JP2007026816A - 荷電粒子加速器およびそのメンテナンス方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高電圧ターミナル3と、この高電圧ターミナル3に接続された加速管4とが高圧タンク2内に配置されており、高圧タンク2内に絶縁性ガスは圧縮乾燥空気とし、高圧タンク2の内部には、メンテナンス空間M1と非メンテナンス空間M2とに仕切る仕切体32が非気密的に設けられている。
【選択図】 図1
Description
なお、遮蔽体は、フレキシブル性のある材料、例えばビニールフィルムや布などの低廉な素材で形成できる。
すなわち、圧縮空気の圧縮度が高いほど、高圧タンクと高電圧発生部との間の耐電圧は向上するものの、圧縮度の上昇に伴って空気中の水分が凝結する結果、沿面放電等による耐電圧の劣化等が懸念されることになる。このため、高電圧発生部に発生させる電圧の大きさに応じて、充填空気の湿度管理が行われる。例えば本実施の形態のように、高電圧ターミナル3の最大発生電圧を1000kVとした場合、充填される圧縮乾燥空気は、ゲージ圧2気圧(0.2MPa)で湿度50%以下に管理されている。
Claims (11)
- 高電圧発生部と、この高電圧発生部に接続され荷電粒子を加速する加速管とが、密閉容器内に配置されており、前記密閉容器内に絶縁性ガスが充填されている荷電粒子加速器において、
前記絶縁性ガスは圧縮乾燥空気であり、
前記密閉容器の内部には、メンテナンス空間と非メンテナンス空間とを非気密的に仕切る仕切体が設けられていることを特徴とする荷電粒子加速器。 - 前記仕切体は、前記高電圧発生部に対して非接触で設けられている請求項1に記載の荷電粒子加速器。
- 前記仕切体は、電気絶縁性の材料で形成されている請求項1に記載の荷電粒子加速器。
- 前記仕切体は、前記メンテナンス空間と前記非メンテナンス空間との間を仕切る作動位置と、前記メンテナンス空間と前記非メンテナンス空間との間を仕切らない非作動位置とを選択的にとる請求項1に記載の荷電粒子加速器。
- 前記メンテナンス空間には、前記密閉容器の外部と連絡する連絡口と、この連絡口を非気密的に遮蔽する遮蔽体とが設けられている請求項1に記載の荷電粒子加速器。
- 高電圧発生部と、この高電圧発生部に接続され荷電粒子を加速する加速管とが、密閉容器内に配置されており、前記密閉容器内に絶縁性ガスが充填されている荷電粒子加速器において、
前記絶縁性ガスは圧縮乾燥空気であり、
前記密閉容器には、外部と連絡する連絡口と、この連絡口を非気密的に遮蔽する遮蔽体とが設けられていることを特徴とする荷電粒子加速器。 - 前記遮蔽体は、フレキシブル性のある材料で形成されている請求項6に記載の荷電粒子加速器。
- 前記密閉容器の内部には、メンテナンス空間と非メンテナンス空間とを非気密的に仕切る仕切体が設けられている請求項6に記載の荷電粒子加速器。
- 高電圧発生部と、荷電粒子を加速する加速管とが密閉容器内に配置され、前記密閉容器内に絶縁性ガスとして圧縮乾燥空気が充填されている荷電粒子加速器のメンテナンス方法であって、
メンテナンス時に、前記密閉容器の内部から前記密閉容器の外部へ向かう空気流を形成することを特徴とする荷電粒子加速器のメンテナンス方法。 - 前記密閉容器の内部には、メンテナンス空間と非メンテナンス空間とに仕切る仕切体が前記高電圧発生部に対して非接触で設けられており、前記メンテナンス空間と前記非メンテナンス空間との圧力差で前記空気流を形成する請求項9に記載の荷電粒子加速器のメンテナンス方法。
- 前記密閉容器には外部連絡用の連絡口が形成されており、この連絡口を遮蔽する遮蔽体を前記連絡口に非気密的に設置することで前記空気流を形成する請求項9に記載の荷電粒子加速器のメンテナンス方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5853811A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | Toshiba Corp | 変圧器の現地組立方法 |
JPH025354A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-10 | Fujitsu Ltd | イオンビーム照射装置 |
JPH07235435A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | 分割輸送静止誘導機器およびその組立方法 |
JP2005135818A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Ulvac Japan Ltd | 荷電粒子加速器および高電圧発生回路の絶縁方法 |
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2005
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5853811A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-30 | Toshiba Corp | 変圧器の現地組立方法 |
JPH025354A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-10 | Fujitsu Ltd | イオンビーム照射装置 |
JPH07235435A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | 分割輸送静止誘導機器およびその組立方法 |
JP2005135818A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Ulvac Japan Ltd | 荷電粒子加速器および高電圧発生回路の絶縁方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021522651A (ja) * | 2018-04-30 | 2021-08-30 | ニュートロン・セラピューティクス・インコーポレイテッドNeutron Therapeutics Inc. | 小型電動機駆動絶縁静電粒子加速器 |
JP7321536B2 (ja) | 2018-04-30 | 2023-08-07 | ニュートロン・セラピューティクス・インコーポレイテッド | 小型電動機駆動絶縁静電粒子加速器 |
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