陽電池モジュール製造方法において、前記保護樹脂層形成工程は薄膜太陽電池モジュールの受光面の溶剤可溶型フッ素樹脂を乾燥炉により加熱乾燥させるものであり、前記モジュール接着層形成工程は前記保護樹脂層形成工程後の薄膜太陽電池モジュールに接着性樹脂封止材をラミネートする加熱ロールの予熱に該乾燥炉の排熱を用いることができる。
この発明の薄膜太陽電池モジュール製造装置は、本発明のいずれかの薄膜太陽電池モジュール製造方法を用いて薄膜太陽電池モジュールを製造することを特徴とする。
本発明の薄膜太陽電池モジュール製造装置等によれば、薄膜太陽電池サブモジュールの受光面への溶剤可溶型フッ素樹脂Fを用いた保護樹脂層Fの形成工程と、保護樹脂層F上への接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層の形成工程とを、巻取軸R2に巻き取られる前に連続的に行うことができる。保護樹脂層F上に形成された接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層は合い紙の役割を兼ねている。このため、別途合い紙を用いることなく、従来技術におけるロール・ツー・ロール方式の搬送でのガイドロールヘの貼り付き、ロール状に巻き取る際の皺または折れ等の不良を防ぐことが可能となる。保護樹脂層Fの形成と保護樹脂層F上への接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層の形成とを巻取軸R2に巻き取られる前に連続的に行うことができる。このため、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F被覆工程の後工程において、従来技術における、ロールから溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fによる保護樹脂層を形成した薄膜太陽電池サブモジュール1fを巻き出す際の貼り付きによる薄膜の剥離による不良も防止することが可能となる。以上より、薄膜太陽電池サブモジュールの受光面の保護樹脂被覆処理における貼り付きによる搬送不良に伴う歩留りの低下を、生産コストを増大させることなく防止することができる生産性に優れた薄膜太陽電池モジュール製造装置および製造方法を提供することができるという効果がある。
以下、各実施例について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の実施例1における薄膜太陽電池モジュール製造装置20および製造方法を説明するための模式図である。図1および以下の説明において、図2ないし図4と同じ符号は同じ要素を示すため説明は省略する。薄膜太陽電池モジュール製造装置20においても従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10と同様に、フレキシブルな絶縁性基板Sを用いて薄膜太陽電池モジュールを製造する。薄膜太陽電池モジュール製造装置20が従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10と異なる点は、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面への溶剤可溶型フッ素樹脂Fを用いた保護樹脂層Fの形成工程と、保護樹脂層F上への接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層の形成工程とを(巻取軸R2に巻き取られる前に)連続的に行う点である。
保護樹脂層Fの形成工程に関する薄膜太陽電池モジュール製造装置20の主な構成.
従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10と同様である。図1に示されるように、保護樹脂層Fの形成工程に関する薄膜太陽電池モジュール製造装置20の主な構成は、ロール状に製造された薄膜太陽電池モジュール1を巻出すための巻出軸R1、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F(保護樹脂層F)、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面にアプリケータロールにより溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを塗布(転移)させるためのグラビアロールG、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面に塗布した溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを加熱乾燥させるための180℃に保持された乾燥炉HB、および溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを受光面に塗布した太陽電池サブモジュール1fをロール状に巻き取るための巻取軸R2からなっている。
保護樹脂層Fの形成工程.
図1に示されるように、まず、薄膜太陽電池サブモジュール1が巻出軸R1から巻き出される。グラビアロールGが薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面に一定圧力で押し付けられた状態で、薄膜太陽電池サブモジュール1の搬送速度と同期して回動しながら、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fが薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面に塗布されて太陽電池サブモジュール1fとなる。太陽電池サブモジュール1fはガイドロールGR1およびGR2を介して180℃に保持された乾燥炉HBへと導かれ、乾燥炉HBで可溶型フッ素樹脂塗料Fが加熱乾燥されて保護樹脂層Fが形成される。
モジュール接着層形成工程に関する薄膜太陽電池モジュール製造装置20の主な構成.
図1に示されるように、モジュール接着層形成工程に関する薄膜太陽電池モジュール製造装置20の主な構成は、接着性樹脂封止材J1等(2)を巻き出すための接着性樹脂封止材J1等巻出軸R3、接着性樹脂封止材J1等(2)を薄膜太陽電池サブモジュール1fの搬送速度と同期して供給するための駆動ロールFD2、薄膜太陽電池サブモジュール1fと接着性樹脂封止材J1等(2)とを加圧挟特によりラミネートするための加熱機能および駆動機能を備えたラミネートロールRL1(加熱ロール)、ラミネートロールRL1に接続された剥離ベルトTP、加熱機能および加圧機能を備えたラミネートロールRL2(加熱ロール)からなっている。
モジュール接着層形成工程.
