JP2007014921A - 粘性流体塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペースト供給体110と塗布部20とを接続する管路120に設けられたバルブユニット50を、可動部62を備えた本体部60と、本体部60を着脱自在に装着するホルダ80と、可動部62を作動させて粘性流体流路の開閉を行うアクチュエータ51から構成することにより、粘性流体塗布装置の洗浄の際のバルブユニット50の分解や組立てを簡単に行うことができるようにした。
【選択図】図2
Description
可動部を備えた本体部と、この本体部を着脱自在に装着するホルダと、前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うアクチュエータから成り、前記本体部が被係合子を備え、また前記ホルダが前記被係合子と係脱自在に係合する係合部を有する係合体を備え、この係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する位置と、前記被係合子から離脱させることにより前記本体部を前記ホルダから離脱する位置に選択的に前記係合体を移動自在とした。
以下、本発明の実施の形態1について図面を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態1における粘性流体塗布装置の側面図、図2は本発明の実施の形態1における粘性流体塗布装置のバルブユニットの斜視図、図3は本発明の実施の形態1における粘性流体塗布装置のバルブユニットの本体部とホルダの分離状態の分解斜視図、図4は本発明の実施の形態1における粘性流体塗布装置のバルブユニットの本体部とホルダの分離状態の部分分解斜視図、図5(a)、(b)、図6(a)、(b)は本発明の実施の形態1における粘性流体塗布装置のバルブユニットの側面図、図7は本発明の実施の形態1における粘性流体塗布装置のバルブユニットの部分拡大図である。
X、YモータMY、ZモータMZが備えられており、各モータMX、MY、MZの駆動により、塗布部20がX、Y、Zの各方向に移動する。これにより、ペースト供給体110から管路120を経て塗布部20に供給されるペーストを塗布部20下端のノズル19から吐出し、所定の描画パターンで基板Pに塗布する。Xテーブル11、Yテーブル12は、塗布部20を基板Pに相対的に水平移動させる水平移動手段となっている。
次に、本発明の実施の形態2について図8を参照して説明する。図8は本体部60がホルダ80に装着された状態を示している。なお、以下の説明において、実施の形態1と同一の構成部分については説明を省き、主として構成が異なる部分について説明を行う。
次に、本発明の実施の形態3について図9を参照して説明する。図9は本体部6がホルダ80に装着された状態を示している。なお、以下の説明において、実施の形態1と同一の構成部分については説明を省き、主として構成が異なる部分について説明を行う。
は係合孔96aの内側に一部突出する。
10 粘性流体塗布部
11 Xテーブル
12 Yテーブル
19 ノズル
20 塗布部
50 バルブユニット
51 アクチュエータ
52 ジョイント部
60 本体部
62 可動部
65 流路
70 被係合子
70b 小径部
70c 大径部
70d テーパ部
80 ホルダ
82、92、96 係合体
82b、95、99 係合部
86、94 バネ
110 ペースト供給体
120 管路
P 基板
Claims (4)
- 粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットが、前記管路に連通する流路が形成され且つこの流路を開閉する可動部を備えた本体部と、この本体部を着脱自在に装着するホルダと、前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うアクチュエータから成り、前記本体部が被係合子を備え、また前記ホルダが前記被係合子と係脱自在に係合する係合部を有する係合体を備え、この係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着し、前記被係合子から離脱させることにより前記本体部を前記ホルダから離脱することを特徴とする粘性流体塗布装置。 - 被塗布体を位置決めする位置決め部と、粘性流体を供給する粘性流体供給部と、この粘性流体供給部より粘性流体を供給され被塗布体に粘性流体を塗布する塗布部と、この塗布部を被塗布体と相対的に移動させる水平移動手段と、前記粘性流体供給部と前記塗布部とを接続する管路と、この管路に設けられたバルブユニットとを備え、
前記バルブユニットが、前記管路に連通する流路が形成され且つこの流路を開閉する可動部を備えた本体部と、この本体部を着脱自在に装着するホルダと、前記可動部を作動させて前記流路の開閉を行うアクチュエータから成り、前記本体部が被係合子を備え、また前記ホルダが前記被係合子と係脱自在に係合する係合部を有する係合体を備え、この係合部を前記被係合子に係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着する位置と、前記被係合子から離脱させることにより前記本体部を前記ホルダから離脱する位置に選択的に前記係合体を移動自在としたことを特徴とする粘性流体塗布装置。 - 前記被係合子が小径部とこの小径部より先端側に設けられた大径部とを有する突起体から成り、且つ前記係合部が前記被係合子が係入する係合孔であり、この係合孔に係入された前記被係合子の小径部に前記係合孔を係合させることにより前記本体部を前記ホルダに装着することを特徴とする請求項1又は2記載の粘性流体塗布装置。
- 前記被係合子が前記小径部と前記大径部の間に前記小径部から前記大径部に向けて径が漸増するテーパ部を備え、且つ前記ホルダが前記本体部を前記ホルダに装着する位置に前記係合体を付勢する付勢手段を備え、この付勢手段の付勢力により前記係合孔に前記テーパ部を押接させることにより前記本体部を前記ホルダに装着することを特徴とする請求項3記載の粘性流体塗布装置。
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