JP2007017678A - 静電駆動型光偏向素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】台座部品と、前記台座部品に固着または連続形成された不動部3と該不動部に両持ち梁部2により支持された可動部1とを有し、該可動部が電極機能を有する軟質樹脂部品と、前記可動部上に固着された反射板6と、前記可動部に対して所定の間隔をもって対向配置される固定電極を有し、前記台座部品に固着された固定電極部品とを備え、前記軟質樹脂部品は、シリコーンゴムより形成されている静電駆動型光偏向素子により前記課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
このように、シリコンを両持ち梁の材料として、低周波駆動を実現できる光偏向素子を低コストで実現することは事実上不可能である。
前記軟質樹脂部品は、シリコーンゴムより形成されている静電駆動型光偏向素子。
前記軟質樹脂部品は導電性シリコーンゴムより形成し、かつ前記固定電極部品の前記固定電極を2分割して形成する静電駆動型光偏向素子。
前記軟質樹脂部品をモールド技術により形成する静電駆動型光偏向素子。
前記軟質樹脂部品をパンチング技術により形成する静電駆動型光偏向素子。
前記反射板の母材はシリコン基板、あるいはガラス基板である静電駆動型光偏向素子。
前記反射板には穴あるいは凹みが形成されており、かつ前記軟質樹脂部品には突起が形成されており、前記反射板の穴あるいは凹みと、前記軟質樹脂部品の突起を重ね合わせて位置決めされる位置に、前記反射板を前記軟質樹脂部品に固着する静電駆動型光偏向素子。
前記軟質樹脂部品には穴あるいは凹みが形成されており、かつ前記台座部品には突起が形成されており、前記軟質樹脂部品の穴あるいは凹みと、前記台座部品の突起とを重ね合わせて位置決めされる位置に、前記軟質樹脂部品を前記台座部品に固着する静電駆動型光偏向素子。
前記固定電極部品には穴あるいは凹みが形成されており、かつ前記軟質樹脂部品には突起が形成されており、前記固定電極部品の穴あるいは凹みと、前記軟質樹脂部品の突起を重ね合わせて位置決めされる位置に、前記固定電極部品を前記軟質樹脂部品に固定する静電駆動型光偏向素子。
このようにして、本実施例1の静電駆動型光偏向素子は駆動される。
2 両持ち梁部
3 不動部
5 軟質樹脂部品
6 反射板
7−1 固定電極
7−2 固定電極
14 台座部品
Claims (8)
- 台座部品と、前記台座部品に固着または連続形成された不動部と該不動部に両持ち梁部により支持された可動部とを有し、該可動部が電極機能を有する軟質樹脂部品と、前記可動部上に固着された反射板と、前記可動部に対して所定の間隔をもって対向配置される固定電極を有し、前記台座部品に固着された固定電極部品とを備え、
前記軟質樹脂部品は、シリコーンゴムより形成されていることを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1に記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記軟質樹脂部品は導電性シリコーンゴムより形成し、かつ前記固定電極部品の前記固定電極を2分割して形成することを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1または2に記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記軟質樹脂部品をモールド技術により形成することを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1または2に記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記軟質樹脂部品をパンチング技術により形成することを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記反射板の母材はシリコン基板、あるいはガラス基板であることを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記反射板には穴あるいは凹みが形成されており、かつ前記軟質樹脂部品には突起が形成されており、前記反射板の穴あるいは凹みと、前記軟質樹脂部品の突起を重ね合わせて位置決めされる位置に、前記反射板を前記軟質樹脂部品に固着することを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記軟質樹脂部品には穴あるいは凹みが形成されており、かつ前記台座部品には突起が形成されており、前記軟質樹脂部品の穴あるいは凹みと、前記台座部品の突起とを重ね合わせて位置決めされる位置に、前記軟質樹脂部品を前記台座部品に固着することを特徴とする静電駆動型光偏向素子。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の静電駆動型光偏向素子において、
前記固定電極部品には穴あるいは凹みが形成されており、かつ前記軟質樹脂部品には突起が形成されており、前記固定電極部品の穴あるいは凹みと、前記軟質樹脂部品の突起を重ね合わせて位置決めされる位置に、前記固定電極部品を前記軟質樹脂部品に固定することを特徴とする静電駆動型光偏向素子。
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---|---|---|---|---|
JP2011045981A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Ritsumeikan | Mems、及びその製造方法 |
JP2014134642A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Fujifilm Corp | マイクロミラーデバイス及びその製造方法 |
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- 2005-07-07 JP JP2005198702A patent/JP3942621B2/ja not_active Expired - Fee Related
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