JP2007019284A - プラズマcvd装置及び薄膜形成方法 - Google Patents
プラズマcvd装置及び薄膜形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007019284A JP2007019284A JP2005199679A JP2005199679A JP2007019284A JP 2007019284 A JP2007019284 A JP 2007019284A JP 2005199679 A JP2005199679 A JP 2005199679A JP 2005199679 A JP2005199679 A JP 2005199679A JP 2007019284 A JP2007019284 A JP 2007019284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency power
- electrode
- thin film
- plasma cvd
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】ウエハWが載置されるサセプタ26と、このサセプタ26に対向する状態で配置されたシャワーヘッド9と、このシャワーヘッド9に高周波電力を供給する手段とを備える平行平板型のプラズマCVD装置の構成として、サセプタ26に対向する部位でシャワーヘッド9を内側電極部91と外側電極部92に分割するとともに、これら2つの電極部91,92に対応して2つの高周波電源27,28を設け、内側電極部91には高周波電源27から第1の高周波電力を供給し、外側電極部92には高周波電源28から第1の高周波電力と異なる第2の高周波電力を供給するものとした。
【選択図】図2
Description
V1=I1Z1≒I1/jω1C1…(1)
V2=I2Z2≒I2/jω2C2…(2)
V1=I1Z1≒I1/jωC1…(3)
V2=I2Z2≒I2R+I2/jωC2…(4)
但し、V1=V2
P2=I2V2=I2・I2Z2≒I2・I2R+I2・I2/jωC2…(5)
P1=I1V1=I1・I1Z1≒I1・I1/jωC1…(6)
Claims (5)
- 被処理基板が載置される下部電極と、
前記下部電極に対向する状態で配置されるとともに、前記下部電極に対向する部位が複数の電極部に分割された上部電極と、
前記複数の電極部にそれぞれ異なる高周波電力を供給する高周波電力供給手段と
を備えることを特徴とするプラズマCVD装置。 - 前記高周波電力供給手段は、前記複数の電極部に対応する複数の高周波電源を有する
ことを特徴とする請求項1記載のプラズマCVD装置。 - 前記高周波電力供給手段は、前記複数の電極部に対して高周波電力を供給する共通の高周波電源と、前記高周波電源から前記複数の電極部に供給される高周波電力を可変調整する調整手段とを有する
ことを特徴とする請求項1記載のプラズマCVD装置。 - 前記上部電極は、前記下部電極に対向する部位が、前記下部電極に載置される前記被処理基板の周縁部に対応する外側電極部と、当該被処理基板の周縁部よりも内側部分に対応する内側電極部とに分割されている
ことを特徴とする請求項1記載のプラズマCVD装置。 - 平行平板電極を構成する上部電極と下部電極のうち、前記下部電極に被処理基板を載置するとともに、前記上部電極に高周波電力を供給して前記下部電極との間にプラズマを生成し、前記被処理基板上に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
前記下部電極に対向する部位で前記上部電極を複数の電極部に分割するとともに、前記複数の電極部にそれぞれ異なる高周波電力を供給して薄膜を形成する
ことを特徴とする薄膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005199679A JP2007019284A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | プラズマcvd装置及び薄膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005199679A JP2007019284A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | プラズマcvd装置及び薄膜形成方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012088111A Division JP2012151504A (ja) | 2012-04-09 | 2012-04-09 | 薄膜形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007019284A true JP2007019284A (ja) | 2007-01-25 |
Family
ID=37756162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005199679A Pending JP2007019284A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | プラズマcvd装置及び薄膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007019284A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010519408A (ja) * | 2007-02-15 | 2010-06-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 化学気相堆積プロセスを制御するシステム及び方法 |
WO2010079738A1 (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | 株式会社アルバック | プラズマ処理装置及びプラズマcvd成膜方法 |
TWI419993B (zh) * | 2009-01-14 | 2013-12-21 | Ulvac Inc | 電漿化學氣相沉積裝置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04196319A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Toshiba Corp | 放電処理装置 |
JPH0786238A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-03-31 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ励起用電極 |
JPH07176399A (ja) * | 1994-10-24 | 1995-07-14 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH0850998A (ja) * | 1994-08-04 | 1996-02-20 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH08227880A (ja) * | 1995-02-21 | 1996-09-03 | Nec Kyushu Ltd | プラズマcvd装置 |
JPH11312672A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Sharp Corp | プラズマcvd装置及び成膜方法並びにクリーニング方法 |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005199679A patent/JP2007019284A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04196319A (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-16 | Toshiba Corp | 放電処理装置 |
JPH0786238A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-03-31 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ励起用電極 |
JPH0850998A (ja) * | 1994-08-04 | 1996-02-20 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH07176399A (ja) * | 1994-10-24 | 1995-07-14 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH08227880A (ja) * | 1995-02-21 | 1996-09-03 | Nec Kyushu Ltd | プラズマcvd装置 |
JPH11312672A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Sharp Corp | プラズマcvd装置及び成膜方法並びにクリーニング方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010519408A (ja) * | 2007-02-15 | 2010-06-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 化学気相堆積プロセスを制御するシステム及び方法 |
WO2010079738A1 (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-15 | 株式会社アルバック | プラズマ処理装置及びプラズマcvd成膜方法 |
JP5328814B2 (ja) * | 2009-01-09 | 2013-10-30 | 株式会社アルバック | プラズマ処理装置及びプラズマcvd成膜方法 |
TWI419993B (zh) * | 2009-01-14 | 2013-12-21 | Ulvac Inc | 電漿化學氣相沉積裝置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206758401U (zh) | 控制电容耦合等离子体工艺设备的边缘环的射频振幅 | |
JP6679591B2 (ja) | プロセス均一性を高めるための方法およびシステム | |
JP5979182B2 (ja) | 基板支持装置及びこれを備える基板処理装置 | |
KR20170074755A (ko) | 샤워헤드 어셈블리 | |
TW202025217A (zh) | 具有嵌入式射頻屏蔽的半導體基板支撐件 | |
US11955314B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP2009123934A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2018110216A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2007523470A (ja) | 均一性制御のための分割高周波電極装置および方法 | |
JP6068849B2 (ja) | 上部電極、及びプラズマ処理装置 | |
US10950449B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
KR20170002383A (ko) | 히터 급전 기구 및 스테이지의 온도 제어 방법 | |
US10304666B2 (en) | Plasma processing apparatus having a baffle plate and a rectifying plate | |
TWI828223B (zh) | 用於厚度校正的檯面高度調制 | |
KR20030040131A (ko) | 금속 막 제조 장치 및 방법 | |
US11521836B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP2019033231A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2012151504A (ja) | 薄膜形成方法 | |
JP2007019284A (ja) | プラズマcvd装置及び薄膜形成方法 | |
JP7373963B2 (ja) | 基板支持器及びプラズマ処理装置 | |
JP2022022969A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6570971B2 (ja) | プラズマ処理装置およびフォーカスリング | |
JP2005175242A (ja) | 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 | |
CN112166490A (zh) | 基板处理装置及喷淋头 | |
JPWO2019244700A1 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマエッチング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080519 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091007 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110315 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20120207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120409 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120501 |