図1に示されるように、乾燥炉HBからガイドロールGR3を介して送り出された薄膜太陽電池サブモジュール1fの搬送速度と同期して、接着性樹脂封止材J1等(2)を巻出軸R3から駆動ロールFD2により巻き出す。巻き出された接着性樹脂封止材J1等(2)がラミネートロールRL1に接続された剥離ベルトTPとラミネートロールRL2との間で薄膜太陽電池サブモジュール1fと共に加熱加圧されることにより、薄膜太陽電池サブモジュール1fの受光面に接着性樹脂封止材J1等(2)がラミネートされて、モジュール接着層の形成が行われる。受光面に保護樹脂層Fおよびモジュール接着層を順次積層してなる薄膜太陽電池サブモジュール1f(R)は、ガイドロールGR5、搬送中の太陽電池サブモジュール1f(R)のたまり量等を制御するための可動ロールであるダンサーロールDR、ガイドロールGR4、駆動ロールFDおよびプレスロールPを介して、巻取軸R2に搬送され、再度ロール状に巻き取られる。
以上より、本発明の実施例1によれば、薄膜太陽電池モジュール製造装置20は、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面への溶剤可溶型フッ素樹脂Fを用いた保護樹脂層Fの形成工程と、保護樹脂層F上への接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層の形成工程とを、巻取軸R2に巻き取られる前に連続的に行うことができる。このため、薄膜太陽電池サブモジュール1の受光面の保護樹脂被覆処理における貼り付きによる搬送不良に伴う歩留りの低下を、生産コストを増大させることなく防止することができる生産性に優れた薄膜太陽電池モジュール製造装置および製造方法を提供することができる。
本発明の実施例1によれば、保護樹脂層F上に形成された接着性樹脂封止材J1等(2)によるモジュール接着層は合い紙の役割を兼ねている。このため、別途合い紙を用いることなく、従来技術におけるロール・ツー・ロール方式の搬送でのガイドロールヘの貼り付き、ロール状に巻き取る際の皺または折れ等の不良を防ぐことが可能となる。
本発明の実施例1によれば、保護樹脂層Fの形成工程と保護樹脂層F上への接着性樹脂封止材J1等によるモジュール接着層の形成工程とを巻取軸R2に巻き取られる前に連続的に行うことができる。このため、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料F被覆工程の後工程において、従来技術における、ロールから溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fによる保護樹脂層を形成した薄膜太陽電池サブモジュール1fを巻き出す際の貼り付きによる薄膜の剥離による不良も防止することが可能となる。
実施例1において、接着性樹脂封止材J1等(2)の表面はエンボス形状とすることが好適である。このエンボス形状により、ガイドロールヘの貼り付きまたはロール状に巻き取ることによる貼り付きを無くし、安定したロール・ツー・ロール方式の搬送を行うことが可能となる。
実施例1において、接着性樹脂封止材J1等(2)によるモジュール接着層形成に用いる加熱ロール(ラミネートロールRL1、RL2)の加熱(予熱)には、溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fによる保護樹脂層F形成機能の側の構成要素の一つである加熱乾燥炉HBの排熱を利用することが好適である。この排熱利用方法により、常温からの加熱に必要な電力低減を図れ、環境問題にも貢献することができる。
本発明の活用例として、薄膜太陽電池モジュールの製造装置等に対して適用することができる。
本発明の実施例1における薄膜太陽電池モジュール製造装置20および製造方法を説明するための模式図である。 薄膜太陽電池サブモジュールの一例を示す模式図である。 薄膜太陽電池サブモジュールの集電孔H2部における断面図である。 薄膜太陽電池サブモジュール受光面の保護樹脂層F形成工程に用いられるロール・ツー・ロール方式の製造方法を実施する従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置10の模式図である。
符号の説明
1 薄膜太陽電池サブモジュール、 1f 溶剤可溶型フッ素樹脂塗料Fを受光面に塗布した太陽電池サブモジュール、 2 接着性樹脂封止材J1等、 10 従来の薄膜太陽電池モジュール製造装置、 20 本発明の薄膜太陽電池モジュール製造装置。

Claims (5)

  1. フレキシブルタイプの絶縁性基板を用いた薄膜太陽電池モジュールをロール・ツー・ロール方式により製造する薄膜太陽電池モジュール製造方法であって、
    巻出軸から巻出された薄膜太陽電池モジュールの受光面へ溶剤可溶型フッ素樹脂を用いて保護樹脂層を形成する保護樹脂層形成工程と、
    前記保護樹脂層形成工程により形成された保護樹脂層上へ、巻取軸へ巻取る前に連続的に、接着性樹脂封止材を用いてモジュール接着層を形成するモジュール接着層形成工程とを備えたことを特徴とする薄膜太陽電池モジュール製造方法。
  2. 請求項1記載の薄膜太陽電池モジュール製造方法において、前記モジュール接着層形成工程における接着性樹脂封止材を巻取軸に巻取られた薄膜太陽電池モジュール間の合い紙として用いることを特徴とする薄膜太陽電池モジュール製造方法。
  3. 請求項1又は2記載の薄膜太陽電池モジュール製造方法において、前記モジュール接着層形成工程で形成されたモジュール接着層表面はエンボス形状であることを特徴とする薄膜太陽電池モジュール製造方法。
  4. 請求項1乃至3のいずれかに記載の薄膜太陽電池モジュール製造方法において、前記保護樹脂層形成工程は薄膜太陽電池モジュールの受光面の溶剤可溶型フッ素樹脂を乾燥炉により加熱乾燥させるものであり、前記モジュール接着層形成工程は前記保護樹脂層形成工程後の薄膜太陽電池モジュールに接着性樹脂封止材をラミネートする加熱ロールの予熱に該乾燥炉の排熱を用いることを特徴とする薄膜太陽電池モジュール製造方法。
  5. 請求項1乃至4のいずれかに記載の薄膜太陽電池モジュール製造方法を用いて薄膜太陽電池モジュールを製造することを特徴とする薄膜太陽電池モジュール製造装置。
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